JPH0584767A

JPH0584767A - 樹脂モールド成形検査装置

Info

Publication number: JPH0584767A
Application number: JP27472391A
Authority: JP
Inventors: Yuji Koga; 祐治古賀; Kenji Miura; 憲治三浦
Original assignee: RITSUKUSU KK
Current assignee: RITSUKUSU KK
Priority date: 1991-09-26
Filing date: 1991-09-26
Publication date: 1993-04-06

Abstract

(57)【要約】【目的】レジンを充填してモールド成形を行うにあた
り、レジンの充填速度および充填圧力の変化を常時監視
することを可能とすると共に、この監視結果に基づき、
正確に良品・不良品の判別を行うことを可能とすること
を目的とする。【構成】金型５内のキャビティ１へ樹脂を充填するプ
ランジャ７の押圧力を検出する圧力センサ１１と、プラ
ンジャ７の変位量を検出する変位量センサ１２とを備え
る。また、検査前にプランジャ７を駆動させて金型５へ
樹脂を充填させる樹脂モールド成形を複数回行う。そし
て、この時得た圧力データおよび変位量データを基に、
各データの許容範囲を設定する許容範囲設定手段を設け
る。また、検査時に読み込む各データが許容範囲内であ
れば良と判定する一方、許容範囲から外れた際に不良と
判定する良否判定手段とを設けた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、集積回路（以下、ＩＣ
という）をリードフレームにワイヤボンディングした
後、樹脂（レジン）を充填しパッケージ化するモールド
装置の成形状態（レジンの充填速度・充填圧力等）を監
視して、良品・不良品を判別する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＩＣの樹脂モールドの製造は、図
８に示すように、多数のキャビティ１およびそれに連続
したゲート２、ランナ３、ポット４が形成された金型５
と、レジンを固めたタブレット６を押すプランジャ７
と、このプランジャ７を駆動させる油圧シリンダ８とを
用いて行うのが普通である。すなわち、ＩＣのワイヤボ
ンディングを終えたリードフレームを各キャビティ１内
にセットした後、プランジャ７でタブレット６を押し込
むと、レジンがランナ３およびゲート２を通ってキャビ
ティ１内に充填され、その後、このレジンが硬化してモ
ールドの成形を終えるものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来技術にあっては、レジンの充填速度の単一時間当た
りの変化が一定でなく曲線波形パターンを持っていると
共に、レジンの充填圧力の単位時間当たりの変化も一定
でなく曲線波形パターンを持っているのに対し、このよ
うなレジンの流れの状態を知ることができなかったた
め、以下に列挙する問題があった。

【０００４】レジンの充填速度が変化する（部分的もし
くは全体的に速くなる）とライナ３内・キャビティ１内
の空気の巻き込みにより、内部にボイド（気泡）が発生
する。そして、このようにボイドが発生すると、ＩＣの
成形品強度の低下およびＩＣの絶縁低下が発生し、不良
品が生じる。

【０００５】上記のようにレジンの流速が変化すると、
キャビティ１内にレジンが注入されるゲート２のレジン
と金型５との摩擦が増大するため、ゲート２の口径を大
きくすることになる。また、成形完了後ランナーとゲー
トを無理に切り離すと成形品本体に傷が発生する。

【０００６】金型５の洗浄不良により、エアーベント
（空気抜け穴）のレジン除去が完全にされてないと、成
形時にキャビティ１内に空気溜りが発生し、充填圧力が
変化（部分的もしくは全体的に高くなる）する。その結
果、キャビティ１内に十分なレジンを充填することがで
きなくなり、このような充填不良による成形不良を起こ
す。

【０００７】レジンの充填圧力変化を上記と同様に監視
できないため、金型５の摩耗により充填圧力が変化する
（部分的もしくは全体的に低くなる）と、リードフレー
ム上にレジンの漏れた部分がバリとなる。このバリが付
着したまま、次の工程であるカットベンダでリード成形
する際、樹脂のバリの方がリードよりも堅いため、リー
ドに傷を付け、リード成形不良品が発生する。

【０００８】成形状態の監視方法として、レジンの充填
速度・充填圧力等を曲線波形パターンで監視すれば良い
ということはわかっているが、その曲線波形パターンを
測定し、成形品の良品となる管理幅を設定する方法はな
かった。

【０００９】本発明は上記問題に着目してなされたもの
で、レジンを充填してモールド成形を行うにあたり、レ
ジンの充填速度および充填圧力の変化を常時監視するこ
とを可能とすると共に、この監視結果に基づき、正確に
良品・不良品の判別を行うことを可能とすることを目的
としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明の樹脂モールド成形検査装置は、金型内のキ
ャビティへ樹脂を充填するプランジャの押圧力を検出す
る圧力検出手段と、前記プランジャの変位量を検出する
変位量検出手段と、検査前に前記プランジャを駆動させ
て金型へ樹脂を充填させる樹脂モールド成形を実際に複
数回行い、この時得られる圧力データおよび変位量デー
タを基に、各データの許容範囲を設定する許容範囲設定
手段と、検査時に読み込む各データが前記許容範囲内で
あれば良と判定する一方、前記許容範囲から外れた際に
不良と判定する良否判定手段と、を備えた樹脂モールド
成形検査装置である。

【００１１】また、前記許容範囲設定手段が、検査前に
樹脂モールド成形を実際に複数回行って得られる圧力波
形データおよび変位量波形データを重ね書きし、この重
ね書きデータから、上限値波形、下限値波形、平均値波
形を少なくともいずれか一つを求め、このいずれかの波
形を嵩上げもしくは嵩下げして上限値波形と下限値波形
を決定して許容範囲を設定する樹脂モールド成形検査装
置である。

【００１２】また、前記許容範囲設定手段が、検査前に
樹脂モールド成形を実際に複数回行って得られる圧力デ
ータおよび変位量データの、所定のポイントのデータを
集めて標準偏差を求め、この標準偏差の上限と下限を決
定して許容範囲を設定する樹脂モールド成形検査装置で
ある。

【００１３】また、前記許容範囲設定手段が、検査前に
樹脂モールド成形を実際に複数回行って得られる圧力波
形データおよび変位量波形データを重ね書きし、この重
ね書きデータから、上限値波形、下限値波形、平均値波
形を少なくともいずれか一つを求め、このいずれかの波
形を嵩上げもしくは嵩下げして上限値波形と下限値波形
を決定して許容範囲を設定し、さらに、樹脂モールド成
形を実際に複数回行って得られる圧力データおよび変位
量データの、所定のポイントのデータを集めて得られる
バラツキを基に検査範囲を設定し、前記良否判定手段
が、検査時に読み込む各データが、検査範囲内において
前記許容範囲内であれば良と判定する一方、前記許容範
囲から外れた際に不良と判定する樹脂モールド成形検査
装置である。

【００１４】

【作用】上記のような構成により、検査前に、実際に樹
脂モールド成形を複数回行って、この時に、圧力検出手
段および変位量検出手段で得られる圧力データおよび変
位量データを基に、許容範囲設定手段で各データの許容
範囲を設定する。この場合、圧力波形データおよび変位
量波形データを重ね書きし、この重ね書きデータから、
上限値波形、下限値波形、平均値波形を少なくともいず
れか一つを求め、このいずれかの波形を嵩上げもしくは
嵩下げして上限値波形と下限値波形を決定して許容範囲
を設定する。また、圧力データおよび変位量データの、
所定ポイントのデータを集めて標準偏差を求め、この標
準偏差の上限と下限を決定して許容範囲を設定する。ま
た、上限値波形と下限値波形を決定して許容範囲を設定
し、さらに得られたデータのバラツキを基に検査範囲
（幅方向の範囲）を設定する。したがって、いずれの場
合でも、許容範囲の上限・下限は、直線的ではなしに、
実際の状態を再現して曲線的に設定することができる。

【００１５】また、このように許容範囲を設定したら検
査を行う。すなわち、良否判定手段により、樹脂モール
ド成形を行って得られる圧力データおよび変位量データ
が、許容範囲内に納まっているかどうか判定し、各デー
タが許容範囲から外れた際に不良と判定する。なお、こ
のような良否の判定を波形データ全体に行うのではな
く、所定の検査範囲内で得られるデータのみ良否を判定
でき、これにより、無駄な判定を省いて制御の簡略化を
図ることができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の一実施例の樹脂モールド成形
検査装置を図１から図８に基づいて説明する。なお、図
１から図８において同一符号は同一部分または相当部分
とする。

【００１７】図１は本発明の一実施例の樹脂モールド成
形検査装置Ａおよび樹脂モールド成形装置Ｍを示す構成
説明図であって、この樹脂モールド成形装置Ｍは、上型
５ａと下型５ｂを備え、キャビティ１、ゲート２、ラン
ナ３、ボット４が形成された金型５と、ボット４に挿入
したレジン（樹脂）を固めたタブレット６を押すプラン
ジャ７と、このプランジャ７と一体のピストンロッド８
ｂと、このピストンロッド８ｂの先端に設けられたピス
トン８ｃにより内部を画成されたシリンダ８ｄとを有し
た油圧シリンダ８とで構成されている。

【００１８】また、図２で示すように、前記樹脂モール
ド検査装置Ａは、コントロールユニット９、パーソナル
コンピュータ（以後、パソコンという）１０、圧力セン
サ（圧力検出手段）１１、変位量センサ（変位量検出手
段）１２、アラーム１３、スタートスイッチ１４、リセ
ットスイッチ１５を有している。

【００１９】各センサ１１、１２は油圧シリンダ８に設
けられていて、圧力センサ１１は、シリンダ８ｄの内部
へ供給する油圧を検出し、変位量センサ１２は、ピスト
ンロッド８ｂに並設されてこのピストンロッド８ｂの変
位量を検出する。

【００２０】前記コントロールユニット９は、図２に示
すように、ＡＤ変換器９ａ、インターフェース９ｂ、入
出力回路（以後Ｉ／Ｏとする）９ｃ、ＣＰＵ９ｄ、ＲＯ
Ｍ９ｅ、ＲＡＭ９ｆ、時計９ｇを備えている。

【００２１】また、前記パソコン１０が、このコントロ
ールユニット９に接続されている。このパソコン１０
は、コントロールユニット９内のデータを外部から処理
するために設けられたもので、コントロールユニット９
と同様のＩ／Ｏ、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、時計（図示
省略）を内蔵した本体１０ａと、ディスプレイ用のＣＲ
Ｔ１０ｂとを有している。

【００２２】次に、コントロールユニット９およびパソ
コン１０の作動を、図３、図４、図５に示すフローチャ
ートで説明する。すなわち、コントロールユニット９お
よびパソコン１０は、まず、モールド成形品の良否を判
定する基準となる許容範囲の設定を行い、その後、良否
の判定を行うものである。すなわち、図３および図４
は、許容範囲を設定するための基準段階の制御フローで
あり、図５は、許容範囲を設定して良否判定を行う制御
フローである。

【００２３】まず、図３に示すフローチャートについて
説明する。この図に示す制御フローは、実際にモールド
成形を複数回行って、１回の成形で得られる波形データ
の重ね書きを行い、上限値の波形線、下限値の波形線お
よび平均値の波形線を表示する制御フローであって、ス
テップ１０１は、条件設定のステップであり、パソコン
１０を用いて設定した条件をコントロールユニット９内
に読み込む。すなわち、パソコン１０により、重ね書き
回数（実際に成形を行う回数＝ショット回数、なお、本
実施例では９９９回行う）や、１回のショット時間（重
ね書き時間）や、データ（圧力センサ１１から入力され
る圧力データｐおよび変位量センサ１２から入力される
変位量データｓ）の取り込みタイミング等を設定する。
なお、データｐ、ｓの取り込みタイミングは、例えば、
１／１０００秒毎から３０秒毎の範囲で所定の時間毎に
設定したり、パルスに同期させたりする。また、データ
ｐ、ｓの取り込み開始は、外部トリガーや内部トリガー
や内外組み合わせのトリガーのいずれかに設定する。

【００２４】ステップ１０２は、スタートのステップで
あり、前記スタートスイッチ１４の投入により行う。ス
テップ１０３は、スタートしたことにより樹脂モールド
成形装置Ｍが作動した状態を便宜上示していて、これに
よりプランジャ７がタブレット６を押してレジンがキャ
ビティ１内に充填される。ステップ１０４は、トリガー
によるレジン充填時間の条件が一致したか否かを判定す
るステップであり、ＹＥＳでステップ１０５に進み、Ｎ
Ｏでステップ１０３に戻る。ステップ１０５は、データ
取込開始の信号を出力するステップであり、すなわち、
時計９ｇによるタイミング信号を発信したり、変位量セ
ンサ１２からのパルス信号を利用したりする。ステップ
１０６は、圧力センサ１１および変位量センサ１２から
の圧力データｐ、変位量データｓをアナログデータとし
て内部に取り込むステップである。

【００２５】なお、本実施例では、この各データｐ、ｓ
を取り込むにあたり、それぞれの１ショットごとに、縦
軸を充填圧力、横軸をプランジャ７の変位量（パルス）
とした第一のグラフ（図６参照）と、同様に１ショット
毎に、縦軸をプランジャ７の変位量、横軸を時間とした
第２のグラフ（図７参照）の形で取り込む。

【００２６】ステップ１０７は、前回までの最大値の保
存データよりも今回の測定データの方が大きいか否かを
判定するステップであり、ＹＥＳでステップ１０８に進
み、ＮＯでステップ１０９に進む。ステップ１０８は、
各測定点での最大値のみ保存するステップであり、この
後ステップ１１１に進む。

【００２７】ステップ１０９は、前回までの最小値の保
存データよりも今回の測定データの方が小さいか否かを
判定するステップであり、ＹＥＳでステップ１１０に進
み、ＮＯでステップ１１１に進む。ステップ１１０は、
各測定点での最小値のみ保存するステップであり、この
後ステップ１１１に進む。

【００２８】ステップ１１１は、測定点毎のデータを積
算して保存するステップである。なお、このステップ１
１１の最大保存個数は６０００個となっている。ステッ
プ１１２は、測定したデータの個数が設定数に達したか
否かを判定するステップであって、ＹＥＳでステップ１
１３に進み、ＮＯでステップ１０５に戻る。なお、この
設定数とは、予め定めた１ショット当たりに測定するデ
ータの個数であり、この設定数を、レジンの充填を完了
するまで１サイクルの時間に置き換えてもよい。この場
合、このステップ１１２では、設定した時間が経過した
か否かを判定することになる。

【００２９】ステップ１１３は、測定の回数が設定数
（本実施例では９９９回）に達したか否かを判定するス
テップであり、ＹＥＳでステップ１１４に進み、ＮＯで
ステップ１０３に戻る。ステップ１１４は測定したデー
タｐ、ｓは、パソコン１０で読めるデータベースの形で
保存管理する。ステップ１１５は、ステップ１１１で得
られた各々の積算値を測定回数（サイクル回数）で割っ
て、各々の平均値を演算するステップである。

【００３０】ステップ１１６は、測定データをＣＲＴ１
０ｂで表示するステップである。本実施例の場合、ステ
ップ１０８で集めた最大値のみの波形線と、ステップ１
１０で集めた最小値のみの波形線と、ステップ１１５で
集めた平均値ばかりの波形線との３本の波形線を色違い
で表示する。ちなみに、これら３本の波形線は、図６、
図７に示すように、縦軸を充填圧力、横軸をプランジャ
７の変位量とした第１のグラフと、縦軸をプランジャ７
の変位量、横軸を時間とした第２のグラフとの上で表示
される。

【００３１】次に、図４に示すフローチャートについて
説明する。このフローチャートは、標準偏差の幅を設定
する制御フローである。

【００３２】ステップ２０１は、条件設定のステップで
あって、図３のステップ１１６によりＣＲＴ１０ｂで表
示されている３本の波形線に基づき、データのバラツキ
を知りたいポイントを設定する。また、測定のために、
モールド成形する回数をサイクル数として設定する。ち
なみに、本実施例では、この場合も９９９回の成形を行
うこととするが、それ以下、以上であってもよい。

【００３３】ステップ２０２はスタートのステップであ
り、スタートスイッチ１４を操作してスタートする。ス
テップ２０３は、モールド成形開始を示している。ステ
ップ２０４は、レジン充填開始の条件が一致したか否か
を判定するステップであり（トリガーにより判定）、Ｙ
ＥＳでステップ２０５に進み、ＮＯでステップ２０３に
戻る。ステップ２０５は、変位量センサ１２からの信号
が示すプランジャ７の位置がステップ２０１で設定した
ポイント（バラツキ具合を見たい部分）に達したか否か
を判定するステップであり、ＹＥＳでステップ２０６に
進み、ＮＯでステップ２０７に進む。ステップ２０７
は、データ数が１サイクルが完了する間に測定すべき数
（ステップ２０１で設定）に達したか否かを判定するス
テップであり、ＹＥＳでステップ２０８に進み、ＮＯで
ステップ２０５に戻る。

【００３４】ステップ２０８は、測定回数がステップ２
０１で設定した数（９９９回）に達したか否かを判定す
るステップであり、ＹＥＳでステップ２０９に進み、Ｎ
Ｏでステップ２０３に戻る。ステップ２０９は測定を全
て完了してパソコン１０へデータを転送するステップで
ある。ステップ２１０は、ＣＲＴ１０ｂの画面上にデー
タを表示するステップであって、例えば、ＣＲＴ１０ｂ
の横軸に各サイクル順に設定したポイントのデータを表
示するもので、この表示によりデータを確認する。ステ
ップ２１１は、１サイクル目からステップ２０１で設定
したサイクル数までの範囲の中で、データのバラツキと
標準偏差を調べたい範囲を設定するステップであり、こ
の処理は、パソコン１０を用いて、人がＣＲＴ１０ｂを
確認しながら行う。ステップ２１２は、各サイクル中の
指定ポイントのデータを集めて、その標準偏差とバラツ
キをグラフにして示す処理を行うステップである。

【００３５】次に、図５に示すフローチャートについて
説明する。この制御フローは、許容範囲を設定した後、
良品・不良品の判定を行うフローである。

【００３６】ステップ３０１は、許容範囲を設定するス
テップである。この場合、パソコン１０を操作して次の
設定を行う。

【００３７】ステップ１１６で表示した最大値波形と最
小値波形と平均値波形のうちで、いずれか１本を選び、
この線をＹ＝ＡＸ＋Ｂの式で嵩上げして上限値を設定す
る。また、同じく、３本の波形線のいずれかを選んで、
Ｙ＝ＡＸ＋Ｂの式で嵩下げして下限値を設定する。上限
・下限値で、良否の判定に必要のない部分や厳しく判定
する必要のない部分を、マニュアルで領域を設定し、こ
の部分に点を打って折れ線で上限・下限値を設定する。
不良判定時のモールド成形状態のデータを保持する必要
があれば、シングルモードに設定し、不要であれば、リ
ピートモードに設定する（マニュアルで選択する）。測
定領域を最大８分割までの領域出力の分割線を引き設定
する。１サイクル中に何回上限・下限値から外れたら不
良判定を出すのか回数を設定する。

【００３８】ここで、シングルモードを選択した場合に
は、不良判定時に、不良品発生と、どの領域で発生した
かとを出力し、その不良品測定データを１モールド成形
工程分保持して停止し、パソコン１０へ不良品の測定デ
ータを転送後、検査を再開する。一方、リピートモード
を選択した場合には、不良品の判定出力と、どの領域で
不良判定が出たかとを出力するが、測定データは保持せ
ずに連続して検査を行う。このように、本実施例では、
以上説明した図３、図４で示したフローチャートおよび
ステップ３０１で制御を行う部分が許容範囲設定手段を
構成している。

【００３９】次に、ステップ３０２は、検査をスタート
するステップである。ステップ３０３は、良品、不良品
の判定が可能な状態となっているかどうかを判定するス
テップで、ＹＥＳでステップ３０４に進み、ＮＯでステ
ップ３０３を繰り返す。ステップ３０４は、モールド成
形装置を稼働させ成形を開始するステップである。ステ
ップ３０５は、レジン充填開始の条件が一致したか否か
を判定するステップであり、ＹＥＳでステップ３０６に
進み、ＮＯでステップ３０４に戻る。ステップ３０６
は、データ取込開始信号を発信するステップである。な
お、このデータ取込開始信号は、変位量センサ１２で得
られるプランジャ７の移動距離をパルスにして発信して
もよいし、内部の時計９ｇで得られるタイミングに基づ
いて発信するようにしてもよい。

【００４０】ステップ３０７は、圧力センサ１１と変位
量センサ１２からのデータｐ、ｓを取り込むステップで
ある。ステップ３０９は、データｐ、ｓがステップ３０
１で設定した許容範囲に入っているか否かを判定するス
テップであり、ＹＥＳでステップ３１３に進み、ＮＯで
ステップ３１０に進む。ステップ３１０は、データｐ、
ｓが許容範囲を出た回数がステップ３０１で設定した回
数に達したか否かを判定するステップであり、ＹＥＳで
ステップ３１１に進み、ＮＯでステップ３１３に進む。
ステップ３１１は、不良品発生信号と発生領域判別信号
を出力するステップである。この出力を受けて所定の不
良品に対する所定の処理を行う（ステップ３１２）。ス
テップ３１３は、レジンの充填完了までの時間が経過す
るまで測定を行ったか（設定のデータ個数を測定した
か）否かを判定するステップであり、ＹＥＳでステップ
３１４に進み、ＮＯでステップ３０６に戻る。このよう
に本実施例にあっては、ステップ３０３からステップ３
１３の流れの部分で、検査の良否を行うもので、この部
分が良否判定手段を構成している。

【００４１】ステップ３１４は、検査動作モードが、シ
ングルか否（リピート）かを判定し、ＹＥＳでステップ
３１５に進み、ＮＯでステップ３１６に進む。ステップ
３１５は、１サイクル分の波形を保持して検査を停止す
る。ステップ３１６ではリセットスイッチ１５がＯＮで
あるか否かを判定し、ＹＥＳでステップ３１５に進み、
ＮＯでステップ３０３に戻る。ステップ３１７では、不
良品のデータｐ、ｓをパソコン１０に取り込み保存す
る。ステップ３１８では、検査を再スタートする。ステ
ップ３１９では、全数を検査したか否かを判定し、ＹＥ
Ｓでステップ３２０に進んで検査を終了し、ＮＯでステ
ップ３０３に戻る。

【００４２】また、本実施例において、許容範囲設定の
場合、検査を行う前に、実際に樹脂モールド成形を複数
回行って、コントロールユニット９内に圧力データｐお
よび変位量データｓを取り込む。このようにしてデータ
ｐ、ｓを全て取り込んだら、パソコン１０へこれらのデ
ータｐ、ｓを転送し、ＣＲＴ１０ｂの画面上に、縦軸を
充填圧力・横軸をプランジャ７の変位量とした第１のグ
ラフ、および、縦軸をプランジャ７の変位量・横軸を時
間とした第２のグラフのそれぞれについて、最大値ばか
りの波形線、最小値ばかりの波形線、平均値ばかりの波
形線を表示させる。このＣＲＴ１０ｂの画面により、以
下の確認を行う。

【００４３】最大値と最小値と平均値の各波形線を見
て、全体の再現性を確認する。また、平均値の波形線が
最大値の波形線と最小値の波形線との間のどの位置にあ
るか確認する。また、最大値の波形線と最小値の波形線
とが一番開いているポイントを探して確認する。また、
重要な部分を拡大して確認する。また、必要なところ
は、図示しないプリンタで画面コピーする。

【００４４】次に、ＣＲＴ１０ｂの画面に入力データの
標準偏差とバラツキをグラフで表示させて（ステップ２
１２）、次の確認を行う。

【００４５】１サイクル目から設定した任意のサイクル
数までの全体の範囲でバラツキと標準偏差を見る。ま
た、最大値と最小値のデータの範囲の分割数を変えて確
認しやすい分割で確認する。また、全体の中で範囲を決
めて、バラツキと標準偏差を求めて、全体のバラツキと
標準偏差を比較する。

【００４６】以上の確認を行ったら、パソコン１０を操
作して、前述のステップ２０１で説明した許容範囲等の
設定を行う。

【００４７】また、本実施例において、検査工程の場
合、樹脂モールド成形を開始すると、圧力データｐおよ
び変位量データｓをコントロールユニット９内に取り込
み、これらのデータｐ、ｓが所定の領域内で、許容範囲
で定めた上限値および下限値を越えたか否かを判定し
（ステップ３０９）、この越えた回数が設定回数に達し
たら（ステップ３１０）、不良品が発生したことをアラ
ーム１３で知らせる（ステップ３１１）。なお、この
時、シングルモードであれば、この不良品発生時のデー
タを保持して停止しているので、このデータをパソコン
１０へ出力させ、リセットスイッチ１５を操作して検査
を再開させる。リピートモードであれば、リセットスイ
ッチ１５を操作して検査を再開させる。

【００４８】以上、本発明実施例を図面に基づいて説明
してきたが具体的な構成は実施例に限られるものではな
い。

【００４９】例えば、実施例では、条件等の設定や波形
の確認をパソコン１０を用いて行うようにしたが、パソ
コン１０を用いることなくコントロールユニット９側で
各種設定を自動的に行い、人による確認を不要としても
よい。

【００５０】また、実施例では、プランジャ７を油圧シ
リンダ８により駆動させる構成としたために、プランジ
ャ７の押圧力を検出する圧力検出手段として、油圧シリ
ンダ８への供給油圧液検出する圧力センサ１１を用いた
が、例えば、プランジャを電動のモータ等のような他の
手段で押圧力を与えるようにした場合には、電圧等によ
り押圧力を検出することになる。

【００５１】

【発明の効果】以上、説明してきたように本発明の樹脂
モールド成形検査装置にあっては、検査を行う前に、実
際に樹脂モールド成形を複数回行って、この測定して得
られた圧力データ、変位量データに基づき、許容範囲を
決定し、この許容範囲を基に樹脂モールド成形の良否の
判定を行うようにしているため、レジンの充填速度や充
填圧力の時間的な変化を、プランジャの移動速度や押圧
力に基づき正確に再現して監視でき、これにより、キャ
ビティ内でボイド（気泡）が発生するのを確実に防止し
て、強度低下や絶縁低下を防止するという効果や、ゲー
トの口径を小さくして製品の切り離しを容易とすること
ができるという効果や、キャビティ内に空気溜りが発生
するのを防止して、レジンを確実に充填できるという効
果や、バリの発生を防止することができるという効果が
得られる。このように現実にそくした検査を行うことが
できる。

【００５２】また、圧力波形データおよび変位量波形デ
ータを重ね書きし、この重ね書きデータから、上限値波
形、下限値波形、平均値波形を少なくともいずれか一つ
を求め、このいずれかの波形を嵩上げもしくは嵩下げし
て上限値波形と下限値波形を決定して許容範囲を設定し
ているため、いっそう正確な判定が可能となる。

【００５３】また、複数回の成形で得られた最大値波
形、最小値波形、平均値波形を基に、検査を重点的に行
う必要がある領域を設定し、再び、実際にモールド成形
を多数回行って、この重要な領域の標準偏差およびバラ
ツキを求め、これを基に、許容範囲内外であるか否かを
判定する領域を決定できるため、信頼性の高い許容範囲
を得ることができる。

【００５４】また、実際に検出したデータを基に、許容
範囲の設定および成形の良否の判定を行っているため、
各センサ等の精度がでていなくても、再現性に基づき高
い精度で良否の判定を行うことができるし、また、０点
の補正等の難しい機械的補正が不要となるという効果が
得られる。加えて、直線での上限・下限との判定と違っ
て、曲線での上限・下限の管理と判定ができるという効
果も得られる。

【００５５】また、許容範囲を決定した後に、さらに、
標準偏差およびバラツキを求め、これを基に、許容範囲
内外であるか否かを判定する領域を決定するようにして
いるため、良否の判定を行う領域が狭くなり、判定速度
が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の樹脂モールド成形検査装置
を示す説明図である。

【図２】本発明の一実施例の樹脂モールド成形検査装置
を示す回路図である。

【図３】最大値、最小値、平均値の波形線を表示する制
御フローを示すフローチャート図である。

【図４】標準偏差の幅を設定する制御フローを示すフロ
ーチャート図である。

【図５】許容範囲の設定後、良品・不良品の判定を行う
制御フローを示すフローチャート図である。

【図６】縦軸を充填圧力、横軸をプランジャ変位量とし
た第１のグラフ図である。

【図７】縦軸を変位量、横軸を時間とした第２のグラフ
図である。

【図８】従来例を示す斜視図である。

【符号の説明】

Ａ樹脂モールド成形検査装置Ｍ樹脂モールド成形装置１キャビティ５金型７プランジャ９コントロールユニット１０パーソナルコンピュータ１１圧力センサ１２変位量センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金型内のキャビティへ樹脂を充填するプ
ランジャの押圧力を検出する圧力検出手段と、前記プランジャの変位量を検出する変位量検出手段と、検査前に前記プランジャを駆動させて金型へ樹脂を充填
させる樹脂モールド成形を実際に複数回行い、この時得
られる圧力データおよび変位量データを基に、各データ
の許容範囲を設定する許容範囲設定手段と、検査時に読み込む各データが前記許容範囲内であれば良
と判定する一方、前記許容範囲から外れた際に不良と判
定する良否判定手段と、を備えていることを特徴とする
樹脂モールド成形検査装置。
【請求項２】前記許容範囲設定手段が、検査前に樹脂
モールド成形を実際に複数回行って得られる圧力波形デ
ータおよび変位量波形データを重ね書きし、この重ね書
きデータから、上限値波形、下限値波形、平均値波形を
少なくともいずれか一つを求め、このいずれかの波形を
嵩上げもしくは嵩下げして上限値波形と下限値波形を決
定して許容範囲を設定することを特徴とする請求項１記
載の樹脂モールド成形検査装置。
【請求項３】前記許容範囲設定手段が、検査前に樹脂
モールド成形を実際に複数回行って得られる圧力データ
および変位量データの、所定のポイントのデータを集め
て標準偏差を求め、この標準偏差の上限と下限を決定し
て許容範囲を設定することを特徴とする請求項１記載の
樹脂モールド成形検査装置。
【請求項４】前記許容範囲設定手段が、検査前に樹脂
モールド成形を実際に複数回行って得られる圧力波形デ
ータおよび変位量波形データを重ね書きし、この重ね書
きデータから、上限値波形、下限値波形、平均値波形を
少なくともいずれか一つを求め、このいずれかの波形を
嵩上げもしくは嵩下げして上限値波形と下限値波形を決
定して許容範囲を設定し、さらに、樹脂モールド成形を
実際に複数回行って得られる圧力データおよび変位量デ
ータの、所定のポイントのデータを集めて得られるバラ
ツキを基に検査範囲を設定し、前記良否判定手段が、検査時に読み込む各データが、検
査範囲内において前記許容範囲内であれば良と判定する
一方、前記許容範囲から外れた際に不良と判定すること
を特徴とする請求項１記載の樹脂モールド成形検査装
置。