JPH06104599A - 回路支持体における電子素子の位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構造の装置において半透境を有する光
学系と素子保持体を有する旋回アームとの間の固定関係
が長期にわたり保証されしかも正確な位置決めが可能に
なる、回路支持体における電子素子の位置決め装置。 【構成】 １平面内をシフト可能に配設されている、回
路パターンを有する回路支持体において電子素子を位置
決めするための装置であって、半透鏡１５を有する光学
系を収容するための支持アーム２と、自由端に前記素子
を保持している旋回アーム４とを備え、ここにおいて支
持アームと旋回アームは１つの構造ユニットを形成しか
つ旋回アームの旋回軸は支持アームに支承されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、請求項１の上位概念に
記載の、回路パターンを有する回路支持体における電子
素子を位置決めするための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ドイツ民主共和国特許第２４２３２０号
明細書から、導体基板がクロステーブル上にかつ素子が
保持体を用いて真空下でレバーアームに保持されてい
る、導体基板上に実装技術において多極素子を位置正確
に位置決めする装置が公知である。素子の下面および導
体基板の表面における実装位置は光源によって照明され
る。更に半透鏡が、該半透鏡を介して導体基板の表面に
おける実装位置の実像並びに素子の下面の虚像が観察で
きるように配設されている。クロステーブルの側方のシ
フトによって、導体基板の表面における装着位置の像は
素子の下面の像に関して、２つの像の相互に相応する基
準点が一致するまで、移動される。その後光学系におけ
る変更なしにレバーアームは、素子の下面が位置正しく
導体基板の表面における実装位置に位置正しく実装され
るまで、９０°だけ導体基板の方向に旋回される。素子
がレバーアームから解放された後、レバーアームは素子
なしにその本来の位置に戻し旋回される。

【０００３】この装置は基本的に申し分なく動作するに
も拘わらず、半透鏡を有する光学系と旋回アームとの間
の必ず必要な固定的な空間的な対応の実現は構造上まさ
に煩雑でありかつレバーアームの旋回後の２つの像の適
正位置関係上の調整にも拘らず、位置決めはいつもいつ
も正確とは限らないことがわかっている。

【０００４】

【発明の課題】本発明の課題は、請求項１の上位概念に
記載の回路支持体における素子の位置決め装置を、装置
の簡単な構造において、長い時間間隔にわたっても、半
透鏡を有する光学系と素子保持体を有する旋回アームと
の間の固定的な対応が保証されかつ正確な位置決めが可
能になるように、改善することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この課題は本発明によれ
ば請求項１の特徴部分によって解決される。

【０００６】半透明境に対する支持アームおよび旋回ア
ームは、旋回アームの旋回軸が支持アームに支承されて
いる１つの構造ユニットを形成しているので、装置の長
期の使用後も、素子の像および回路支持体の相応の箇所
の像の一致（重なり）に対しての相応に正確な調整のも
とで、回路支持体のパターン上への素子の正確な位置決
めを保証する簡単な構造を使用できる。

【０００７】その他の請求項によって有利な実施例およ
び改良例が可能である。

【０００８】旋回アームの両手操作のために有利には、
支持アームの、回路支持体の上方に突出する部分に、削
成部または面取り部または切欠部が設けられている。

【０００９】更に、素子の像および回路支持体の像を区
別しかつ像の一致を一層簡単に調整するために、素子お
よび回路支持体を異なった色の光によって照明すると有
利である。また、旋回アームの出発位置において素子ま
たは回路支持体を点滅式に照明することができ、その結
果単色のビデオ技術の場合殊に、ピンおよびパッドの一
層良好な識別が実現される。

【００１０】位置決め後、素子を照明する光源を遮断で
きるようにすることで、回路支持体における位置整定を
光学系を用いて申し分ないコントラストで監視すること
ができるう。更に作業場所を付加的に検査場所として利
用することができる。

【００１１】半透鏡の前の観察ビーム路に２つの鏡をそ
れらの間に浅い（なだらかな）角度をもって斜めに配設
すると特に有利である。このようにして例えば大きな素
子において、相互に大幅に離れた点も大きく拡大して観
察しかつそれぞれ一致させることができるので、位置決
め精度は高められる。

【００１２】有利な実施例によれば、旋回アームは同時
にろう付け装置として形成されており、その場合位置決
め過程およびろう付け過程を１つの作業工程において実
施することができる。旋回アームにガイドレールを設け
ることによって、板状の支持部材に存在する種々のろう
付けヘッドないしろう付けノズルまたは素子保持体を簡
単な取外しおよび差し込みによって交換することができ
る。その際差し込みの際に、差し込みおよび結合エレメ
ントをガイドレールの方向において配設するとき、必要
な電気接続または相応の別の結合を実施することができ
る。

【００１３】次に、図面に基づき本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００１４】

【実施例の説明】図１には、回路支持体上の素子を位置
決めする装置１の斜視図が示されている。この装置は実
質的な構成部分として、光学系３を受容する支持アーム
２、素子保持体５を備えた旋回アーム４、回路支持体７
を受容するためのエアベアリングテーブル６により構成
されている。支持アーム２と旋回アーム４は、構造的に
一体化されており、組立装着プレート８上に固定的に取
り付けられている。

【００１５】図２および図３からわかるように、支持ア
ーム２は、垂直方向に配置された第１部分９、前方へ斜
めに延在し回路支持体７の上方に突出する第２部分１
０、ならびにこの第２部分にやはり垂直に連結されてお
り片側に突出した収容プレート１２を備えた第３部分１
１により構成されている。第３部分には、この実施例で
は顕微鏡１３とキューブ形ビームスプリッタ１４とから
成る光学系３が設けられており、キューブ形ビームスプ
リッタ１４は構成部材として、４５°の角度で配置され
た半透鏡１５を有する。

【００１６】後で詳しく述べるように、旋回アーム４は
同時にろう付け装置として構成されており、垂直に設け
られた部材１６と、旋回軸１８のための支承部１７とか
ら成る。支持アーム２と旋回アーム４は互いに密に隣接
して配置されており、ここにおいて旋回軸１８は支持ア
ーム２の第１部分９において支承されている。旋回軸１
８の他方の部分は側方部分１９において支承されてお
り、この側方部も支持アーム２の第１部分９と同様に、
取り付けプレート２０上に取り付けられている。さらに
取り付けプレート２０は、組立装着プレート８と固定的
に連結されている。

【００１７】旋回軸４の上方の自由端に素子保持体５が
設けられており、これは負圧で動作する。つまり素子２
１は、破線で示された負圧ダクト２２を介した負圧を加
えられるとその表面で吸引されるので、素子２１の下面
を観察することができる。旋回軸は同時にろう付け装置
機構として構成されており、図２による実施例ではビー
ム圧着形ろう付け方式が用いられる。この目的で旋回ア
ーム４の自由端に、ビーム圧着部２３を有するビーム圧
着部ろう付けヘッドが設けられており、この場合、電流
導線と高電流端子が旋回アーム４に設けられている。

【００１８】図２において１点鎖線で示されているよう
に、旋回アームの旋回軸と素子２１の下面との間、素子
の中央部と半透鏡１５の中央部との間、さらに半透鏡１
５の中央部と回路支持体７−この上に素子２１を配置で
きる−上の回路パターン２４の中央部との間、ならびに
旋回軸１８と回路支持体７の表面の間を結ぶラインによ
り正方形が形成される。このようにして、素子が正確に
位置決めされることが保証される。エアベアリングテー
ブル６は受容部材２６を有しており、その際、当該面間
に回路支持体が保持されるかないしは固定的に留め付け
られる平面のうち下側の面は、回路支持体７が種々異な
る厚さであっても旋回アームの旋回軸１８に対してそれ
ぞれの表面２５が常に同じ高さにあるようにする目的
で、斜めに構成されている。

【００１９】いっそう良好に観察するために２つの光源
２７が設けられており、これらは一方では素子保持体５
における素子２１を照明し、他方では回路支持体７を照
明する。図２および図３中、参照番号２８で観察者の目
が示されており、参照番号２９は、ルーペ、顕微鏡、カ
メラ等のような種々異なる観察手段を表わしている。

【００２０】旋回アーム４ないし素子保持体を左手でも
操作できるようにする目的で、支持アーム２の中央の部
分１０に削成部ないし切欠部３０が設けられており、し
たがって操作者は支持アーム２を越えてうまく手入れ扱
いすることができる。

【００２１】動作は以下のとおりである。素子２１がそ
の下面を前方へ向けて素子保持体に載置された後、操作
者は部分透光性のミラー１５を通して、素子２１の画像
と回路支持体上の回路パターンを観察する。微調整部材
１３を用いて、素子２１の画像と回路パターン２４の画
像が重なり合うように動かす。その後、素子２１のピン
が回路パターン２４のパッド上に位置するように、キュ
ーブ形ビームスプリッタ１４のところを通過させて旋回
アーム４を下方へ旋回させる。次にろう付け装置を作動
し、ビーム圧着部２３により回路パターン２４上に存在
するはんだを加熱する。このことにより素子２１と回路
パターン２４との間の固定的なボンディングを形成する
ことができる。

【００２２】最近頻繁に用いられるような大きな素子の
場合には、必要な大きさに拡大しても観察フィールドが
小さすぎる可能性がある。つまり観察フィールドにおけ
る画像の重ね合わせのときですら、観察される画像から
かなり隔たって位置する素子の点と、この素子に対応づ
けられたパターンの点とが重なり合わない。この欠点を
除去するために、観察ビーム入射側の図示された図４に
よれば、半透鏡１５を備えたキューブ形ビームスプリッ
タ１４の前に２つのミラー３２、３３が配置されてい
る。これらはキューブ形ビームスプリッタに対して斜め
に位置しており、互いに向かうように僅かに向きが変え
られているので、これらのミラー間で浅い（なだらか
な）角度が形成される。これにより素子のビーム入射側
３６と回路支持体のビーム入射側３７が相互間拡開さ
れ、つまり重なり合うように動かす必要のある、互いに
隣り合って位置するそれぞれ２つの画像が見られる。矢
印３８、３９で示されているように、これらのミラーは
その位置を調整可能であり、つまりキューブ形ビームス
プリッタ１４に対する斜めの位置と、それらのミラー相
互間の位置とを調整することができる。したがって素子
ないし回路支持体のそれぞれ所望の観察すべき位置を設
定調整することができる。この場合、光学系はカメラを
有しており、このカメラはモニタに２つの部分画像を再
生する。

【００２３】光学系として２台のカメラを用いた場合に
も、同じはたらきを達成できる。これらのカメラは、種
々異なるように設定調整可能な光学軸に対する角度でも
って半透鏡を備えたキューブ形ビームスプリッタへ向け
られており、１つまたは２つのスクリーンと接続されて
いる。

【００２４】さらに別の構成として、ただ１つのカメラ
が設けられており、観察ビーム入射側に２つのプリズム
がセットされている。これらのプリズムは、素子のビー
ム入射側と回路支持体のビーム入射側をそれぞれ分割す
る。この場合、これらのプリズムは例えばシリンダ状の
ものであり、少なくとも１つの傾斜した端面を有しい
る。その際、素子ないし回路支持体の観察すべき位置
は、光学軸を中心としたプリズムの旋回により調整でき
る。また、互いに前後して配置されたそれぞれ２つのプ
リズムを設けることもでき、この場合には、それぞれ相
前後して配置されたプリズムを旋回させることにより、
互いに相対的に調整が実施される。このことにより変位
角度ならびに変位方向を設定調整できる。有利には、１
組のプリズム対を成すこれらのプリズムは、同じ勾配を
もつそれぞれ１つの端面を有する。このようなプリズム
を用いた解決手段の場合には、色の境目によるピントの
ぼけを避けるために単色光を用いる必要がある。この解
決手段は、図４による互いに向き合うように向きの変え
られたミラーに比して、両方の部分画像が正しい角度で
再生される、という利点を有する。

【００２５】図４による２つのミラーを用いた実施例の
場合、種々異なる大きさで互いに隔てられた複数の物体
の捕捉検出に対しては、観察装置の光学軸に対して直角
をなす、ミラー面内に位置する軸４０、４１を中心にミ
ラー３２、３３を調節すれば、光学系におけるゆがんだ
ラインの欠点は除去される。カメラ４４とミラー保持体
４２は、被観察領域を付加的に調整するために、一体の
ものとして旋回される。例えば、カメラとミラー保持体
を多数の軸のうちの１つを中心に旋回させれば、有利に
は、例えば図５の軸４３のように、４５°の角度で部分
透光性ミラーのほぼ中央を貫通する１つの軸を中心に旋
回させれば、素子と回路支持体の２つの対角を画像領域
内へ入れることができる。

【００２６】図６には、旋回アームの上方の部分がいっ
そう正確にわかるように示されている。この場合、素子
保持体５は、素子２１とろう付けヘッドのビーム圧着部
２３とともに支持プレート３５に配置されている。支持
プレートは、旋回アーム４の初期位置において垂直に延
在している側方のガイドレール３４内を案内される。こ
の場合、支持プレート３５は、簡単な引き抜きおよびガ
イドレール３４内への差し込みのにより、容易に交換可
能である。より正確に言えば、上記のレール３４は、種
々異なるろう付けヘッドないし種々異なる素子保持体を
備えたそれぞれの支持プレート３５を、１本の直線内で
案内するために設けられている。この直線は１つの平面
内に位置し、この平面に対して旋回軸１８と旋回アーム
４の長手方向軸は平行である。このようにして、素子の
種々異なる大きさに応じでそれぞれ異なるろう付けヘッ
ドを設けることができる。

【００２７】この実施例の場合、ろう付け装置はビーム
圧着部ろう付けヘッドとして示されているが、旋回アー
ム４内に熱溶接用のろう付けヘッドないし高熱ガスろう
付け用のガスノズルを設けることもできる。この場合、
旋回アーム４は、加熱カートリッジまたは可能であれば
ろう付けヘッドの電流供給用電力トランスのような、そ
のつどの付加的な装置をそれぞれ有する。例えば素子２
１を保持するための真空用のプラグ接続部、相応に冷却
エアのためのプラグ接続部、加熱ガスろう付けの際の高
熱ガス流用接続部、電気的に加熱されるろう付けヘッド
用高電流プラグ接続部等、結合部材も同様にガイドレー
ル３４の方向に配置されていれば、ろう付けヘッドない
しガスノズルの交換時に、つまり支持プレート３５を交
換する際に、簡単な引き抜きおよび新たなヘッドの差し
込みにより、ガイドレール３４によってすべての手段と
の結合を行なうことが可能になる。さらに、図示されて
いない制御装置が設けられており、これにより例えば素
子保持体やろう付け装置が制御される。いずれのろう付
けヘッドが目下旋回アーム４内へ組み込まれているかの
情報を制御装置が受け取れるようにする目的で、支持部
材３５上の各ろう付けヘッドに例えば符号化装置が設け
られている。この符号化装置は、同様に相応のプラグ接
続部を介して、いずれのろう付けヘッドないしガスノズ
ルが旋回アーム内に存在しているのかに関する情報を制
御装置へ供給する。このようにして制御装置は、ろう付
けヘッドの大きさに依存して、必要なろう付けエネルギ
ーを供給することができる。

【００２８】ろう付けの際に熱変動に起因して旋回アー
ム４がゆがめられないようにする目的で、旋回アームは
有利には、アームの長手方向に強い繊維成分を有するカ
ーボン繊維層により構成されている。この種のカーボン
繊維層は、装着速度に適う僅かな熱膨張率と、装着速度
に適う僅かな質量しか有していない。

【００２９】素子２１と回路支持体７を照明するため
に、２つの異なる光源２７が設けられている。これらの
光源は、有利にはそれぞれ異なる色の光を有しており、
これにより、重なり合うように動かす必要のある画像を
より良好に区別することができるようになる。位置決め
ないし配置の後、また場合によってはろう付けの後に、
素子を初期位置で照明する光源が遮断され、その結果、
回路支持体上において得られる特性を光学系３を用いて
良好なコントラストで制御調整することができる。

【００３０】照明に関する別の実施例において光源を点
滅させることができ、これにより例えば単色光のビデオ
技術においても同様に、両方の画像をいっそう良好に区
別することができるようになる。

【００３１】さらに別の構成では、初期位置において素
子と回路支持体とを交互に照明し、必要に応じて設けら
れる電子的な画像識別−処理装置を、照明を交番させる
周波数と同期させて作動させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による装置の斜視図である。

【図２】本発明による装置の側面図である。

【図３】本発明による装置の正面図である。

【図４】キューブ形ビームスプリッタ内の半透鏡を前方
に斜めに配置された２つのミラーとともに示す基本構成
図である。

【図５】キューブ形ビームスプリッタ内の半透鏡を前方
に斜めに配置された２つのミラーとともに示す基本構成
図である。

【図６】交換可能なろう付けヘッドと素子保持体を備え
た旋回アームを示す図である。

【符号の説明】

１ 位置決め装置 ２ 支持アーム ３ 光学系 ４ 旋回アーム ５ 素子保持体 ６ エアベアリングテーブル ７ 回路支持体 ８ 組立装着プレート １２ 収容プレート １３ 顕微鏡 １４ キューブ形ビームスプリッタ １５ 半透鏡 １７ 支承部 １８ 旋回軸 １９ 側方部 ２０ 取り付けプレート ２１ 素子 ２２ 負圧ダクト ２３ ビーム圧着部 ２４ 回路パターン ２６ 受容部材 ２７ 光源 ３０ 凹部 ３１ 微調整部材 ３２、３３ ミラー ３４ ガイドレール ３５ 支持プレーｔ ４２ ミラー保持体 ４４ カメラ

Claims (23)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １平面内をシフト可能に配設されてい
   る、回路パターンを有する回路支持体において電子素子
   を位置決めするための装置であって、半透境を有する光
   学系を収容するための支持アームと、自由端に前記素子
   を保持している旋回アームとを備え、ここにおいて前記
   半透鏡は、前記旋回アームに保持された素子並びに前記
   回路支持体が前記半透境によって検出可能であるように
   配設されておりかつ前記回路支持体は、前記素子の像が
   該素子に対応する、前記回路支持体上のパターンと一致
   するようにシフトされかつ前記旋回アームはその出発位
   置から旋回されかつ前記素子は該素子に対応するパター
   ン上に載置される形式のものにおいて、 前記半透鏡（１５）に対する前記支持アーム（２）およ
   び旋回アーム（４）は１つの構造ユニットを形成しかつ
   前記旋回アーム（４）の旋回軸（１８）は前記支持アー
   ム（２）に支承されていることを特徴とする回路支持体
   における電子素子の位置決め装置。
2. 【請求項２】 支持アーム（２）は、旋回アーム（４）
   の旋回軸（１８）の軸受部を収容する、垂直方向に配設
   された第１部分（９）と、回路支持体（７）上方に前方
   に向かって突出した、有利には斜めの第２部分（１０）
   と、光学系（３）を支持する、垂直方向に配設された第
   ３部分（１１）とを有している請求項１記載の回路支持
   体における電子素子の位置決め装置。
3. 【請求項３】 支持アーム（２）の第２部分（１０）
   は、旋回アーム（４）とは反対側において該旋回アーム
   の一層良好な取扱い操作のために凹所（３０）または切
   取り部を有している請求項１または２記載の回路支持体
   における電子素子の位置決め装置。
4. 【請求項４】 回路支持体（７）および素子（２１）を
   照明する、少なくとも１つの光源を有する照明装置（２
   ７）が設けられている請求項１から３までのいずれか１
   項記載の回路支持体における電子素子の位置決め装置。
5. 【請求項５】 照明装置は、回路支持体および素子（２
   １）を異なった色の光によって照明する請求項４記載の
   回路支持体における電子素子の位置決め装置。
6. 【請求項６】 旋回アーム（４）の出発位置において回
   路支持体（７）および／または素子（２１）は点滅式に
   照明される請求項４または５記載の回路支持体における
   電子素子の位置決め装置。
7. 【請求項７】 素子（２１）を照明する光源は遮断可能
   である請求項４から６までのいずれか１項記載の回路支
   持体における電子素子の位置決め装置。
8. 【請求項８】 半透鏡（１５）は、立方体形分割装置
   （キューブビームスプリッタ）の構成部分である請求項
   １から７までのいずれか１項記載の回路支持体における
   電子素子の位置決め装置。
9. 【請求項９】 半透鏡（１５）の前の観察ビーム路に、
   相互に角度を有する２つの鏡（３２，３３）が、観察ビ
   ーム路が拡がるように、配設されている請求項１から８
   でのいずれか１項記載の回路支持体における電子素子の
   位置決め装置。
10. 【請求項１０】 ２つの鏡（３２，３３）の相互間の位
    置関係および半透鏡（１５）に対しての相対的な位置関
    係は変化可能である請求項９記載の回路支持体における
    電子素子の位置決め装置。
11. 【請求項１１】 旋回アーム（４）に、下方に旋回され
    た状態において素子（２１）をパターン（２４）にろう
    付けするろう付け装置機構が設けられている請求項１か
    ら１０でのいずれか１項記載の回路支持体における電子
    素子の位置決め装置。
12. 【請求項１２】 ろう付け装置は、ガスノズルを有する
    加熱ガスろう付け装置として形成されており、ここにお
    いて旋回アーム（４）は、空気または不活性ガスに対す
    る加熱カートリッジを含んでいる請求項１１記載の回路
    支持体における電子素子の位置決め装置。
13. 【請求項１３】 ろう付け装置は、ビーム圧着形ろう付
    け装置（Strahlungsbuegelloetvorrichtung）または熱
    溶融形ないしサーモデンろう付け装置（Thermodenloetv
    orrichtung）として形成されており、ここにおいて旋回
    アーム（４）は該旋回アームに配設されているろう付け
    ヘッドに対する電流リードを含んでいる請求項１１記載
    の回路支持体における電子素子の位置決め装置。
14. 【請求項１４】 旋回アーム（４）における素子保持体
    （５）および場合に応じてろう付け装置のろう付けヘッ
    ドないしガスノズルは交換可能であり、ここにおいて旋
    回アームは側方のガイドレール（３４）を有しており、
    該ガイドレールに、ろう付けヘッドないしガスノズルお
    よび素子保持体（５）を収容する板状の支持部材（３
    ５）が差し込み接続可能である請求項１から１３までの
    いずれか１項記載の回路支持体における電子素子の位置
    決め装置。
15. 【請求項１５】 旋回アーム（４）および支持部材（３
    ５）に、前記支持部材の、ガイドレール（３４）への差
    し込み接続の際にろう付けヘッドないし空気ノズルおよ
    び素子保持体の給電のために必要とされる接続を形成す
    る差し込みおよび結合エレメントが設けられている請求
    項１４記載の回路支持体における電子素子の位置決め装
    置。
16. 【請求項１６】 ろう付け過程を制御しかつ必要なろう
    付けエネルギーを供給する制御装置が設けられており、
    ここにおいて支持部材に取り付けられたろう付けヘッド
    ないしガスノズルに相応して該ろう付けヘッドないしガ
    スノズルに属するコーディングユニットから、どのろう
    付けヘッドないしどのガスノズルが旋回アームに存在し
    ているかに関する情報が前記制御装置に供給される請求
    項１１から１５までのいずれか１項記載の回路支持体に
    おける電子素子の位置決め装置。
17. 【請求項１７】 旋回アーム（４）は、アームの長手方
    向に高いファイバ成分を有するカーボンファイバ積層体
    から成る請求項１から１６までのいずれか１項記載の回
    路支持体における電子素子の位置決め装置。
18. 【請求項１８】 光学系は、光軸に対して２つの異なっ
    て変化可能および調整可能な角度で半透鏡に配向されて
    いる２つのカメラを有している請求項１から８までのい
    ずれか１項記載の回路支持体における電子素子の位置決
    め装置。
19. 【請求項１９】 半透鏡の前でビーム路を分割するため
    に、光軸を中心に回転可能である２つのプリズムが配設
    されている請求項１から８までのいずれか１項記載の回
    路支持体における電子素子の位置決め装置。
20. 【請求項２０】 ２つのプリズムはそれぞれ、相互に回
    転可能である２つのプリズムから成る請求項１９記載の
    回路支持体における電子素子の位置決め装置。
21. 【請求項２１】 光学系は１つのカメラを有している請
    求項１から１７までのいずれか１項記載の回路支持体に
    おける電子素子の位置決め装置。
22. 【請求項２２】 ２つの鏡（３２，３３）が、観察装置
    （４４）の光軸に対して直交する、鏡面内に存在する軸
    線（４０，４１）を中心に移動調整される請求項１から
    １７までのいずれか１項記載の回路支持体における電子
    素子の位置決め装置。
23. 【請求項２３】 ２つの鏡（３２，３３）は観察装置と
    一緒に１つのユニットとして旋回される請求項２２記載
    の回路支持体における電子素子の位置決め装置。