JPH06106768A - Ion-flow type electrostatic recording head - Google Patents

Ion-flow type electrostatic recording head

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JPH06106768A
JPH06106768A JP25826492A JP25826492A JPH06106768A JP H06106768 A JPH06106768 A JP H06106768A JP 25826492 A JP25826492 A JP 25826492A JP 25826492 A JP25826492 A JP 25826492A JP H06106768 A JPH06106768 A JP H06106768A
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JP
Japan
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electrode
electrodes
recording head
openings
electrostatic recording
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP25826492A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naohito Shiga
直仁 志賀
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
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Publication of JPH06106768A publication Critical patent/JPH06106768A/en
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Abstract

PURPOSE:To form an ion-flow type electrostatic recording head in which deviation of the position of a third electrode and deflection of the same are prevented, which causes ions to be generated uniformly during operation of the head and which has durability and is easily machinable, by providing a fixing portion for fixing the third electrode on an insulator layer by using a positive type photosensitive resin. CONSTITUTION:A beltlike third electrode 11 is permitted to adhere to the surface of an insulator layer 10 via a positive type photoresist 13, and openings 11a... are formed in the electrode 11 at respective positions where first electrodes 6... and matrices of second electrodes 9... are opposed to one another. Further, the openings 11a... communicate with openings 10a... of the insulator layer 10 and the openings 9a... of the electrodes 9..., and ion flow passing ports 12... of an ion-flow type electrostatice recording head 3 are formed. When the head 3 is put into operation, the matrices among the electrodes 6... and the electrodes 9... are suitably selected in response to printing signals, and an AC voltage is applied to the portions among the electrodes 6... and the electrodes 9..., which correspond to the selected matrix parts. The amount of electric discharge ions is made uniform during the operation of the head 3, durability is enhanced, and machinability is improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は例えば静電式の印刷や複
写を行なう静電記録装置に使われるイオンフロー静電記
録ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ion flow electrostatic recording head used in an electrostatic recording device for electrostatic printing or copying.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、例えば静電印刷等において、高
電流密度のイオンを発生させ、これを抽出して選択的に
被帯電部材に付与して、この被帯電部材を画像状に帯電
させる静電記録装置が知られている。
2. Description of the Related Art Generally, for example, in electrostatic printing, ions of high current density are generated, and the ions are extracted and selectively applied to a member to be charged, and the member to be charged is imagewise charged. Electronic recording devices are known.

【0003】この静電記録装置に用いられるイオンフロ
ー静電記録ヘッドには誘電体層とその誘電体層の一方の
面に固着され、第1の方向に伸びる複数の第1電極と、
誘電体層の他方の面に固着され、第1電極の伸び方向と
交差する方向に伸びる複数の第2電極とを有し、複数の
第1電極と複数の第2電極とでマトリックスを構成す
る。そして、この第2電極のマトリックスと対応する部
位にはイオン発生用の開口部が形成されている。
An ion flow electrostatic recording head used in this electrostatic recording apparatus has a dielectric layer and a plurality of first electrodes fixed to one surface of the dielectric layer and extending in a first direction.
It has a plurality of second electrodes fixed to the other surface of the dielectric layer and extending in a direction intersecting the extension direction of the first electrode, and the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes form a matrix. . Then, an opening for ion generation is formed in a portion of the second electrode corresponding to the matrix.

【0004】また、第2電極の第1電極と反対側には第
3電極が配設されている。この第3電極と第2電極との
間には絶縁体層が配設されている。これらの絶縁体層お
よび第3電極には第2電極の開口部と対応する開口部が
形成されており、これらの開口部によってイオン流通過
口が形成されている。
A third electrode is provided on the opposite side of the second electrode from the first electrode. An insulator layer is arranged between the third electrode and the second electrode. Openings corresponding to the openings of the second electrode are formed in these insulator layers and the third electrode, and the ion flow passage openings are formed by these openings.

【0005】そして、第1電極と第2電極との間のマト
リックスの選択された部分に対応する第1電極と第2電
極との間に交互に高電圧を印加することにより、その部
分に対向する第2電極の開口部近傍に正・負のイオンが
発生する。
Then, a high voltage is alternately applied between the first electrode and the second electrode corresponding to the selected portion of the matrix between the first electrode and the second electrode so as to face that portion. Positive and negative ions are generated near the opening of the second electrode.

【0006】また、第2電極と第3電極との間にはバイ
アス電圧が印加され、その極性によって決まるイオンの
みが発生したイオンから選択的に抽出され、イオン流通
過口を通過し、第3電極と対向配置される被帯電部材を
部分的に帯電させることができる。したがって、マトリ
ックス構造の電極を選択的に駆動することにより、ドッ
トによる静電記録を行なうことができる。
Further, a bias voltage is applied between the second electrode and the third electrode, and only ions determined by the polarity thereof are selectively extracted from the generated ions, pass through the ion flow passage opening, and pass through the third electrode. The member to be charged, which is arranged so as to face the electrode, can be partially charged. Therefore, electrostatic recording by dots can be performed by selectively driving the electrodes having the matrix structure.

【0007】ここで使用される誘電体層を形成する誘電
物質はイオン発生のために印加される高電圧でも絶縁破
壊しないことが要求される。また、誘電体層はイオンを
効率良く発生させ、絶縁破壊にも耐えられる程度の厚さ
を必要とするため、高い誘電率を有するものが適してい
る。
The dielectric material forming the dielectric layer used here is required not to cause dielectric breakdown even at a high voltage applied for ion generation. Further, since the dielectric layer needs to have a thickness that efficiently generates ions and can withstand dielectric breakdown, a layer having a high dielectric constant is suitable.

【0008】そこで、イオンフロー静電記録ヘッドの誘
電体層の材料として例えば特開平2-153760号公報にはシ
リコーン変性ポリエステルアルキド樹脂中に酸化チタン
粉を混在させたものが示されている。
Therefore, as a material of the dielectric layer of the ion flow electrostatic recording head, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-153760 discloses a material in which titanium oxide powder is mixed in a silicone-modified polyester alkyd resin.

【0009】さらに、第2電極及び第3電極の材料とし
てはステンレス鋼の箔が用いられている。そして、第2
電極を誘電体層に固着する場合にはシリコーン系の感圧
接着剤が用いられている。また、第3電極を絶縁体層に
固着するにはソルダーマスクオーバーコートフィルム
(以後ソルダーマスクフィルムと称する)を用いて第3
電極を絶縁体層へ抑えつける方法を取っている。
Further, a stainless steel foil is used as the material for the second electrode and the third electrode. And the second
A silicone pressure sensitive adhesive is used to fix the electrode to the dielectric layer. In addition, a solder mask overcoat film (hereinafter referred to as a solder mask film) is used to fix the third electrode to the insulator layer.
The method is to hold the electrodes down to the insulator layer.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ソルダーマ
スクフィルムを用いて第3電極を絶縁体層に固着させる
場合には第3電極の各開口部を第2電極の各開口部と位
置合わせする状態に位置出しをして押さえつけてからソ
ルダーマスクフィルムを貼り付け、これを光硬化させる
ようになっている。
By the way, when the third electrode is fixed to the insulating layer by using the solder mask film, each opening of the third electrode is aligned with each opening of the second electrode. It is designed to be positioned and pressed down, then a solder mask film is attached, and this is photo-cured.

【0011】しかしながら、上記従来構成のものにあっ
てはソルダーマスクフィルムを貼り付け、これを光硬化
させるまでの間に、第3電極の各開口部と第2電極の各
開口部との間の位置ズレを防止するために、第3電極と
絶縁体層との固着部に例えば、粘着剤を併用したり、光
照射を阻害しない治具で押さる等の第3電極の仮固定手
段を設ける必要があるので、第3電極を絶縁体層に固着
させる作業が面倒なものとなる問題がある。
However, in the above-mentioned conventional structure, between the opening of the third electrode and the opening of the second electrode, the solder mask film is adhered and before it is photo-cured. In order to prevent the positional deviation, provisional fixing means for the third electrode is provided at the fixing portion between the third electrode and the insulator layer, for example, an adhesive agent is used together, or a third electrode is pressed by a jig that does not interfere with light irradiation. Since it is necessary, there is a problem that the work of fixing the third electrode to the insulating layer becomes troublesome.

【0012】また、金属材料である第3電極と高分子材
料である絶縁体層とは基本的に熱膨張係数が異なるの
で、イオンフロー静電記録ヘッドの製造作業の後工程中
や、イオンフロー静電記録ヘッドの使用中の経時的な熱
履歴での膨張・収縮の際に、第3電極および絶縁体層の
膨張・収縮動作に抗して絶縁体層上の第3電極の固着位
置を強制的に定位置で保持することが必要となる。
Further, since the third electrode, which is a metal material, and the insulator layer, which is a polymer material, have basically different thermal expansion coefficients, during the post-process of manufacturing the ion flow electrostatic recording head or during the ion flow. When the electrostatic recording head expands / contracts due to a thermal history over time, the fixing position of the third electrode on the insulating layer is resisted against the expansion / contraction operation of the third electrode and the insulating layer. It is necessary to forcibly hold it in place.

【0013】しかしながら、ソルダーマスクフィルムは
光硬化前はクリープに弱く、光硬化後は脆性が大きいた
め、第3電極および絶縁体層の膨張・収縮動作には耐え
きれない問題がある。
However, the solder mask film is vulnerable to creep before photo-curing and has a large brittleness after photo-curing, so that there is a problem that it cannot withstand the expansion / contraction operation of the third electrode and the insulating layer.

【0014】このため、更に凝集力の強いポリイミドや
ポリエステルやテフロンといった耐熱高分子樹脂系の粘
着テープで第3電極を絶縁体層上に押さえ込むことも行
われる。しかし、粘着テープの場合はテープを延ばして
から貼り付けに使用する必要があるので、テープが少々
延伸した状態で第3電極を絶縁体層に押さえ込むことに
なり、やはり経時的に第3電極のズレや撓みを生じるお
それがある。
For this reason, it is also possible to press the third electrode on the insulating layer with a heat-resistant polymer resin adhesive tape such as polyimide, polyester, or Teflon having a stronger cohesive force. However, in the case of an adhesive tape, it is necessary to stretch the tape before using it for pasting, so the third electrode is pressed into the insulator layer in a state where the tape is slightly stretched, and as a result, the third electrode does not change with time. Displacement or bending may occur.

【0015】その結果、イオンフロー静電記録ヘッドの
動作時にはイオンフロー静電記録ヘッドの各開口部から
のイオンの発生量がばらついたり、発生したイオンを帯
電させて画像形成用のトナーを吸着させるための帯電ド
ラム表面と第3電極表面とが接触してしまう等のおそれ
があり、画質が経時的に劣化し易い問題がある。
As a result, during operation of the ion flow electrostatic recording head, the amount of ions generated from each opening of the ion flow electrostatic recording head varies, or the generated ions are charged to adsorb the toner for image formation. Therefore, there is a possibility that the surface of the charging drum and the surface of the third electrode may come into contact with each other, and there is a problem that the image quality easily deteriorates with time.

【0016】本発明は上記事情に着目してなされたもの
で、その目的は、金属材料である第3電極と高分子材料
である絶縁体層との間の経時的な膨張・収縮動作に耐え
る接着強度を有し、第3電極の位置ズレや撓みを防止し
て動作時に均一なイオンを発生させることができ、耐久
性を有する加工しやすいイオンフロー静電記録ヘッドを
提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to endure a temporal expansion / contraction operation between a third electrode which is a metal material and an insulator layer which is a polymer material. It is an object of the present invention to provide an ion flow electrostatic recording head having adhesive strength, capable of preventing positional deviation and bending of the third electrode and generating uniform ions during operation, and having durability and being easy to process.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明は絶縁基板上に一
方向にかつ平行に延設された複数の第1電極と、この第
1電極と交差する方向に延設され、前記第1電極ととも
にマトリックスを形成し、このマトリックスに対応する
部位に開口部が形成された複数の第2電極と、この第2
電極に対し前記第1電極とは反対側に配置され、前記マ
トリックスに対応する部位に開口部が形成された第3電
極と、前記第1電極と第2電極との間に設けられた誘電
体層と、前記第2電極と第3電極との間に設けられ、前
記マトリックスに対応する部位に開口部が形成された絶
縁体層とを備えたイオンフロー静電記録ヘッドにおい
て、前記絶縁体層上にポジ型感光性樹脂を用いて前記第
3電極を固定する固定部を設けたものである。
According to the present invention, a plurality of first electrodes extending in one direction and in parallel on an insulating substrate and a plurality of first electrodes extending in a direction intersecting with the first electrodes are provided. And a plurality of second electrodes each having an opening formed in a portion corresponding to the matrix and the second electrode.
A dielectric provided between the first electrode and the second electrode, which is disposed on the side opposite to the first electrode with respect to the electrode and has a third electrode having an opening formed in a portion corresponding to the matrix. An ion flow electrostatic recording head comprising a layer and an insulator layer provided between the second electrode and the third electrode and having an opening formed in a region corresponding to the matrix, wherein the insulator layer is provided. A fixing portion for fixing the third electrode is provided on the positive electrode by using a positive photosensitive resin.

【0018】[0018]

【作用】絶縁体層と第3電極との接着作業時には液状叉
はシート状のポジ型感光性樹脂を絶縁体層上または第3
電極表面に塗布または設置し、絶縁体層と第3電極の接
着部同士を熱圧着等により貼り合わせ、第3電極側より
紫外線等活性エネルギー線を照射する。その後、紫外線
が照射された第3電極の開口部内の部分のみをアルカリ
性現像液で溶解・除去した状態で、加熱することによ
り、紫外線の照射されなかった絶縁体層と第3電極との
間のポジ型感光性樹脂を硬化させ、強固な接着力を発現
させるようにしたものである。
When the insulating layer and the third electrode are bonded together, a liquid or sheet-shaped positive photosensitive resin is applied on the insulating layer or the third electrode.
It is applied or placed on the surface of the electrode, the insulating layer and the third electrode are bonded together by thermocompression bonding, and active energy rays such as ultraviolet rays are irradiated from the third electrode side. Then, by heating only the portion of the opening of the third electrode which has been irradiated with ultraviolet rays, which is dissolved and removed with an alkaline developing solution, heating between the insulating layer and the third electrode which has not been irradiated with ultraviolet rays is performed. The positive photosensitive resin is cured so as to develop a strong adhesive force.

【0019】[0019]

【実施例】以下、本発明の第1の実施例について図面を
参照して説明する。図1(A),(B)は静電記録装置
のイオンフロー静電記録ヘッド3の概略構成を示すもの
で、5はイオンフロー静電記録ヘッド3の絶縁基板であ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1A and 1B show a schematic structure of an ion flow electrostatic recording head 3 of an electrostatic recording apparatus, and 5 is an insulating substrate of the ion flow electrostatic recording head 3.

【0020】この絶縁基板5上にはイオン発生用の誘導
電極である複数の第1電極6…が設けられている。これ
らの複数の第1電極6…は一方向に向けて略平行に並設
されている。
On the insulating substrate 5 are provided a plurality of first electrodes 6 ... Which are induction electrodes for ion generation. The plurality of first electrodes 6 ... Are arranged substantially parallel to each other in one direction.

【0021】また、絶縁基板5上には第1電極6…の並
設面側にこれらの第1電極6…を埋設する状態で誘電体
層7が設けられている。この誘電体層7の表面には接着
剤8を介して放電電極である複数の第2電極9…が固着
されている。
A dielectric layer 7 is provided on the insulating substrate 5 on the side where the first electrodes 6 are arranged side by side in a state of embedding these first electrodes 6. A plurality of second electrodes 9, which are discharge electrodes, are fixed to the surface of the dielectric layer 7 with an adhesive 8.

【0022】さらに、複数の第2電極9…は誘電体層7
における絶縁基板5とは反対側の面に配置され、第1電
極6…と交差する方向に並設されており、第1電極6…
と第2電極9…とによってマトリックスが構成されてい
る。そして、第2電極9…にはこのマトリックスと対応
する部位にそれぞれイオン発生用の開口部9a…が形成
されている。
Further, the plurality of second electrodes 9 ...
Are arranged on the surface opposite to the insulating substrate 5 and are arranged in parallel in a direction intersecting with the first electrodes 6 ...
And the second electrode 9 ... Form a matrix. Then, the second electrodes 9 ... Are respectively formed with the openings 9a.

【0023】また、誘電体層7の第2電極9…の並設面
側には第2電極9…を埋設する状態で絶縁体層10が設
けられている。この絶縁体層10には第2電極9…の各
開口部9a…と対応する部位に開口部10a…が形成さ
れている。
An insulating layer 10 is provided on the side of the dielectric layer 7 where the second electrodes 9 are arranged side by side, with the second electrodes 9 embedded. Openings 10a are formed in the insulating layer 10 at positions corresponding to the openings 9a of the second electrodes 9.

【0024】さらに、絶縁体層10の表面には帯状の第
3電極11がポジ型フォトレジスト13を介して接着さ
れている。この第3電極11には第1電極6…と第2電
極9…とのマトリックスと対応する部位に開口部11a
…が形成されている。この第3電極11の開口部11a
…は絶縁体層10の開口部10a…および第2電極9…
の開口部9a…と連通されてイオンフロー静電記録ヘッ
ド3のイオン流通過口12…が形成されている。
Further, a strip-shaped third electrode 11 is adhered to the surface of the insulating layer 10 via a positive photoresist 13. The third electrode 11 has an opening 11a at a portion corresponding to the matrix of the first electrode 6 ... And the second electrode 9 ...
... is formed. The opening 11a of the third electrode 11
Is the opening 10a of the insulator layer 10 and the second electrode 9 ...
Of the ion flow electrostatic recording head 3 are formed so as to communicate with the openings 9a.

【0025】そして、イオンフロー静電記録ヘッド3の
動作時には印字信号にもとづいて第1電極6…と第2電
極9…との間のマトリックスが適宜選択され、選択され
たマトリックス部分に対応する第1電極6…と第2電極
9…との間に交流電圧が印加される。
During operation of the ion flow electrostatic recording head 3, the matrix between the first electrodes 6 ... And the second electrodes 9 ... Is appropriately selected based on the print signal, and the matrix corresponding to the selected matrix portion is selected. An alternating voltage is applied between the first electrode 6 ... And the second electrode 9 ...

【0026】これにより、選択されたマトリックス部分
に対応する第2電極9…の開口部9a…内の近傍部位に
正・負イオンが発生する。このとき、第2電極9…と第
3電極11との間にはバイアス電圧が印加され、その極
性によって決まるイオンのみが第2電極9…の開口部9
a…内の近傍部位に発生したイオンから抽出される。
As a result, positive / negative ions are generated in the vicinity of the openings 9a ... Of the second electrodes 9 ... Corresponding to the selected matrix portion. At this time, a bias voltage is applied between the second electrode 9 ... And the third electrode 11, and only the ions determined by the polarity thereof are in the opening 9 of the second electrode 9.
It is extracted from the ions generated in the vicinity of a ...

【0027】そして、抽出されたイオンは絶縁体層10
の開口部10aおよび第3電極11の開口部11a…を
通過し、図示しない誘電体ドラムを局部的に帯電させ
る。したがって、第1電極6…および第2電極9…の選
択的駆動により、誘電体ドラム上にドット潜像を形成す
ることができる。
Then, the extracted ions are used as the insulator layer 10.
Through the opening 10a and the opening 11a of the third electrode 11 to locally charge the dielectric drum (not shown). Therefore, a dot latent image can be formed on the dielectric drum by selectively driving the first electrode 6 ... And the second electrode 9 ...

【0028】次に、図1(A),(B)のイオンフロー
静電記録ヘッド3の製造方法について詳細に説明する。
まず、絶縁基板5上に第1電極6…が形成される。この
場合、絶縁基板5は例えば厚さ100μmのガラス−エ
ポキシFPC板(フレキシブルプリント基板)である。
そして、この絶縁基板5上に厚さ18μmの銅箔が貼着
されたのち、エッチング加工でパターニングし、第1電
極6…が形成される。
Next, a method of manufacturing the ion flow electrostatic recording head 3 shown in FIGS. 1A and 1B will be described in detail.
First, the first electrodes 6 ... Are formed on the insulating substrate 5. In this case, the insulating substrate 5 is, for example, a glass-epoxy FPC board (flexible printed board) having a thickness of 100 μm.
Then, a copper foil having a thickness of 18 μm is adhered on the insulating substrate 5, and then patterned by etching to form the first electrodes 6 ...

【0029】また、絶縁基板5上に第1電極6…を形成
した後、図2(A)に示すように絶縁基板5上の第1電
極6のパターン間および第1電極6…上に誘電体層7が
形成される。この誘電体層7の形成作業時には予め酸化
チタンをフィラーとし、シリコーン変性アルキド樹脂を
バインダーとした誘電体ペーストが作成される。
Further, after forming the first electrodes 6 on the insulating substrate 5, as shown in FIG. 2A, a dielectric is formed between the patterns of the first electrodes 6 on the insulating substrate 5 and on the first electrodes 6. The body layer 7 is formed. During the work of forming the dielectric layer 7, a dielectric paste is prepared in advance using titanium oxide as a filler and silicone-modified alkyd resin as a binder.

【0030】この誘電体ペーストは絶縁基板5上の第1
電極6のパターン間および第1電極6…上に例えばスク
リーン印刷等の手段によって塗布される。さらに、絶縁
基板5上に塗布された誘電体ペーストは乾燥された後、
硬化され、第1電極6…上に厚さ33μmの誘電体層7
が形成される。
This dielectric paste is the first paste on the insulating substrate 5.
It is applied between the patterns of the electrodes 6 and on the first electrodes 6 by means such as screen printing. Further, after the dielectric paste applied on the insulating substrate 5 is dried,
The hardened dielectric layer 7 having a thickness of 33 μm on the first electrodes 6 ...
Is formed.

【0031】次に、誘電体層7の表面上に接着剤8を介
して第2電極9…の電極板が固着される。この第2電極
9…は予め厚さ30μmのステンレス箔にエッチング等
で複数の第2電極9…および各第2電極9の開口部9a
…からなる電極パターンがそれぞれパターニングされた
電極板によって形成されている。
Next, the electrode plates of the second electrodes 9 ... Are fixed on the surface of the dielectric layer 7 via the adhesive 8. The second electrodes 9 are formed on a stainless steel foil having a thickness of 30 μm in advance by etching or the like, and the plurality of second electrodes 9 and the openings 9a of the second electrodes 9 are formed.
The electrode pattern consisting of ... Is formed by patterned electrode plates.

【0032】そして、この第2電極9…の電極板は図2
(B)に示すように第2電極9…の各開口部9a…を複
数の第1電極6…に位置合わせした状態で、誘電体層7
上に接着剤8を介して接合される。
The electrode plate of the second electrodes 9 ...
As shown in (B), the dielectric layers 7 are formed in a state where the openings 9a of the second electrodes 9 are aligned with the plurality of first electrodes 6.
It is joined via an adhesive 8 on top.

【0033】ここで、接着剤8はシリコーン系接着剤を
トルエンで4倍に希釈したものが使用される。そして、
この接着剤8は誘電体層7および絶縁基板5上に、スプ
レーまたはディッピングで塗布される。さらに、接着剤
8の塗布後、70℃で、5分加熱し、溶剤分を揮発・乾
燥させた後、接着される。
Here, as the adhesive 8, a silicone-based adhesive diluted four times with toluene is used. And
The adhesive 8 is applied on the dielectric layer 7 and the insulating substrate 5 by spraying or dipping. Furthermore, after applying the adhesive 8, it is heated at 70 ° C. for 5 minutes to volatilize and dry the solvent, and then adhere.

【0034】次に、誘電体層7および絶縁基板5上と第
2電極9との間に挟まれた接着剤8を、130℃の熱板
上にて10分間、8kg/cm2 の荷重下で加熱硬化さ
せる。ここで、絶縁基板5、第2電極9およびその開口
部9a…内の接着剤8上をシランカップリング剤で処理
しておく。
Next, the adhesive 8 sandwiched between the dielectric layer 7 and the insulating substrate 5 and the second electrode 9 is placed on a hot plate at 130 ° C. for 10 minutes for 8 kg / cm 2 It is heated and cured under the load. Here, the insulating substrate 5, the second electrode 9 and the adhesive 8 in the openings 9a ... Are treated with a silane coupling agent.

【0035】さらに、上記絶縁基板5、第2電極9…お
よびその開口部9a…内の誘電体層7上に感光性絶縁フ
ィルム(ソルダーレジスト)が真空ラミネートされ、絶
縁体層10が形成される。その後、この絶縁フィルムに
通常の感光性フィルムと同様に、露光・現像等のフォト
エッチング処理が施されて複数の第2電極9…の開口部
9a…に対応したイオン流通過用の開口部10a…が形
成される。
Further, a photosensitive insulating film (solder resist) is vacuum-laminated on the dielectric substrate 7 in the insulating substrate 5, the second electrodes 9 ... And the openings 9a ... And the insulating layer 10 is formed. . Thereafter, this insulating film is subjected to photoetching treatment such as exposure and development in the same manner as a normal photosensitive film, and the openings 10a for passing an ion flow corresponding to the openings 9a of the plurality of second electrodes 9 ... ... is formed.

【0036】次に、このように形成された絶縁体層10
の上に例えば厚さ30μm程度のステンレス箔に第2電
極9…の開口部9a…と対応した開口部11a…が形成
された第3電極11が接着される。
Next, the insulator layer 10 thus formed
The third electrode 11 having the openings 11a ... Corresponding to the openings 9a ... of the second electrodes 9 ...

【0037】この第3電極11の接着作業時には第3電
極11の表面に、ディッピングによりポジ型フォトレジ
スト(ポジ型感光性樹脂)13が塗布される。このポジ
型フォトレジスト13としてはノボラック樹脂に硬化剤
とジアゾナフトキノンのスルホン酸エステルを感光剤と
して添加した系をトルエンで3倍に希釈したものが用い
られる。
At the time of adhering the third electrode 11, a positive type photoresist (positive type photosensitive resin) 13 is applied to the surface of the third electrode 11 by dipping. As the positive type photoresist 13, a system in which a curing agent and a sulfonic acid ester of diazonaphthoquinone are added as a photosensitizer to a novolac resin and diluted three times with toluene is used.

【0038】そして、トルエンが揮発したら、絶縁体層
10の開口部10aと第3電極11の開口部11aとが
位置決めされた状態で第3電極11が絶縁体層10上に
重ね合わされ、位置ズレがないように1kg/cm2
垂直に加圧後、365nmの紫外線等の活性エネルギー
線が照射される。
Then, when the toluene is volatilized, the third electrode 11 is superposed on the insulating layer 10 with the opening 10a of the insulating layer 10 and the opening 11a of the third electrode 11 positioned, and the positional deviation occurs. 1kg / cm 2 so that there is no After being vertically pressurized with, the active energy ray such as ultraviolet ray of 365 nm is irradiated.

【0039】このとき、第3電極11の表面には多数の
開口部11aがあるので、この開口部11aを通して紫
外線が開口部11a内のポジ型フォトレジスト13の表
面に照射される。
At this time, since the surface of the third electrode 11 has a large number of openings 11a, the surface of the positive photoresist 13 in the openings 11a is irradiated with ultraviolet rays through the openings 11a.

【0040】ここで、紫外線を照射されたポジ型フォト
レジスト13はアルカリ溶液等の特定溶液に溶解し易く
なるので洗浄・除去できるが、紫外線が照射されないポ
ジ型フォトレジスト13はアルカリ溶液等の特定溶液に
対して溶解性がないので、接着層として残る。
Here, the positive photoresist 13 irradiated with ultraviolet rays can be washed and removed because it is easily dissolved in a specific solution such as an alkaline solution, but the positive photoresist 13 not irradiated with ultraviolet rays can be specified with an alkaline solution or the like. Since it is not soluble in solution, it remains as an adhesive layer.

【0041】そして、紫外線露光後、炭酸ナトリウム1
wt%水溶液のスプレーにて、第3電極11の開口部1
1a内のポジ型フォトレジスト13が溶解・除去され
る。なお、絶縁体層10と第3電極11との間は面同士
の接着のため、加圧を解除しても容易には位置ズレしに
くい状態になっている。
Then, after exposure to ultraviolet rays, sodium carbonate 1
The opening 1 of the third electrode 11 is formed by spraying a wt% aqueous solution.
The positive photoresist 13 in 1a is dissolved and removed. Since the surfaces of the insulator layer 10 and the third electrode 11 are bonded to each other, the position is not easily displaced even if the pressure is released.

【0042】その後、絶縁体層10と第3電極11との
間のポジ型フォトレジスト13が80℃、2時間で加熱
硬化され、絶縁体層10上にポジ型フォトレジスト13
を用いて第3電極11を固定する固定部が形成されて接
着が完了することにより、イオンフロ−静電記録ヘッド
3が製造される。
After that, the positive photoresist 13 between the insulator layer 10 and the third electrode 11 is heated and cured at 80 ° C. for 2 hours, and the positive photoresist 13 is formed on the insulator layer 10.
The ion flow electrostatic recording head 3 is manufactured by forming a fixing portion for fixing the third electrode 11 by using and and completing the adhesion.

【0043】そこで、上記構成のものにあっては第3電
極11をポジ型フォトレジスト13を用いて絶縁体層1
0に接着させた固定部を設けたので、第3電極11と絶
縁体層10との間の接着作業時にはポジ型フォトレジス
ト13を絶縁体層10上または第3電極11の表面に塗
布し、絶縁体層10と第3電極11との間の接着部同士
を熱圧着等により貼り合わせた後、第3電極11側より
紫外線等の活性エネルギー線を照射し、紫外線露光後、
炭酸ナトリウム1wt%水溶液のスプレーを塗布するこ
とにより、第3電極11の開口部11a内のポジ型フォ
トレジスト13のみを選択的に洗浄・除去することがで
きる。
Therefore, in the above structure, the third electrode 11 is formed on the insulating layer 1 by using the positive type photoresist 13.
Since the fixing portion adhered to 0 is provided, the positive type photoresist 13 is applied on the insulating layer 10 or the surface of the third electrode 11 during the bonding work between the third electrode 11 and the insulating layer 10. After bonding the adhesive parts between the insulator layer 10 and the third electrode 11 by thermocompression bonding or the like, active energy rays such as ultraviolet rays are irradiated from the third electrode 11 side, and after exposure to ultraviolet rays,
By applying a spray of a 1 wt% aqueous solution of sodium carbonate, only the positive photoresist 13 in the opening 11a of the third electrode 11 can be selectively washed and removed.

【0044】さらに、内紫外線が照射されないポジ型フ
ォトレジスト13(第3電極11の開口部11a以外の
部分)を後工程で硬化させることにより、誘電体層7の
表面と第3電極11の表面との間を面同士の接着で強固
に固着することができ、絶縁体層10と第3電極11と
の間のポジ型フォトレジスト13の塗布層に、金属材料
である第3電極11と高分子材料である絶縁体層10と
の間の経時的な膨張・収縮動作に耐える程度に高い接着
強度を発現させることができる。
Further, the positive photoresist 13 (the portion other than the opening 11a of the third electrode 11) which is not irradiated with the internal ultraviolet rays is cured in a later step, so that the surface of the dielectric layer 7 and the surface of the third electrode 11 are cured. Between the insulating layer 10 and the third electrode 11 can be firmly adhered to each other by adhesion of the surfaces, and the third electrode 11 made of a metal material and a high layer can be formed in the coating layer of the positive photoresist 13 between the insulating layer 10 and the third electrode 11. It is possible to develop a high adhesive strength with the insulator layer 10 which is a molecular material, to the extent that it can withstand expansion / contraction operations with time.

【0045】そのため、後加工や、イオンフロー静電記
録ヘッド3の使用時での熱的、機械的な各材料への膨張
・収縮動作に抗して絶縁体層10と第3電極11との間
の位置ずれや撓みを防止することができるので、イオン
フロー静電記録ヘッド3の動作時に各イオン流通過口1
2…からの放電イオン量を均一化し、高画質化を図るこ
とができ、耐久性を高め、加工性を向上させることがで
きる。
Therefore, the insulating layer 10 and the third electrode 11 are resistant to post-processing and thermal and mechanical expansion and contraction of each material when the ion flow electrostatic recording head 3 is used. Since it is possible to prevent positional displacement and bending between the ion flow electrostatic recording head 3 and the ion flow passage opening 1 when the ion flow electrostatic recording head 3 operates.
The amount of discharge ions from 2 ... Can be made uniform, high image quality can be achieved, durability can be improved, and workability can be improved.

【0046】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではない。例えば、本発明の第2の実施例のように厚
さ30μmのステンレス箔を所定のパターンにエッチン
グ加工した第3電極11の表面に、高感度ポジ型フォト
レジスト、例えば東京応化工業製の「OFPR−500
0」(商品名)をスプレー塗布して、絶縁体層10と貼
り合わせることにより、絶縁体層10上にポジ型フォト
レジスト13を用いて第3電極11を固定する固定部を
形成する構成にしてもよい。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, as in the second embodiment of the present invention, a high-sensitivity positive photoresist, for example, "OFPR manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd." is formed on the surface of the third electrode 11 obtained by etching a stainless foil having a thickness of 30 μm into a predetermined pattern. -500
"0" (trade name) is spray-coated and bonded to the insulator layer 10 to form a fixing portion for fixing the third electrode 11 on the insulator layer 10 using the positive photoresist 13. May be.

【0047】この場合、第3電極11の表面における高
感度ポジ型フォトレジスト13のスプレー塗布面を絶縁
体層10と貼り合わせた後、1kg/cm2 の加圧下
で、110℃、90秒間プリベークを行い、高感度ポジ
型フォトレジスト13の接着層を薄くし、且つレジスト
樹脂の凝集力を高める。
In this case, the spray-coated surface of the high-sensitivity positive photoresist 13 on the surface of the third electrode 11 was bonded to the insulating layer 10 and then 1 kg / cm 2 Pre-baking is performed at 110 ° C. for 90 seconds under pressure to thin the adhesive layer of the high-sensitivity positive photoresist 13 and enhance the cohesive force of the resist resin.

【0048】さらに、この後、405nmの波長で露光
し、現像液、例えば東京応化工業製の「NMD−W」
(商品名)のスプレーで、第3電極11の開口部11a
内のフォトレジスト13を溶解・除去する。
Further, after this, exposure is performed at a wavelength of 405 nm, and a developing solution such as "NMD-W" manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. is used.
(Product name) spray, opening 11a of the third electrode 11
The photoresist 13 therein is dissolved and removed.

【0049】続いて、純水でリンス後、第3電極11を
145℃のホットプレート上に5分間押しつけて、絶縁
体層10と第3電極11との間に接着層として残ってい
るポジ型フォトレジスト13を硬化させる。その他は、
第1実施例と同様の方法でイオンフロ−静電記録ヘッド
3を製造する。
Then, after rinsing with pure water, the third electrode 11 is pressed against a hot plate at 145 ° C. for 5 minutes to leave a positive type which remains as an adhesive layer between the insulator layer 10 and the third electrode 11. The photoresist 13 is hardened. Others
The ion flow electrostatic recording head 3 is manufactured by the same method as in the first embodiment.

【0050】そこで、上記構成のものにあっては高感度
ポジ型フォトレジスト13を用いて絶縁体層10と第3
電極11とを接着したので、第1の実施例と同様に経時
的な膨張・収縮動作に耐える絶縁体層10と第3電極1
1との間の接着強度を有し、第3電極11の位置ズレや
撓みを起こさず、イオンフロー静電記録ヘッド3の動作
時に各イオン流通過口12…からの放電イオン量を均一
化し、高画質化を図ることができ、耐久性を高め、加工
性を向上させることができる。
Therefore, in the structure described above, the high sensitivity positive photoresist 13 is used to form the insulating layer 10 and the third layer.
Since the electrode 11 is adhered, the insulator layer 10 and the third electrode 1 that endure the expansion / contraction operation with time as in the first embodiment.
1 has an adhesive strength between the first electrode 11 and the third electrode 11, does not cause displacement or bending of the third electrode 11, and uniformizes the amount of discharge ions from each ion flow passage port 12 when the ion flow electrostatic recording head 3 operates. Higher image quality can be achieved, durability can be improved, and workability can be improved.

【0051】また、第3の実施例のように厚さ30μm
のステンレス箔を所定のパターンにエッチング加工した
第3電極11の表面に、ポリイミド系ポジ型フォトレジ
スト、例えば日産化学工業製の「RN−901」(商品
名)をスプレー塗布し、絶縁体層10と貼り合わせるこ
とにより、絶縁体層10上にポジ型フォトレジスト13
を用いて第3電極11を固定する固定部を形成する構成
にしてもよい。
Further, as in the third embodiment, the thickness is 30 μm.
The surface of the third electrode 11 obtained by etching the above stainless steel foil into a predetermined pattern is spray-coated with a polyimide-based positive photoresist such as "RN-901" (trade name) manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. And the positive type photoresist 13 on the insulator layer 10
It may be configured to form a fixing portion that fixes the third electrode 11 using.

【0052】この場合、第3電極11の表面におけるポ
リイミド系ポジ型フォトレジスト13のスプレー塗布面
を絶縁体層10と貼り合わせた後、1kg/cm2 の加
圧下で80℃、90分間プリベークを行い、溶剤を揮発
させつつポリイミド系ポジ型フォトレジスト13の接着
層を薄くし、且つレジスト樹脂の凝集力を高める。
In this case, the spray-coated surface of the polyimide type positive photoresist 13 on the surface of the third electrode 11 was bonded to the insulator layer 10 and then 1 kg / cm 2 Pre-baking is performed at 80 ° C. for 90 minutes under pressure to reduce the adhesive layer of the polyimide-based positive photoresist 13 while volatilizing the solvent, and increase the cohesive force of the resist resin.

【0053】さらに、この後、第3電極11の鉛直方向
より紫外線を照射し、現像液、例えば東京応化工業製の
「NMD−3」(商品名)のスプレーで、第3電極11
の開口部11a内のフォトレジスト13を溶解・除去す
る。
After that, the third electrode 11 is irradiated with ultraviolet rays from the vertical direction and sprayed with a developing solution, for example, "NMD-3" (trade name) manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
The photoresist 13 in the opening 11a is dissolved and removed.

【0054】続いて、純水でリンス後、170℃で1時
間加熱し、更に350℃のホットプレート上に30分間
押しつけて、絶縁体層10と第3電極11との間に接着
層として残っているポジ型フォトレジスト13を硬化さ
せる。その他は、第1実施例と同様の方法でイオンフロ
−静電記録ヘッド3を製造する。そこで、上記構成のも
のにあってもポリイミド系ポジ型フォトレジスト13を
用いて絶縁体層10と第3電極11とを接着したので、
第1実施例と同様に、
Subsequently, after rinsing with pure water, heating at 170 ° C. for 1 hour and further pressing on a hot plate at 350 ° C. for 30 minutes left as an adhesive layer between the insulator layer 10 and the third electrode 11. The positive type photoresist 13 that is present is cured. Otherwise, the ion flow electrostatic recording head 3 is manufactured by the same method as in the first embodiment. Therefore, even in the case of the above structure, since the insulating layer 10 and the third electrode 11 are adhered using the polyimide-based positive photoresist 13,
Similar to the first embodiment,

【0055】経時的な膨張・収縮動作に耐える絶縁体層
10と第3電極11との間の接着強度を有し、第3電極
11の位置ズレや撓みを起こさず、イオンフロー静電記
録ヘッド3の動作時に各イオン流通過口12…からの放
電イオン量を均一化し、高画質化を図ることができ、耐
久性を高め、加工性を向上させることができる。
The ion flow electrostatic recording head has an adhesive strength between the insulating layer 10 and the third electrode 11 that can withstand expansion and contraction with time, does not cause displacement and bending of the third electrode 11. During the operation of 3, the amount of discharge ions from each ion flow passage port 12 can be made uniform, high image quality can be achieved, durability can be improved, and workability can be improved.

【0056】また、例えば、絶縁体層10と第3電極1
1との接着にシート状のポジ型感光性樹脂を使用しても
よい。さらに、ポジ型感光性樹脂としてはジアゾナフト
キノン系、イミド系、アクリル系、ケトン系、オレフィ
ンスルフォン系、ポリアセチレン系等を用いてもよい。
さらに、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変
形実施できることは勿論である。
In addition, for example, the insulator layer 10 and the third electrode 1
A sheet-shaped positive type photosensitive resin may be used for adhesion with 1. Further, as the positive photosensitive resin, diazonaphthoquinone series, imide series, acrylic series, ketone series, olefin sulfone series, polyacetylene series, etc. may be used.
Furthermore, it goes without saying that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

【0057】[0057]

【発明の効果】本発明によれば絶縁体層上にポジ型感光
性樹脂を用いて第3電極を固定する固定部を設けたの
で、金属材料である第3電極と高分子材料である絶縁体
層との間の経時的な膨張・収縮動作に耐える接着強度を
得ることができ、第3電極の位置ズレや撓みを防止して
動作時に均一なイオンを発生させることができるととも
に、耐久性が高く、加工性の向上を図ることができる。
According to the present invention, since the fixing portion for fixing the third electrode is provided on the insulating layer by using the positive type photosensitive resin, the third electrode which is a metal material and the insulating material which is a polymer material are insulated. Adhesive strength withstanding expansion / contraction with the body layer can be obtained, position deviation and bending of the third electrode can be prevented, and uniform ions can be generated during operation, as well as durability. And the workability can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の一実施例を示すもので、(A)はイ
オンフロ−静電記録ヘッドの概略構成を示す要部の縦断
面図、(B)はイオンフロ−静電記録ヘッドの断面斜視
図。
1A and 1B show one embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a longitudinal sectional view of a main part showing a schematic configuration of an ion flow electrostatic recording head, and FIG. 1B is a sectional perspective view of the ion flow electrostatic recording head. Fig.

【図2】 イオンフロ−静電記録ヘッドの製造工程を示
すもので、(A)は第1電極および絶縁基板上に誘電体
層を積層させた状態を示す要部の縦断面図、(B)は第
2電極を誘電体層に接着させた状態を示す要部の縦断面
図、(C)は第2電極上に絶縁体層と第3電極とを積層
させた状態を示す要部の縦断面図。
2A and 2B show a manufacturing process of an ion flow electrostatic recording head, in which FIG. 2A is a longitudinal sectional view of a main part showing a state where a dielectric layer is laminated on a first electrode and an insulating substrate; FIG. Is a vertical cross-sectional view of an essential part showing a state in which a second electrode is adhered to a dielectric layer, and (C) is a vertical cross-sectional view of an essential part showing a state in which an insulator layer and a third electrode are laminated on the second electrode. Face view.

【符号の説明】 6…第1電極,7…誘電体層,9…第2電極,9a,1
0a,11a…開口部,10…絶縁体層,11…第3電
極,13…ポジ型フォトレジスト(ポジ型感光性樹
脂)。
[Description of Reference Signs] 6 ... First electrode, 7 ... Dielectric layer, 9 ... Second electrode, 9a, 1
0a, 11a ... Opening portion, 10 ... Insulator layer, 11 ... Third electrode, 13 ... Positive photoresist (positive photosensitive resin).

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 絶縁基板上に一方向にかつ平行に延設さ
れた複数の第1電極と、この第1電極と交差する方向に
延設され、前記第1電極とともにマトリックスを形成
し、このマトリックスに対応する部位に開口部が形成さ
れた複数の第2電極と、この第2電極に対し前記第1電
極とは反対側に配置され、前記マトリックスに対応する
部位に開口部が形成された第3電極と、前記第1電極と
第2電極との間に設けられた誘電体層と、前記第2電極
と第3電極との間に設けられ、前記マトリックスに対応
する部位に開口部が形成された絶縁体層とを備えたイオ
ンフロー静電記録ヘッドにおいて、前記絶縁体層上にポ
ジ型感光性樹脂を用いて前記第3電極を固定する固定部
を設けたことを特徴とするイオンフロー静電記録ヘッ
ド。
1. A plurality of first electrodes extending in one direction and in parallel on an insulating substrate, and a plurality of first electrodes extending in a direction intersecting with the first electrodes to form a matrix together with the first electrodes. A plurality of second electrodes each having an opening formed in a portion corresponding to the matrix, and the second electrode being disposed on the side opposite to the first electrode, and having an opening formed in the portion corresponding to the matrix. A third electrode, a dielectric layer provided between the first electrode and the second electrode, and an opening portion provided between the second electrode and the third electrode and corresponding to the matrix. An ion flow electrostatic recording head including a formed insulator layer, wherein a fixing portion for fixing the third electrode using a positive photosensitive resin is provided on the insulator layer. Flow electrostatic recording head.
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