JPH0590386A - Conveyor - Google Patents
ConveyorInfo
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- JPH0590386A JPH0590386A JP27669491A JP27669491A JPH0590386A JP H0590386 A JPH0590386 A JP H0590386A JP 27669491 A JP27669491 A JP 27669491A JP 27669491 A JP27669491 A JP 27669491A JP H0590386 A JPH0590386 A JP H0590386A
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- JP
- Japan
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- motor
- stator
- shaft
- linear
- cam curve
- Prior art date
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- Withdrawn
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハの搬送等に
用いる搬送装置の改良に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of a transfer device used for transferring semiconductor wafers.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体ウエハの搬送装置は、半導体プロ
セスの工程においてウエハを搬送する装置である。従
来、このような半導体ウエハの搬送装置としては、例え
ば、オ―プンル―プ制御を行なうステッピングモ―タ
と、リンク機構を組み合せたものがあった。ところが最
近では、ウエハは6インチサイズのもののほかに8イン
チサイズのものも多く用いられるようになってきた。8
インチのウエハは、厚さは6インチのウエハと等しく
し、基板面の面積を広くしたものである。このため、8
インチのウエハは6インチのものに比べて壊れやすい構
成になっている。このことから、従来のステッピングモ
―タとリンク機構を用いた搬送装置で8インチのウエハ
を搬送すると、搬送中に生じる振動や、搬送を停止した
ときにウエハに与える衝撃等により、ウエハを破壊して
しまうことがある。また、ステッピングモ―タにパルス
を与えて搬送位置を位置決めするオ―プン・ル―プの制
御では、8インチのウエハを搬送すると、モ―タに過大
な負荷がかかって脱調を起こすことがある。ウエハに形
成されたICはカスタムメイドのものや高集積化された
ものが多くなり、高価になってきていることから、ウエ
ハを壊すと、それにより受ける損害も大きくなる。2. Description of the Related Art A semiconductor wafer transfer apparatus is an apparatus for transferring a wafer in a semiconductor process step. Conventionally, as such a semiconductor wafer transfer device, there has been, for example, a combination of a stepping motor for performing open loop control and a link mechanism. However, recently, in addition to 6-inch size wafers, 8-inch size wafers have been widely used. 8
The inch wafer has a thickness equal to that of the 6 inch wafer, and has a large area of the substrate surface. Therefore, 8
Inch wafers are more fragile than 6-inch wafers. For this reason, when an 8-inch wafer is transferred by a transfer device using a conventional stepping motor and a link mechanism, the wafer is destroyed due to vibrations generated during transfer or shocks given to the wafer when the transfer is stopped. It may happen. Also, with the open loop control that positions the transfer position by applying a pulse to the stepping motor, if an 8-inch wafer is transferred, an excessive load is applied to the motor, causing step out. is there. Since many of the ICs formed on the wafer are custom-made or highly integrated and are becoming expensive, when the wafer is broken, the damage caused by it is also large.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点を解決するためになされたものであり、搬送物に与
える振動と衝撃が小さく、しかも搬送物の重さが増して
もモ―タに脱調を起こしにくい搬送装置を実現すること
を目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and the vibration and impact applied to a conveyed product are small, and even when the weight of the conveyed product is increased, The purpose of the present invention is to realize a transfer device that is less likely to lose step-out on a computer.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、物体を拾い上
げ、目標位置まで運んで位置決めする搬送装置におい
て、ダイレクト・ドライブ・モ―タを駆動して駆動軸に
回転運動と直進運動を行なわせる軸駆動部と、記憶部に
格納されたカム曲線テ―ブルのテ―ブル値をもとに指令
値を算出し、算出した指令値に基づいて前記ダイレクト
・ドライブ・モ―タをフィ―ドバック制御するモ―タ制
御部と、固定子が前記駆動軸に固定された第1のリニア
モ―タと、移動子は前記第1のリニアモ―タの移動子と
連結され、固定子は移動自在になっている第2のリニア
モ―タと、前記第1及び第2のリニアモ―タを制御する
リニアモ―タ制御部と、を具備し、前記第2のリニアモ
―タの固定子の動きにより搬送動作を行なうことを特徴
とする搬送装置である。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, in a carrying device for picking up an object, carrying it to a target position and positioning it, a direct drive motor is driven to cause a drive shaft to perform a rotational motion and a rectilinear motion. A command value is calculated based on the table value of the cam curve table stored in the axis drive unit and the storage unit, and the direct drive motor is fed back based on the calculated command value. A motor control unit for controlling, a first linear motor having a stator fixed to the drive shaft, a mover connected to the mover of the first linear motor, and the stator is movable. A second linear motor, and a linear motor control unit for controlling the first and second linear motors, and the conveying operation is performed by the movement of the stator of the second linear motor. A transport device characterized by performing .
【0005】[0005]
【作用】このような本発明では、第2のリニアモ―タの
固定子は、カム曲線に基づいて駆動される駆動軸によ
り、昇降動作と回転動作を行なう。また、この固定子
は、第1及び第2のリニアモ―タにより横方向の移動を
行なう。このような固定子の運動により搬送動作を行な
う。According to the present invention as described above, the stator of the second linear motor is moved up and down and rotated by the drive shaft driven based on the cam curve. Further, this stator is moved laterally by the first and second linear motors. The transport operation is performed by such movement of the stator.
【0006】[0006]
【実施例】以下、図面を用いて本発明を説明する。図1
は本発明の一実施例の構成図である。図1において、1
はダイレクト・ドライブ・モ―タ(以下、DDモ―タと
する)を用いたアクチュエ―タ11と12により出力軸
13に回転運動と直進運動を行なわせる軸駆動部であ
る。2,3はカム曲線を用いてDDモ―タをフィ―ドバ
ック制御するモ―タ制御部である。4は出力軸13と連
結された駆動軸、41は駆動軸4が挿入されていて、駆
動軸4が傾斜しないように支持する支持部材である。
5,6はリニアモ―タである。リニアモ―タ5は、固定
子51は駆動軸4に固定されている。リニアモ―タ6
は、移動子61はリニアモ―タ5の移動子52と連結さ
れ、固定子62は移動子61上にあって移動自在になっ
ている。移動自在になった固定子62に搬送物を掴むハ
ンド等が取付けられる。42はガイド部材であり、ガイ
ド溝43の部分で固定子51と係合していて、固定子5
1の移動をガイドする。係合部分の構成を図2に示す。
図2に示すように、固定子51に固定された係合部材5
3がガイド溝43に挿入されている。そして、固定子5
1が紙面と直交する方向に移動すると、係合部材53は
ガイド溝43に沿って移動し、固定子51の移動をガイ
ドする。これらのリニアモ―タ5,6はパルスモ―タで
ある。7,8はリニアモ―タ5,6をフィ―ドバック制
御するリニアモ―タ制御部である。このような搬送装置
において、固定子62は、カム曲線に基づいて駆動され
る駆動軸により昇降動作と回転動作を行なう。また、固
定子62は、リニアモ―タ5と6により横方向の移動を
行なう。このような動作を行なう固定子62にロボット
ハンドを取付け、ロボットハンドと固定子の動きによ
り、ウエハを取り上げて搬送し、加工位置に位置決めす
る作業を行なう。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. Figure 1
FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1
Is a shaft drive unit for causing the output shaft 13 to perform rotational movement and rectilinear movement by actuators 11 and 12 using a direct drive motor (hereinafter, referred to as DD motor). Reference numerals 2 and 3 are motor control units for controlling the feedback of the DD motor using the cam curve. Reference numeral 4 is a drive shaft connected to the output shaft 13, and reference numeral 41 is a support member into which the drive shaft 4 is inserted and which supports the drive shaft 4 so as not to incline.
Reference numerals 5 and 6 are linear motors. The stator 51 of the linear motor 5 is fixed to the drive shaft 4. Linear motor 6
The mover 61 is connected to the mover 52 of the linear motor 5, and the stator 62 is movable on the mover 61. A hand or the like for grasping a conveyed object is attached to the movable stator 62. Reference numeral 42 denotes a guide member, which is engaged with the stator 51 at the guide groove 43,
Guide the movement of 1. The structure of the engaging portion is shown in FIG.
As shown in FIG. 2, the engaging member 5 fixed to the stator 51
3 is inserted in the guide groove 43. And the stator 5
When 1 moves in the direction orthogonal to the paper surface, the engagement member 53 moves along the guide groove 43 and guides the movement of the stator 51. These linear motors 5 and 6 are pulse motors. Reference numerals 7 and 8 are linear motor control units for feedback controlling the linear motors 5 and 6. In such a carrying device, the stator 62 performs a lifting operation and a rotating operation by a drive shaft driven based on a cam curve. Further, the stator 62 is moved laterally by the linear motors 5 and 6. A robot hand is attached to the stator 62 performing such an operation, and the movement of the robot hand and the stator picks up and conveys the wafer to position it at the processing position.
【0007】ここで、軸駆動部1の構成について説明す
る。図3は軸駆動部1の具体的構成例を示した図であ
る。図3において、アクチュエ―タ11は、基本的な構
成は実願平1−35079号の出願明細書に記載された
アクチュエ―タと同様になっている。すなわち、アクチ
ュエ―タ11は、モ―タ部111と、磁気レゾルバを用
いたセンサ部112と、これらの共通の軸受113から
なり、外側がロ―タ114になり、内側がステ―タ11
5になっている。ロ―タ114はモ―タ部111とセン
サ部112のロ―タどうしを連結したものであり、ステ
―タ115はモ―タ部111とセンサ部112のステ―
タどうしを連結したものである。アクチュエ―タ12も
アクチュエ―タ11と同一構成になっている。13〜1
6及び161はアクチュエ―タ11と12を支持すると
ともに2つのアクチュエ―タを一体化する筐体である。
一体化された2つのアクチュエ―タは中心軸を一致させ
て配列されている。17はアクチュエ―タ11のロ―タ
114に連結された連結部材である。18はリニア軸受
であり、アクチュエ―タ11の中空部分に収納された回
転軸19を支持している。このリニア軸受18により回
転軸19は、回転方向へは連結部材17と連結し、軸方
向へは移動自在に支持されている。リニア軸受18はボ
―ルスプラインナットであり、スプライン軸181とス
プラインナット182からなる。図4はボ―ルスプライ
ンナットのラジアル方向の断面図である。回転軸19の
上端がスプライン軸181になっていて、スプライン軸
181とスプラインナット182の間に形成された凹部
にボ―ル183が収納されていて、このボ―ル183は
スプライン軸181の軸方向に配列されている。ボ―ル
183によって、スプライン軸181はスプラインナッ
ト182とともに回転し、軸方向へは移動自在になって
いる。スプラインナット182は連結部材17に固定さ
れている。Now, the structure of the shaft drive unit 1 will be described. FIG. 3 is a diagram showing a specific configuration example of the shaft drive unit 1. In FIG. 3, the actuator 11 is basically the same in structure as the actuator described in the specification of Japanese Patent Application No. 1-35079. That is, the actuator 11 comprises a motor section 111, a sensor section 112 using a magnetic resolver, and a bearing 113 common to these, a rotor 114 on the outer side, and a stator 11 on the inner side.
It is 5. The rotor 114 is a motor unit 111 and the rotor of the sensor unit 112 are connected to each other, and the stator 115 is a stator of the motor unit 111 and the sensor unit 112.
It is a combination of data. The actuator 12 also has the same structure as the actuator 11. 13-1
Reference numerals 6 and 161 denote casings that support the actuators 11 and 12 and integrate the two actuators.
The two integrated actuators are arranged with their central axes aligned. Reference numeral 17 is a connecting member connected to the rotor 114 of the actuator 11. Reference numeral 18 denotes a linear bearing, which supports a rotary shaft 19 housed in the hollow portion of the actuator 11. The rotary shaft 19 is connected to the connecting member 17 in the rotating direction by the linear bearing 18 and is supported so as to be movable in the axial direction. The linear bearing 18 is a ball spline nut, and includes a spline shaft 181 and a spline nut 182. FIG. 4 is a radial cross-sectional view of the ball spline nut. The upper end of the rotary shaft 19 is a spline shaft 181, and a ball 183 is housed in a recess formed between the spline shaft 181 and the spline nut 182. The ball 183 is a shaft of the spline shaft 181. Are arranged in the direction. The ball 183 causes the spline shaft 181 to rotate together with the spline nut 182 and is movable in the axial direction. The spline nut 182 is fixed to the connecting member 17.
【0008】図3へもどり、130はアクチュエ―タ1
2のロ―タ124に連結された連結部材、131は雌ね
じが切られていて連結部材130と連結されたナット部
材、132は雄ねじが切られていてナット部材131と
螺合している直進軸である。この直進軸132はアクチ
ュエ―タ12の中空部分に収納されている。140は回
転軸19と直進軸132を連結する連結機構である。連
結機構140において、141は一端が開口した円筒部
材であり、回転軸19の下端に固定されている。142
は円筒部材141に収納された玉軸受である。直進軸1
32は玉軸受142により円筒部材141に回転自在に
支持されている。このような構成の連結機構により、直
進軸132の直進運動は回転軸19へ伝わるが、回転軸
19の回転運動は直進軸132に伝わらない。Returning to FIG. 3, 130 is the actuator 1.
2 is a connecting member connected to the rotor 124, 131 is a nut member that is internally threaded and is connected to the connecting member 130, and 132 is a straight shaft that is externally threaded and is screwed into the nut member 131. Is. The linear shaft 132 is housed in the hollow portion of the actuator 12. Reference numeral 140 denotes a connecting mechanism that connects the rotating shaft 19 and the rectilinear shaft 132. In the connecting mechanism 140, 141 is a cylindrical member having one end opened, and is fixed to the lower end of the rotary shaft 19. 142
Is a ball bearing housed in the cylindrical member 141. Straight axis 1
32 is rotatably supported by the cylindrical member 141 by a ball bearing 142. With the connecting mechanism having such a configuration, the rectilinear movement of the rectilinear shaft 132 is transmitted to the rotary shaft 19, but the rotational movement of the rotary shaft 19 is not transmitted to the rectilinear shaft 132.
【0009】このような構成になった軸駆動部で、アク
チュエ―タ11が回転すると、回転運動は連結部材1
7,リニア軸受18を介して回転軸19へ伝えられ、出
力軸13が回転運動を行なう。回転軸19が回転運動し
ても、連結機構140により回転運動は直進軸132に
は伝えられない。これによって、直進軸132は回転軸
19の回転により軸方向に動くことはない。一方、アク
チュエ―タ12が回転すると、回転運動はナット部材1
31と直進軸132からなるねじ機構により直進運動に
変換され、直進軸132が直進運動を行なう。この直進
運動は連結機構140を介して回転軸19に伝えられ
る。回転軸19はリニア軸受18により軸方向に移動自
在に保持されているため、回転軸19は伝えられた直進
方向の動力により直進運動を行なう。これによって、出
力軸13は直進運動を行なう。このような回転運動と直
進運動は、別々に駆動されるアクチュエ―タ11と12
によって独立に行なわれる。When the actuator 11 is rotated in the shaft driving section having such a structure, the rotary motion is generated by the connecting member 1.
7, transmitted to the rotary shaft 19 via the linear bearing 18, and the output shaft 13 performs rotary motion. Even if the rotary shaft 19 rotates, the connecting mechanism 140 does not transmit the rotary motion to the linear shaft 132. As a result, the rectilinear shaft 132 does not move in the axial direction due to the rotation of the rotary shaft 19. On the other hand, when the actuator 12 rotates, the rotation motion is the nut member 1.
The linear movement is converted by the screw mechanism composed of 31 and the linear movement shaft 132, and the linear movement shaft 132 performs the linear movement. This linear movement is transmitted to the rotary shaft 19 via the connecting mechanism 140. Since the rotary shaft 19 is held by the linear bearing 18 so as to be movable in the axial direction, the rotary shaft 19 makes a linear motion by the transmitted power in the linear direction. As a result, the output shaft 13 moves straight. Such rotary motion and linear motion are separately driven actuators 11 and 12
Independently.
【0010】図5は軸駆動部の運動を示した図である。
アクチュエ―タ11が回転すると、図5(a)に示すよ
うに出力軸13は回転する。アクチュエ―タ12が回転
すると、図5(b)に示すように出力軸13は直進す
る。アクチュエ―タ11と12の両方が回転すると、図
5(c)に示すように出力軸13は回転しながら直進方
向に動く。FIG. 5 is a diagram showing the movement of the shaft drive unit.
When the actuator 11 rotates, the output shaft 13 rotates as shown in FIG. 5 (a). When the actuator 12 rotates, the output shaft 13 moves straight as shown in FIG. 5 (b). When both actuators 11 and 12 rotate, the output shaft 13 moves in a straight direction while rotating, as shown in FIG. 5 (c).
【0011】次に、モ―タ制御部2の構成を説明する。
図6はモ―タ制御部2の具体的構成例を示した図であ
る。図6において、210はモ―タの駆動対象物の移動
距離(ストロ―ク)及び移動時間と後述するカム曲線テ
―ブルの種類のデ―タが入力されるキ―ボ―ド、220
はキ―ボ―ド210の入力を受けこの入力に応じたNC
コマンドを出力するデ―タ入力部、230はデ―タ入力
部220からのNCコマンドが格納される不揮発性のメ
モリである。240はメモリ230からNCコマンドを
逐次取出して実行するインタプリタである。250は複
数種類のカム曲線テ―ブル250 1〜250n が設けら
れたカム曲線メモリである。ここで、カム曲線テ―ブル
はモ―タの回転変位と時間を無次元化したデ―タを対応
させたテ―ブルである。260はカム曲線指令部であ
り、インタプリタ240から与えられたカム曲線の種類
のデ―タからカム曲線テ―ブル250 1〜250n の中
の1つを選択し、選択したカム曲線テ―ブルを参照しな
がら、インタプリタ240から与えられたストロ―クと
移動時間を満足する指令値を算出する。270はカム曲
線指令部260が算出した指令値をもとに、モ―タ回転
位置が指令値に一致するようにDDモ―タ111を制御
する位置決めサ―ボドライバである。ここで、DDモ―
タ111は、アクチュエ―タ11にあるDDモ―タであ
る。Next, the structure of the motor controller 2 will be described.
FIG. 6 is a diagram showing a specific configuration example of the motor control unit 2. In FIG. 6, reference numeral 210 is a keyboard 220 for inputting the moving distance (stroke) and moving time of the motor drive object and the data of the type of cam curve table described later.
Receives the input of the keyboard 210 and responds to this input.
A data input unit 230 for outputting a command is a non-volatile memory in which the NC command from the data input unit 220 is stored. An interpreter 240 sequentially fetches NC commands from the memory 230 and executes them. A cam curve memory 250 is provided with a plurality of types of cam curve tables 2501 to 250n. Here, the cam curve table is a table in which the rotational displacement of the motor and the data in which the time is made dimensionless correspond to each other. A cam curve command unit 260 selects one of the cam curve tables 250 1 to 250 n from the data of the kind of cam curve given from the interpreter 240, and selects the selected cam curve table. With reference to this command, a command value that satisfies the stroke and travel time given by the interpreter 240 is calculated. A positioning servo driver 270 controls the DD motor 111 based on the command value calculated by the cam curve command unit 260 so that the motor rotational position matches the command value. Here, DD mode
The data 111 is a DD motor in the actuator 11.
【0012】このように構成したモ―タ制御部の動作を
説明する。キ―ボ―ド210によりデ―タ入力部220
を介してNCコマンドがメモリ230に書込まれる。イ
ンタプリタ240はメモリ230からNCコマンドを逐
次取出して実行する。モ―タの動作指令を行う場合は、
インタプリタ240はカム曲線指令部250に対してス
トロ―ク、移動時間及びカム曲線テ―ブルの種類のデ―
タを与え、タイマ41を用いて時間τ毎にサンプリング
する。カム曲線は図7に示すように、一定時間ΔT毎に
モ―タの回転変位と時間の無次元化デ―タの関係を表わ
したグラフである。カム曲線テ―ブルは図8に示すよう
に、時間ΔT毎にカム曲線のデ―タを対応させたデ―タ
と、テ―ブルのピッチの逆数1/ΔTと、無次元最大速
度Vm と、無次元最大加速度Am が記憶されている。The operation of the motor control unit thus constructed will be described. Data input section 220 by means of keyboard 210
The NC command is written in the memory 230 via. The interpreter 240 sequentially fetches NC commands from the memory 230 and executes them. When issuing a motor operation command,
The interpreter 240 instructs the cam curve command unit 250 to read stroke, movement time, and cam curve table types.
The timer 41 is used to sample every time τ. As shown in FIG. 7, the cam curve is a graph showing the relationship between the rotational displacement of the motor and the time-dimensionalized data at each constant time ΔT. As shown in FIG. 8, the cam curve table includes data in which the data of the cam curve is associated with each time ΔT, the reciprocal 1 / ΔT of the pitch of the table, and the dimensionless maximum velocity Vm. , The dimensionless maximum acceleration Am is stored.
【0013】カム曲線指令部260はタイマ41により
τ秒毎に起動される。カム曲線指令部260の動作を図
9のタイムチャ―トで説明する。図9で、まず、処理A
1により、移動実時間Rt を更新し、その後、処理A2
により更新した時間を無次元時間Tに変換する。次に、
処理A3で無次元時間Tからカム曲線テ―ブルにおける
インデックス(テ―ブル中の該当する無次元時間)ΔT
nを求める。ここで、処理A4でカム曲線テ―ブルのデ
―タを用いて次式で与えられる内挿演算により無次元変
位Sを求める。The cam curve command unit 260 is activated by the timer 41 every τ seconds. The operation of the cam curve command unit 260 will be described with reference to the time chart of FIG. In FIG. 9, first, the process A
The moving real time Rt is updated by 1, and then the process A2
The time updated by is converted into the dimensionless time T. next,
In the process A3, the dimensionless time T to the index in the cam curve table (corresponding dimensionless time in the table) ΔT
Find n. In step A4, the dimensionless displacement S is obtained by the interpolation calculation given by the following equation using the data of the cam curve table.
【数1】 S(ΔTn ):時間ΔTn におけるSの値 S(ΔTn + 1):時間ΔTn + 1におけるSの値 その後、処理A5で無次元変位Sを実変位sに変換す
る。そして、処理A6で実変位sをドライバに指令信号
として送る。次に、処理A7によりT≧1になったらカ
ム曲線指令部260の処理を終了し、ならない場合は再
びA1からの処理を繰返す。なお、インタプリタ240
にモ―タの最高速度をチェックする手段を設けてもよ
い。すなわち、最大速度V 0が、 V 0≦(h/tn )・Vm になったときにエラ―とする手段を設けてもよい。モ―
タ制御部3もモ―タ制御部2と同一の構成になってい
る。## EQU00001 ## S (.DELTA.Tn): value of S at time .DELTA.Tn S (.DELTA.Tn + 1): value of S at time .DELTA.Tn + 1 Then, the dimensionless displacement S is converted to the actual displacement s in process A5. Then, in process A6, the actual displacement s is sent to the driver as a command signal. Next, when T ≧ 1 in the process A7, the process of the cam curve command unit 260 is ended, and when it is not the case, the process from A1 is repeated again. The interpreter 240
Means may be provided to check the maximum speed of the motor. That is, it is possible to provide a means for taking an error when the maximum speed V 0 becomes V 0 ≦ (h / tn) · Vm. Mor
The motor control unit 3 also has the same configuration as the motor control unit 2.
【0014】リニアモ―タ制御部7と8は、フィ―ドバ
ック制御によりリニアモ―タ5と6を位置決めするもの
である。この制御部は、例えば、本出願人による特願平
2−248216号の出願明細書に記載された構成にな
ったものである。The linear motor control units 7 and 8 position the linear motors 5 and 6 by feedback control. This control unit has, for example, the configuration described in the application specification of Japanese Patent Application No. 2-248216 by the present applicant.
【0015】[0015]
【発明の効果】本発明によれば次の効果が得られる。 カム曲線に基づいて駆動されるモ―タにより搬送動作
を行なっているため、搬送動作が滑かになる。これによ
って、搬送中に搬送物に与える振動や、搬送を停止した
ときに搬送物に与える衝撃を小さくすることができ、壊
れやすい8インチウエハの搬送も可能になる。 搬送動力を発生するモ―タをフィ―ドバック制御して
いるため、搬送物の重さが増しても、モ―タに過大な負
荷がかかることがたない。これによって、モ―タの脱調
を防止し、安定した動作を確保できる。このことから、
8インチウエハの搬送にも容易に対応できる。 移動子どうしを連結した2個のリニアモ―タを用いて
いるため、固定子62は、図10に示す状態から図11
に示す状態まで移動可能である。これにより、装置の幅
を大きくすることなく、固定子の移動範囲を広くとるこ
とができる。According to the present invention, the following effects can be obtained. Since the carrying operation is performed by the motor driven based on the cam curve, the carrying operation is smooth. As a result, it is possible to reduce the vibration applied to the transported object during the transportation and the impact applied to the transported object when the transportation is stopped, and it is also possible to transport the fragile 8-inch wafer. Since the motor that generates the transportation power is feedback controlled, even if the weight of the transported object increases, the motor will not be overloaded. This prevents out-of-step of the motor and ensures stable operation. From this,
It can easily handle the transfer of 8-inch wafers. Since the two linear motors connecting the moving elements are used, the stator 62 changes from the state shown in FIG.
It is possible to move to the state shown in. As a result, the moving range of the stator can be widened without increasing the width of the device.
【図1】本発明の一実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.
【図2】図1の装置の要部構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of main parts of the apparatus of FIG.
【図3】図1の装置の要部構成図である。3 is a main part configuration diagram of the apparatus in FIG. 1. FIG.
【図4】図3に示すボ―ルスプラインナットのラジアル
方向の断面図である。FIG. 4 is a radial cross-sectional view of the ball spline nut shown in FIG.
【図5】図3の装置の動作説明図である。5 is an operation explanatory view of the apparatus of FIG.
【図6】図1の装置の要部構成図である。6 is a configuration diagram of main parts of the apparatus of FIG.
【図7】図6の装置の動作説明図である。FIG. 7 is an operation explanatory diagram of the apparatus of FIG.
【図8】図6の装置の動作説明図である。FIG. 8 is an operation explanatory diagram of the apparatus in FIG.
【図9】図6の装置の動作説明図である。9 is an explanatory view of the operation of the apparatus of FIG.
【図10】図1に示す固定子がとる位置を示した図であ
る。FIG. 10 is a diagram showing a position taken by the stator shown in FIG.
【図11】図1に示す固定子がとる位置を示した図であ
る。11 is a diagram showing a position taken by the stator shown in FIG.
1 軸駆動部 2,3 モ―タ制御部 4 駆動軸 5,6 リニアモ―タ 51,62 固定子 52,61 移動子 7,8 リニアモ―タ制御部 1 Axis drive unit 2,3 Motor control unit 4 Drive shaft 5,6 Linear motor 51,62 Stator 52,61 Mover 7,8 Linear motor control unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水沼 茂 神奈川県秦野市菩提133番地16 グロ―バ ルマシナリ―株式会社内 (72)発明者 村松 康彦 長野県下伊那郡松川町元大島3176番地25 横河プレシジヨン株式会社内 (72)発明者 萬歳 秀夫 長野県下伊那郡松川町元大島3176番地25 横河プレシジヨン株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Shigeru Mizunuma 133, Bodhi, Hadano-shi, Kanagawa 16 Global Machinery Co., Ltd. (72) Inventor, Yasuhiko Muramatsu 3176 25, Motooshima, Matsukawa-cho, Shimoina-gun, Nagano Yokogawa Within Precision Co., Ltd. (72) Inventor Hideo Manzai 3176-2 Motooshima, Matsukawa-cho, Shimoina-gun, Nagano 25 Yokogawa Precision Co., Ltd.
Claims (1)
置決めする搬送装置において、 ダイレクト・ドライブ・モ―タを駆動して駆動軸に回転
運動と直進運動を行なわせる軸駆動部と、 記憶部に格納されたカム曲線テ―ブルのテ―ブル値をも
とに指令値を算出し、算出した指令値に基づいて前記ダ
イレクト・ドライブ・モ―タをフィ―ドバック制御する
モ―タ制御部と、 固定子が前記駆動軸に固定された第1のリニアモ―タ
と、 移動子は前記第1のリニアモ―タの移動子と連結され、
固定子は移動自在になっている第2のリニアモ―タと、 前記第1及び第2のリニアモ―タを制御するリニアモ―
タ制御部と、 を具備し、前記第2のリニアモ―タの固定子の動きによ
り搬送動作を行なうことを特徴とする搬送装置。1. A transport device for picking up an object, carrying it to a target position and positioning it, a shaft drive part for driving a direct drive motor to rotate and drive a drive shaft, and a storage part. A motor control unit that calculates a command value based on the stored cam curve table table value and performs feedback control of the direct drive motor based on the calculated command value. A first linear motor having a stator fixed to the drive shaft, and a slider connected to the slider of the first linear motor,
The stator has a movable second linear motor, and a linear motor for controlling the first and second linear motors.
And a controller for controlling the movement of the stator of the second linear motor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27669491A JPH0590386A (en) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | Conveyor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27669491A JPH0590386A (en) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | Conveyor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0590386A true JPH0590386A (en) | 1993-04-09 |
Family
ID=17573027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27669491A Withdrawn JPH0590386A (en) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | Conveyor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0590386A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010192685A (en) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Tokyo Electron Ltd | Substrate conveying device and substrate processing system |
EP2811355A1 (en) | 2013-06-06 | 2014-12-10 | Aida Engineering, Ltd. | Servo transfer feeder and method for controlling servo transfer feeder |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP27669491A patent/JPH0590386A/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104226836A (en) * | 2013-06-06 | 2014-12-24 | 会田工程技术有限公司 | SERVO multiposition TRANSFER FEEDER AND METHOD FOR CONTROLLING SERVO multiposition TRANSFER FEEDER |
US9144903B2 (en) | 2013-06-06 | 2015-09-29 | Aida Engineering, Ltd. | Servo transfer feeder and method for controlling servo transfer feeder |
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