JPH07131101A - Laser beam generating device - Google Patents

Laser beam generating device

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Publication number
JPH07131101A
JPH07131101A JP27846993A JP27846993A JPH07131101A JP H07131101 A JPH07131101 A JP H07131101A JP 27846993 A JP27846993 A JP 27846993A JP 27846993 A JP27846993 A JP 27846993A JP H07131101 A JPH07131101 A JP H07131101A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
laser light
medium
crystal element
nonlinear optical
Prior art date
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Pending
Application number
JP27846993A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Bueruna Buihiman
ヴェルナ ヴィヒマン
Michio Oka
美智雄 岡
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP27846993A priority Critical patent/JPH07131101A/en
Publication of JPH07131101A publication Critical patent/JPH07131101A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To stably generate a second harmonic, using an Nd:YVO4 birefringence laser medium, by orienting the c-axis of the medium in the same direction as that of a crystal of a nonlinear optical crystal element. CONSTITUTION:A laser beam is emitted as a pumping beam from a laser diode 11, i.e., a semiconductor laser element as a pumping light source element. This beam is focused by a lens 12 and applied to a laser medium 16 made of Nd: YVO4 through a reflection mirror 14 of a laser resonator 13 and a quarter-wave plate 15. The mirror 14 uses a concave mirror having a concave face inside. The medium 16 generates a fundamental wave of the laser beam in response to the incidence of the excited beam, and this wave passing through a nonlinear optical crystal element 17 using e.g. KTP is reflected by a reflection mirror 18. The c-axis of the Nd:YVO4 of the medium 16 is oriented in the same direction as that of a KTP crystal of the element 17.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光発生装置に関
し、特に、非線形光学結晶素子を用いて高次高調波レー
ザ光を発生させるレーザ光源を有するレーザ光発生装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser light generator, and more particularly to a laser light generator having a laser light source for generating high-order harmonic laser light using a nonlinear optical crystal element.

【0002】[0002]

【従来の技術】共振器内部の高いパワー密度を利用して
効率良く波長変換を行うことが従来より提案されてお
り、例えば、外部共振型のSHG(第2高調波発生)
や、レーザ共振器内部の非線形光学素子によるSHG等
が試みられている。
2. Description of the Related Art It has hitherto been proposed to efficiently perform wavelength conversion by utilizing a high power density inside a resonator, for example, an external resonance type SHG (second harmonic generation).
Alternatively, SHG and the like using a nonlinear optical element inside the laser resonator have been tried.

【0003】レーザ共振器内第2高調波発生タイプの例
としては、共振器を構成する少なくとも1対の反射鏡の
間にレーザ媒質及び非線形光学結晶素子を配置したもの
が知られている。このタイプのレーザ光発生装置の場合
には、共振器内部の非線形光学結晶素子において、基本
波レーザ光に対して第2高調波レーザ光を位相整合させ
ることにより、効率良く第2高調波レーザ光を取り出す
ことができる。
As an example of the second harmonic generation type in the laser resonator, there is known one in which a laser medium and a nonlinear optical crystal element are arranged between at least one pair of reflecting mirrors constituting the resonator. In the case of this type of laser light generator, the nonlinear optical crystal element in the resonator is arranged so that the second harmonic laser light is phase-matched with the fundamental laser light, so that the second harmonic laser light is efficiently generated. Can be taken out.

【0004】上記位相整合を実現する方法としては、基
本波レーザ光及び第2高調波レーザ光間にタイプI又は
タイプIIの位相整合条件を成り立たせるようにする。す
なわち、タイプIの位相整合は、基本波レーザ光の常光
線を利用して、同一方向に偏光した2つの光子から周波
数が2倍の1つの光子を作るような現象を生じさせるこ
とを原理とするものである。これに対して、タイプIIの
位相整合は、互いに直交する2つの基本波固有偏光を非
線形光学結晶素子に入射することにより、2つの固有偏
光についてそれぞれ位相整合条件を成り立たせるように
するもので、基本波レーザ光は非線形光学結晶素子の内
部において常光線及び異常光線に分かれて第2高調波レ
ーザ光の異常光線に対して位相整合を生じる。
As a method of realizing the above phase matching, a type I or type II phase matching condition is established between the fundamental laser light and the second harmonic laser light. In other words, the principle of type I phase matching is to use the ordinary ray of the fundamental laser light to generate a phenomenon in which two photons polarized in the same direction produce one photon having a frequency doubled. To do. On the other hand, type II phase matching is to make two fundamental polarizations that are orthogonal to each other enter a nonlinear optical crystal element so that the phase matching conditions can be established for each of the two polarizations. The fundamental wave laser light is divided into an ordinary ray and an extraordinary ray inside the nonlinear optical crystal element to cause phase matching with the extraordinary ray of the second harmonic laser light.

【0005】ところが、タイプIIの位相整合条件を用い
て第2高調波レーザ光を発生させようとする場合、基本
波レーザ光が非線形光学結晶素子を繰り返し通る毎に基
本波レーザ光の固有偏光の位相が変化するため、第2高
調波レーザ光の発生を安定に継続し得なくなる虞れがあ
る。
However, when the second harmonic laser light is to be generated using the type II phase matching condition, the intrinsic polarization of the fundamental laser light is changed every time the fundamental laser light repeatedly passes through the nonlinear optical crystal element. Since the phase changes, the generation of the second harmonic laser light may not be stably continued.

【0006】すなわち、レーザ媒質において発生された
基本波レーザ光が共振動作によって非線形光学結晶素子
を繰り返し通過する毎に、直交する固有振動(すなわち
p波成分及びs波成分)の位相がそれぞれずれてゆく
と、共振器の各部において基本波レーザ光が効率良く互
いに強め合うような定常状態が得られなくなることによ
り、強い共振状態(強い定在波)を形成できなくなり、
結果として基本波レーザ光の第2高調波レーザ光への変
換効率が劣化すると共に、第2高調波レーザ光にノイズ
を生じさせる虞れがある。
That is, each time the fundamental laser light generated in the laser medium repeatedly passes through the nonlinear optical crystal element due to the resonance operation, the phases of orthogonal natural vibrations (that is, p-wave component and s-wave component) are shifted. Then, in each part of the resonator, it becomes impossible to obtain a steady state in which the fundamental wave laser lights efficiently reinforce each other, so that a strong resonance state (strong standing wave) cannot be formed.
As a result, the conversion efficiency of the fundamental wave laser light into the second harmonic laser light may be deteriorated, and noise may be generated in the second harmonic laser light.

【0007】そこで、本件出願人は、特開平1−220
879号公報において、非線形光学結晶素子によって第
2高調波レーザ光を発生するようになされたレーザ光源
において、基本波レーザ光の共振光路中に、1/4波長
板等の複屈折性素子を挿入することにより、出力レーザ
光として出射する第2高調波レーザ光を安定させるよう
にしたレーザ光源を提案している。
Therefore, the applicant of the present application filed Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-220.
In Japanese Patent Publication No. 879, in a laser light source configured to generate a second harmonic laser beam by a non-linear optical crystal element, a birefringent element such as a quarter-wave plate is inserted in the resonance optical path of a fundamental wave laser beam. By doing so, a laser light source is proposed which stabilizes the second harmonic laser light emitted as the output laser light.

【0008】この特開平1−220879号公報に開示
されたレーザ光源は、レーザ共振器を構成する一対の反
射面間に配設されたNd:YAGを用いたレーザ媒質に
半導体レーザからの励起用レーザ光を入射して基本波レ
ーザ光を発生させ、この基本波レーザ光を上記共振器内
に設けられたKTP(KTiOPO4 )より成る非線形
光学結晶素子に通過させて共振動作させることでタイプ
IIの第2高調波レーザ光を発生させるものにおいて、上
記共振器内に複屈折性素子としての1/4波長板を挿入
することで上記基本波レーザ光の互いに直交する2つの
固有偏光モード間の和周波発生によるカップリングを抑
制し、発振を安定化させている。ここで上記複屈折性素
子としての1/4波長板は、光の伝播方向に垂直な面内
において、異常光方向屈折率ne の方向が、非線形光学
結晶素子(KTP)の異常光方向屈折率nKTPeの方向に
対して所定の方位角θ(例えばθ=45°)だけ傾くよ
うな光軸位置に設定されている。
The laser light source disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-220879 is for exciting a laser medium using a Nd: YAG disposed between a pair of reflecting surfaces constituting a laser resonator from a semiconductor laser. A laser beam is input to generate a fundamental wave laser beam, and the fundamental wave laser beam is passed through a nonlinear optical crystal element made of KTP (KTiOPO 4 ) provided in the resonator for resonance operation.
II second harmonic laser light is generated, by inserting a quarter-wave plate as a birefringent element into the resonator, the two fundamental polarization modes of the fundamental laser light are orthogonal to each other. Suppresses the coupling due to the sum frequency generation and stabilizes the oscillation. Here, in the quarter-wave plate as the birefringent element, in the plane perpendicular to the light propagation direction, the direction of the extraordinary light direction refractive index n e is the extraordinary light direction refraction of the nonlinear optical crystal element (KTP). The optical axis position is set so as to be inclined by a predetermined azimuth angle θ (for example, θ = 45 °) with respect to the direction of the rate n KTPe .

【0009】このように、共振器内に1/4波長板(複
屈折性素子)を設けることにより、非線形光学結晶素子
(KTP)の残留リターデーションもしくは位相遅延量
にかかわらず直交偏光間の縦モード競合ノイズの抑制に
効果がある。特に、KTPの位相遅延量が90°のと
き、Nd:YAG(レーザ媒質)内の固有偏光モードが
円偏光となるから、その利得の飽和が均一になり、さら
に同一偏光間の縦モード競合ノイズが発生しにくくなる
メリットがある。
As described above, by providing the quarter-wave plate (birefringent element) in the resonator, the longitudinal polarization between orthogonal polarizations is achieved regardless of the residual retardation or the phase delay amount of the nonlinear optical crystal element (KTP). Effective in suppressing mode competition noise. In particular, when the phase delay amount of KTP is 90 °, the intrinsic polarization mode in Nd: YAG (laser medium) becomes circularly polarized light, so that the saturation of the gain becomes uniform, and the longitudinal mode competing noise between the same polarized lights becomes Has the advantage that it is less likely to occur.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで近年におい
て、レーザ媒質としてNd:YVO4 が、Nd:YAG
に比べていくつかの利点、特に高い吸収係数の広いポン
ピング吸収帯域と、1064.1nmでの大きな誘導放
出断面積の利点を有することが知られてきている。これ
らの利点を利用して、効率的な低雑音のSHG(第2高
調波発生)Nd:YVO4 レーザ光発生装置を構成する
ことが望まれている。
By the way, in recent years, Nd: YVO 4 has been used as a laser medium instead of Nd: YAG.
It has been found to have several advantages over the above, in particular a wide pumping absorption band with a high absorption coefficient and a large stimulated emission cross section at 1064.1 nm. It is desired to construct an efficient low noise SHG (second harmonic generation) Nd: YVO 4 laser light generator by utilizing these advantages.

【0011】本発明は、このような実情に鑑みてなされ
たものであり、レーザ媒質にNd:YVO4 を用いて共
振器内SHG(第2高調波発生)型レーザ光発生装置を
構成することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and is to construct an intracavity SHG (second harmonic generation) type laser light generator using Nd: YVO 4 as a laser medium. With the goal.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ光発
生装置は、励起光源素子と、この励起光源素子からの励
起光によって励起されるレーザ媒質としてのNd:YV
4 等の複屈折性レーザ媒質と、このレーザ媒質の前後
に配置され上記レーザ媒質より発生された基本波レーザ
光を反射してレーザ共振器を構成する一対の反射手段
と、このレーザ共振器内に配設された非線形光学結晶素
子と、このレーザ共振器内に配設され上記非線形光学結
晶素子によるタイプIIの位相整合をとって第2高調波発
生を行う際のモード競合ノイズを低減させるための複屈
折性素子とを有し、上記複屈折性レーザ媒質(Nd:Y
VO4 等)の結晶のc軸を上記非線形光学結晶素子の結
晶のc軸と同じ方向に配置して成ることにより、上述の
課題を解決する。
A laser light generator according to the present invention comprises an excitation light source element and Nd: YV as a laser medium excited by the excitation light from the excitation light source element.
A birefringent laser medium such as O 4 and a pair of reflecting means arranged before and after the laser medium to form a laser resonator by reflecting the fundamental wave laser light generated by the laser medium, and the laser resonator. The non-linear optical crystal element disposed inside the laser resonator and the non-linear optical crystal element disposed inside the laser resonator are used to perform type II phase matching to reduce mode competition noise when the second harmonic generation is performed. The birefringent laser medium (Nd: Y
The above problem is solved by arranging the c-axis of the crystal (VO 4 etc.) in the same direction as the c-axis of the crystal of the nonlinear optical crystal element.

【0013】ここで、上記複屈折性レーザ媒質として
は、Nd:YVO4 (Yttrium OrthoVanadate)や、こ
のNd:YVO4 に類似した複屈折性レーザ媒質、例え
ばNd:GdVO4 、Nd:YLF、Nd:SVAP等
を用いることができる。
Here, the birefringent laser medium is Nd: YVO 4 (Yttrium OrthoVanadate) or a birefringent laser medium similar to Nd: YVO 4 , for example, Nd: GdVO 4 , Nd: YLF, Nd. : SVAP or the like can be used.

【0014】また、上記モード競合ノイズを低減させる
ための上記複屈折性素子として、基本波の1/4波長板
を用い、その光学軸が非線形光学結晶素子の光学軸と4
5°をなすように配置することが好ましい。また、上記
レーザ媒質、上記非線形光学結晶素子及び上記複屈折性
素子を密接させて順次重ね合わせて一体に構成すること
が好ましい。
Further, as the birefringent element for reducing the mode competing noise, a quarter wave plate of a fundamental wave is used, and its optical axis is equal to that of the nonlinear optical crystal element.
It is preferable to arrange them so as to form 5 °. Further, it is preferable that the laser medium, the nonlinear optical crystal element, and the birefringent element are brought into close contact with each other and sequentially stacked to be integrally formed.

【0015】[0015]

【作用】レーザ媒質としてNd:YAGに比べて効率が
高いが異方性の結晶(一軸性の結晶)であるNd:YV
4 等の複屈折性レーザ媒質を用いる際に、複屈折性レ
ーザ媒質の結晶のc軸を上記非線形光学結晶素子の結晶
のc軸と同じ方向に配置することにより、上記複屈折性
素子を挿入して互いに直交する固有偏光間の第2高調波
発生を通じてエネルギの授受を生じさせないようにし、
モード競合によるノイズを低減させている。従って、良
好な特性のNd:YVO4 等の複屈折性レーザ媒質を用
いて、タイプIIの位相整合をとった第2高調波発生が安
定して行える。
[Function] Nd: YV which is an anisotropic crystal (uniaxial crystal) having higher efficiency than Nd: YAG as a laser medium
When a birefringent laser medium such as O 4 is used, the birefringent element is arranged by arranging the c-axis of the crystal of the birefringent laser medium in the same direction as the c-axis of the crystal of the nonlinear optical crystal element. To prevent the transfer of energy through the generation of the second harmonic between the intrinsic polarizations orthogonal to each other,
Noise due to mode competition is reduced. Therefore, by using a birefringent laser medium such as Nd: YVO 4 having good characteristics, stable generation of the type II phase-matched second harmonic can be performed.

【0016】[0016]

【実施例】図1は、本発明に係るレーザ光発生装置の一
実施例の概略構成を示す構成図である。この図1におい
て、励起光源素子としての半導体レーザ素子であるレー
ザダイオード11から、励起光としてのレーザ光が出射
される。この励起レーザ光は、レンズ12で集光され、
レーザ共振器13の反射鏡14及び1/4波長板15を
介して、Nd:YVO4 (Yttrium Ortho Vanadate)を
用いたレーザ媒質16に入射される。反射鏡14には内
側が凹面とされた凹面鏡等が用いられている。レーザ媒
質16は、上記励起光の入射に応じて基本波レーザ光を
発生し、この基本波レーザ光が、例えばKTP(KTi
OPO4 )を用いた非線形光学結晶素子17を通って反
射鏡18で反射される。レーザ媒質16のNd:YVO
4 結晶のc軸を非線形光学結晶素子17のKTP結晶の
c軸と同じ方向に配置している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic structure of an embodiment of a laser beam generator according to the present invention. In FIG. 1, laser light as excitation light is emitted from a laser diode 11 which is a semiconductor laser element as an excitation light source element. This excitation laser light is condensed by the lens 12,
The light is incident on the laser medium 16 using Nd: YVO 4 (Yttrium Ortho Vanadate) via the reflecting mirror 14 and the quarter-wave plate 15 of the laser resonator 13. As the reflecting mirror 14, a concave mirror whose inside is concave is used. The laser medium 16 generates a fundamental wave laser light in response to incidence of the excitation light, and the fundamental wave laser light is, for example, KTP (KTi).
It is reflected by a reflecting mirror 18 through a nonlinear optical crystal element 17 using OPO 4 ). Nd: YVO of laser medium 16
The c-axis of the four crystals is arranged in the same direction as the c-axis of the KTP crystal of the nonlinear optical crystal element 17.

【0017】KTPのような非線形光学結晶素子17
は、タイプIIの位相整合により、上記基本波レーザ光の
2倍の周波数の第2高調波レーザ光(SHG光)を発生
する。例えば基本波レーザ光の波長λを1064nmと
すると、第2高調波レーザ光の波長はλ/2の532n
mとなる。反射鏡14の反射面14Rは、上記励起光
(例えば波長808.7nm)を透過し、レーザ媒質1
6で発生した基本波レーザ光を反射するような特性を有
し、反射鏡18の反射面18Rは、基本波レーザ光を反
射し、第2高調波レーザ光を透過するような特性を有し
ている。これらの反射鏡14、18は、いわゆるダイク
ロイックミラーにより形成できる。従って、レーザ媒質
16で発生した基本波レーザ光は、レーザ共振器13の
反射鏡14、18の間を往復進行し、レーザ光の発振が
行われる。
Nonlinear optical crystal element 17 such as KTP
Generates the second harmonic laser light (SHG light) having twice the frequency of the fundamental laser light by the type II phase matching. For example, assuming that the wavelength λ of the fundamental laser light is 1064 nm, the wavelength of the second harmonic laser light is λ / 2 532n.
m. The reflecting surface 14R of the reflecting mirror 14 transmits the excitation light (for example, wavelength 808.7 nm), and the laser medium 1
6 has a characteristic of reflecting the fundamental wave laser light, and the reflecting surface 18R of the reflecting mirror 18 has a characteristic of reflecting the fundamental wave laser light and transmitting the second harmonic laser light. ing. These reflecting mirrors 14 and 18 can be formed by so-called dichroic mirrors. Therefore, the fundamental wave laser light generated in the laser medium 16 travels back and forth between the reflecting mirrors 14 and 18 of the laser resonator 13 to oscillate the laser light.

【0018】この図1の例では反射鏡18に平面鏡が用
いているが、反射鏡14に平面鏡を用い、反射鏡18に
凹面鏡を用いるようにしてもよい。また、各素子の配列
順序は任意であり、例えば図2に示すように、励起光を
入射する側から順に、Nd:YVO4 結晶のレーザ媒質
16、KTP結晶の非線形光学結晶素子17、及び複屈
折性結晶素子である1/4波長板15のように配列して
もよい。さらに、上記反射鏡を別個に設ける代わりに、
外側の素子の外面に反射膜をコーティング形成してもよ
い。例えば、図2のレーザ媒質(Nd:YVO4 )16
の励起光入射面側に波長808.7nmの励起光を透過
し波長1064nmの基本波レーザ光を反射する反射膜
16Rを形成し、1/4波長板15のSHG光出射面側
に波長1064nmの基本波レーザ光を反射し波長53
2nmのSHG光を透過する反射膜15Rを形成し、一
方を凹面鏡とすればよい。
In the example of FIG. 1, a plane mirror is used as the reflecting mirror 18, but a plane mirror may be used as the reflecting mirror 14 and a concave mirror may be used as the reflecting mirror 18. Further, the order of arranging each element is arbitrary, and for example, as shown in FIG. 2, the laser medium 16 of Nd: YVO 4 crystal, the nonlinear optical crystal element 17 of KTP crystal, and the compound element are sequentially arranged from the side where the excitation light is incident. You may arrange like a quarter wave plate 15 which is a refractive crystal element. Furthermore, instead of providing the above-mentioned reflector separately,
A reflective film may be formed on the outer surface of the outer element by coating. For example, the laser medium (Nd: YVO 4 ) 16 shown in FIG.
A reflection film 16R that transmits the excitation light having a wavelength of 808.7 nm and reflects the fundamental wave laser light having a wavelength of 1064 nm is formed on the excitation light incident surface side of, and the wavelength of 1064 nm of the SHG light emission surface side of the 1/4 wavelength plate 15 is formed. Reflects the fundamental laser light and has a wavelength of 53
A reflective film 15R that transmits SHG light of 2 nm may be formed, and one of them may be a concave mirror.

【0019】これらのレーザ媒質(Nd:YVO4 )1
6、非線形光学結晶素子(KTP)17、及び複屈折性
結晶素子である1/4波長板15の結晶の光学軸は、図
3のように設定されている。
These laser media (Nd: YVO 4 ) 1
6, the optical axes of the crystals of the nonlinear optical crystal element (KTP) 17 and the quarter-wave plate 15 which is a birefringent crystal element are set as shown in FIG.

【0020】この図3において、レーザ媒質16である
Nd:YVO4 結晶のc軸と、非線形光学結晶素子17
であるKTP結晶のc軸とは、互いに同じ方向となるよ
うに配置されており、この結晶のc軸に対して、複屈折
性結晶素子である1/4波長板15の進相軸(fast axi
s )Fが45°の角度だけ傾いて配置されている。
In FIG. 3, the c-axis of the Nd: YVO 4 crystal that is the laser medium 16 and the nonlinear optical crystal element 17 are used.
And the c-axis of the KTP crystal is the same direction, and the fast axis (fast) of the quarter-wave plate 15 that is a birefringent crystal element is fast with respect to the c-axis of this crystal. axi
s) F is arranged at an angle of 45 °.

【0021】すなわち、この1/4波長板15は、本件
出願人が、先に特開平1−220879号公報や、特願
平2−125854号の明細書及び図面、特願平3−1
7068号の明細書及び図面等において開示した技術に
基づき用いられる複屈折性素子であり、非線形光学結晶
素子17の光学軸に対して方位角θ=45°だけ傾いた
方位にその光学軸が設定された1/4波長板15を通る
ことにより、共振器13の各部におけるレーザ光のパワ
ーを安定化するためのものである。
That is, regarding the quarter wave plate 15, the applicant of the present invention has previously described the specification and drawings of Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-220879 and Japanese Patent Application No. 2-125854, and Japanese Patent Application No. 3-1.
A birefringent element used based on the technique disclosed in the specification of 7068, drawings, etc., and its optical axis is set in an azimuth angle θ = 45 ° with respect to the optical axis of the nonlinear optical crystal element 17. This is for stabilizing the power of the laser light in each part of the resonator 13 by passing through the ¼ wavelength plate 15 thus formed.

【0022】この1/4波長板15を挿入することによ
り、 (i)和周波発生に起因する偏光モード間の非線形結合
がなくなり、偏光モード間のモード競合を防止できる。 (ii)2つの偏光モード間で空間位相差が90°となる
ので、2つの偏光モードが発振することにより空間的ホ
ールバーニング効果を抑止でき、縦2モード(偏光2モ
ード)の安定発振が得られる。 という作用効果が得られるものである。
By inserting the quarter-wave plate 15, (i) non-linear coupling between polarization modes due to sum frequency generation is eliminated, and mode competition between polarization modes can be prevented. (Ii) Since the spatial phase difference between the two polarization modes is 90 °, the spatial hole burning effect can be suppressed by oscillation of the two polarization modes, and stable oscillation of two vertical modes (two polarization modes) can be obtained. To be That is, the action and effect can be obtained.

【0023】次に、上記レーザ媒質16として用いられ
るNd:YVO4 の物理特性、特にレーザ動作の種々の
特性について説明する。
Next, the physical characteristics of Nd: YVO 4 used as the laser medium 16, in particular, various characteristics of laser operation will be described.

【0024】Nd:YVO4 は、一軸性の結晶であるこ
とより、ポンピング光の偏光方向がc軸に垂直な成分
(σ偏光)と平行な成分(π偏光)とで吸収係数が異な
る。図4は、上記π偏光、σ偏光、及びNd:YAGの
吸収スペクトルをそれぞれ示している。この図4におい
て、曲線a、bは、Nd濃度が1.1 at.%のa軸切り
出しNd:YVO4 についてのπ偏光吸収スペクトル
(a)及びσ偏光吸収スペクトル(b)をそれぞれ示
し、曲線cは、Nd濃度が0.85 at.%の吸収スペク
トルを示している。曲線a(Nd:YVO4 のπ偏光吸
収スペクトル)では、吸収係数が6mm-1と高く、吸収
深さは170μm弱と小さい。吸収FWHM(半値全
幅、Full Width Half Max.)は、略1.7nmである。
Since Nd: YVO 4 is a uniaxial crystal, the absorption coefficient differs between the component in which the polarization direction of pumping light is perpendicular to the c-axis (σ-polarized light) and the component in parallel with it (π-polarized light). FIG. 4 shows absorption spectra of π-polarized light, σ-polarized light, and Nd: YAG, respectively. In FIG. 4, curves a and b respectively show a π-polarized light absorption spectrum (a) and a σ-polarized light absorption spectrum (b) for an a-axis cut Nd: YVO 4 having an Nd concentration of 1.1 at. c shows an absorption spectrum with an Nd concentration of 0.85 at.%. The curve a (π-polarized light absorption spectrum of Nd: YVO 4 ) has a high absorption coefficient of 6 mm −1 and a small absorption depth of 170 μm. Absorption FWHM (Full Width Half Max.) Is about 1.7 nm.

【0025】図5及び図6は、Nd:YVO4 の蛍光ス
ペクトルを示し、図5はσ偏光を、図6はπ偏光をそれ
ぞれ示している。これらの蛍光スペクトルで、σ偏光成
分は1062.5nm、1064.1nm、1064.
8nm及び1066.4nmにあり、π偏光成分は10
64.1nmにある。最強の蛍光ラインは、中心波長が
1064.1nmのπ偏光にあり、FWHMは1.1n
mである。この波長での誘導放出断面積は2.8×10
-18 cm2 であり、同じ波長でのσの4倍以上大きい。
また、Nd濃度が0.85 at.%のNd:YAGでは
0.6×10-18cm2 であり、Nd:YVO4 の方が
4倍以上大きい。
5 and 6 show fluorescence spectra of Nd: YVO 4 , FIG. 5 shows σ-polarized light, and FIG. 6 shows π-polarized light. In these fluorescence spectra, the σ polarization components are 1062.5 nm, 1064.1 nm, 1064.
8 nm and 1066.4 nm, the π-polarization component is 10
It is at 64.1 nm. The strongest fluorescence line is π-polarized light with a center wavelength of 1064.1 nm, and FWHM is 1.1 n.
m. The stimulated emission cross section at this wavelength is 2.8 x 10
-18 cm 2, which is four times larger than σ at the same wavelength.
Further, Nd: YAG having an Nd concentration of 0.85 at.% Is 0.6 × 10 −18 cm 2 , and Nd: YVO 4 is four times or more larger.

【0026】このようなNd:YVO4 をレーザ媒質と
して用い、KTPによりタイプIIの位相整合をとってS
HGレーザ光発生を行う場合の共振動作が安定化する理
由について以下に説明する。
Such Nd: YVO 4 is used as a laser medium, and the phase matching of type II is achieved by KTP to obtain S.
The reason why the resonance operation is stabilized when the HG laser light is generated will be described below.

【0027】この安定化の手法は、Nd:YVO4 の短
い吸収深さを利用して空間ホールバーニングを低減する
点と、共振器内の1/4波長板を用いて偏光モードをデ
カップリングする点とを総合したものである。
This stabilization method uses the short absorption depth of Nd: YVO 4 to reduce the spatial hole burning, and decouples the polarization mode using a quarter-wave plate in the resonator. It is a combination of points and points.

【0028】ここで、上記図3の構造におけるNd:Y
VO4 レーザ媒質16の端面位置をP1 、KTP結晶素
子17の端面位置をP2 とする。共振器内を偏光が一往
復するとき、位置P1 を開始点とするときのジョーンズ
行列M1、及び位置P2 はを開始点とするときのジョー
ンズ行列M2は、それぞれ
Here, Nd: Y in the structure of FIG.
The end surface position of the VO 4 laser medium 16 is P 1 , and the end surface position of the KTP crystal element 17 is P 2 . When the polarized light makes one round trip in the resonator, the Jones matrix M1 when the position P 1 is the starting point and the Jones matrix M2 when the position P 2 is the starting point are respectively.

【0029】[0029]

【数1】 [Equation 1]

【0030】[0030]

【数2】 [Equation 2]

【0031】となる。これらの(1)、(2)式におい
て、MNd:YVO4 、MKTP 、MQWP は、Nd:YVO4
KTP、QWP(1/4波長板)による偏光状態をジョ
ーンズ行列で表したものであり、R+QWP(R-QWP)はQ
WP(1/4波長板)を方位角+α(−α)だけ回転さ
せたときの偏光状態をジョーンズ行列で表したものであ
り、C(δX )は、光学素子Xを偏光が通過する際に複
屈折によって位相量δだけ位相がずれるときの偏光状態
をジョーンズ行列で表したものである。またiは虚数単
位(−1)1/2 を示す。
It becomes In these equations (1) and (2), M Nd: YVO4 , M KTP and M QWP are Nd: YVO 4 ,
The polarization state by KTP and QWP (1/4 wavelength plate) is expressed by Jones matrix, and R + QWP (R -QWP ) is Q
The polarization state when the WP (1/4 wavelength plate) is rotated by the azimuth angle + α (−α) is represented by the Jones matrix, and C (δ X ) is the polarization state when the polarized light passes through the optical element X. In addition, the polarization state when the phase is shifted by the phase amount δ due to birefringence is represented by a Jones matrix. Further, i represents an imaginary unit (-1) 1/2 .

【0032】このとき、2つの固有偏光の電場ベクトル
は、上記位置P1 で、
At this time, the electric field vectors of the two eigenpolarizations are at the above position P 1 ,

【0033】[0033]

【数3】 [Equation 3]

【0034】となり、上記位置P2 で、Thus, at the above position P 2 ,

【0035】[0035]

【数4】 [Equation 4]

【0036】となる。また、非線形偏光については、上
記位置P1 で、
It becomes Further, regarding the nonlinear polarization, at the position P 1 ,

【0037】[0037]

【数5】 [Equation 5]

【0038】となり、上記位置P2 で、Then, at the position P 2 ,

【0039】[0039]

【数6】 [Equation 6]

【0040】となる。次に、第2高調波出力パワーの時
間平均は、上記位置P1 で、
It becomes Then, the time average of the second harmonic output power is in the position P 1,

【0041】[0041]

【数7】 [Equation 7]

【0042】となり、上記位置P2 で、At the above position P 2 ,

【0043】[0043]

【数8】 [Equation 8]

【0044】となる。従って、2つの偏光モードは、K
TP結晶内での和周波発生に起因する何らかの損失を有
して結合することがなく、安定した発振が可能である。
It becomes Therefore, the two polarization modes are K
Stable oscillation is possible without any coupling due to some loss due to the sum frequency generation in the TP crystal.

【0045】また、図2あるいは図3の構成におけるN
d:YVO4 レーザ媒質16、KTP結晶素子17、及
び1/4波長板15を順次密接させるように一体化した
構成とすることにより、共振器の寸法を小さくし、励起
用レーザダイオードやレンズと共に小型パッケージ内に
収納して、レーザ光発生装置全体の構成をさらに小型化
することができる。
Further, N in the configuration of FIG. 2 or FIG.
The d: YVO 4 laser medium 16, the KTP crystal element 17, and the quarter-wave plate 15 are integrated so as to be brought into close contact with each other in order to reduce the size of the resonator, and together with the pumping laser diode and the lens. It is possible to further reduce the size of the entire structure of the laser light generator by housing it in a small package.

【0046】次に、図7は、本発明に係るレーザ光発生
装置の他の実施例を示す概略構成図である。この実施例
において、上記図1の実施例の各部と対応する部分には
同じ指示符号を付して説明を省略する。
Next, FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the laser light generator according to the present invention. In this embodiment, parts corresponding to those in the embodiment of FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0047】この図7に示す実施例における上記図1、
図2に示す実施例との相違点は、レーザ共振器13内の
光路を反射鏡19によって屈折させたことである。すな
わち、Nd:YVO4 結晶のレーザ媒質16とKTP結
晶の非線形光学結晶素子17との間に凹面の反射面19
Rを有する反射鏡19を配設している。この反射面19
Rは、上記基本波レーザ光(例えば波長1064nm)
を反射し、SHG光(例えば波長532nm)を透過す
る光学特性を有し、この反射鏡19を介してSHG光が
取り出される。共振器13内の他の光学素子の配列順序
や構造は、例えば上記図2の例と同様にしており、励起
光がNd:YVO4 結晶のレーザ媒質16内に端面の反
射面16Rを介して入射され、発生された基本波レーザ
光は、反射鏡19で反射され、KTP結晶の非線形光学
結晶素子17を通過し複屈折性素子である1/4波長板
15に入射され、端面の反射面15Rで反射される。各
反射面16R、15Rの反射、透過特性は上記図2の例
と同様である。
FIG. 1 in the embodiment shown in FIG.
The difference from the embodiment shown in FIG. 2 is that the optical path in the laser resonator 13 is refracted by the reflecting mirror 19. That is, a concave reflecting surface 19 is provided between the laser medium 16 of Nd: YVO 4 crystal and the nonlinear optical crystal element 17 of KTP crystal.
A reflecting mirror 19 having R is arranged. This reflective surface 19
R is the fundamental laser light (for example, wavelength 1064 nm)
Has an optical characteristic of reflecting SHG light and transmitting SHG light (wavelength 532 nm, for example), and the SHG light is extracted via this reflecting mirror 19. The arrangement order and the structure of the other optical elements in the resonator 13 are the same as those in the example of FIG. 2, for example, and the excitation light is introduced into the laser medium 16 of Nd: YVO 4 crystal through the end face reflection surface 16R. The incident and generated fundamental laser light is reflected by the reflecting mirror 19, passes through the nonlinear optical crystal element 17 of KTP crystal, and is incident on the quarter-wave plate 15 which is a birefringent element. It is reflected at 15R. The reflection and transmission characteristics of the reflection surfaces 16R and 15R are similar to those in the example of FIG.

【0048】この図7の構造において、レーザ媒質16
のNd:YVO4 結晶は例えば1mm程度の厚さに、非
線形光学結晶素子17のKTPは例えば5mm程度の厚
さにし、反射鏡19の反射面19Rの凹面の直径は40
mmとしている。1/4波長板15には1°のウェッジ
をつけている。このように3つの鏡により折り畳まれた
構造の共振器によれば、Nd:YVO4 レーザ媒質16
での緩やかにフォーカスされたビーム(ビーム径約25
0μm)を維持しながらKTP結晶素子17での緊密な
フォーカシング(ビーム径約50μm)を許容する。N
d:YVO4 結晶のレーザ媒質16と反射鏡19との間
は例えば100mm程度、反射鏡19と1/4波長板1
5との間は例えば23mm程度に設定されている。レー
ザダイオード11には、例えば波長が808.7nmで
パワーが200mWのレーザ光を出力するブロードエリ
ア型レーザダイオードを用いる。各結晶16、17、1
5は、ペルチェ効果を利用して温度を10°C〜40°
Cの間に制御するいわゆるTE(サーモエレクトリッ
ク)素子上にマウントされている。
In the structure of FIG. 7, the laser medium 16
Of the Nd: YVO 4 crystal is about 1 mm, the KTP of the nonlinear optical crystal element 17 is about 5 mm, and the concave diameter of the reflecting surface 19R of the reflecting mirror 19 is 40 mm.
mm. The quarter wave plate 15 has a wedge of 1 °. According to the resonator having the structure folded by three mirrors in this way, the Nd: YVO 4 laser medium 16
Gently focused beam (beam diameter about 25
While maintaining 0 μm), the close focusing (beam diameter of about 50 μm) in the KTP crystal element 17 is allowed. N
The distance between the laser medium 16 of d: YVO 4 crystal and the reflecting mirror 19 is, for example, about 100 mm, and the reflecting mirror 19 and the quarter-wave plate 1
The distance between 5 and 5 is set to about 23 mm, for example. As the laser diode 11, for example, a broad area type laser diode that outputs a laser beam having a wavelength of 808.7 nm and a power of 200 mW is used. Each crystal 16, 17, 1
5 uses the Peltier effect to increase the temperature from 10 ° C to 40 °
It is mounted on a so-called TE (thermoelectric) element controlled during C.

【0049】図8は、SHGレーザ光の出力パワーP
out をNd:YVO4 結晶のレーザ媒質16に入射され
るポンピング光(励起光)パワーPLDの関数として表す
グラフである。このパワー特性は、KTP結晶素子17
の温度が25°C、レーザダイオード11の温度が25
°Cのとき得られたものである。波長808.7nmの
励起光から波長532nmのSHGレーザ光への変換効
率は、励起光パワーが160mWのとき約5%である。
また、SHGレーザ光が得られる閾値は40mWよりも
下であり、これは従来(Nd:YAGを用いた場合)に
比べて充分に低い値である。
FIG. 8 shows the output power P of the SHG laser light.
7 is a graph showing out as a function of pumping light (excitation light) power P LD incident on a laser medium 16 of Nd: YVO 4 crystal. This power characteristic shows that the KTP crystal element 17
Temperature is 25 ° C, and the temperature of the laser diode 11 is 25 ° C.
It was obtained at ° C. The conversion efficiency from the excitation light having a wavelength of 808.7 nm to the SHG laser light having a wavelength of 532 nm is about 5% when the excitation light power is 160 mW.
Further, the threshold value at which SHG laser light can be obtained is lower than 40 mW, which is a sufficiently low value as compared with the conventional case (when Nd: YAG is used).

【0050】図9は、レーザダイオード11の温度TLD
を変化させたときのSHGレーザ光の出力パワーPout
を示している。この測定は、KTP結晶素子17の温度
が25°Cで、励起光パワーが100mWで行われた。
出力パワーの時間軌跡から全測定期間を通じて安定した
SHGレーザ光出力が得られることがわかった。図9の
グラフからは、レーザダイオード11の温度を20°C
(Δλ≒5.6nm)以上の範囲で変化させてもSHG
レーザ光出力パワーの変動を50%より小さくすること
ができ、15°Cの範囲の変化ではパワー変動を25%
以下に抑えることができることがわかる。
FIG. 9 shows the temperature T LD of the laser diode 11.
Output power P out of the SHG laser light when V is changed
Is shown. This measurement was performed at a temperature of the KTP crystal element 17 of 25 ° C. and an excitation light power of 100 mW.
It was found from the time locus of the output power that a stable SHG laser light output was obtained over the entire measurement period. From the graph of FIG. 9, the temperature of the laser diode 11 is 20 ° C.
SHG even if changed in the range above (Δλ≈5.6 nm)
The fluctuation of the laser light output power can be made smaller than 50%, and the fluctuation of the power is 25% in the range of 15 ° C.
It turns out that it can be suppressed to the following.

【0051】図10は、SHGレーザ光の出力パワーP
out を、KTP結晶素子17の温度TKTP の関数として
表したグラフである。ここで、レーザダイオード11の
温度を25°C、励起光パワーを100mWとしてい
る。この具体例のレーザ光発生装置は、概略10°Cの
KTP温度許容範囲を有しているので、測定中には出力
が安定に維持された。SHGレーザ光パワーの変動は2
0%より小さい。
FIG. 10 shows the output power P of the SHG laser light.
12 is a graph showing out as a function of the temperature T KTP of the KTP crystal element 17. Here, the temperature of the laser diode 11 is 25 ° C., and the pumping light power is 100 mW. Since the laser light generator of this specific example has a KTP temperature allowable range of about 10 ° C., the output was kept stable during the measurement. Fluctuation of SHG laser light power is 2
It is smaller than 0%.

【0052】以上のような具体例によれば、レーザダイ
オード11から入射される励起光パワーを160mWと
したとき、8mWのSHGレーザ光パワーが得られる。
レーザパワー閾値は入射励起光パワーの40mWより小
さい。SHGレーザ光パワーは、励起用レーザダイオー
ド11の温度変化範囲が20°C以上、KTP結晶素子
17の温度変化範囲が10°Cの条件で、安定に保たれ
る。これは、レーザ媒質にNd:YAGを用いる場合に
比べて、少ないパワー消費と広い許容温度範囲の点で優
れている。
According to the above specific example, when the pumping light power incident from the laser diode 11 is 160 mW, the SHG laser light power of 8 mW can be obtained.
The laser power threshold is smaller than 40 mW of the incident excitation light power. The SHG laser light power is kept stable under the conditions that the temperature change range of the excitation laser diode 11 is 20 ° C. or higher and the temperature change range of the KTP crystal element 17 is 10 ° C. This is superior to the case of using Nd: YAG as the laser medium in that it consumes less power and has a wider allowable temperature range.

【0053】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものではなく、例えば、複屈折性レーザ媒質として
は、Nd:YVO4 以外にも、このNd:YVO4 に類
似した複屈折性レーザ媒質、例えばNd:GdVO4
Nd:YLF、Nd:SVAP等を用いることができ
る。また、タイプIIの位相整合により第2高調波発生を
行うための非線形結晶素子としては、KTPに限定され
ず、例えばLN、BBO、LBO等を用いることができ
る。
[0053] The present invention is not limited to the above embodiments, for example, as a birefringent laser medium, Nd: YVO 4 Besides, the Nd: birefringent laser similar to YVO 4 Medium, eg Nd: GdVO 4 ,
Nd: YLF, Nd: SVAP, etc. can be used. The nonlinear crystal element for generating the second harmonic by the type II phase matching is not limited to KTP, but LN, BBO, LBO, etc. can be used.

【0054】[0054]

【発明の効果】本発明に係るレーザ光発生装置によれ
ば、タイプIIの第2高調波レーザ光を発生させる共振器
内に、複屈折性レーザ媒質(Nd:YVO4 等)を用
い、この複屈折性レーザ媒質の結晶のc軸を第2高調波
発生用の非線形光学結晶素子のc軸と同じ向きに配置す
ることにより、レーザ媒質にNd:YAGを用いた場合
に比べて、効率が高く、少ない消費パワーで大きなSH
G光出力パワーが得られ、安定動作が可能な温度変化範
囲も約10°Cと広い。従って、温度安定化のための構
成を簡略化してコストダウンを図ることもできる。
According to the laser light generator of the present invention, a birefringent laser medium (Nd: YVO 4 etc.) is used in the resonator for generating the type II second harmonic laser light. By arranging the c-axis of the crystal of the birefringent laser medium in the same direction as the c-axis of the nonlinear optical crystal element for generating the second harmonic, the efficiency is higher than that when Nd: YAG is used as the laser medium. High SH with high and low power consumption
G light output power is obtained, and the temperature change range in which stable operation is possible is wide, about 10 ° C. Therefore, the structure for stabilizing the temperature can be simplified to reduce the cost.

【0055】さらに、各光学素子を密接配置すること
で、レーザ光発生装置全体を小型に構成でき、光ディス
ク装置等に適用する際にも省スペース化や小型化に貢献
することができる。
Further, by arranging the optical elements in close contact with each other, the entire laser light generator can be constructed in a small size, which contributes to space saving and size reduction when applied to an optical disk device or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るレーザ光発生装置の基本的な実施
例の概略構成を示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a schematic configuration of a basic embodiment of a laser light generator according to the present invention.

【図2】該実施例のレーザ共振器内の素子の配置を変え
た変形例を示す概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a modified example in which the arrangement of elements in the laser resonator of the embodiment is changed.

【図3】図2の各素子の結晶軸の方向を説明するための
概略斜視図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view for explaining the directions of crystal axes of the respective elements in FIG.

【図4】Nd:YVO4 に入射される励起光がπ偏光、
σ偏光の場合の吸収スペクトル及びNd:YAGの吸収
スペクトルを示すグラフである。
FIG. 4 shows that excitation light incident on Nd: YVO 4 is π-polarized,
It is a graph which shows the absorption spectrum in the case of (sigma) polarization, and the absorption spectrum of Nd: YAG.

【図5】Nd:YVO4 のσ偏光の蛍光スペクトルを示
すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a fluorescence spectrum of σ-polarized light of Nd: YVO 4 .

【図6】Nd:YVO4 のπ偏光の蛍光スペクトルを示
すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing a fluorescence spectrum of π-polarized light of Nd: YVO 4 .

【図7】本発明に係るレーザ光発生装置の他の実施例の
概略構成を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a schematic configuration of another embodiment of the laser light generator according to the present invention.

【図8】SHGレーザ光出力パワーPout をNd:YV
4 に入射される励起光パワーPLDの関数として表すグ
ラフである。
FIG. 8 shows SHG laser light output power P out as Nd: YV
6 is a graph represented as a function of pumping light power P LD incident on O 4 .

【図9】レーザダイオードの温度TLDを変化させたとき
のSHGレーザ光の出力パワーPout を示すグラフであ
る。
FIG. 9 is a graph showing the output power P out of SHG laser light when the temperature T LD of the laser diode is changed.

【図10】SHGレーザ光出力パワーPout をKTPの
温度TKTP の関数として表すグラフである。
FIG. 10 is a graph showing SHG laser light output power P out as a function of KTP temperature T KTP .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11・・・・・レーザダイオード 13・・・・・レーザ共振器 14・・・・・反射鏡 15・・・・・1/4波長板 16・・・・・レーザ媒質(Nd:YVO4 ) 17・・・・・非線形光学結晶素子(KTP) 18・・・・・反射鏡11 ... Laser diode 13 ... Laser resonator 14 ... Reflector 15 ... Quarter wave plate 16 ... Laser medium (Nd: YVO 4 ). 17-Nonlinear optical crystal element (KTP) 18-Reflector

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01S 3/136 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display H01S 3/136

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ媒質において発生した基本波レー
ザ光を共振器内に設けられた非線形光学結晶素子を通過
するように共振動作させることにより、第2高調波レー
ザ光を発生させ、上記共振器内の光路中に複屈折性素子
を挿入してモード競合によるノイズを低減させるレーザ
光発生装置であって、 上記レーザ媒質として複屈折性レーザ媒質を用い、この
複屈折性レーザ媒質の結晶のc軸を上記非線形光学結晶
素子の結晶のc軸と同じ方向に配置して成ることを特徴
とするレーザ光発生装置。
1. A second-harmonic laser light is generated by causing a fundamental-wave laser light generated in a laser medium to resonate so as to pass through a nonlinear optical crystal element provided in the resonator, thereby generating the second harmonic laser light. A laser light generating device for reducing noise due to mode competition by inserting a birefringent element in an optical path inside, wherein a birefringent laser medium is used as the laser medium, and a crystal c of the birefringent laser medium is used. A laser light generator having an axis arranged in the same direction as the c-axis of the crystal of the nonlinear optical crystal element.
【請求項2】 上記複屈折性素子として基本波の1/4
波長板を用い、その光学軸が非線形光学結晶素子の光学
軸と45°をなすことを特徴とする請求項1記載のレー
ザ光発生装置。
2. A quarter wave of a fundamental wave as the birefringent element
2. The laser beam generator according to claim 1, wherein a wave plate is used, and its optical axis forms an angle of 45 ° with the optical axis of the nonlinear optical crystal element.
【請求項3】 上記レーザ媒質、上記非線形光学結晶素
子及び上記複屈折性素子を密接させて順次重ね合わせて
一体に構成して成ることを特徴とする請求項1記載のレ
ーザ光発生装置。
3. The laser light generator according to claim 1, wherein the laser medium, the nonlinear optical crystal element, and the birefringent element are brought into close contact with each other and sequentially stacked so as to be integrally formed.
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