JPH0595144A - Semiconductor laser-excited solid state laser - Google Patents

Semiconductor laser-excited solid state laser

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JPH0595144A
JPH0595144A JP25328291A JP25328291A JPH0595144A JP H0595144 A JPH0595144 A JP H0595144A JP 25328291 A JP25328291 A JP 25328291A JP 25328291 A JP25328291 A JP 25328291A JP H0595144 A JPH0595144 A JP H0595144A
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JP
Japan
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crystal
laser
resonator
state laser
solid
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JP25328291A
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Minoru Sumiya
実 角谷
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NEC Corp
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Abstract

PURPOSE:To obtain a stable laser in which a variation in an output of an inner resonator type second harmonic wave generator is suppressed by so disposing two solid state laser crystals to be polarizably oscillated that c-axes are perpendicularly crossed within the same resonator, and providing a nonlinear optical crystal second type-phase-matched between both the crystals. CONSTITUTION:A first solid state laser crystal 1a and a second solid state laser crystal 1b (e.g. Nd:YVO4 crystal) to be polarizably oscillated without using a polarizer are so disposed in one laser resonator that c-axes of the crystals 1a and 1b are crossed perpendicularly to the optical axis of the resonator and to each other. And, a secondary nonlinear optical crystal 2 second type-phase-matched for a frequency sum mixture and an optical element 3 for selectively outputting a frequency sum light generated by the crystal 2 out of the resonator are provided on the optical axis of the resonator between the crystals 1a and 1b.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザを励起光
源とする固体レーザに関し、特にその第2高調波を得る
ものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state laser using a semiconductor laser as an excitation light source, and more particularly to a solid-state laser for obtaining a second harmonic thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザの共振器内に2次の非戦形光学結
晶を配置し第2高調波を発生させる内部共振器形の第2
高調波発生は、高い高率で第2高調波を得る方法とし
て、励起光の出力が低いLD励起固体レーザでは特に有
効である。
2. Description of the Related Art A second internal-cavity-type optical resonator in which a second-order non-warfare optical crystal is arranged in a laser cavity to generate a second harmonic wave
Harmonic generation is particularly effective for LD-pumped solid-state lasers having low pumping light output as a method of obtaining the second harmonic at a high rate.

【0003】しかしながら、固体レーザとしては一般的
なNd:YAGレーザにおいて、第2種の位相整合をと
る非戦形光学結晶を用いた内部共振器型第2高調波発生
では、出力が非常に不安定になってしまう現象が生じ
る。この現象は「グリーン・プロブレム」と呼ばれ、
「Journal of Optical Socie
ty of America B,Vol.3,p.1
175(1986)」に詳しい記述がある。
However, in a general Nd: YAG laser as a solid-state laser, the internal resonator type second harmonic generation using the second-type phase-matching non-warfare optical crystal produces a very poor output. The phenomenon of becoming stable occurs. This phenomenon is called "green problem",
"Journal of Optical Society
ty of America B, Vol. 3, p. 1
175 (1986) ”.

【0004】この問題を解消する方法として、共振器内
に4分の1波長板を設け、共振器内の偏光を制御する方
法がある。これに関しては、「Optics Lett
ers,Vol.13,No.10,pp.805−8
07(1988)」に詳しい記述がある。また、固体レ
ーザ中の活性イオンの濃度を高め、さらに結晶の厚さを
薄くする事によって、単一モード発振させることによ
り、問題を解決していた。これに関しては、「IEEE
Journal of Quntum Electr
onics,Vol.26,No.9,pp.1457
−1459」に詳しい記述がある。
As a method of solving this problem, there is a method of providing a quarter-wave plate in the resonator and controlling the polarization in the resonator. For this, see "Optics Lett
ers, Vol. 13, No. 10, pp. 805-8
07 (1988) ". Further, the problem has been solved by increasing the concentration of active ions in the solid-state laser and further reducing the crystal thickness to cause single-mode oscillation. For this, see "IEEE
Journal of Quantum Electr
onics, Vol. 26, No. 9, pp. 1457
-1459 ”has a detailed description.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の方法は、4分の1波長板の制御精度が厳しい、あるい
は、励起光の強度を上げていくと多モード発振し出力変
動を起こす、など問題を残している。本発明では内部共
振器型第2高調波発生における出力の変動を抑制した、
安定なレーザ装置を提供する。
However, these methods have a problem that the control accuracy of the quarter-wave plate is strict, or that multimode oscillation occurs and the output fluctuates when the intensity of the excitation light is increased. Is left. In the present invention, the fluctuation of the output in the generation of the internal resonator type second harmonic is suppressed,
A stable laser device is provided.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、半導体レーザ
励起固体レーザにおいて、偏光素子を用いずに偏光発振
する第1の固体レーザ結晶及び第2の固体レーザ結晶を
一つのレーザ共振器の中に、該レーザ共振器の光軸に対
して該第1の固体レーザ結晶及び該第2の固体レーザ結
晶のc軸が垂直に、かつ互いに直交するように配置し、
該第1の固体レーザ結晶と該第2の固体レーザ結晶の間
のレーザ共振器の光軸上に、和周波混合のための第2種
の位相整合をとる2次の非線形光学結晶と、該非線形光
学結晶によって発生する和周波光を選択的にレーザ共振
器の外部に取り出す光学素子を設けたことを特徴とす
る。
According to the present invention, in a semiconductor laser pumped solid-state laser, a first solid-state laser crystal and a second solid-state laser crystal that oscillate polarized light without using a polarizing element are included in one laser resonator. Is arranged such that the c-axes of the first solid-state laser crystal and the second solid-state laser crystal are perpendicular to the optical axis of the laser resonator, and are orthogonal to each other,
A second-order nonlinear optical crystal that performs a second-type phase matching for sum frequency mixing on the optical axis of the laser resonator between the first solid-state laser crystal and the second solid-state laser crystal; It is characterized in that an optical element for selectively extracting the sum frequency light generated by the nonlinear optical crystal to the outside of the laser resonator is provided.

【0007】[0007]

【作用】複屈折性をもつ非線形光学結晶をレーザ共振器
内に設けることにより、レーザが共振器内部で互いに直
交する2つの偏光で発振する。非線形光学結晶が第2種
の位相整合をとるとき、直交する偏光の縦モード間の和
周波光が発生する。その和周波光発生を通した縦モード
間のエネルギーのやりとりによる縦モード間競合が出力
変動、すなわちグリーン・プロブレムとなる。これらの
直交する偏光が互いに独立に発振すれば、縦モード間競
合がなくなり、グリーン・プロブレムは生じない。
By providing a nonlinear optical crystal having birefringence in the laser resonator, the laser oscillates with two polarized lights orthogonal to each other inside the resonator. When the nonlinear optical crystal adopts the second type phase matching, sum frequency light between longitudinal modes of orthogonal polarizations is generated. The competition between the longitudinal modes due to the exchange of energy between the longitudinal modes through the generation of the sum frequency light becomes the output fluctuation, that is, the green problem. If these orthogonal polarizations oscillate independently of each other, there will be no competition between longitudinal modes and no green problem will occur.

【0008】偏光発振する固体レーザ結晶を2つ使い、
同じ共振器内でそれぞれの偏光が直交するように配置す
ることにより、独立に発振させることが可能である。こ
の共振器内に第2種の位相整合をとる非線形光学結晶
を、その結晶軸の一つが2つの互いに直交して独立に発
振している偏光のいずれかに一致させると、発振の独立
性は保たれる。こうすることにより、互いに直交し発振
の独立が保たれたまま、2つの偏光から和周波光が発生
する。
Using two solid-state laser crystals that oscillate with polarization,
It is possible to oscillate independently by arranging the polarized lights so that they are orthogonal to each other in the same resonator. When the nonlinear optical crystal that achieves the second kind of phase matching in this resonator is made to coincide with one of the two independently polarized light beams oscillating independently of each other, the oscillation independence is To be kept. By doing so, the sum frequency light is generated from the two polarizations while maintaining the oscillations orthogonal to each other and independent of each other.

【0009】[0009]

【実施例】以下、図面を参照して参照しながら本発明の
実施例について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0010】図1は本発明の第1の実施例の斜視図であ
る。Nd:YVO4結晶1a、及び1bは、それぞれ片
側端面は凸球面研磨してあり、これらの面は、発振波長
1064nmで高反射となるコーティングが施してあ
り、レーザ共振器を構成している。一軸性結晶であるN
d:YVO4 結晶1a、及び1bは共にa軸カットのも
ので、そのc軸は、レーザ共振器の軸に対して垂直とな
っており、また互いに直交している。
FIG. 1 is a perspective view of a first embodiment of the present invention. Each of the Nd: YVO 4 crystals 1a and 1b has one end face polished on a convex spherical surface, and these faces are coated with high reflection at an oscillation wavelength of 1064 nm to form a laser resonator. N is a uniaxial crystal
The d: YVO 4 crystals 1a and 1b are both a-axis cut, and their c-axes are perpendicular to the axis of the laser resonator and are also orthogonal to each other.

【0011】それぞれのNd:YVO4 結晶を半導体レ
ーザ5a、5bによりレンズ4a,4bを介して励起す
ることにより、2つのNd:YVO4 結晶は独立に発振
する。Nd:YVO4 は偏光素子を用いずに偏光発振す
る。このとき、各Nd:YVO4 結晶1a、1bにより
発振光の電界は、それぞれ結晶のc軸と平行になる。厳
密には、Nd:YVO4 はc軸と垂直方向にも利得をも
つために、2つのNd:YVO4 結晶は完全に独立に発
振しているとは言えない。しかし、c軸の平行な方向の
利得は、c軸に垂直な方向の利得に比べ、10倍以上大
きい上に、利得の最大となる波長がわずかながら異な
る。そのために、実質的に、2つのNd:YVO4 結晶
の発振は独立であると言ってもよい。
The two Nd: YVO 4 crystals oscillate independently by exciting the respective Nd: YVO 4 crystals by the semiconductor lasers 5a, 5b through the lenses 4a, 4b. Nd: YVO 4 oscillates polarized light without using a polarizing element. At this time, the electric field of the oscillated light is parallel to the c-axis of the crystals by the Nd: YVO 4 crystals 1a and 1b. Strictly speaking, since Nd: YVO 4 has a gain in the direction perpendicular to the c-axis, it cannot be said that the two Nd: YVO 4 crystals oscillate completely independently. However, the gain in the direction parallel to the c-axis is 10 times or more larger than the gain in the direction perpendicular to the c-axis, and the maximum wavelength of the gain is slightly different. Therefore, it can be said that the oscillations of the two Nd: YVO 4 crystals are substantially independent.

【0012】レーザ共振器内には第2種の位相整合をと
るKTP(KTiOPO4 )結晶2が設けられてある。
KTP結晶2の切り出し方位は1064nmの第2高調
波が発生可能な角度(θ=90°、φ=24°)となっ
ている。KTP結晶2のc軸はNd:YVO4 結晶1a
のc軸と平行にしてある。こうすることにより、2つの
Nd:YVO4 結晶1a、1bによる発振は独立が保た
れる。そして、2つの発振光はKTP結晶2により波長
532nmの和周波光に変換される。
A KTP (KTiOPO 4 ) crystal 2 having a second kind of phase matching is provided in the laser resonator.
The slicing direction of the KTP crystal 2 is an angle (θ = 90 °, φ = 24 °) at which the second harmonic of 1064 nm can be generated. The c-axis of KTP crystal 2 is Nd: YVO 4 crystal 1a
It is parallel to the c-axis of. By doing so, the oscillation by the two Nd: YVO 4 crystals 1a and 1b is kept independent. Then, the two oscillated lights are converted by the KTP crystal 2 into sum frequency light with a wavelength of 532 nm.

【0013】ダイクロイッミラー3は45°入射におい
て、波長1064に対しては完全透過で、かつ532n
mに対しては高反射となるものである。これをKTP結
晶2とNd:YVO4 結晶1bの間に設けることによ
り、KTP結晶2により発生する波長532nmの和周
波光を共振器の外部に取り出している。
The dichroic mirror 3 is completely transmissive for the wavelength 1064 at 45 ° incidence and is 532n.
It is highly reflective for m. By providing this between the KTP crystal 2 and the Nd: YVO 4 crystal 1b, the sum frequency light having a wavelength of 532 nm generated by the KTP crystal 2 is taken out of the resonator.

【0014】図2は本発明の第2の実施例の斜視図であ
る。第1の実施例では半導体レーザ5a,5bと固体レ
ーザの光軸が一直線であったのに対して、第2の実施例
ではダイクロックミラー6で光軸がL字状に折れ曲がっ
ている。ここで、ダイクロックミラー6は45°入射に
おいて波長1064nmに対しては完全反射で、波長5
32nmに対しては高透過となるものである。
FIG. 2 is a perspective view of the second embodiment of the present invention. In the first embodiment, the optical axes of the semiconductor lasers 5a and 5b and the solid-state laser are straight, whereas in the second embodiment, the optical axes of the dichroic mirror 6 are bent in an L shape. Here, the dichroic mirror 6 is completely reflected at a wavelength of 1064 nm at 45 ° incidence, and has a wavelength of 5
It has a high transmittance for 32 nm.

【0015】第1の実施例、及び第2の実施例では2つ
の半導体レーザによって、2つのNd:YVO4 結晶を
独立に励起している。しかし、半導体レーザから放射さ
れる励起光をビームスプリッターで2つに分割し、分割
された励起光をそれぞれ反射鏡などで2つのNd:YV
4 結晶まで導くことによって、一つの半導体レーザで
2つの固体レーザ結晶を励起してもかまわない。このと
きも固体レーザの発振の独立性は保たれるので、出力変
動の抑制に影響を及ぼさない。
In the first and second embodiments, two Nd: YVO 4 crystals are independently excited by two semiconductor lasers. However, the excitation light emitted from the semiconductor laser is divided into two by a beam splitter, and the divided excitation light is divided into two Nd: YV by a reflecting mirror or the like.
One semiconductor laser may excite two solid-state laser crystals by guiding them to the O 4 crystal. At this time as well, the independence of oscillation of the solid-state laser is maintained, so that the output fluctuation is not suppressed.

【0016】また、第1の実施例、及び第2の実施例で
は固体レーザ結晶にa軸カットのNd:YVO4 結晶を
用いたが、偏光素子を用いずに偏光発振する固体レーザ
結晶であれば、Nd:YLFなど他のものでもかまわな
い。
In the first and second embodiments, the a-axis cut Nd: YVO 4 crystal is used as the solid-state laser crystal, but any solid-state laser crystal that oscillates polarized light without using a polarizing element may be used. For example, other materials such as Nd: YLF may be used.

【0017】さらにまた、第1の実施例、及び第2の実
施例では非線形光学結晶にKTP結晶を用いたが、使用
する固体レーザ結晶の発振波長に対し第2種の角度位相
整合をとるものであればよい。
Further, in the first and second embodiments, the KTP crystal is used as the nonlinear optical crystal, but the second kind of angular phase matching is taken for the oscillation wavelength of the solid-state laser crystal used. If

【0018】[0018]

【発明の効果】異常詳述したように、本発明によれば、
内部共振器型第2高調波発生を利用した半導体レーザ励
起固体レーザにおいて、第2種の位相整合をとる2次の
非線形光学結晶を用いる場合に著しい出力変動を取り除
き、出力を安定化する事ができる。
As described above in detail, according to the present invention,
In a semiconductor laser-pumped solid-state laser using internal resonator type second harmonic generation, when a second-order nonlinear optical crystal that achieves the second type of phase matching is used, it is possible to eliminate significant output fluctuations and stabilize the output. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を説明するための斜視図
である。
FIG. 1 is a perspective view for explaining a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例を説明するための斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view for explaining a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a,1b Nd:YVO4 結晶 2 KTP結晶 3 ダイクロイックミラー 4a,4b レンズ 5a,5b 半導体レーザ 6 ダイクロイックミラー1a, 1b Nd: YVO 4 crystal 2 KTP crystal 3 dichroic mirror 4a, 4b lens 5a, 5b semiconductor laser 6 dichroic mirror

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成4年12月28日[Submission date] December 28, 1992

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】請求項1[Name of item to be corrected] Claim 1

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0002[Name of item to be corrected] 0002

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0002】[0002]

【従来の技術】レ−ザの共振器内に2次の非形光学結
晶を配置し第2高調波を発生させる内部共振器の第2
高調波発生は、高い率で第2高調波を得る方法とし
て、励起光の出力が低いLD励起固体レーザでは特に有
効である。
BACKGROUND ART les - Internal generating a second harmonic of the second-order nonlinear optical crystal disposed in a resonator. The resonator type second
Harmonic generation, as a method for obtaining a second harmonic with high efficiency, it is particularly effective at the output low LD pumped solid-state laser excitation light.

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0003[Name of item to be corrected] 0003

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0003】しかしながら、固体レーザとしては一般的
なNd:YAGレーザにおいて、第2種の位相整合をと
る非形光学結晶を用いた内部共振器型第2高調波発生
では、出力が非常に不安定になってしまう現象が生じ
る。この現象は「グリーン・プロブレム」と呼ばれ、
「Journal of OpticalSociet
y of America B,Vol.3,p.11
75(1986)」に詳しい記述がある。
However, as solid-state lasers general at the Nd: YAG laser, the internal resonator type second harmonic generation using nonlinear optical crystal taking the second type of phase matching, highly non outputs The phenomenon of becoming stable occurs. This phenomenon is called "green problem",
"Journal of Optical Societ
y of America B, Vol. 3, p. 11
75 (1986) ".

【手続補正4】[Procedure correction 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0013[Correction target item name] 0013

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0013】ダイクロイッミラー3は45°入射にお
いて、波長1064nmに対しては完全透過でかつ、5
32nmに対しては高反射となるものである。これをK
TP結晶2とNd:YVO4 結晶1bの間に設けること
により、KTP結晶2により発生する波長532nmの
和周波光を共振器の外部に取り出している
[0013] In the dichroic mirror 3 is incident at 45 °, and completely transparent for the wavelength 1064 nm, 5
It is highly reflective for 32 nm. This is K
By providing it between the TP crystal 2 and the Nd: YVO 4 crystal 1b, the sum frequency light with a wavelength of 532 nm generated by the KTP crystal 2 is taken out of the resonator.

【手続補正5】[Procedure amendment 5]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0018[Correction target item name] 0018

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0018】[0018]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
内部共振器型第2高調波発生を利用した半導体レーザ励
起固体レーザにおいて、第2種の位相整合をとる2次の
非線形光学結晶を用いる場合に著しい出力変動を取り除
き、出力を安定化する事ができる。
As described in detail above , according to the present invention,
In a semiconductor laser pumped solid-state laser utilizing internal cavity type second harmonic generation, when a second-order nonlinear optical crystal that achieves the second type of phase matching is used, significant output fluctuation can be removed and the output can be stabilized. it can.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体レーザ励起固体レーザにおいて、
偏光素子を用いずに偏光発振する第1の固定レーザ結晶
及び第2の固体レーザ結晶を一つのレーザ共振器の中
に、該レーザ共振器の光軸に対して該第1の固定レーザ
結晶及び該第2の固体レーザ結晶のc軸が垂直に、かつ
互いに直交するように配置し、該第1の固定レーザ結晶
と該第2の固体レーザ結晶の間のレーザ共振器の光軸上
に、和周波混合のための第2種の位相整合をとる2次の
非線形光学結晶と、該非線形光学結晶によって発生する
和周波光を選択的にレーザ共振器の外部に取り出す光学
素子を設けたことを特徴とする半導体レーザ励起固体レ
ーザ。
1. A semiconductor laser pumped solid-state laser,
A first fixed laser crystal and a second solid-state laser crystal that oscillate polarized light without using a polarizing element are provided in one laser resonator, and the first fixed laser crystal and the second fixed laser crystal with respect to the optical axis of the laser resonator. The second solid-state laser crystal is arranged so that the c-axis thereof is vertical and orthogonal to each other, and on the optical axis of the laser resonator between the first fixed laser crystal and the second solid-state laser crystal, A second-order nonlinear optical crystal for phase-matching the second type for sum frequency mixing and an optical element for selectively extracting the sum frequency light generated by the nonlinear optical crystal to the outside of the laser resonator are provided. Characteristic semiconductor laser pumped solid-state laser.
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Cited By (4)

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