JPH0589820A - 電子増倍管 - Google Patents
電子増倍管Info
- Publication number
- JPH0589820A JPH0589820A JP25066691A JP25066691A JPH0589820A JP H0589820 A JPH0589820 A JP H0589820A JP 25066691 A JP25066691 A JP 25066691A JP 25066691 A JP25066691 A JP 25066691A JP H0589820 A JPH0589820 A JP H0589820A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- soft
- rays
- film
- dynode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】管体内を真空封入して、大気中で軟Ｘ線を効率
よく、かつ確実に測定でき、取扱いが容易となり、真空
チャンバや真空ポンプが不要になって、廉価でスペース
をとらない電子増倍管を提供する。 【構成】光入射窓１１から入射した入射光子を光電子に
変換する光電変換膜でコーティングされた光電面を備
え、この光電面で変換された光電子を真空中に放出して
加速・収束するとともに２次電子放出作用を持つダイノ
ード１４および最終ダイノード１９から放出された電子
群を収束する陽極電極２０等を内部に収容する管体１０
からなり、２次電子の放出比を大にして光電流を増幅し
光検出をなすものにおいて、軟Ｘ線検出用として、上記
光入射窓にＢｅ（ベリリウム）膜１３を設け、管体内を
真空封入した。
よく、かつ確実に測定でき、取扱いが容易となり、真空
チャンバや真空ポンプが不要になって、廉価でスペース
をとらない電子増倍管を提供する。 【構成】光入射窓１１から入射した入射光子を光電子に
変換する光電変換膜でコーティングされた光電面を備
え、この光電面で変換された光電子を真空中に放出して
加速・収束するとともに２次電子放出作用を持つダイノ
ード１４および最終ダイノード１９から放出された電子
群を収束する陽極電極２０等を内部に収容する管体１０
からなり、２次電子の放出比を大にして光電流を増幅し
光検出をなすものにおいて、軟Ｘ線検出用として、上記
光入射窓にＢｅ（ベリリウム）膜１３を設け、管体内を
真空封入した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえばＬＳＩの製造
や、構造解析に用いられる軟Ｘ線の検出を可能とした電
子増倍管に関する。
や、構造解析に用いられる軟Ｘ線の検出を可能とした電
子増倍管に関する。
【０００２】
【従来の技術】数１０００オングストローム以上の、可
視光よりの光を検出するための、光センサとして、光電
子増倍管が知られている。
視光よりの光を検出するための、光センサとして、光電
子増倍管が知られている。
【０００３】これは図２に示すようになっていて、１は
内部を真空に保ったガラス容器、２はこのガラス容器１
の一端開口部である光入射窓を閉塞するＡｕなどの光電
変換膜でコーティングされた光電面、３は光電面２近傍
のガラス容器１内部に収容される集束電極、４ａないし
４ｅはこの集束電極３から順次所定方向に向け、上下に
位置を相違して配置されるダイノード（電極）、５は陽
極電極、６は外部電極である。
内部を真空に保ったガラス容器、２はこのガラス容器１
の一端開口部である光入射窓を閉塞するＡｕなどの光電
変換膜でコーティングされた光電面、３は光電面２近傍
のガラス容器１内部に収容される集束電極、４ａないし
４ｅはこの集束電極３から順次所定方向に向け、上下に
位置を相違して配置されるダイノード（電極）、５は陽
極電極、６は外部電極である。
【０００４】ガラス容器１の光入射窓から入射する入射
光子は、光電面２によって光電子に変換される。この光
電面２で変換された光電子はガラス容器１内の真空中に
放出され、集束電極３の電圧によって加速される。
光子は、光電面２によって光電子に変換される。この光
電面２で変換された光電子はガラス容器１内の真空中に
放出され、集束電極３の電圧によって加速される。
【０００５】そして、最も端部よりにあるダイノード４
ａに導かれ、衝突する。このダイノード４ａから２次電
子が放出される。上記ダイノード４ａにおける２次電子
の放出比をδとすると、光電流はδ倍に増幅されること
になる。このようなダイノード４ａないし４ｅが複数個
配置されるので、それぞれ順次２次電子を衝突させては
δ倍に増幅して放出する。
ａに導かれ、衝突する。このダイノード４ａから２次電
子が放出される。上記ダイノード４ａにおける２次電子
の放出比をδとすると、光電流はδ倍に増幅されること
になる。このようなダイノード４ａないし４ｅが複数個
配置されるので、それぞれ順次２次電子を衝突させては
δ倍に増幅して放出する。
【０００６】ダイノード４ａないし４ｅの数がｎ個あれ
ば、最終ダイノード４ｅから放出された状態で、光電流
はδn 倍に増倍して陽極電極５に到達する。結局、光電
流を大なる状態に増幅して効率の良い光検出をなす。
ば、最終ダイノード４ｅから放出された状態で、光電流
はδn 倍に増倍して陽極電極５に到達する。結局、光電
流を大なる状態に増幅して効率の良い光検出をなす。
【０００７】ところで、いわゆるレントゲン線とも呼ば
れる、物質に対する透過能の大きいＸ線は、概して波長
が短いほど良く透過する。この透過能の大小によって、
硬Ｘ線と軟Ｘ線とに区別する。一般に、Ｘ線と呼ばれて
いるのは、上記硬Ｘ線のほうであって、この波長は、１
０オングストローム以下の極めて短い波長である。これ
に対して、上記軟Ｘ線は、１０〜数１００オングストロ
ーム程度に亘る範囲である。上記硬Ｘ線の光検出にあた
っては、先に図２で説明した光電子増倍管がそのまま使
用できる。しかしながら、上記軟Ｘ線の光検出にあたっ
ては、先に説明した光電子増倍管を適用することができ
ず、別構造の電子増倍管が用いなければならない。
れる、物質に対する透過能の大きいＸ線は、概して波長
が短いほど良く透過する。この透過能の大小によって、
硬Ｘ線と軟Ｘ線とに区別する。一般に、Ｘ線と呼ばれて
いるのは、上記硬Ｘ線のほうであって、この波長は、１
０オングストローム以下の極めて短い波長である。これ
に対して、上記軟Ｘ線は、１０〜数１００オングストロ
ーム程度に亘る範囲である。上記硬Ｘ線の光検出にあた
っては、先に図２で説明した光電子増倍管がそのまま使
用できる。しかしながら、上記軟Ｘ線の光検出にあたっ
ては、先に説明した光電子増倍管を適用することができ
ず、別構造の電子増倍管が用いなければならない。
【０００８】すなわち、光電面をＡｕなど光電変換膜で
コーティングすること、および光電面から放出される光
電子を真空中に放出する基本構造には変わりがない。そ
の反面、軟Ｘ線は大気中において減衰が著しい特性があ
る。
コーティングすること、および光電面から放出される光
電子を真空中に放出する基本構造には変わりがない。そ
の反面、軟Ｘ線は大気中において減衰が著しい特性があ
る。
【０００９】そこで、軟Ｘ線の光検出をなす電子増倍管
は、入射窓がない開放状態の管体を真空チャンバ内にお
き、この真空チャンバは真空ポンプと連通する。管体内
には、複数の上記ダイノードを並設し、陽極電極を備え
る。
は、入射窓がない開放状態の管体を真空チャンバ内にお
き、この真空チャンバは真空ポンプと連通する。管体内
には、複数の上記ダイノードを並設し、陽極電極を備え
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記軟Ｘ線は、波長が
可視光と比較すると極端に短いところから、透過力が大
であり、近時、ＬＳＩの製造に用いたり、構造解析に使
用するなど幅広い分野で多用される。それにともなっ
て、上記電子増倍管自体の使用も盛んになっている。
可視光と比較すると極端に短いところから、透過力が大
であり、近時、ＬＳＩの製造に用いたり、構造解析に使
用するなど幅広い分野で多用される。それにともなっ
て、上記電子増倍管自体の使用も盛んになっている。
【００１１】ところが、上記構成の電子増倍管では、真
空チャンバと、これに連通する真空ポンプを別途必要と
するところから、上記光電子増倍管と比較して極めて大
型の装置化して高価となり、装置スペースをとり、取扱
いが面倒になるなどの不具合がある。したがって、上記
光電子増倍管なみの小型で廉価、および大気中で取扱い
が容易にできる、電子増倍管の開発が望まれている。
空チャンバと、これに連通する真空ポンプを別途必要と
するところから、上記光電子増倍管と比較して極めて大
型の装置化して高価となり、装置スペースをとり、取扱
いが面倒になるなどの不具合がある。したがって、上記
光電子増倍管なみの小型で廉価、および大気中で取扱い
が容易にできる、電子増倍管の開発が望まれている。
【００１２】いずれにしても、光入射窓から入射した入
射光子を、光電子に変換するＡｕなどでコーティングさ
れた光電面を備える必要があり、しかも、この光電面で
変換された光電子を真空中に放出するダイノードを備え
るという基本構造は変わりがない。
射光子を、光電子に変換するＡｕなどでコーティングさ
れた光電面を備える必要があり、しかも、この光電面で
変換された光電子を真空中に放出するダイノードを備え
るという基本構造は変わりがない。
【００１３】なお、軟Ｘ線は大気中で減衰することは先
に説明した通りであるが、たとえばシンクロトロン放射
をなすことによって、大気中でも減衰する度合いが小さ
くなることもまた、よく知られるところである。
に説明した通りであるが、たとえばシンクロトロン放射
をなすことによって、大気中でも減衰する度合いが小さ
くなることもまた、よく知られるところである。
【００１４】本発明はこのような事情によりなされたも
のであり、その目的とするところは、光電子倍増管と同
様、管体内を真空封入して、大気中で軟Ｘ線を効率よ
く、かつ確実に測定でき、取扱いを容易にするとともに
廉価でスペースをとらない電子増倍管を提供することに
ある。
のであり、その目的とするところは、光電子倍増管と同
様、管体内を真空封入して、大気中で軟Ｘ線を効率よ
く、かつ確実に測定でき、取扱いを容易にするとともに
廉価でスペースをとらない電子増倍管を提供することに
ある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、光入射窓から入射した入射光子を光電子に変
換する光電変換膜でコーティングされた光電面を備え、
この光電面で変換された光電子を真空中に放出して加速
・収束するとともに２次電子放出作用を持つダイノード
および最終ダイノードから放出された電子群を収束する
陽極等を内部に収容する管体からなり、２次電子の放出
比を大にして光電流を増幅し光検出をなすものにおい
て、軟Ｘ線の検出を可能とするため、上記光入射窓にＢ
ｅ（ベリリウム）膜を設け、かつ管体内を真空状態に保
持し、軟Ｘ線の検出を可能としたことを特徴とする電子
増倍管である。
本発明は、光入射窓から入射した入射光子を光電子に変
換する光電変換膜でコーティングされた光電面を備え、
この光電面で変換された光電子を真空中に放出して加速
・収束するとともに２次電子放出作用を持つダイノード
および最終ダイノードから放出された電子群を収束する
陽極等を内部に収容する管体からなり、２次電子の放出
比を大にして光電流を増幅し光検出をなすものにおい
て、軟Ｘ線の検出を可能とするため、上記光入射窓にＢ
ｅ（ベリリウム）膜を設け、かつ管体内を真空状態に保
持し、軟Ｘ線の検出を可能としたことを特徴とする電子
増倍管である。
【００１６】
【作用】Ｂｅ膜によって、管体内を真空封入することに
なり、軟Ｘ線を大気中でそのまま光検出できる。
なり、軟Ｘ線を大気中でそのまま光検出できる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１にもとづい
て説明する。
て説明する。
【００１８】１０は、両端面が閉塞された密閉構造の金
属管からなる管体である。この管体１０の一端面には、
小窓である光入射窓１１が開口している。上記管体１０
内部の光入射窓１１周囲には窓枠部１２が一体に設けら
れ、ここに厚さが２０μｍ程度の極く薄いＢｅ（ベリリ
ウム）膜１３が気密的に嵌め込まれる。
属管からなる管体である。この管体１０の一端面には、
小窓である光入射窓１１が開口している。上記管体１０
内部の光入射窓１１周囲には窓枠部１２が一体に設けら
れ、ここに厚さが２０μｍ程度の極く薄いＢｅ（ベリリ
ウム）膜１３が気密的に嵌め込まれる。
【００１９】すなわち、上記Ｂｅ膜１３は、従来よりＸ
線管の窓等に用いられていて、これが上記光入射窓１１
を閉塞することによって、管体１０内部は真空封入の状
態にある。
線管の窓等に用いられていて、これが上記光入射窓１１
を閉塞することによって、管体１０内部は真空封入の状
態にある。
【００２０】上記Ｂｅ膜１３の近傍には、表面を光電変
換膜、たとえばＡｕコーティングされた第１のダイノー
ド１４が備えられる。この第１のダイノード１４は、た
とえば、従来の光電子増倍管と同様、２次電子の放出比
がδのものを用いる。
換膜、たとえばＡｕコーティングされた第１のダイノー
ド１４が備えられる。この第１のダイノード１４は、た
とえば、従来の光電子増倍管と同様、２次電子の放出比
がδのものを用いる。
【００２１】さらに、第１のダイノード１４の電子放出
方向に対向して、２次電子の放出比が略同一条件のδ´
で、かつ２次電子放出材料が従来と同様な第２のダイノ
ード１５が備えられる。以下、第２のダイノード１４と
全く同一構成で、かつ所定の２次電子放出方向に向けら
れる第３のダイノード１６ないし第６のダイノード１９
が備えられる。上記第６のダイノード１９の２次電子放
出方向に対向して陽極電極２０が備えられ、ここから外
部の図示しないインジケータに電気的に接続される。
方向に対向して、２次電子の放出比が略同一条件のδ´
で、かつ２次電子放出材料が従来と同様な第２のダイノ
ード１５が備えられる。以下、第２のダイノード１４と
全く同一構成で、かつ所定の２次電子放出方向に向けら
れる第３のダイノード１６ないし第６のダイノード１９
が備えられる。上記第６のダイノード１９の２次電子放
出方向に対向して陽極電極２０が備えられ、ここから外
部の図示しないインジケータに電気的に接続される。
【００２２】しかして、このようにして構成される電子
増倍管を大気中に置き、たとえばシンクロトロン放射に
より軟Ｘ線を大気中に透過させる。軟Ｘ線は、強度が大
きくなって、大気中での減衰が比較的少ない状態のまま
電子増倍管に導かれる。
増倍管を大気中に置き、たとえばシンクロトロン放射に
より軟Ｘ線を大気中に透過させる。軟Ｘ線は、強度が大
きくなって、大気中での減衰が比較的少ない状態のまま
電子増倍管に導かれる。
【００２３】電子増倍管の上記光入射窓１１から入射し
た軟Ｘ線は、Ｂｅ膜１３を透過する。上記Ｂｅ膜１３
は、極く薄い肉厚（２５μｍ程度）でありながら管体１
１内を真空封入し、その特性上、透過の際に軟Ｘ線の減
衰がほとんどない。
た軟Ｘ線は、Ｂｅ膜１３を透過する。上記Ｂｅ膜１３
は、極く薄い肉厚（２５μｍ程度）でありながら管体１
１内を真空封入し、その特性上、透過の際に軟Ｘ線の減
衰がほとんどない。
【００２４】上記Ｂｅ膜１３から管体１１内に入った軟
Ｘ線は、真空中に放出され、第１のダイノード１４に衝
突して、光電変換膜であるＡｕコーティングされた光電
面により光電子に変換される。
Ｘ線は、真空中に放出され、第１のダイノード１４に衝
突して、光電変換膜であるＡｕコーティングされた光電
面により光電子に変換される。
【００２５】さらに、この光電面で変換された光電子は
δ倍に増幅して真空中に放出され、第２のダイノード１
５に衝突する。ここでもδ´倍に増幅するとともに２次
電子としてして真空中に放出され、第３のダイノード１
６に衝突する。
δ倍に増幅して真空中に放出され、第２のダイノード１
５に衝突する。ここでもδ´倍に増幅するとともに２次
電子としてして真空中に放出され、第３のダイノード１
６に衝突する。
【００２６】第３のダイノード１６以下は同様にして、
２次電子が増幅され、最終の第６のダイノード１９から
陽極電極２０に向けて放出される。このように増幅され
た２次電子を受けた上記陽極電極２０は、これを微小電
流に変えて外部に流れ出し、インジケータにおいて電気
信号となって検出される。
２次電子が増幅され、最終の第６のダイノード１９から
陽極電極２０に向けて放出される。このように増幅され
た２次電子を受けた上記陽極電極２０は、これを微小電
流に変えて外部に流れ出し、インジケータにおいて電気
信号となって検出される。
【００２７】結局、そのまま大気中で用いることができ
る、増幅度（増倍率）の高い電子増倍管であり、大気中
に残存する軟Ｘ線を減衰させることなく、非常に感度の
高い検出を行う。
る、増幅度（増倍率）の高い電子増倍管であり、大気中
に残存する軟Ｘ線を減衰させることなく、非常に感度の
高い検出を行う。
【００２８】なお、上記Ｂｅ膜は、極めて薄い肉厚のも
のを使用しないと、軟Ｘ線の減衰が見られる。したがっ
て、管体内を真空封入するのに足りる必要な強度を備
え、かつ軟Ｘ線の減衰のない肉厚のものを用意しなけれ
ばならない。
のを使用しないと、軟Ｘ線の減衰が見られる。したがっ
て、管体内を真空封入するのに足りる必要な強度を備
え、かつ軟Ｘ線の減衰のない肉厚のものを用意しなけれ
ばならない。
【００２９】この種の電子増倍を用いた軟Ｘ線測定装置
として、検出装置に、ＭＣＰ（マイクロチャンネルプレ
ート）、ガス比例係数管等が使用できる。このように、
使用すべき波長域やＸ線強度などを考慮して使い分けす
るべきである。本発明のものは、強度の強い軟Ｘ線に対
して検出能力が優れているので、ＳＯＲ（シンクロ放射
光）に対して特に有効である。
として、検出装置に、ＭＣＰ（マイクロチャンネルプレ
ート）、ガス比例係数管等が使用できる。このように、
使用すべき波長域やＸ線強度などを考慮して使い分けす
るべきである。本発明のものは、強度の強い軟Ｘ線に対
して検出能力が優れているので、ＳＯＲ（シンクロ放射
光）に対して特に有効である。
【００３０】上記ダイノードの数および管体における位
置は、上記実施例に限定されない。軟Ｘ線の波長など条
件に最適な構成を採用すればよい。要は、Ｂｅ膜１３を
用いて管体１０内を真空封入した電子増倍管であり、大
気中でそのまま使用できればよい。
置は、上記実施例に限定されない。軟Ｘ線の波長など条
件に最適な構成を採用すればよい。要は、Ｂｅ膜１３を
用いて管体１０内を真空封入した電子増倍管であり、大
気中でそのまま使用できればよい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、軟
Ｘ線検出用として、光入射窓にＢｅ（ベリリウム）膜を
設け、管体内を真空封入した電子増倍管であるから、可
視光に近い光および硬Ｘ線等の検出用として従来から用
いられる光電子倍増管と同様、管体内を真空封入して、
大気中で軟Ｘ線を効率よく、かつ確実に測定できる。し
たがって、取扱いが容易となり、真空チャンバや真空ポ
ンプが不要になって、廉価でスペースをとらない電子増
倍管を提供できる。
Ｘ線検出用として、光入射窓にＢｅ（ベリリウム）膜を
設け、管体内を真空封入した電子増倍管であるから、可
視光に近い光および硬Ｘ線等の検出用として従来から用
いられる光電子倍増管と同様、管体内を真空封入して、
大気中で軟Ｘ線を効率よく、かつ確実に測定できる。し
たがって、取扱いが容易となり、真空チャンバや真空ポ
ンプが不要になって、廉価でスペースをとらない電子増
倍管を提供できる。
【図１】本発明の一実施例を示す、電子増倍管の概略縦
断面図。
断面図。
【図２】従来例の、電子増倍管の概略縦断面図。
１０…管体、１１…光入射窓、１３…Ｂｅ膜、１４…第
１のダイノード、１５…第２のダイノード、１６…第３
のダイノード、１７…第４のダイノード、１８…第５の
ダイノード、１９…第６のダイノード、２０陽極電極。
１のダイノード、１５…第２のダイノード、１６…第３
のダイノード、１７…第４のダイノード、１８…第５の
ダイノード、１９…第６のダイノード、２０陽極電極。
Claims (1)
- 【請求項１】光入射窓から入射した入射光子を光電子に
変換する光電変換膜でコーティングされた光電面を備
え、この光電面で変換された光電子を真空中に放出して
加速・収束するとともに２次電子放出作用を持つダイノ
ードおよび最終ダイノードから放出された電子群を収束
する陽極電極等を内部に収容する管体からなり、２次電
子の放出比を大にして光電流を増幅し光検出をなすもの
において、軟Ｘ線検出用として、上記光入射窓にＢｅ
（ベリリウム）膜を設け、管体内を真空封入したことを
特徴とする電子増倍管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25066691A JPH0589820A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 電子増倍管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25066691A JPH0589820A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 電子増倍管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0589820A true JPH0589820A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17211243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25066691A Pending JPH0589820A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 電子増倍管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0589820A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001068053A (ja) * | 1999-07-17 | 2001-03-16 | Bruker Saxonia Analytik Gmbh | 電子源による電離箱 |
| JP2008027776A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Hamamatsu Photonics Kk | 光電管 |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP25066691A patent/JPH0589820A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001068053A (ja) * | 1999-07-17 | 2001-03-16 | Bruker Saxonia Analytik Gmbh | 電子源による電離箱 |
| JP2008027776A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Hamamatsu Photonics Kk | 光電管 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Daly | Scintillation type mass spectrometer ion detector | |
| JP4608572B2 (ja) | 蛍光体 | |
| US5982094A (en) | Electron tube with polycrystalline diamond photocathode | |
| US3538328A (en) | Scintillation-type ion detector employing a secondary emitter target surrounding the ion path | |
| Johnson | A secondary standard vacuum ultraviolet detector | |
| JPH0628997A (ja) | 真空装置 | |
| JP2003536079A (ja) | 放射線検出装置及び方法 | |
| US2575769A (en) | Detection of ions | |
| JPS63259952A (ja) | 位置検出器 | |
| US5623141A (en) | X-ray image intensifier with high x-ray conversion efficiency and resolution ratios | |
| Marshall et al. | The Photomultiplier X‐Ray Detector | |
| JPH0589820A (ja) | 電子増倍管 | |
| US7022994B2 (en) | Radiation converter | |
| JP2637871B2 (ja) | Ｘ線計数管 | |
| US5619099A (en) | Electron tubes using insulation material containing little alkali metal | |
| Lafferty | Hot‐Cathode Magnetron Ionization Gauge with an Electron Multiplier Ion Detector for the Measurement of Extreme Ultra‐High Vacua | |
| GB2039140A (en) | An ion detecting device | |
| JP2738761B2 (ja) | Ｘ線計数管 | |
| US3676674A (en) | Apparatus for ionization analysis | |
| US3983437A (en) | Electromagnetic radiation detector | |
| JP3007535B2 (ja) | Ｘ線イメージ管 | |
| US20020113551A1 (en) | Light conversion and detection of visible light | |
| JPH07326315A (ja) | 正負イオン検出装置 | |
| JPH11102658A (ja) | 光検出管 | |
| US20100102408A1 (en) | Electron tube |