JPH0589826A - 四重極質量分析計 - Google Patents
四重極質量分析計Info
- Publication number
- JPH0589826A JPH0589826A JP3247413A JP24741391A JPH0589826A JP H0589826 A JPH0589826 A JP H0589826A JP 3247413 A JP3247413 A JP 3247413A JP 24741391 A JP24741391 A JP 24741391A JP H0589826 A JPH0589826 A JP H0589826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- main electrode
- auxiliary electrode
- capacitor
- electrode rods
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 主電極に印加する重畳電圧を急激に変化させ
た場合であっても補助電極に不要な電圧が発生すること
のない四重極質量分析計を提供する。 【構成】 本発明にかかる四重極質量分析計は、正もし
くは負の直流電圧と高周波交流電圧との重畳電圧が印加
される４本の主電極棒２ａ〜２ｄからなる主電極２と、
その少なくとも一方の端部側に配設され、かつ、コンデ
ンサＣ１を介して重畳電圧から取り出した高周波交流電
圧のみが印加される４本の補助電極棒３ａ〜３ｄからな
る補助電極３とを備えており、正の直流電圧を含む重畳
電圧が印加される主電極棒２ａ，２ｂと同軸状に配置さ
れた補助電極棒３ａ，３ｂはコンデンサＣ２を介して負
の直流電源７と接続される一方、負の直流電圧を含む重
畳電圧が印加される主電極棒２ｃ，２ｄと同軸状に配置
された補助電極棒３ｃ，３ｄはコンデンサＣ２を介して
正の直流電源６と接続されている。
た場合であっても補助電極に不要な電圧が発生すること
のない四重極質量分析計を提供する。 【構成】 本発明にかかる四重極質量分析計は、正もし
くは負の直流電圧と高周波交流電圧との重畳電圧が印加
される４本の主電極棒２ａ〜２ｄからなる主電極２と、
その少なくとも一方の端部側に配設され、かつ、コンデ
ンサＣ１を介して重畳電圧から取り出した高周波交流電
圧のみが印加される４本の補助電極棒３ａ〜３ｄからな
る補助電極３とを備えており、正の直流電圧を含む重畳
電圧が印加される主電極棒２ａ，２ｂと同軸状に配置さ
れた補助電極棒３ａ，３ｂはコンデンサＣ２を介して負
の直流電源７と接続される一方、負の直流電圧を含む重
畳電圧が印加される主電極棒２ｃ，２ｄと同軸状に配置
された補助電極棒３ｃ，３ｄはコンデンサＣ２を介して
正の直流電源６と接続されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主電極の少なくとも一
方の端部側に補助電極が配設されてなる構造の四重極質
量分析計に関する。
方の端部側に補助電極が配設されてなる構造の四重極質
量分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、キャピラリーＧＣ／ＭＳの普及に
よって超高速スキャニング及び高速多イオンモニターリ
ングに対する要望が強まっているが、このようなキャピ
ラリーＧＣ／ＭＳに組み込んで用いられる四重極質量分
析計には図２で示すようなものがある。すなわち、この
四重極質量分析計は、イオンを生成するイオン化室１
と、イオンの質量分離を行う主電極２及び補助電極３
と、イオン化室１と補助電極３との間に配設されてイオ
ンビームを収束する静電レンズ系４と、質量分離された
イオンを検出するイオン検出器５とを備えるとともに、
主電極２及び補助電極３を駆動する正の直流電源６、負
の直流電源７及び高周波交流電源８を備えている。
よって超高速スキャニング及び高速多イオンモニターリ
ングに対する要望が強まっているが、このようなキャピ
ラリーＧＣ／ＭＳに組み込んで用いられる四重極質量分
析計には図２で示すようなものがある。すなわち、この
四重極質量分析計は、イオンを生成するイオン化室１
と、イオンの質量分離を行う主電極２及び補助電極３
と、イオン化室１と補助電極３との間に配設されてイオ
ンビームを収束する静電レンズ系４と、質量分離された
イオンを検出するイオン検出器５とを備えるとともに、
主電極２及び補助電極３を駆動する正の直流電源６、負
の直流電源７及び高周波交流電源８を備えている。
【０００３】そして、主電極２は共通軸心（図では、ｚ
軸）に沿って互いに平行配置された４本の主電極棒２ａ
〜２ｄによって構成されており、この主電極２に対して
直流電圧Ｕと高周波交流電圧Ｖｃｏｓωｔとの重畳電圧
±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を印加することによって主電極
２の内部に電界を形成し、かつ、Ｕ／Ｖの比を一定に保
ちながらＶを変化させることによりｚ軸に沿って導入し
たイオンの質量分離を行うようになっている。すなわ
ち、この主電極２においては、ｚ軸に関して互いに対向
する位置に配置された一対の主電極棒ごとに極性の異な
る重畳電圧を印加する構成となっており、例えば、ｚ軸
と直交する横軸( 図では、ｘ軸 )に沿って対向配置され
た主電極棒２ａ，２ｂのそれぞれには＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓ
ωｔ）の重畳電圧を、また、ｚ軸と直交する縦軸( 図で
は、ｙ軸 )に沿って対向配置された主電極棒２ｃ，２ｄ
のそれぞれには−（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の重畳電圧を印
加するようになっている。
軸）に沿って互いに平行配置された４本の主電極棒２ａ
〜２ｄによって構成されており、この主電極２に対して
直流電圧Ｕと高周波交流電圧Ｖｃｏｓωｔとの重畳電圧
±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を印加することによって主電極
２の内部に電界を形成し、かつ、Ｕ／Ｖの比を一定に保
ちながらＶを変化させることによりｚ軸に沿って導入し
たイオンの質量分離を行うようになっている。すなわ
ち、この主電極２においては、ｚ軸に関して互いに対向
する位置に配置された一対の主電極棒ごとに極性の異な
る重畳電圧を印加する構成となっており、例えば、ｚ軸
と直交する横軸( 図では、ｘ軸 )に沿って対向配置され
た主電極棒２ａ，２ｂのそれぞれには＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓ
ωｔ）の重畳電圧を、また、ｚ軸と直交する縦軸( 図で
は、ｙ軸 )に沿って対向配置された主電極棒２ｃ，２ｄ
のそれぞれには−（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の重畳電圧を印
加するようになっている。
【０００４】一方、補助電極３は主電極２の端電場にお
いて発生する高質量域イオンの透過率低下や分解能低
下、スプリアスピークなどを防止すべく設けられたもの
であり、主電極２を構成する主電極棒２ａ〜２ｄのそれ
ぞれと同軸状に配置された４本の補助電極棒３ａ〜３ｄ
からなっている。そして、これらの補助電極棒３ａ〜３
ｄそれぞれには高周波交流電圧Ｖ′ｃｏｓωｔのみが印
加されるようになっており、高周波交流電圧Ｖ′ｃｏｓ
ωｔは重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）からコンデンサ
Ｃ１を介して取り出されるようになっている。なお、こ
の補助電極３の中心電位は抵抗９によって決められるよ
うになっており、抵抗９のそれぞれはグランドもしくは
適当な電位部に接続されている。
いて発生する高質量域イオンの透過率低下や分解能低
下、スプリアスピークなどを防止すべく設けられたもの
であり、主電極２を構成する主電極棒２ａ〜２ｄのそれ
ぞれと同軸状に配置された４本の補助電極棒３ａ〜３ｄ
からなっている。そして、これらの補助電極棒３ａ〜３
ｄそれぞれには高周波交流電圧Ｖ′ｃｏｓωｔのみが印
加されるようになっており、高周波交流電圧Ｖ′ｃｏｓ
ωｔは重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）からコンデンサ
Ｃ１を介して取り出されるようになっている。なお、こ
の補助電極３の中心電位は抵抗９によって決められるよ
うになっており、抵抗９のそれぞれはグランドもしくは
適当な電位部に接続されている。
【０００５】したがって、この四重極質量分析装置にお
いては、イオン化室１で生成されて静電レンズ系４によ
って収束させられたイオンが補助電極３によって大まか
に質量分離されたのち、この補助電極２を通ったイオン
が主電極２に導入されて質量分離されることになり、こ
の主電極２を通過した所要の質量数を有するイオンのみ
がイオン検出器５によって検出されることになる。
いては、イオン化室１で生成されて静電レンズ系４によ
って収束させられたイオンが補助電極３によって大まか
に質量分離されたのち、この補助電極２を通ったイオン
が主電極２に導入されて質量分離されることになり、こ
の主電極２を通過した所要の質量数を有するイオンのみ
がイオン検出器５によって検出されることになる。
【０００６】なお、図２に示す四重極質量分析計では、
補助電極３に印加すべき高周波交流電圧Ｖ′ｃｏｓωｔ
を重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）からコンデンサＣ１
を介して取り出す構成となっているが、高周波交流電圧
Ｖ′ｃｏｓωｔ供給用の電源（図示していない）を別途
設ける構成を採用した四重極質量分析計もある。
補助電極３に印加すべき高周波交流電圧Ｖ′ｃｏｓωｔ
を重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）からコンデンサＣ１
を介して取り出す構成となっているが、高周波交流電圧
Ｖ′ｃｏｓωｔ供給用の電源（図示していない）を別途
設ける構成を採用した四重極質量分析計もある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、キャピラリ
ーＧＣ／ＭＳによって超高速スキャニング及び高速多イ
オンモニターリングを行う際には、前記従来構成とされ
た四重極質量分析計において検出すべきイオンの設定質
量数を短時間で変える必要があり、そのためには、主電
極２に印加する重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を急激
に変化させなければならないことになる。そして、この
重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を急激に変化させた場
合には、コンデンサＣ１を介して補助電極３に直流電圧
Ｕの変動が伝わることになるため、補助電極３を構成す
る補助電極棒３ａ〜３ｄのそれぞれには高周波交流電圧
Ｖ′ｃｏｓωｔ以外の不要な電圧が誘起されることにな
る。なお、このようにして発生した不要な電圧はコンデ
ンサＣ１及び抵抗９の時定数に基づいて減衰することに
なるのであるが、この不要な電圧が十分に減衰してしま
うまでは四重極質量分析計の正常動作が得られないこと
になってしまう。
ーＧＣ／ＭＳによって超高速スキャニング及び高速多イ
オンモニターリングを行う際には、前記従来構成とされ
た四重極質量分析計において検出すべきイオンの設定質
量数を短時間で変える必要があり、そのためには、主電
極２に印加する重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を急激
に変化させなければならないことになる。そして、この
重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を急激に変化させた場
合には、コンデンサＣ１を介して補助電極３に直流電圧
Ｕの変動が伝わることになるため、補助電極３を構成す
る補助電極棒３ａ〜３ｄのそれぞれには高周波交流電圧
Ｖ′ｃｏｓωｔ以外の不要な電圧が誘起されることにな
る。なお、このようにして発生した不要な電圧はコンデ
ンサＣ１及び抵抗９の時定数に基づいて減衰することに
なるのであるが、この不要な電圧が十分に減衰してしま
うまでは四重極質量分析計の正常動作が得られないこと
になってしまう。
【０００８】そこで、このような不都合の発生を回避す
べく、コンデンサＣ１及び抵抗９それぞれの設定値を調
整することも考えられるのであるが、これらの調整を行
った場合には、補助電極３に印加される電圧が不十分と
なったり、位相ずれが起こったり、高周波交流電圧Ｖｃ
ｏｓωｔを供給する高周波交流電源８の負荷が大きくな
ったりというような別の不都合が生じることになってし
まう。
べく、コンデンサＣ１及び抵抗９それぞれの設定値を調
整することも考えられるのであるが、これらの調整を行
った場合には、補助電極３に印加される電圧が不十分と
なったり、位相ずれが起こったり、高周波交流電圧Ｖｃ
ｏｓωｔを供給する高周波交流電源８の負荷が大きくな
ったりというような別の不都合が生じることになってし
まう。
【０００９】さらにまた、補助電極３に印加される高周
波交流電圧Ｖ′ｃｏｓωｔ供給用の電源を別途設けた四
重極質量分析計においては、以上説明したような不都合
は生じないことになるが、わざわざ別の電源を設けるの
であるから、全体構造が複雑化することになるばかり
か、コストアップを招いてしまうことになる。
波交流電圧Ｖ′ｃｏｓωｔ供給用の電源を別途設けた四
重極質量分析計においては、以上説明したような不都合
は生じないことになるが、わざわざ別の電源を設けるの
であるから、全体構造が複雑化することになるばかり
か、コストアップを招いてしまうことになる。
【００１０】本発明は、これらの不都合に鑑みて創案さ
れたものであって、全体構造の簡素化及び調整・保守の
容易化を図りつつ、主電極に印加する重畳電圧を急激に
変化させた場合であっても補助電極に不要な電圧が発生
することのない四重極質量分析計を提供することを目的
としている。
れたものであって、全体構造の簡素化及び調整・保守の
容易化を図りつつ、主電極に印加する重畳電圧を急激に
変化させた場合であっても補助電極に不要な電圧が発生
することのない四重極質量分析計を提供することを目的
としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる四重極質
量分析計は、このような目的を達成するために、正
（＋）もしくは負（−）の直流電圧Ｕと高周波交流電圧
Ｖｃｏｓωｔとの重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）がそ
れぞれ印加される４本の主電極棒２ａ〜２ｄからなる主
電極２と、その少なくとも一方の端部側に配設され、か
つ、コンデンサＣ１を介して重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓ
ωｔ）から取り出した高周波交流電圧Ｖ′ｃｏｓωｔの
みが印加される４本の補助電極棒３ａ〜３ｄからなる補
助電極３とを備えており、正（＋）の直流電圧Ｕを含む
重畳電圧＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒
２ａ，２ｂと同軸状に配置された補助電極棒３ａ，３ｂ
はコンデンサＣ２を介して負（−）の直流電源７と接続
される一方、負（−）の直流電圧Ｕを含む重畳電圧−
（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒２ｃ，２ｄ
と同軸状に配置された補助電極棒３ｃ，３ｄはコンデン
サＣ２を介して正（＋）の直流電源６と接続されている
ことを特徴とするものである。
量分析計は、このような目的を達成するために、正
（＋）もしくは負（−）の直流電圧Ｕと高周波交流電圧
Ｖｃｏｓωｔとの重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）がそ
れぞれ印加される４本の主電極棒２ａ〜２ｄからなる主
電極２と、その少なくとも一方の端部側に配設され、か
つ、コンデンサＣ１を介して重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓ
ωｔ）から取り出した高周波交流電圧Ｖ′ｃｏｓωｔの
みが印加される４本の補助電極棒３ａ〜３ｄからなる補
助電極３とを備えており、正（＋）の直流電圧Ｕを含む
重畳電圧＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒
２ａ，２ｂと同軸状に配置された補助電極棒３ａ，３ｂ
はコンデンサＣ２を介して負（−）の直流電源７と接続
される一方、負（−）の直流電圧Ｕを含む重畳電圧−
（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒２ｃ，２ｄ
と同軸状に配置された補助電極棒３ｃ，３ｄはコンデン
サＣ２を介して正（＋）の直流電源６と接続されている
ことを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】上記構成によれば、主電極２に印加される重畳
電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を急激に変化させた場合に
おける補助電極３を構成する補助電極棒３ａ〜３ｄそれ
ぞれに対しては、コンデンサＣ１，Ｃ２のそれぞれを介
して正負（＋−）両方の直流電圧Ｕの変動が同時に伝わ
ることになる。すなわち、正（＋）の直流電圧Ｕを含む
重畳電圧＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒
２ａ，２ｂと同軸状に配置された補助電極棒３ａ，３ｂ
にはコンデンサＣ１を介して正（＋）の直流電圧Ｕの変
動が伝わると同時にコンデンサＣ２を介して負（−）の
直流電圧Ｕの変動が伝わる一方、負（−）の直流電圧Ｕ
を含む重畳電圧−（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主
電極棒２ｃ，２ｄと同軸状に配置された補助電極棒３
ｃ，３ｄにはコンデンサＣ１を介して負（−）の直流電
圧Ｕの変動が伝わると同時にコンデンサＣ２を介して正
（＋）の直流電圧Ｕの変動が伝わることになる。そこ
で、重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の急激な変化によ
って発生し、補助電極棒３ａ〜３ｄそれぞれに伝わる正
負（＋−）それぞれの直流電圧Ｕの変動は互いに打ち消
しあうことになる。
電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を急激に変化させた場合に
おける補助電極３を構成する補助電極棒３ａ〜３ｄそれ
ぞれに対しては、コンデンサＣ１，Ｃ２のそれぞれを介
して正負（＋−）両方の直流電圧Ｕの変動が同時に伝わ
ることになる。すなわち、正（＋）の直流電圧Ｕを含む
重畳電圧＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒
２ａ，２ｂと同軸状に配置された補助電極棒３ａ，３ｂ
にはコンデンサＣ１を介して正（＋）の直流電圧Ｕの変
動が伝わると同時にコンデンサＣ２を介して負（−）の
直流電圧Ｕの変動が伝わる一方、負（−）の直流電圧Ｕ
を含む重畳電圧−（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主
電極棒２ｃ，２ｄと同軸状に配置された補助電極棒３
ｃ，３ｄにはコンデンサＣ１を介して負（−）の直流電
圧Ｕの変動が伝わると同時にコンデンサＣ２を介して正
（＋）の直流電圧Ｕの変動が伝わることになる。そこ
で、重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の急激な変化によ
って発生し、補助電極棒３ａ〜３ｄそれぞれに伝わる正
負（＋−）それぞれの直流電圧Ｕの変動は互いに打ち消
しあうことになる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１４】図１は、本実施例にかかる四重極質量分析
計の概略構成を示す構造図である。なお、この四重極質
量分析計の基本的な構成は従来例と異ならないので、図
１において図２と互いに同一もしくは相当する部品、部
分には同一符号を付し、ここでの詳しい説明は省略す
る。
計の概略構成を示す構造図である。なお、この四重極質
量分析計の基本的な構成は従来例と異ならないので、図
１において図２と互いに同一もしくは相当する部品、部
分には同一符号を付し、ここでの詳しい説明は省略す
る。
【００１５】この四重極質量分析計は、イオン化室１
と、主電極２と、その少なくとも一方の端部側に配設さ
れた補助電極３と、静電レンズ系４と、イオン検出器５
とを備えるほか、主電極２及び補助電極３を駆動するた
めの正（＋）の直流電源６、負（−）の直流電源７及び
高周波交流電源８を備えている。なお、この図１では、
主電極２の前端部側にのみ補助電極３が配設されている
が、この補助電極３が主電極２の後端部側にのみ、ある
いはまた、主電極２の前後端部側それぞれに設けられて
いてもよいことは勿論である。
と、主電極２と、その少なくとも一方の端部側に配設さ
れた補助電極３と、静電レンズ系４と、イオン検出器５
とを備えるほか、主電極２及び補助電極３を駆動するた
めの正（＋）の直流電源６、負（−）の直流電源７及び
高周波交流電源８を備えている。なお、この図１では、
主電極２の前端部側にのみ補助電極３が配設されている
が、この補助電極３が主電極２の後端部側にのみ、ある
いはまた、主電極２の前後端部側それぞれに設けられて
いてもよいことは勿論である。
【００１６】そして、イオンの質量分離を行う主電極２
は、共通軸芯（図では、ｚ軸）に沿って互いに平行配置
された４本の主電極棒２ａ〜２ｄから構成されており、
主電極棒２ａ〜２ｄのそれぞれには正（＋）もしくは負
（−）の直流電圧Ｕと高周波交流電圧Ｖｃｏｓωｔとの
重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加されている。す
なわち、この主電極２においては、例えば、ｚ軸と直交
する横軸( 図では、ｘ軸 )に沿って対向配置された主電
極棒２ａ，２ｂのそれぞれには＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）
の重畳電圧が、また、ｚ軸と直交する縦軸(図では、ｙ
軸 )に沿って対向配置された主電極棒２ｃ，２ｄのそれ
ぞれには−（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の重畳電圧が印加され
るようになっている。
は、共通軸芯（図では、ｚ軸）に沿って互いに平行配置
された４本の主電極棒２ａ〜２ｄから構成されており、
主電極棒２ａ〜２ｄのそれぞれには正（＋）もしくは負
（−）の直流電圧Ｕと高周波交流電圧Ｖｃｏｓωｔとの
重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加されている。す
なわち、この主電極２においては、例えば、ｚ軸と直交
する横軸( 図では、ｘ軸 )に沿って対向配置された主電
極棒２ａ，２ｂのそれぞれには＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）
の重畳電圧が、また、ｚ軸と直交する縦軸(図では、ｙ
軸 )に沿って対向配置された主電極棒２ｃ，２ｄのそれ
ぞれには−（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の重畳電圧が印加され
るようになっている。
【００１７】一方、主電極２の前端部側に配設された補
助電極３は、主電極２を構成する主電極棒２ａ〜２ｄの
それぞれと同軸状に配置された４本の補助電極棒３ａ〜
３ｄによって構成されており、補助電極棒３ａ〜３ｄの
それぞれには重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）からコン
デンサＣ１を介して取り出した高周波交流電圧Ｖ′ｃｏ
ｓωｔのみが印加されている。なお、図中の符号９は補
助電極３の中心電位を決めるために設けられた抵抗９で
あり、これらはグランドもしくは適当な電位部に接続さ
れている。
助電極３は、主電極２を構成する主電極棒２ａ〜２ｄの
それぞれと同軸状に配置された４本の補助電極棒３ａ〜
３ｄによって構成されており、補助電極棒３ａ〜３ｄの
それぞれには重畳電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）からコン
デンサＣ１を介して取り出した高周波交流電圧Ｖ′ｃｏ
ｓωｔのみが印加されている。なお、図中の符号９は補
助電極３の中心電位を決めるために設けられた抵抗９で
あり、これらはグランドもしくは適当な電位部に接続さ
れている。
【００１８】さらに、この補助電極３を構成する補助電
極棒３ａ〜３ｄのうち、正（＋）の直流電圧Ｕを含む重
畳電圧＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒２
ａ，２ｂと同軸状に配置された補助電極棒３ａ，３ｂは
コンデンサＣ２を介して負（−）の直流電源７と接続さ
れる一方、負（−）の直流電圧Ｕを含む重畳電圧−（Ｕ
＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒２ｃ，２ｄと同
軸状に配置された補助電極棒３ｃ，３ｄはコンデンサＣ
２を介して正（＋）の直流電源６と接続されている。そ
こで、これらのコンデンサＣ１，Ｃ２の容量を互いに等
しく設定しておけば、主電極２に印加される重畳電圧±
（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を急激に変化させた場合における
正負（＋−）両方の直流電圧Ｕの変動が補助電極棒３ａ
〜３ｄのそれぞれに対して同時に伝わることになる。
極棒３ａ〜３ｄのうち、正（＋）の直流電圧Ｕを含む重
畳電圧＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒２
ａ，２ｂと同軸状に配置された補助電極棒３ａ，３ｂは
コンデンサＣ２を介して負（−）の直流電源７と接続さ
れる一方、負（−）の直流電圧Ｕを含む重畳電圧−（Ｕ
＋Ｖｃｏｓωｔ）が印加される主電極棒２ｃ，２ｄと同
軸状に配置された補助電極棒３ｃ，３ｄはコンデンサＣ
２を介して正（＋）の直流電源６と接続されている。そ
こで、これらのコンデンサＣ１，Ｃ２の容量を互いに等
しく設定しておけば、主電極２に印加される重畳電圧±
（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）を急激に変化させた場合における
正負（＋−）両方の直流電圧Ｕの変動が補助電極棒３ａ
〜３ｄのそれぞれに対して同時に伝わることになる。
【００１９】すなわち、補助電極棒３ａ，３ｂにはコン
デンサＣ１を介して正（＋）の直流電圧Ｕの変動が伝わ
ると同時にコンデンサＣ２を介して負（−）の直流電圧
Ｕの変動が伝わることになる一方、補助電極棒３ｃ，３
ｄにはコンデンサＣ１を介して負（−）の直流電圧Ｕの
変動が伝わると同時にコンデンサＣ２を介して正（＋）
の直流電圧Ｕの変動が伝わることになる。そこで、重畳
電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の急激な変化によって発生
し、補助電極棒３ａ〜３ｄのそれぞれに伝わる正負（＋
−）それぞれの直流電圧Ｕの変動は互いに打ち消しあっ
て消失することになる。
デンサＣ１を介して正（＋）の直流電圧Ｕの変動が伝わ
ると同時にコンデンサＣ２を介して負（−）の直流電圧
Ｕの変動が伝わることになる一方、補助電極棒３ｃ，３
ｄにはコンデンサＣ１を介して負（−）の直流電圧Ｕの
変動が伝わると同時にコンデンサＣ２を介して正（＋）
の直流電圧Ｕの変動が伝わることになる。そこで、重畳
電圧±（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の急激な変化によって発生
し、補助電極棒３ａ〜３ｄのそれぞれに伝わる正負（＋
−）それぞれの直流電圧Ｕの変動は互いに打ち消しあっ
て消失することになる。
【００２０】なお、この実施例においては、コンデンサ
Ｃ２を設けたことにより、補助電極３を構成する補助電
極棒３ａ〜３ｄのそれぞれに対して（Ｖ′ｃｏｓωｔ）
／２の高周波交流電圧しか印加されないことになるが、
このことによる実用上の不都合が生じることはない。そ
して、これ以上の電圧が必要な場合には、回路中に新た
な抵抗１０を設けて分圧し、コンデンサＣ２の容量をコ
ンデンサＣ１の容量よりも大きく設定した構成とすれば
よい。さらに、四重極質量分析計のうちには、一方の補
助電極棒それぞれに対しては高周波交流電圧を印加し、
他方の補助電極棒それぞれに対しては直流電圧と高周波
交流電圧との重畳電圧を印加する構成とされたものもあ
るが、このような構造とされた四重極質量分析計に対し
ても本発明の適用が可能であることはいうまでもない。
Ｃ２を設けたことにより、補助電極３を構成する補助電
極棒３ａ〜３ｄのそれぞれに対して（Ｖ′ｃｏｓωｔ）
／２の高周波交流電圧しか印加されないことになるが、
このことによる実用上の不都合が生じることはない。そ
して、これ以上の電圧が必要な場合には、回路中に新た
な抵抗１０を設けて分圧し、コンデンサＣ２の容量をコ
ンデンサＣ１の容量よりも大きく設定した構成とすれば
よい。さらに、四重極質量分析計のうちには、一方の補
助電極棒それぞれに対しては高周波交流電圧を印加し、
他方の補助電極棒それぞれに対しては直流電圧と高周波
交流電圧との重畳電圧を印加する構成とされたものもあ
るが、このような構造とされた四重極質量分析計に対し
ても本発明の適用が可能であることはいうまでもない。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる四
重極質量分析計において主電極に印加される重畳電圧を
急激に変化させた場合には、補助電極を構成する補助電
極棒のそれぞれに対し、コンデンサを介して接続された
正負それぞれの直流電源から正負両方の直流電圧の変動
が同時に伝わることになる。ところが、これらの変動は
極性が互いに逆であることから、互いに打ち消しあって
消失することになるため、直流電圧の変動に伴う不要な
電圧が補助電極棒のそれぞれに誘起されることはなくな
る。そこで、検出すべきイオンの設定質量数の変更に対
するセトリングが早くなり、キャピラリーＧＣ／ＭＳに
よる超高速スキャニング及び高速多イオンモニターリン
グが何らの不都合なく実現できることになる。
重極質量分析計において主電極に印加される重畳電圧を
急激に変化させた場合には、補助電極を構成する補助電
極棒のそれぞれに対し、コンデンサを介して接続された
正負それぞれの直流電源から正負両方の直流電圧の変動
が同時に伝わることになる。ところが、これらの変動は
極性が互いに逆であることから、互いに打ち消しあって
消失することになるため、直流電圧の変動に伴う不要な
電圧が補助電極棒のそれぞれに誘起されることはなくな
る。そこで、検出すべきイオンの設定質量数の変更に対
するセトリングが早くなり、キャピラリーＧＣ／ＭＳに
よる超高速スキャニング及び高速多イオンモニターリン
グが何らの不都合なく実現できることになる。
【００２２】その結果、本発明によれば、全体構造の簡
素化及び調整・保守の容易化を図りつつ、主電極に印加
する重畳電圧を急激に変化させた場合であっても補助電
極に不要な電圧が発生することのない四重極質量分析計
を提供することができるという効果が得られる。
素化及び調整・保守の容易化を図りつつ、主電極に印加
する重畳電圧を急激に変化させた場合であっても補助電
極に不要な電圧が発生することのない四重極質量分析計
を提供することができるという効果が得られる。
【図１】本実施例にかかる四重極質量分析計の概略構成
を示す構造図である。
を示す構造図である。
【図２】従来例にかかる四重極質量分析計の概略構成を
示す構造図である。
示す構造図である。
２ 主電極 ２ａ〜２ｄ 主電極棒 ３ 補助電極 ３ａ〜３ｄ 補助電極棒 ６ 正の直流電源 ７ 負の直流電源 Ｃ１ コンデンサ Ｃ２ コンデンサ
Claims (1)
- 【請求項１】 正もしくは負の直流電圧と高周波交流電
圧との重畳電圧がそれぞれ印加される４本の主電極棒
（２ａ〜２ｄ）からなる主電極（２）と、その少なくと
も一方の端部側に配設され、かつ、コンデンサ（Ｃ１）
を介して重畳電圧から取り出した高周波交流電圧のみが
印加される４本の補助電極棒（３ａ〜３ｄ）からなる補
助電極（３）とを備えており、 正の直流電圧を含む重畳電圧が印加される主電極棒（２
ａ，２ｂ）と同軸状に配置された補助電極棒（３ａ，３
ｂ）はコンデンサ（Ｃ２）を介して負の直流電源（７）
と接続される一方、 負の直流電圧を含む重畳電圧が印加される主電極棒（２
ｃ，２ｄ）と同軸状に配置された補助電極棒（３ｃ，３
ｄ）はコンデンサ（Ｃ２）を介して正の直流電源（６）
と接続されていることを特徴とする四重極質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03247413A JP3097218B2 (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 四重極質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03247413A JP3097218B2 (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 四重極質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0589826A true JPH0589826A (ja) | 1993-04-09 |
| JP3097218B2 JP3097218B2 (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=17163067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03247413A Expired - Fee Related JP3097218B2 (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 四重極質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3097218B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1097838A (ja) * | 1996-07-30 | 1998-04-14 | Yokogawa Analytical Syst Kk | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
| CN102834897A (zh) * | 2010-04-09 | 2012-12-19 | 株式会社岛津制作所 | 四极型质量分析装置 |
| WO2017081770A1 (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-18 | 株式会社島津製作所 | 四重極マスフィルタ及び四重極型質量分析装置 |
-
1991
- 1991-09-26 JP JP03247413A patent/JP3097218B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1097838A (ja) * | 1996-07-30 | 1998-04-14 | Yokogawa Analytical Syst Kk | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
| CN102834897A (zh) * | 2010-04-09 | 2012-12-19 | 株式会社岛津制作所 | 四极型质量分析装置 |
| WO2017081770A1 (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-18 | 株式会社島津製作所 | 四重極マスフィルタ及び四重極型質量分析装置 |
| JPWO2017081770A1 (ja) * | 2015-11-11 | 2018-04-26 | 株式会社島津製作所 | 四重極マスフィルタ及び四重極型質量分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3097218B2 (ja) | 2000-10-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6403955B1 (en) | Linear quadrupole mass spectrometer | |
| EP0863537B1 (en) | Ion trap | |
| US5521382A (en) | MS/MS type mass analyzer | |
| CN110780089A (zh) | 可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计 | |
| TW350084B (en) | Cathode emitter | |
| JPH06101052B2 (ja) | 硬貨識別装置 | |
| JP3097218B2 (ja) | 四重極質量分析計 | |
| US6610979B2 (en) | Quadrupole mass spectrometer | |
| JP2001510624A (ja) | 粒子光学的装置の動作方法 | |
| JPH08102283A (ja) | 四重極質量フィルタ | |
| US11972938B2 (en) | Voltage supply for a mass analyser | |
| US5637869A (en) | Detector for time-of-flight mass-spectrometers with low timing errors and simultaneously large aperture | |
| Matsui et al. | Ion extraction from plasma by using a radio frequency resonant electric field | |
| JPH09180672A (ja) | ノッチ・フィルタ及び目標イオンの除去方法 | |
| JP3325426B2 (ja) | 質量分析方法およびその装置 | |
| US2800622A (en) | Electric system and method | |
| Martinez et al. | Four-cylinder electrostatic lens. II. Energy scanning at constant image position and magnification | |
| JP3002521B2 (ja) | 四重極型質量分析計 | |
| US2600463A (en) | Method for correcting electronic optical systems | |
| Rubin et al. | Beam-beam interaction with a horizontal crossing angle | |
| JPH03108247A (ja) | Ｉｃｐ―ｍｓの四重極質量分析計 | |
| JPH07245080A (ja) | 四重極質量分析装置 | |
| JP3642247B2 (ja) | 静電誘導型ビーム位置検出装置及び該装置の調整方法 | |
| JPS58191035A (ja) | 座標検出装置 | |
| JPH03108245A (ja) | 四重極質量分析装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070811 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080811 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080811 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090811 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090811 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100811 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110811 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |