JPH0610643B2 - Measuring method of lens axis tilt, etc. - Google Patents

Measuring method of lens axis tilt, etc.

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JPH0610643B2
JPH0610643B2 JP59231106A JP23110684A JPH0610643B2 JP H0610643 B2 JPH0610643 B2 JP H0610643B2 JP 59231106 A JP59231106 A JP 59231106A JP 23110684 A JP23110684 A JP 23110684A JP H0610643 B2 JPH0610643 B2 JP H0610643B2
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lens
light
axis
optical
reference surface
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オアー マツシユミヤー リチヤード
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【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、レンズの軸の傾き等を測定する方法、さらに
詳しくは、光学系の光軸に対する非球面成形レンズの表
面の対称軸の傾き、偏心等を光学的に測定する方法に関
するものである。
The present invention relates to a method for measuring the inclination of the axis of a lens, and more specifically, the inclination of the symmetry axis of the surface of an aspherical molded lens with respect to the optical axis of an optical system. , Eccentricity, etc. are optically measured.

(発明の背景) 今日、光学系に用いられているレンズの大多数は、球面
である光学面を有している。このようなレンズの球面の
点対称性は、これらの面が形成された後、単純な機械的
な方法(例えば、エッジング技術)によってこれらの面
の光軸の位置決めを可能にする。このようなレンズの球
面の対称性は、このような面と光学系のアライメントを
比較的単純にする。これは、起こり得る球面の唯一のミ
スアライメントが、偏心を理由としているため比較的容
易に補正できるからである。
BACKGROUND OF THE INVENTION The majority of lenses used in optical systems today have optical surfaces that are spherical. The point symmetry of the spherical surface of such a lens allows the positioning of the optical axes of these surfaces after they have been formed by simple mechanical methods (eg edging techniques). The symmetry of the spherical surface of such a lens makes the alignment of such a surface and the optical system relatively simple. This is because the only possible misalignment of the spherical surface is because it is due to eccentricity and can be corrected relatively easily.

非球面を有する光学レンズは、球面レンズに比して光学
的に大きな利点を有している。例えば、非球面レンズ
は、光学系中で球面収差やコマ収発生させないように設
計できる。しかしながら、この非球面レンズは、未だ広
く使用されているというわけではない。1つの理由は、
正確に位置決めできかつアライメント(角度決め)する
非球面をもったレンズの製造が困難だということであ
る。これについては、非球面レンズの製造、テストある
いは最終の使用段階で、非球面の対称軸の位置決めおよ
びアライメントを正確に行なうことが難しかったという
理由がある。
An optical lens having an aspherical surface has a great optical advantage as compared with a spherical lens. For example, an aspherical lens can be designed so that spherical aberration and coma are not generated in the optical system. However, this aspherical lens is not yet widely used. One reason is
This means that it is difficult to manufacture a lens that has an aspherical surface that can be accurately positioned and is aligned (angled). This is because it was difficult to accurately position and align the axis of symmetry of the aspherical surface during manufacturing, testing, or final use of the aspherical lens.

従って、非球面の位置決めとアライメントを正しく行な
う唯一の方法には、非球面の正確な形状の測定が含まれ
る(例えば機械的な針を用いたり、干渉計を用いたりし
て)。このような測定は、実行するには本質的な複雑さ
がありかつ時間がかかる。またこのような測定は、ある
光学系においてはしばしば実施することが不可能になる
(スペースの制限の故に)。従ってレンズの非球面の位
置決めとアライメントを正確に行なうために他の方法が
考えられている。
Therefore, the only way to correctly position and align the aspheric surface involves measuring the exact shape of the aspheric surface (eg, with a mechanical needle or with an interferometer). Such measurements are inherently complex and time consuming to perform. Also, such measurements are often impossible to implement in some optics (due to space limitations). Therefore, other methods have been considered to accurately position and align the aspheric surface of the lens.

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、使
用しようとする光学装置において非球面レンズを正確に
位置決めし、かつアライメントする、光学系の光軸に対
する非球面の対称軸の傾きと偏心および非球面レンズの
くさび角を光学的に測定する方法を提供することを目的
とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and accurately positions and aligns the aspherical lens in the optical device to be used, and the inclination of the symmetry axis of the aspherical surface with respect to the optical axis of the optical system. It is an object to provide a method for optically measuring the eccentricity and the wedge angle of an aspherical lens.

(問題を解決しようとする手段) 本発明による光学系の光軸に対する非球面成形レンズの
表面の対称軸の傾きを光学的に測定する方法は、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズを成形する工程、 (b)前記光学系の光軸に向いている光を該レンズの前記
光学面に向ける工程、を行ない、その後、 (c)(1)前記基準面から反射された光と、該基準面と前記
光の光源の間において前記光学系の光軸に直角に配置さ
れた参照面で反射された光とによって生じぜしめられた
干渉パターン、あるいは (2)前記光が基準面で反射されたときの反射角度、ある
いは (3)前記光が前記基準面を透過するときに屈折されたと
きの屈折角度、のいずれかを観察する工程、 からなることを特徴とするものである。
(Means for Solving the Problem) The method of optically measuring the inclination of the symmetry axis of the surface of the aspherical molded lens with respect to the optical axis of the optical system according to the present invention is as follows: The step of molding a lens having a reference surface having a predetermined position and angle with respect to the step (b) directing the light directed to the optical axis of the optical system to the optical surface of the lens, and then performing (c) (1) caused by light reflected from the reference surface and light reflected by a reference surface arranged at a right angle to the optical axis of the optical system between the reference surface and the light source of the light. Interference pattern, or (2) a reflection angle when the light is reflected by the reference surface, or (3) a refraction angle when the light is refracted when passing through the reference surface And a step of observing.

また本発明による光学系の光軸に対する非球面成形レン
ズの表面の対称軸の偏心を光学的に測定する方法は、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズをその最終の大き
さと形状に成形する工程、 (b)前記光学系の光軸に収れんする光を該レンズの前記
光学面に向ける工程、を行ない、その後、 (c)(1)前記基準面で反射された光と、該基準面と前記光
の光源の間においてその回転軸が前記光学系の光軸上に
位置する参照面で反射された光とによって生ぜしめられ
た干渉パターン、あるいは (2)前記光が前記基準面で反射されたときの反射角度、
あるいは (3)前記光が前記基準面を透過するときに屈折されたと
きの屈折角度、を観察する工程、 からなることを特徴とするものである。
Further, the method of optically measuring the eccentricity of the symmetry axis of the surface of the aspherical molded lens with respect to the optical axis of the optical system according to the present invention includes (a) a predetermined position and an angle with respect to the symmetry axis or the symmetry point of the optical surface. Performing a step of molding a lens having a reference surface having the final size and shape thereof, (b) directing light converging on the optical axis of the optical system to the optical surface of the lens, and then (c) (1) The light reflected by the reference surface and the light reflected by the reference surface whose rotation axis is located on the optical axis of the optical system between the reference surface and the light source of the light. Interference pattern, or (2) the reflection angle when the light is reflected by the reference surface,
Alternatively, (3) the step of observing the refraction angle when the light is refracted when passing through the reference surface, is included.

さらに、本発明による非球面成形レンズのくさび角を光
学的に測定する方法は、 (a)2つの光学面の対称軸あるいは対称点に対してそれ
ぞれ所定の位置と角度を有する基準面を備えたレンズを
その最終の形状に成形する工程、 (b)該レンズの前記基準面に平行光を向ける工程、を行
ない、その後 (c)前記各基準面で反射された前記光により生ぜしめら
れた干渉パターンを観察する工程、 からなることを特徴とするものである。
Further, the method of optically measuring the wedge angle of the aspherical molded lens according to the present invention includes (a) a reference plane having predetermined positions and angles with respect to the symmetry axis or the symmetry point of the two optical surfaces. Performing the step of shaping the lens into its final shape, (b) directing parallel light to the reference surface of the lens, and then (c) the interference caused by the light reflected at each reference surface. The step of observing a pattern comprises the following steps.

本発明の方法で使用される非球面成形レンズは、少なく
とも1つの非球面と、非球面の対称軸の側方に延びる少
なくとも1つの基準面を有する成形レンズである。1実
施例において、非球面レンズは、その長手方向の両側に
2つの非球面と2つの基準面を有し、該基準面はその隣
接する非球面の対称軸に対してほぼ同一の角度で側方に
突出する。したがって、これらの基準面は、ほぼ平行で
ある。非球面の対称軸に沿ってみたとき、2つの基準面
は、ほぼ重なり合うようにみえる。この実施例におい
て、レンズの2つの非球面の対称軸間の角度、すなわち
くさび角(ウエッジ)は、光学的方法により精密に決定
される。結果として、非球面レンズの2つの非球面の相
互の位置と角度は、必要な位置と角度を非球面に与える
ように製造工程中に調節できる。
The aspherical molded lens used in the method of the present invention is a molded lens having at least one aspherical surface and at least one reference surface extending laterally to the axis of symmetry of the aspherical surface. In one embodiment, the aspherical lens has two aspherical surfaces and two reference planes on both sides in the longitudinal direction thereof, and the reference planes are disposed at substantially the same angle with respect to the axis of symmetry of the adjacent aspherical surface. Project in one direction. Therefore, these reference planes are substantially parallel. When viewed along the axis of symmetry of the aspherical surface, the two reference planes appear to substantially overlap. In this example, the angle between the axes of symmetry of the two aspheric surfaces of the lens, the wedge angle, is precisely determined by optical methods. As a result, the mutual position and angle of the two aspherical surfaces of the aspherical lens can be adjusted during the manufacturing process to give the aspherical surface the required position and angle.

本発明によれば、非球面の対称軸の位置と角度を従来の
光学的なテスト技術によって迅速かつ容易で正確に決定
することができる。
According to the present invention, the position and angle of the axis of symmetry of the aspherical surface can be determined quickly, easily and accurately by conventional optical test techniques.

(発明の構成および作用) 本発明において成形される非球面レンズは、光学的に透
明なガラスあるいはプラスチック(ガラスが好ましい)
等の従来周知のレンズ材料から構成される。前記非球面
レンズは、米国特許第2410616号、同第3900
328号および第4139677号明細書に記載されて
いる成形方法のような適当なレンズ製造工程によって1
つあるいは複数の非球面、および本発明による1つある
いは複数の基準面を有するように構成される。
(Structure and Action of the Invention) The aspherical lens molded in the present invention is optically transparent glass or plastic (preferably glass).
And the like, which are conventionally known lens materials. The aspherical lenses are described in U.S. Pat. Nos. 2,410,616 and 3,900.
1 by a suitable lens manufacturing process such as the molding method described in US Pat. Nos. 328 and 4139677.
It is configured to have one or more aspherical surfaces and one or more reference surfaces according to the present invention.

本発明で使用される非球面レンズは、1981年10月
30日に米国出願された“Process To Mo
ld Precision Glass Artick
s”(出願番号316861)に記載された方法と装置により
その最終の大きさと形状に成形されることが好ましい。
このような方法と装置は、例えば非球面の対称軸のよう
な他の要素に対して予め正確に決定された位置と角度を
有する基準面のような要素を持った特定の大きさと形状
のレンズを作るように構成されている。したがって、こ
の方法と装置は、その装置のレンズ成形面の幾何学的形
状を、製造されたレンズに写して、そのレンズに光学的
不規則がなくなるようにするために使用することができ
る。
The aspherical lens used in the present invention is a "Process To Mo" filed in the United States on Oct. 30, 1981.
ld Precision Glass Artic
It is preferably molded to its final size and shape by the method and apparatus described in s "(Application No. 316861).
Such a method and apparatus provides a lens of a particular size and shape with an element such as a reference plane having a predetermined position and angle with respect to other elements such as the axis of symmetry of an aspheric surface. Is configured to make. Thus, the method and apparatus can be used to transfer the geometry of the lens molding surface of the apparatus to the manufactured lens so that the lens is free of optical irregularities.

第1図および第2図には、この発明の両面非球面レンズ
10が示されている。レンズ10は、レンズの各々の、前方
および後方の2つの非球面11および12を有する。非球面
11および12の対称軸(図示せず)は、レンズ10の光軸13
とほぼ一致する。各非球面11および12の各々の側部に
は、各々隣接する平らな基準面14と15が位置する。基準
面1415の側端は、滑らかで、長手方向に伸びるレンズ10
の円筒面16により接続され、この円筒面16の軸は、レン
ズの光軸13とほぼ一致する。
1 and 2 show a double-sided aspherical lens of the present invention.
10 is shown. The lens 10 has two aspherical surfaces 11 and 12 in front of and behind each of the lenses. Aspherical surface
The axis of symmetry of 11 and 12 (not shown) is the optical axis 13 of the lens 10.
Almost matches. Located on each side of each aspheric surface 11 and 12 are adjacent flat reference surfaces 14 and 15, respectively. The side edge of the reference surface 1415 has a smooth, longitudinally extending lens 10
Are connected by a cylindrical surface 16 of which the axis is substantially coincident with the optical axis 13 of the lens.

レンズ10の基準面14と15の各々は、その隣接する非球面
11および12の各々の対称軸の側方に突出する。この発明
の基準面に関して「側方」という用語の使用によって、
この用語は、非球面の対称軸と鋭角あるいは直角をなす
方向を意味し、これにより基準面は、精密な所定の位置
と角度を有する。この発明による非球面の対称軸の傾き
と偏心および非球面レンズのくさび角、の光学的測定を
行なうために、側方に突出する基準面(例えば基準面14
あるいは15)の使用は、長手方向に伸びる基準面(例え
ば円筒面16)よりも好ましい。この発明により、レン
ズ10のくさび角を定めるために、a)基準面14および15の
各々は、隣接する非球面11および12の対称軸に対してほ
ぼ同一の角度、好ましくは直角をなすように側方に突出
し、従って基準面14および15はほぼ平行であり、b)非球
面11および12の対称軸に沿ってみたとき、基準面14およ
び15がほぼ重なり合うことが好ましい。
Each of the reference surfaces 14 and 15 of the lens 10 has its adjacent aspherical surface.
It projects laterally of each axis of symmetry of 11 and 12. By using the term "lateral" with respect to the reference plane of this invention,
The term means a direction that forms an acute angle or a right angle with the axis of symmetry of the aspherical surface, so that the reference plane has a precise predetermined position and angle. In order to perform optical measurement of the inclination and eccentricity of the symmetry axis of the aspherical surface and the wedge angle of the aspherical surface according to the present invention, a reference surface (eg, the reference surface 14
Alternatively, the use of 15) is preferred over a longitudinally extending reference surface (eg cylindrical surface 16). According to the invention, in order to determine the wedge angle of the lens 10, a) each of the reference surfaces 14 and 15 should be at substantially the same angle, preferably at right angles to the axis of symmetry of the adjacent aspherical surfaces 11 and 12. It is preferred that they project laterally and therefore the reference surfaces 14 and 15 are substantially parallel, and b) that the reference surfaces 14 and 15 substantially overlap when viewed along the axis of symmetry of the aspherical surfaces 11 and 12.

基準面14および15の各々は、その隣接する非球面11およ
び12に接触し、第1図および第2図に示す如くその隣接
する非球面の対称軸の周囲に突出していることが好まし
い。
Each of the reference surfaces 14 and 15 preferably contacts its adjacent aspherical surface 11 and 12 and projects around the axis of symmetry of its adjacent aspherical surface, as shown in FIGS.

光学系の光軸に対するレンズ10の前方非球面11の対称軸
(およびレンズの光軸13)の傾きは、前方の基準面14に
入射してそこから反射されるかそこを透過する所定の光
の挙動によって精密に定めることができる。この決定
は、例えば、(a)光学系の光軸に平行であり、レンズ10
の前方基準面14から反射された光と、前方基準面14の前
方に位置し光学系の光軸に直角に配置された平らな参照
面で反射された光とによって生じしめられた干渉パター
ンを観察することによって、あるいは(b)このような平
行光が前方基準面(14)から反射されたときの反射角度を
観察することによって、あるいは(c)このような平行光
が前方基準面14(および後方基準面15)を通過する際屈
折されるときの屈折角度で観察することによって行なわ
れる。レンズ10の前方基準面14の、光学系の光軸に直角
な方向とのアライメントのずれがあるかどうかを上記の
いずれかの観察も正確に示し、従って、光学系の光軸に
対するレンズ10の前方非球面11の対称軸の対応する傾き
を示す。
The inclination of the symmetry axis (and the optical axis 13 of the lens) of the front aspherical surface 11 of the lens 10 with respect to the optical axis of the optical system is determined by a predetermined light which is incident on the front reference surface 14 and is reflected from the reference surface 14 or transmitted therethrough. Can be precisely determined by the behavior of. This determination is made, for example, by (a) being parallel to the optical axis of the optical system,
The interference pattern caused by the light reflected from the front reference surface 14 and the light reflected by the flat reference surface located in front of the front reference surface 14 and arranged at right angles to the optical axis of the optical system. By observing, or (b) by observing the reflection angle when such parallel light is reflected from the front reference plane (14), or (c) such parallel light is detected by the front reference plane 14 ( And at the refraction angle as it is refracted as it passes through the rear reference plane 15). Any of the above observations also accurately show whether there is a misalignment of the front reference plane 14 of the lens 10 with the direction perpendicular to the optical axis of the optical system, and thus the lens 10 relative to the optical axis of the optical system. The corresponding tilt of the symmetry axis of the front aspheric surface 11 is shown.

光学系内での、第1図および第2図のレンズ10の前方非
球面11の対称軸の傾きは、第3図に示される如き、例え
ばフイゾー干渉計20により干渉学的に決定される。第3
図に示す如く、干渉計20は、レーザの如き単色光源21、
ピンホール22、ビームスプリッタ23、コリメータレンズ
24(ピンホール22に焦点を有し、ピンホールからの発散
光25を平行光25′に収れんさせる)、平らな参照面26
(レンズ10の前方に位置し、干渉計20の光軸27に直角に
配置され、反射防止膜をコートされた)、および、参照
面26とレンズ10の前方基準面14にほぼ直角に入射し、そ
こから反射されるコリメータレンズ24からの平行光25′
により形成される干渉パターンを観察者29が観察できる
ようにするピンホールの如き手段28からなる。この判断
を行なうために、干渉計20の光軸27は、レンズ10が使用
される光学系の光軸(図示せず)と一致することが好ま
しい。
The tilt of the axis of symmetry of the front aspherical surface 11 of the lens 10 of FIGS. 1 and 2 within the optical system is determined interferometrically by a Fizeau interferometer 20, as shown in FIG. Third
As shown, the interferometer 20 includes a monochromatic light source 21, such as a laser,
Pinhole 22, beam splitter 23, collimator lens
24 (focus on pinhole 22 and focus divergent light 25 from pinhole into parallel light 25 '), flat reference surface 26
(Located in front of the lens 10 and arranged at a right angle to the optical axis 27 of the interferometer 20 and coated with an antireflection film), and is incident on the reference surface 26 and the front reference surface 14 of the lens 10 at a substantially right angle. , Collimated light 25 'from the collimator lens 24 reflected from it
It comprises means 28, such as a pinhole, which allows the observer 29 to observe the interference pattern formed by the. To make this determination, the optical axis 27 of the interferometer 20 preferably coincides with the optical axis (not shown) of the optical system in which the lens 10 is used.

レンズ10の前方基準面14から干渉計20により観察される
干渉パターンは、光学系内でのレンズのパーフォーマン
スを最良のものとするために、使用する光学系中のレン
ズの前方非球面11の対称軸(およびレンズの光軸13)の
傾きを最小にするように使用できる。この点に関して、
観察される干渉パターンは、干渉計20の光軸27に直角な
方向からのレンズ10の前方基準面14のアライメントのず
れを最小にするように使用することができ、干渉計20の
光軸に関するレンズ10の前方非球面11の対称軸の傾きを
最小にすることができる。特に、使用される光学系の光
軸に関しての、前方非球面11の対称軸の傾きが、干渉計
20のレンズ10の整列により最小になるので、干渉のライ
ンの最小の数、好ましくは0が、手段28を介して観察さ
れる。
The interference pattern observed by the interferometer 20 from the front reference plane 14 of the lens 10 is the front aspherical surface 11 of the lens in the optical system used in order to optimize the performance of the lens in the optical system. It can be used to minimize the tilt of the axis of symmetry (and the optical axis 13 of the lens). In this regard,
The observed interference pattern can be used to minimize misalignment of the front reference plane 14 of the lens 10 from a direction perpendicular to the optical axis 27 of the interferometer 20 and is related to the optical axis of the interferometer 20. The tilt of the symmetry axis of the front aspherical surface 11 of the lens 10 can be minimized. Especially, the inclination of the symmetry axis of the front aspherical surface 11 with respect to the optical axis of the optical system used is determined by the interferometer.
A minimum number of lines of interference, preferably 0, is observed via means 28, as it is minimized by the alignment of 20 lenses 10.

レンズ10の前方および後方の基準面14と15は、レンズ10
のくさび角を光学的方法によって精密に測定するために
使用される。この測定は、第4図において構成的に示す
フィゾー干渉計20Aのような装置を用いることによって
実行される。このフィゾー干渉計20Aは、レンズ10の前
方に平らな参照面を有していないところが、第3図のフ
ィゾー干渉計とは違うが、他は同様の構成である。第4
図の装置20Aは、レンズ10の基準面14と15に入射しかつ
反射される平行光25A′を出射する。必要があれば、光
25A′は、第4図に示す如くレンズ10(部材の傾きのな
い)の非球面11および12の対称軸の1つに平行にするこ
とができるが、これは必要なことではない。ほぼ平行な
基準面14および15間の角度およびレンズの2つの非球面
11および12の対称軸間の対応する角度、すなわちくさび
角は、平行光25A′による前方基準面14と後方基準面15
間に生じる干渉パターンから測定できる。干渉パターン
から測定されるくさび角を用いて、レンズ10が用いられ
る光学系中のレンズ10の角度を調整して、光学系内のレ
ンズのパーフォーマンスを最良のものとすることができ
る。レンズ10は、使用すべき光学系内でアライメントさ
れるので、光学系の光軸と、2つの非球面11と12の対称
軸の各々との間の角度は、最小のものとなる。このよう
にして測定されたくさび角は、光学部材10が製造される
際のプロセスおよび装置の調整に用いられて、いかなる
くさび角も最小にできあるいは必要な(場合によっては
大きな)くさび角をも得られるようにすることが好まし
い。
The reference planes 14 and 15 in front of and behind the lens 10 are
It is used to precisely measure the wedge angle of an optical method. This measurement is carried out by using a device such as the Fizeau interferometer 20A shown diagrammatically in FIG. This Fizeau interferometer 20A is different from the Fizeau interferometer of FIG. 3 in that it does not have a flat reference surface in front of the lens 10, but has the same structure as the others. Fourth
The illustrated apparatus 20A emits collimated light 25A 'which is incident on and reflected by the reference surfaces 14 and 15 of the lens 10. Light if necessary
25A 'can be parallel to one of the axes of symmetry of aspherical surfaces 11 and 12 of lens 10 (no member tilt) as shown in FIG. 4, but this is not required. The angle between the nearly parallel reference planes 14 and 15 and the two aspheric surfaces of the lens
The corresponding angle between the axes of symmetry of 11 and 12, namely the wedge angle, is determined by the collimated light 25A 'in the front and rear reference planes 14 and 15 respectively.
It can be measured from the interference pattern generated between them. The wedge angle measured from the interference pattern can be used to adjust the angle of the lens 10 in the optical system in which the lens 10 is used to optimize lens performance within the optical system. The lens 10 is aligned in the optical system to be used, so that the angle between the optical axis of the optical system and each of the axes of symmetry of the two aspherical surfaces 11 and 12 is minimal. The wedge angle measured in this manner is used to adjust the process and equipment as the optical member 10 is manufactured to minimize any wedge angle or to provide the necessary (and possibly large) wedge angle. It is preferable to obtain it.

第5図および第6図に示すのは、この発明による他の両
面非球面レンズ30である。レンズ30は、各々前方および
後方に2つの非球面31と32を有する。非球面31および32
の対称軸(図示せず)は、レンズの長手方向の光軸33と
ほぼ一致しこれを構成する。前方の非球面31に隣接し
て、レンズ30の前方部には、球面34が位置する(球面34
は非球面31に対して基準面を構成している)。レンズ30
の後方部には、後方の非球面32に隣接して、第1図のレ
ンズ10の後方の非球面12に隣接する平らな基準面15と同
様に、平らな基準面35が位置する。
Shown in FIGS. 5 and 6 is another double-sided aspherical lens 30 according to the present invention. The lens 30 has two aspherical surfaces 31 and 32 in the front and rear, respectively. Aspherical surfaces 31 and 32
The axis of symmetry (not shown) substantially coincides with and constitutes the optical axis 33 in the longitudinal direction of the lens. A spherical surface 34 is located in front of the lens 30 adjacent to the front aspherical surface 31 (spherical surface 34).
Constitutes the reference surface for the aspherical surface 31). Lens 30
Located at the rear of the table is a flat reference surface 35 adjacent the rear aspheric surface 32, similar to the flat reference surface 15 adjacent the rear aspheric surface 12 of the lens 10 of FIG.

球面34および平らな基準面35の各々は、その各々が隣接
する非球面31および32の対称軸の側方に突出している。
Each of the spherical surface 34 and the flat reference surface 35 projects laterally of the axis of symmetry of the aspheric surfaces 31 and 32 to which they are adjacent.

この発明によれば、レンズ30の球面34の対称点(図示せ
ず)は、隣接する前方の非球面31の対称軸(図示せず)
上にあることが好ましい。球面34はまた、前方の非球面
31に隣接し、第5図および第6図の前方の非球面の対称
軸の周囲に位置する。
According to the invention, the symmetry point (not shown) of the spherical surface 34 of the lens 30 is the axis of symmetry (not shown) of the adjacent front aspherical surface 31.
It is preferably above. Sphere 34 is also the front aspheric surface
Adjacent to 31, is located about the axis of symmetry of the front aspheric surface of FIGS.

レンズ30の球面34は、光学系の光軸に対して、隣接する
レンズ30の前方非球面31の対称軸(およびレンズの光軸
33)の偏心を精密に測定するのに用いられ、該偏心は、
球面34に入射し、これによって反射されるか透過する所
定の光の挙動から測定される。この測定は例えば、a)光
学系の光軸上で収れんし、球面34で反射された光と、球
面34の前方に位置しかつその回転軸が光学系の光軸上に
あるような球面の参照面で反射された球面光との干渉に
よる干渉パターンを観察するかあるいは、b)このような
収れんする球面光が球面34により反射されあるいは透過
されるときの反射角度あるいは屈曲角度を観察すること
によって行なうことができる。このような観察は、レン
ズ30の球面34の対称点と、光学系の光軸との間に距離が
あるかどうかを精密に示し、レンズ30の前方非球面31の
対称軸の、光学系の光軸に対する偏心を示すことにな
る。
The spherical surface 34 of the lens 30 is the symmetry axis (and the optical axis of the lens) of the front aspherical surface 31 of the adjacent lens 30 with respect to the optical axis of the optical system.
33) is used to precisely measure the eccentricity, and the eccentricity is
It is measured from the behavior of a given light incident on the spherical surface 34 and reflected or transmitted by it. This measurement includes, for example, a) the light converged on the optical axis of the optical system, the light reflected by the spherical surface 34, and the spherical surface positioned in front of the spherical surface 34 and having its rotation axis on the optical axis of the optical system. Observing an interference pattern due to interference with the spherical light reflected by the reference surface, or b) observing a reflection angle or bending angle when such a convergent spherical light is reflected or transmitted by the spherical surface 34. Can be done by. Such an observation precisely shows whether or not there is a distance between the symmetry point of the spherical surface 34 of the lens 30 and the optical axis of the optical system. It indicates eccentricity with respect to the optical axis.

第5図および第6図のレンズ30の前方非球面31の対称軸
の偏心は、例えば、第7図に概略を示すフィゾー干渉計
20Bを用いることによって、干渉的方法によって測定で
きる。第7図の干渉計20Bは、第3図の干渉計20と同様
であって、単色光源21B、ピンホール22B、ピームスプ
リッタ23B、ピンホール22Bからの発散光25Bを収れん
光25B′とするレンズ24Bからなる。第7図に示す干渉
計20Bは、またレンズ30の前方に位置しかつ干渉計20B
の光軸27Bと回転軸が合致する凹面の参照面26Bと、レ
ンズ24B′から入射して参照面26Bとレンズ30の球面34
で反射された収れん光25B′による干渉パターンを観察
者29Bが観察するための手段28Bとを備える。この測定
を行なう際に、干渉計20Bの光軸27Bは、レンズ30の配
置される光学系(図示せず)の光軸と合致することが好
ましい。
The eccentricity of the symmetry axis of the front aspherical surface 31 of the lens 30 shown in FIGS. 5 and 6 is, for example, a Fizeau interferometer schematically shown in FIG.
By using 20B, it can be measured by an interferometric method. The interferometer 20B shown in FIG. 7 is similar to the interferometer 20 shown in FIG. 3, and is a lens that uses a monochromatic light source 21B, a pinhole 22B, a beam splitter 23B, and divergent light 25B from the pinhole 22B as convergent light 25B '. It consists of 24B. The interferometer 20B shown in FIG. 7 is also located in front of the lens 30 and is interferometer 20B.
The concave reference surface 26B whose optical axis 27B and the rotation axis coincide with each other, and the reference surface 26B incident from the lens 24B 'and the spherical surface 34 of the lens 30.
Means 28B for the observer 29B to observe the interference pattern due to the convergent light 25B 'reflected by. When performing this measurement, the optical axis 27B of the interferometer 20B preferably coincides with the optical axis of the optical system (not shown) in which the lens 30 is arranged.

レンズ30の球面34を干渉系20Bで観察したときの干渉パ
ターンは、光学系で使用されるレンズ30の前方の非球面
31の対称軸(および光軸33)の偏心を最小にするために
用いられ、これによって光学系中のレンズのパーフォー
マンスを最高のものとすることができる。観察された干
渉パターンは、レンズ30の球面34の対称点と、干渉計20
Bの参照面26Bの回転軸の間の距離を最小とするのに用
いられ、干渉計20Bの光軸27Bに関してのレンズ30の前
方の非球面31の対称軸の偏心を最小とする。特に、干渉
計20Bの光軸27Bに対する前方の非球面31の対称軸の偏
心は、1)観察手段28Bを介して観察した球面34における
干渉のラインが、干渉計の光軸27Bに関して出来るだけ
対称であること、あるいは、2)干渉のラインが認められ
ないことのいずれかとなるように干渉計20Bでレンズ30
をアライメントさせることで最小とすることができる。
The interference pattern when observing the spherical surface 34 of the lens 30 with the interference system 20B is the aspherical surface in front of the lens 30 used in the optical system.
It is used to minimize the eccentricity of the 31 axis of symmetry (and the optical axis 33), which allows for maximum lens performance in the optical system. The observed interference pattern is the symmetry point of the spherical surface 34 of the lens 30 and the interferometer 20.
It is used to minimize the distance between the axes of rotation of the B reference surface 26B and minimizes the eccentricity of the axis of symmetry of the aspherical surface 31 in front of the lens 30 with respect to the optical axis 27B of the interferometer 20B. In particular, the eccentricity of the symmetry axis of the front aspherical surface 31 with respect to the optical axis 27B of the interferometer 20B is as follows: Or 2) Interferometer 20B lens 30
Can be minimized by aligning.

レンズ30の平らな基準面35は、光学系の光軸に対して隣
接する後方非球面32の対称軸の傾きを精密に測定するた
めに用いることができる。これは例えば、レンズ10の前
方基準面14とレンズ10の前方非球面11との傾きを測定す
るための第3図に示すのと同じ干渉計20を用いて、同じ
やり方で行なうことができる。
The flat reference surface 35 of the lens 30 can be used to precisely measure the tilt of the symmetry axis of the rear aspheric surface 32 adjacent to the optical axis of the optical system. This can be done in the same manner, for example, using the same interferometer 20 shown in FIG. 3 for measuring the tilt between the front reference surface 14 of the lens 10 and the front aspheric surface 11 of the lens 10.

この発明によれば、光学系の光軸に対しての、第1図お
よび第2図のレンズ10の光軸13の傾きは、レンズ10の側
方に位置し、長手方向に伸びる円筒面16により精密に測
定できる。円筒面16は、レンズ10の非球面11および12の
対称軸に対して予め精密に定めた位置および角度を有
し、この発明の基準面を構成している。
According to the present invention, the inclination of the optical axis 13 of the lens 10 of FIGS. 1 and 2 with respect to the optical axis of the optical system is located on the side of the lens 10 and extends in the longitudinal direction along a cylindrical surface 16 Can be measured more accurately. The cylindrical surface 16 has a predetermined position and angle with respect to the axes of symmetry of the aspherical surfaces 11 and 12 of the lens 10 and constitutes the reference surface of the present invention.

光学系の光軸に対する、レンズ10の光軸13の傾きは、円
筒面16に対して入射し、この面について反射されるある
いは透過する所定の光の挙動によって精密に決定でき
る。この決定は、例えば、a)光学系の光軸に沿って収れ
んし、レンズ10の円筒面16で反射された円筒光と、この
円筒面16の前方においてその軸が、i)光学系の光軸上に
ありかつ、ii)収れん光に直角に配置されている円筒形
の参照面で反射された円筒波とによって形成された干渉
パターンの観察によって、あるいはb)この収れんする円
筒光が、レンズ10の円筒面16について反射されるあるい
はこれを透過するときの反射角度あるいは屈折角度を観
察することによって行なうことができる。このような観
察は、光学系の光軸に平行な方向とレンズ10の円筒面16
の軸のアライメントのずれがあるかどうかを示し、光学
系の光軸に対するレンズ10の光軸13の対応する傾きを示
す。
The inclination of the optical axis 13 of the lens 10 with respect to the optical axis of the optical system can be precisely determined by the behavior of predetermined light that is incident on the cylindrical surface 16 and is reflected or transmitted through this surface. This determination is, for example, a) the cylindrical light that converges along the optical axis of the optical system and is reflected by the cylindrical surface 16 of the lens 10, and the axis in front of this cylindrical surface 16 is i) the light of the optical system. On-axis and ii) by observing an interference pattern formed by a cylindrical wave reflected by a cylindrical reference surface arranged at a right angle to the convergent light, or b) by this converging cylindrical light This can be done by observing the reflection angle or the refraction angle when reflected or transmitted through the ten cylindrical surfaces 16. Such observation is performed in the direction parallel to the optical axis of the optical system and the cylindrical surface 16 of the lens 10.
Shows whether or not there is a misalignment of the axes, and shows the corresponding tilt of the optical axis 13 of the lens 10 with respect to the optical axis of the optical system.

例えば、第8図に示す如きフィゾー干渉計20Cは、レン
ズ10が使用されるべき光学系に対する光軸13の傾きを干
渉的方法により決定することができる。第8図の干渉計
20Cは、その光軸が使用される光学系の光軸に直角であ
り、使用される光学系の光軸上にその軸を有する円筒形
の参照面26Cを有するということを除いては、第3図の
干渉計20と同様である。
For example, a Fizeau interferometer 20C as shown in FIG. 8 can determine the tilt of the optical axis 13 with respect to the optical system in which the lens 10 is to be used, by an interferometric method. The interferometer of FIG.
20C is the first except that its optical axis is perpendicular to the optical axis of the optical system used and has a cylindrical reference surface 26C having that axis on the optical axis of the optical system used. It is similar to the interferometer 20 in FIG.

レンズ10の円筒面16について、干渉計20Cにより観察さ
れた干渉パターンは、干渉計20Cの光軸に直角な(およ
び使用される光学系の光軸に平行な)方向と、円筒面16
のアライメントのずれを最小とし、使用される光学系の
光軸に対するレンズ10の光軸13の傾きを最小にする。特
に、使用される光学系の光軸に対してレンズ10の光軸13
の傾きは、干渉計20C内でのレンズ10のアライメントを
行なうことによって最小にでき、好ましくは0となる。
干渉ラインの数は観察手段28Cから観察される。
The interference pattern observed by the interferometer 20C on the cylindrical surface 16 of the lens 10 is the direction perpendicular to the optical axis of the interferometer 20C (and parallel to the optical axis of the optical system used), and the cylindrical surface 16
To minimize the misalignment and to minimize the tilt of the optical axis 13 of the lens 10 with respect to the optical axis of the optical system used. In particular, the optical axis 13 of the lens 10 with respect to the optical axis of the optical system used
The tilt of can be minimized by aligning the lens 10 in the interferometer 20C, and is preferably zero.
The number of interference lines is observed by the observation means 28C.

この発明において、以上述べてきたように両面非球面レ
ンズ10および30は、レンズの各々の非球面に1つあるい
は複数の基準面を有している。この発明の非球面レンズ
は、レンズの前方部および/または後方部に1つあるい
は複数の非球面を有し、および第3図、第4図および第
7図に示す如く例えばレンズの前方部および/または後
方部などのいずれかにあるいは第8図に示す如くレンズ
の側方に基準面を有することを意図している。またこの
発明の基準面は、これが関係する複数の非球面間の精密
な所定の位置と角度を予め決定するためにレンズの一側
に設けられ、あるいは非球面の周囲に設けられる。
In the present invention, as described above, the double-sided aspherical lenses 10 and 30 have one or a plurality of reference surfaces on each aspherical surface of the lens. The aspherical lens of the present invention has one or more aspherical surfaces on the front part and / or the rear part of the lens, and, for example, as shown in FIGS. It is intended to have a reference surface either on the rear side or / or the side of the lens as shown in FIG. The reference surface of the present invention is provided on one side of the lens or around the aspherical surface in order to predetermine the precise predetermined position and angle between the plurality of aspherical surfaces to which it relates.

以上の記述において、フィゾー干渉計の使用が、この発
明による基準面を備えた非球面レンズの対称軸の位置と
角度および非球面レンズのくさび角の測定のための干渉
的手段の一例として述べられた。適当なフィゾー干渉計
としては、米国、コネチカット州ミドルタウンのザイゴ
コーポレーションにより製造されているものがあり、こ
れは単色光源としてヘリウム・ネオンガスレーザーを用
いている。しかしながら、この発明の実施に際しては、
このような干渉法による測定手段を実施するために他の
適当な手段を用いてもよい。
In the above description, the use of a Fizeau interferometer is mentioned as an example of an interferometric means for measuring the position and angle of the axis of symmetry of an aspherical lens with a reference surface according to the invention and the wedge angle of the aspherical lens. It was Suitable Fizeau interferometers include those manufactured by Zygo Corporation of Middletown, Connecticut, USA, which use a helium neon gas laser as the monochromatic light source. However, in the practice of this invention,
Other suitable means may be used to implement such interferometric measuring means.

以上の説明から、この発明およびこの発明に附随した事
項から種々の利点が見出されるが、この発明の非球面レ
ンズの部分の形状、構造および配置に種々の変更を行な
うことが可能であり、また様々な変形によってこの発明
による非球面レンズ対称軸の位置および角度の測定のた
めのプロセスのステップに変化を加えることができ、こ
のプロセスの各ステップの実施の順序に変更を加えるこ
とができる。従って以上の説明は、あくまでもいくつか
の実施例の説明であって、この発明の技術思想から離れ
ることなくかつこれから得られる効果を減殺することな
く種々の変形、変更を行なうことができるものであるこ
とは明らかである。
From the above description, various advantages are found from the present invention and matters associated with the present invention, but various modifications can be made to the shape, structure and arrangement of the aspherical lens portion of the present invention, and Various modifications may be made to the steps of the process for measuring the position and angle of the aspheric lens symmetry axis according to the present invention, and the order of execution of the steps of this process may be modified. Therefore, the above description is merely the description of some embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the technical idea of the present invention and without diminishing the effects obtained from this. That is clear.

例えば、この発明によるレンズは、非球面に加えて1つ
の球面を有するようにすることができる。この発明で
は、球面の対称点に対して、精密な所定の位置と角度を
有する基準面を独立の基準面として球面に設けることが
できる。
For example, the lens according to the invention can have one spherical surface in addition to the aspherical surface. In the present invention, the reference surface having a precise predetermined position and angle with respect to the symmetry point of the spherical surface can be provided on the spherical surface as an independent reference surface.

第1図および第2図に示すレンズ10の前方基準面14およ
び後方基準面15は、各々隣接する前方部および後方部の
非球面11および12の対称軸に対して、所定の精密な位置
と角度を有する精細な溝パターンを有することができ
る。例えばこの溝は、同心円の溝であることができ、そ
の各々は、隣接する非球面11および12の対称軸上に中心
を有する。この溝は、レンズ10の非球面11および12の精
密な位置と角度の測定に用いることができる。これは、
この溝に入射し、反射されるあるいは透過される光の挙
動であるモアレ干渉パターンによって測定される。
The front reference surface 14 and the rear reference surface 15 of the lens 10 shown in FIGS. 1 and 2 have predetermined precise positions with respect to the symmetry axes of the adjacent front and rear aspherical surfaces 11 and 12, respectively. It is possible to have a fine groove pattern having an angle. For example, the grooves can be concentric grooves, each of which is centered on the axis of symmetry of the adjacent aspheric surfaces 11 and 12. This groove can be used to measure the precise position and angle of the aspherical surfaces 11 and 12 of the lens 10. this is,
It is measured by the moire interference pattern, which is the behavior of light incident on this groove and reflected or transmitted.

さらに、第1図および第2図のレンズ10の前方基準面14
は、後方に突出することができ(前方球面11の後方の彎
曲の続きとして)、この前方基準面14に平行であること
が好ましいレンズ10の後方基準面15も後方に突出するこ
とができる。あるいは前方基準面14は前方に突出するこ
とができ、平行な後方基準面15は前方に突出するように
することができる(後方の非球面12の前方への彎曲の続
きとして)。いずれの場合においても、平行な、前方お
よび後方の基準面14と15は、この発明によるレンズ10に
おいてくさび角と同様傾きを測定するために有用であ
る。必要があれば、前方および後方の基準面14および15
は、反対の長手方向に突出することもでき、これらは平
行とはならず、レンズ10のくさび角を定めるためにも有
用ではない。
Furthermore, the front reference plane 14 of the lens 10 of FIGS.
Can project rearward (as a continuation of the rearward curvature of the front spherical surface 11), and the rear reference surface 15 of the lens 10, which is preferably parallel to this front reference surface 14, can also project rearward. Alternatively, the front reference surface 14 can project forward and the parallel rear reference surface 15 can project forward (as a continuation of the forward curve of the rear aspherical surface 12). In either case, parallel front and rear reference planes 14 and 15 are useful for measuring tilt as well as wedge angle in lens 10 according to the present invention. Front and rear reference planes 14 and 15 if required
Can also project in opposite longitudinal directions, which are not parallel and are not useful for defining the wedge angle of the lens 10.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、この発明で使用した両面非球面レンズの構成
側面図。レンズは、その前面と後面に光学的な非球面を
有し、この非球面周囲に位置しかつ基準面となる一対の
平行な平らな基準面を有している。第2図は、第1図に
示すレンズの上面図、第3図は、光学系の構成図であっ
て、第1図のレンズの前方非球面の対称軸と光学系の光
軸との間の角度、すなわち傾きは、レンズの前方の前記
基準面に入射し、反射する光の干渉によって正確に決定
される。第4図は、光学系の構成図であって、第1図の
レンズの前方および後方の非球面のアライメントのとき
のくさび角が、レンズの前方および後方の前記基準面に
入射し、反射される光の干渉から正確に決定される。第
5図は、この発明で使用した他の両面非球面レンズの構
成側面図である。第5図に示すレンズは、第1図のレン
ズの前方基準面が、第5図のレンズにおいては、球面と
置き換えられているということを除いては、第1図のレ
ンズに似ている。この球面は、第5図のレンズの前方非
球面の周囲に位置しかつ基準面を構成する。第6図は、
第5図のレンズの上面図である。第7図は、光学系の平
面図であって、第5図のレンズの前方非球面の対称軸と
光学系の光軸との距離、すなわち偏心は、レンズの前方
球面に入射し、反射される光の干渉から正確に決定され
る。第8図は、光学系の平面図であって、光学系の光軸
に直角な軸に関しての、第1図のレンズの光軸の傾き
は、レンズの側面の円柱面に入射し、反射する光の干渉
から正確に決定できる。 10,30……非球面レンズ 11,12……非球面、13……光軸 14,15……基準面、16……円筒面 20,20A,20B,20C……干渉計 21,21A,21B,21C……単色光源 22,22A,22B,22C……ピンホール 24,24A,24B,24C……コリメートレンズ 25,25A,25B,25C……発散光 26,26B,26C……参照面 34……球面
FIG. 1 is a configuration side view of a double-sided aspherical lens used in the present invention. The lens has an optical aspherical surface on its front and rear surfaces, and has a pair of parallel flat reference surfaces that are located around this aspherical surface and serve as reference surfaces. FIG. 2 is a top view of the lens shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a configuration diagram of the optical system, which shows a portion between the symmetry axis of the front aspherical surface of the lens of FIG. 1 and the optical axis of the optical system. The angle, or tilt, is accurately determined by the interference of light incident on and reflected from the reference plane in front of the lens. FIG. 4 is a block diagram of an optical system, in which the wedge angles at the time of alignment of the front and rear aspherical surfaces of the lens of FIG. 1 are incident on the reference surfaces in front of and behind the lens and are reflected. Accurately determined from the interference of light. FIG. 5 is a configuration side view of another double-sided aspherical lens used in the present invention. The lens shown in FIG. 5 is similar to the lens of FIG. 1 except that the front reference plane of the lens of FIG. 1 has been replaced by a spherical surface in the lens of FIG. This spherical surface is located around the front aspherical surface of the lens of FIG. 5 and constitutes the reference surface. Figure 6 shows
6 is a top view of the lens of FIG. 5. FIG. FIG. 7 is a plan view of the optical system. The distance between the symmetry axis of the front aspherical surface of the lens of FIG. 5 and the optical axis of the optical system, that is, decentering, is incident on the front spherical surface of the lens and is reflected. Accurately determined from the interference of light. FIG. 8 is a plan view of the optical system, and the inclination of the optical axis of the lens in FIG. 1 with respect to an axis perpendicular to the optical axis of the optical system is incident on the cylindrical surface of the side surface of the lens and reflected. It can be accurately determined from the interference of light. 10,30 …… Aspherical lens 11,12 …… Aspherical surface, 13 …… Optical axis 14,15 …… Reference plane, 16 …… Cylinder surface 20,20A, 20B, 20C …… Interferometer 21,21A, 21B , 21C …… Monochromatic light source 22, 22A, 22B, 22C …… Pinhole 24, 24A, 24B, 24C …… Collimating lens 25, 25A, 25B, 25C …… Divergent light 26, 26B, 26C …… Reference surface 34… … Spherical

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光学系の光軸に対する非球面成形レンズの
表面の対称軸の傾きを光学的に測定する方法において、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズをその最終の大き
さと形状に成形し、 (b)前記光学系の光軸に向いている光を該レンズの前記
光学面に向け、そして (c)(1)前記基準面から反射された光と、該基準面と前記
光の光源の間において前記光学系の光軸に直角に配置さ
れた参照面で反射された光とによって生ぜしめられた干
渉パターン、あるいは(2)前記光が前記基準面で反射さ
れたときの反射角度、あるいは(3)前記光が前記基準面
を透過するときに屈折されたときの屈折角度、を観察す
ることを特徴とする方法。 (2)光学系の光軸に対する非球面成形レンズの表面の対
称軸の偏心を光学的に測定する方法において、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズをその最終の大き
さと形状に成形し、 (b)前記光学系の光軸に収れんする光を該レンズの前記
光学面に向け、そして (c)(1)前記基準面から反射された光と、該基準面と前記
光の光源の間においてその回転軸が前記光学系の光軸上
に配置する参照面で反射された光とによって生ぜしめら
れた干渉パターン、あるいは(2)前記光が前記基準面で
反射されたときの反射角度、あるいは(3)前記光が前記
基準面を透過するときに屈折されたときの屈折角度、を
観察することを特徴とする方法。 (3)非球面成形レンズのくさび角を光学的に測定する方
法において、 (a)2つの光学面の対称軸あるいは対称点に対してそれ
ぞれ所定の位置と角度を有する基準面を備えたレンズを
その最終の形状に成形し、 (b)該レンズの前記基準面に平行光を向け、そして (c)前記角基準面で反射された前記光により生ぜしめら
れた干渉パターンを観察することを特徴とする方法。
1. A method for optically measuring an inclination of a symmetry axis of a surface of an aspherical molded lens with respect to an optical axis of an optical system, comprising: (a) a predetermined position and an angle with respect to the symmetry axis or a symmetry point of an optical surface. Molding a lens with a reference surface having a final size and shape thereof, (b) directing light directed to the optical axis of the optical system toward the optical surface of the lens, and (c) (1) An interference pattern generated by the light reflected from the reference surface and the light reflected by the reference surface arranged at a right angle to the optical axis of the optical system between the reference surface and the light source of the light, or (2) A method of observing a reflection angle when the light is reflected by the reference surface, or (3) a refraction angle when the light is refracted when passing through the reference surface. . (2) In a method of optically measuring the eccentricity of the symmetry axis of the surface of the aspherical molded lens with respect to the optical axis of the optical system, (a) having a predetermined position and angle with respect to the symmetry axis or the symmetry point of the optical surface. Molding a lens having a reference surface into its final size and shape, (b) directing light converging on the optical axis of the optical system toward the optical surface of the lens, and (c) (1) the reference surface. Interference pattern generated by the light reflected from the light and the light reflected by the reference surface whose rotation axis is arranged on the optical axis of the optical system between the reference surface and the light source of the light, or ( 2) A method of observing a reflection angle when the light is reflected by the reference surface, or (3) a refraction angle when the light is refracted when passing through the reference surface. (3) In a method for optically measuring the wedge angle of an aspherical molded lens, (a) a lens having a reference surface having a predetermined position and an angle with respect to the symmetry axis or symmetry point of two optical surfaces, respectively. Shaping into its final shape, (b) directing parallel light to the reference plane of the lens, and (c) observing the interference pattern caused by the light reflected at the angular reference plane. And how to.
JP59231106A 1984-08-13 1984-11-01 Measuring method of lens axis tilt, etc. Expired - Lifetime JPH0610643B2 (en)

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