JPH0585858U - Electrodeposition processing device - Google Patents

Electrodeposition processing device

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JPH0585858U
JPH0585858U JP2573692U JP2573692U JPH0585858U JP H0585858 U JPH0585858 U JP H0585858U JP 2573692 U JP2573692 U JP 2573692U JP 2573692 U JP2573692 U JP 2573692U JP H0585858 U JPH0585858 U JP H0585858U
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JP
Japan
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electrodeposition
work
processing
time
electrode
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Withdrawn
Application number
JP2573692U
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Japanese (ja)
Inventor
喜一郎 嶋倉
Original Assignee
株式会社アルメックス
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ワークを過不足なく設定時間だけ電着処理して
余剰被膜の形成を阻止することができるようにする。 【構成】槽本体(1)のワーク搬送方向の上流側に電極
(11)を配設しない馴染み処理領域(AO)を形成
し、かつ電極(11)を配設した電着処理領域(A1)
を馴染み処理時間をサイクルタイムとして設定時間だけ
電着処理可能に構成した。
(57) [Summary] [Purpose] To prevent the formation of a surplus film by electrodepositing a work for a set time without excess or deficiency. [Structure] An electrodeposition treatment area (A1) in which a familiar treatment area (AO) in which the electrode (11) is not disposed is formed on the upstream side of the tank main body (1) in the work transfer direction, and in which the electrode (11) is disposed.
With the familiar processing time as the cycle time, the electrodeposition processing can be performed for a set time.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、電着処理装置に関する。特に電着レジスト処理やめっき処理等を行 うのに使用される電着処理装置に関する。 The present invention relates to an electrodeposition processing apparatus. In particular, it relates to an electrodeposition processing apparatus used for performing electrodeposition resist processing or plating processing.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior Art]

図4および図5に従来の電着処理装置の概略構成を示す。 これらの図において、1は電解液を収容した槽本体である。この槽本体1内の 両側には、複数の電極11がワーク搬送方向に所定ピッチで配設されている。 4 and 5 show a schematic structure of a conventional electrodeposition processing apparatus. In these figures, 1 is a tank body containing an electrolytic solution. A plurality of electrodes 11 are arranged on both sides of the tank main body 1 at a predetermined pitch in the work transfer direction.

【0003】 ここで、各電極11は、図示しない電源装置によって給電されてワーク(例え ばプリント回路基板)Wを電着処理する構成とされている。なお、図4中最左方 の電極11を除いた他の電極11は、同期的に給電される構成とされている。ま た、電極11の配設ピッチは、ワークWの搬送速度(図示しないワーク搬送手段 のサイクルタイムに基づく速度)と電着処理時間とによって決定される。Here, each electrode 11 is configured to be supplied with electric power from a power supply device (not shown) to perform an electrodeposition process on a work (for example, a printed circuit board) W. The electrodes 11 other than the leftmost electrode 11 in FIG. 4 are configured to be supplied with power synchronously. Further, the arrangement pitch of the electrodes 11 is determined by the transport speed of the work W (speed based on the cycle time of the work transport means (not shown)) and the electrodeposition processing time.

【0004】 しかして、上記電着処理装置は、サイクルタイムごとにワークWを1個づつ電 着処理する構成とされている。すなわち、サイクルタイムに合わせて、未処理ワ ークWが槽本体1内の投入部P1に供給されるとともに、槽本体1内に浸漬され た各ワークWは水平移動されつつ各電極11によって電着処理される。これによ り、ワークWの表面には所定厚さの被膜が形成される。また、電着処理済みのワ ークWは取出し部P2より取り出され次工程へ移送される。Therefore, the electrodeposition processing apparatus is configured to perform the electrodeposition processing of one work W for each cycle time. That is, the untreated work W is supplied to the input part P1 in the tank body 1 in accordance with the cycle time, and the respective works W immersed in the tank body 1 are horizontally moved and electrically charged by the electrodes 11. Is processed. As a result, a film having a predetermined thickness is formed on the surface of the work W. Further, the work W having been subjected to the electrodeposition treatment is taken out from the taking-out part P2 and transferred to the next step.

【0005】 なお、図4中、21Aは、槽本体1内に電解液を循環させるための液循環装置 で、槽本体1の両側からオーバーフロー受け22Aに溢出された電解液をタンク 29に集めた後、循環ポンプ23によってフィルタ24を介して吐出パイプ25 に送り当該パイプ25の各ノズルから吐出する構成とされている。In FIG. 4, 21 A is a liquid circulation device for circulating the electrolytic solution in the tank body 1, and the electrolytic solution overflowing from the both sides of the tank body 1 to the overflow receivers 22 A is collected in the tank 29. After that, the circulation pump 23 sends it to the discharge pipe 25 through the filter 24 and discharges it from each nozzle of the pipe 25.

【0006】 また、35は、極液管理ユニット(極液タンク36,循環ポンプ37等)で、 各電極11とそれぞれ極液供給管31および極液排出管32等を介して接続され ている。Reference numeral 35 denotes a polar liquid management unit (polar liquid tank 36, circulation pump 37, etc.), which is connected to each electrode 11 via a polar liquid supply pipe 31, a polar liquid discharge pipe 32, and the like.

【0007】 通常、電着処理装置は、電着処理時間の変更(特に増大)やワーク搬送速度の 増大化要請等に対処できるように、各電極11を大き目に形成して配設ピッチを 増大させたり、電極11の配設個数を増やすなどして電極11が配設された領域 (電着処理領域)を長目に形成して余裕をもたせた構成とされている。Generally, in the electrodeposition processing apparatus, each electrode 11 is formed to be large in size so as to cope with a change (especially increase) in the electrodeposition processing time and a request for an increase in the work transfer speed. The area where the electrodes 11 are provided (electrodeposition processing area) is made longer by increasing the number of the electrodes 11 to be provided, thereby providing a margin.

【0008】[0008]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

ところで、上記した電着処理装置では、ワークWを槽本体1内に浸漬してから 直ちに電着処理を開始するのではなく、電解液と十分に馴染ませた後に電着処理 を開始する構成とされている。すなわち、所定の馴染み時間経過後に各電極11 に給電して設定時間だけ電着処理を行っている。 By the way, in the above-mentioned electrodeposition treatment apparatus, the work W is not immediately immersed in the tank body 1 and then the electrodeposition treatment is immediately started, but the electrodeposition treatment is started after the work W is sufficiently adjusted to the electrolytic solution. Has been done. That is, each electrode 11 is supplied with electric power after a predetermined familiar time, and the electrodeposition process is performed for a set time.

【0009】 この際、槽本体1の電着処理領域の長さは余裕をもって形成されているので、 所定の電着処理時間を経過してもワークWが取出し部P2まで到達せず、当該取 出し部P2に到達するまでの間余分に皮膜が形成されてしまうことがある。従来 は、かかる事態の発生を容認してきたが、コスト高の要因となるばかりでなく、 特に電着レジスト処理においてはファインパターン化が阻止されることにもなる ため、余剰被膜の形成を防止する技術の開発が求められている。At this time, since the length of the electrodeposition processing region of the tank main body 1 is formed with a margin, the work W does not reach the unloading portion P2 even after a predetermined electrodeposition processing time has elapsed, and thus the workpiece W is removed. An extra film may be formed before reaching the projecting portion P2. Although the occurrence of such a situation has been accepted in the past, it not only causes an increase in cost, but also prevents fine pattern formation, especially in the electrodeposition resist process, and thus prevents the formation of a surplus film. Development of technology is required.

【0010】 本考案の目的は、上記事情に鑑み、ワークを過不足なく設定時間だけ電着処理 して余剰被膜の形成を阻止することができる電着処理装置を提供することにある 。In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide an electrodeposition treatment apparatus capable of preventing the formation of a surplus film by electrodeposition treating a work for a set time without excess or deficiency.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案に係る電着処理装置は、槽本体内の両側でかつワーク搬送方向に所定ピ ッチで配設された複数の電極を有し、ワークを搬送手段によってその上流側から 下流側に浸漬移動させつつ設定時間だけ電着処理するように形成された電着処理 装置において、前記槽本体のワーク搬送方向上流側に前記電極を配設しない馴染 み処理領域を形成し、かつ前記電極を配設した電着処理領域を馴染み処理時間を サイクルタイムとして前記設定時間だけ電着処理可能に形成したことを特徴とす る。 The electrodeposition processing apparatus according to the present invention has a plurality of electrodes arranged on both sides in the tank main body at a predetermined pitch in the work transfer direction, and the work is immersed by the transfer means from the upstream side to the downstream side. In an electrodeposition processing apparatus that is configured to perform electrodeposition processing for a set time while moving, a familiar processing area where the electrodes are not arranged is formed on the upstream side of the tank main body in the work transfer direction, and the electrodes are arranged. It is characterized in that the electrodeposition treatment area is set so that the electrodeposition treatment can be carried out for the set time with the familiar treatment time as a cycle time.

【0012】[0012]

【作用】[Action]

上記構成による本考案では、ワークは、槽本体の馴染み処理領域で馴染み処理 時間だけ電解液と馴染まされた後、電着処理領域内において馴染み処理時間をサ イクルタイムとして設定時間だけ電着処理される。 In the present invention having the above-mentioned configuration, the work is electrode-processed for a set time in the electrodeposition process area after the acclimation processing time is set for the acclimation processing time in the tank body, and then for the set time. It

【0013】 したがって、ワークを過不足なく設定時間だけ電着処理して、余剰被膜形成を 阻止することができる。Therefore, it is possible to prevent excess film formation by subjecting the work to electrodeposition treatment for a set time without excess or deficiency.

【0014】[0014]

【実施例】【Example】

本考案の一実施例を図面に基づき説明する。 本実施例に係る電着処理装置は、電着レジスト処理を行うものであり、槽本体 1のワーク搬送方向上流側に電極11を配設しない馴染み処理領域A0を形成し 、かつ電極(隔膜電極)11を配設した電着処理領域A1を馴染み処理時間をサ イクルタイムとして設定時間だけ電着処理可能に形成されている。 具体的には、電着処理装置は、上記した槽本体1および隔膜電極11の他に、 液循環装置21,極液管理ユニット35および極液受け41を含み構成されてい る。 なお、図4および図5に示した構成要素と同一のものについては同一の符号を 付し、その説明を省略もしくは簡略化する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The electrodeposition processing apparatus according to the present embodiment performs electrodeposition resist processing, forms a familiar processing area A0 in which the electrode 11 is not disposed on the upstream side of the tank main body 1 in the work transfer direction, and also forms an electrode (diaphragm electrode). ) 11 is arranged in the electrodeposition processing area A1 so that the electrodeposition processing can be performed for a set time with the processing time as the cycle time. Specifically, the electrodeposition processing apparatus is configured to include a liquid circulating device 21, a polar liquid management unit 35, and a polar liquid receiver 41, in addition to the bath body 1 and the diaphragm electrode 11 described above. The same components as those shown in FIGS. 4 and 5 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted or simplified.

【0015】 ここで、槽本体1の電着処理領域A1には、複数の隔膜電極11がワーク搬送 方向にサイクルタイムと電着処理時間とによって決定された個数だけ所定ピッチ で槽本体1の両側内壁面2,2に取り付けられている。また、電着処理領域A1 内の槽本体1の外壁面3部分には、極液受け41が取り付けられている。この極 液受け41によって集められた各隔膜電極11からの極液は、極液管理ユニット 35に送られ所定処理された後各隔膜電極構造11に再循環される。 また、槽本体1の非電着処理領域A0には、広大な収容スペースを有するオー バーフロー受け22が取り付けられている。Here, in the electrodeposition treatment area A1 of the tank main body 1, a plurality of diaphragm electrodes 11 are provided on both sides of the tank main body 1 at a predetermined pitch in the work transfer direction by the number determined by the cycle time and the electrodeposition processing time. It is attached to the inner wall surfaces 2 and 2. A polar liquid receiver 41 is attached to the outer wall surface 3 of the bath main body 1 in the electrodeposition treatment area A1. The polar liquid from each diaphragm electrode 11 collected by the polar liquid receiver 41 is sent to the polar liquid management unit 35, subjected to a predetermined treatment, and then recirculated to each diaphragm electrode structure 11. Further, an overflow receiver 22 having a vast accommodation space is attached to the non-electrodeposition treatment area A0 of the tank body 1.

【0016】 また、液循環装置21は、槽本体1内の電解液の上層流をワーク搬送方向と逆 向きとすることができるように形成されている。具体的には、液循環装置21は 、オーバーフロー受け22,循環ポンプ23,フィルタ24,吐出パイプ25お よび配管26等から構成されている。吐出パイプ25は、槽本体1の底部5にワ ーク搬送方向に伸延するように配設されており、所定ピッチ間隔で複数のノズル 25aが設けられている。各ノズル25aは、電着液の上層流が上方かつワーク 搬送方向と逆向き(つまりオーバーフロー受け22方向)となるように形成され ている。Further, the liquid circulation device 21 is formed so that the upper layer flow of the electrolytic solution in the tank body 1 can be made opposite to the work transfer direction. Specifically, the liquid circulation device 21 is composed of an overflow receiver 22, a circulation pump 23, a filter 24, a discharge pipe 25, a pipe 26, and the like. The discharge pipe 25 is arranged on the bottom portion 5 of the tank main body 1 so as to extend in the work transfer direction, and is provided with a plurality of nozzles 25a at predetermined pitch intervals. Each nozzle 25a is formed so that the upper layer flow of the electrodeposition liquid is upward and opposite to the work transfer direction (that is, the overflow receiving direction 22).

【0017】 なお、ワークWは、エレベータを利用した連続タクト方式の搬送装置(図示省 略)によって搬送される。The work W is transferred by a continuous tact type transfer device (not shown) using an elevator.

【0018】 次に作用について説明する。 ワークWは、槽本体1の馴染み処理領域A0で馴染み処理時間だけ電解液と馴 染まされた後、電着処理領域A1内において馴染み処理時間をサイクルタイムと して設定時間だけ電着処理される。 したがって、ワークWは過不足なく設定時間だけ電着処理される。Next, the operation will be described. The work W is soaked with the electrolytic solution in the acclimatization processing area A0 of the tank body 1 for the acclimatization processing time, and then is electrodeposited for a set time in the electrodeposition processing area A1 with the acclimatization processing time as a cycle time. .. Therefore, the work W is electrodeposited for the set time without excess or deficiency.

【0019】 なお、この際、液循環装置21によって槽本体1内の電解液の上層流がワーク 搬送方向と逆向きとなる。これにより、電解液表面のガスおよび不純物の滞りは 、槽本体1の非電着処理領域A0に取り付けられたオーバーフロー受け22に向 けて流され当該受け22から排出される。このオーバーフロー受け22は、広大 な収容スペースを有しているので、オーバーフローする電解液の流速を抑えるこ とができ、液循環装置21によって循環される電解液中に空気が混入するのが防 止される。したがって、電解時にワークWの表面にガスが付着するのが解消され 被膜にピットが発生するのが阻止される。At this time, the liquid circulation device 21 causes the upper layer flow of the electrolytic solution in the tank main body 1 to be opposite to the work transfer direction. As a result, the stagnation of gas and impurities on the surface of the electrolytic solution is made to flow toward the overflow receiver 22 attached to the non-electrodeposition treatment region A0 of the tank body 1 and discharged from the receiver 22. Since the overflow receiver 22 has a vast storage space, the flow rate of the overflowing electrolytic solution can be suppressed, and air is prevented from being mixed into the electrolytic solution circulated by the liquid circulating device 21. To be done. Therefore, the gas is prevented from adhering to the surface of the work W during electrolysis, and the formation of pits in the coating film is prevented.

【0020】 しかして、この実施例によれば、槽本体1のワーク搬送方向上流側に電極(1 1)を配設しない馴染み処理領域A0を形成し、かつ電極(11)を配設した電 着処理領域A1を馴染み処理時間をサイクルタイムとして設定時間だけ電着処理 可能に形成したので、ワークWを過不足なく設定時間だけ電着処理して余剰被膜 の形成を阻止することができる。Therefore, according to this embodiment, the familiar treatment area A0 in which the electrode (11) is not provided is formed on the upstream side of the tank main body 1 in the work transfer direction, and the electrode (11) is provided. Since the electrodeposition treatment area A1 is formed so that the familiar treatment time is the cycle time and the electrodeposition treatment can be performed for the set time, the work W can be electrodeposited for the set time without excess or deficiency to prevent the formation of the excess coating.

【0021】 また、槽本体1の電着処理領域A1の長さを短縮させることができ、電極(1 1)の個数を減少等することができる。Further, the length of the electrodeposition treatment area A1 of the tank body 1 can be shortened, and the number of electrodes (11) can be reduced.

【0022】 また、槽本体1の馴染み処理領域A0にオーバーフロー受け22を取り付ける 構成としたので、当該受け22の収容スペースを大きくすることができる。した がって、オーバーフローする電解液の流速を抑えることができ、液循環装置21 によって循環される電解液中に空気が混入するのが防止される。したがって、電 解時にワークWの表面にガスが付着するのが解消され被膜にピットが発生するの が阻止される。Further, since the overflow receiver 22 is attached to the familiar treatment area A0 of the tank body 1, the accommodation space of the receiver 22 can be increased. Therefore, the flow rate of the electrolytic solution that overflows can be suppressed, and air can be prevented from being mixed into the electrolytic solution circulated by the liquid circulating device 21. Therefore, it is possible to prevent the gas from adhering to the surface of the work W during electrolysis and prevent the formation of pits in the coating.

【0023】 さらに、電着処理領域A1の槽本体1の外壁面3部分に極液受け41を設けた 構成としたので、当該極液受け41によって各隔膜電極11から排出された極液 を集めて極液管理ユニット35へ送ることができる。したがって、各隔膜電極1 1からの極液を排出するための配管が不要となり、装置の簡素化が図られる。Further, since the polar liquid receiver 41 is provided on the outer wall surface 3 of the bath main body 1 in the electrodeposition treatment area A1, the polar liquid discharged from each diaphragm electrode 11 is collected by the polar liquid receiver 41. Can be sent to the polar liquid management unit 35. Therefore, a pipe for discharging the polar liquid from each diaphragm electrode 11 is not required, and the device can be simplified.

【0024】 さらにまた、各隔膜電極構造11に接続される配管が減少されるので、脱着が 容易となりメンテナンス等に便宜となる。Furthermore, since the number of pipes connected to each diaphragm electrode structure 11 is reduced, it is easy to attach and detach, which is convenient for maintenance and the like.

【0025】[0025]

【考案の効果】 本考案によれば、槽本体のワーク搬送方向の上流側に電極を配設しない馴染み 処理領域を形成し、かつ電極を配設した電着処理領域を馴染み処理時間をサイク ルタイムとして設定時間だけ電着処理可能に形成したので、ワークを過不足なく 設定時間だけ電着処理して余剰被膜の形成を阻止することができる。EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, a familiar processing area without electrodes is formed on the upstream side of the tank body in the work transfer direction, and the electrodeposition processing area with electrodes is adapted to familiarize the processing time with a cycle time. As a result, the work can be electrodeposited for a set time, so that the work can be electrodeposited for a set time without excess or deficiency to prevent the formation of a surplus film.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施例の全体構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of an embodiment of the present invention.

【図2】一実施例の電着レジスト処理を説明するための
図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining an electrodeposition resist process of one example.

【図3】一実施例の隔膜電極と極液受けとの位置関係を
説明するための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining a positional relationship between a diaphragm electrode and a polar liquid receiver according to an embodiment.

【図4】従来の電着処理装置の概略構成を示す図であ
る。
FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional electrodeposition processing apparatus.

【図5】従来の電着処理装置の側断面図である。FIG. 5 is a side sectional view of a conventional electrodeposition processing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 槽本体 11 隔膜電極(電極) AO 馴染み処理領域 A1 電着処理領域 1 Tank main body 11 Diaphragm electrode (electrode) AO Familiar processing area A1 Electrodeposition processing area

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 槽本体内の両側でかつワーク搬送方向に
所定ピッチで配設された複数の電極を有し、ワークを搬
送手段によってその上流側から下流側に浸漬移動させつ
つ設定時間だけ電着処理するように形成された電着処理
装置において、 前記槽本体のワーク搬送方向上流側に前記電極を配設し
ない馴染み処理領域を形成し、かつ前記電極を配設した
電着処理領域を馴染み処理時間をサイクルタイムとして
前記設定時間だけ電着処理可能に形成したことを特徴と
する電着処理装置。
1. A plurality of electrodes are provided on both sides in a tank main body at a predetermined pitch in a work transfer direction, and the work is immersed and moved from an upstream side to a downstream side by a transfer means, and electric power is supplied for a set time. In an electrodeposition processing apparatus formed to perform electrodeposition processing, a familiarization processing area in which the electrode is not disposed is formed on the upstream side of the tank main body in the work transfer direction, and the electrodeposition processing area in which the electrode is disposed is familiarized. An electrodeposition processing apparatus, wherein the processing time is a cycle time, and the electrodeposition processing is possible for the set time.
JP2573692U 1992-04-22 1992-04-22 Electrodeposition processing device Withdrawn JPH0585858U (en)

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