JPH0578140A - 光フアイバ用母材の製造装置 - Google Patents
光フアイバ用母材の製造装置Info
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- JPH0578140A JPH0578140A JP24133791A JP24133791A JPH0578140A JP H0578140 A JPH0578140 A JP H0578140A JP 24133791 A JP24133791 A JP 24133791A JP 24133791 A JP24133791 A JP 24133791A JP H0578140 A JPH0578140 A JP H0578140A
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】炉心管にガス漏洩事故が発生した場合、必要な
操作をただちに行いうる光ファイバ用母材の製造装置を
提供する。 【構成】 母材挿通口４とハロゲン混合ガス流入口５、
流出口６とを開口させてある炉心管３と、その炉心管３
の外周を囲む加熱炉２と、該加熱炉２のシールガス流通
路の途中でセンサ１２を設けたハロゲン系ガス検知器１
１、１２とを備えている。 【効果】 炉心管３に異常が発生した場合、炉心管２よ
り加熱炉３に漏洩したハロゲン混合ガスはただちに下流
へと流れ、ハロゲン系ガス検知器１１、１２によって検
知されるので炉心管３のピンホールや割れの発見が早く
なる。
操作をただちに行いうる光ファイバ用母材の製造装置を
提供する。 【構成】 母材挿通口４とハロゲン混合ガス流入口５、
流出口６とを開口させてある炉心管３と、その炉心管３
の外周を囲む加熱炉２と、該加熱炉２のシールガス流通
路の途中でセンサ１２を設けたハロゲン系ガス検知器１
１、１２とを備えている。 【効果】 炉心管３に異常が発生した場合、炉心管２よ
り加熱炉３に漏洩したハロゲン混合ガスはただちに下流
へと流れ、ハロゲン系ガス検知器１１、１２によって検
知されるので炉心管３のピンホールや割れの発見が早く
なる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多孔質ガラス母材を脱
水焼結して透明ガラス母材にする光ファイバ用母材の製
造装置に関する。
水焼結して透明ガラス母材にする光ファイバ用母材の製
造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、光ファイバはＶＡＤ法やＯＶＤ法
（外付法）などによって多孔質ガラス母材を得、それを
脱水焼結透明ガラス化して光ファイバ用ガラス母材を
得、次いで線引きして得られる。この際、水酸基が多孔
質ガラス母材中に結合しておりこれが伝送損失の増加の
原因となるので脱水操作によってその水酸基も除去しな
ければならない。
（外付法）などによって多孔質ガラス母材を得、それを
脱水焼結透明ガラス化して光ファイバ用ガラス母材を
得、次いで線引きして得られる。この際、水酸基が多孔
質ガラス母材中に結合しておりこれが伝送損失の増加の
原因となるので脱水操作によってその水酸基も除去しな
ければならない。
【０００３】多孔質ガラス母材を脱水するには、通常、
ヘリウムやアルゴンなどの不活性ガスと、塩素ガスのよ
うなハロゲンガスあるいはハロゲン化合物のガスなどい
わゆる脱水作用のあるハロゲン系のガスとの混合ガス雰
囲気中で加熱処理する。
ヘリウムやアルゴンなどの不活性ガスと、塩素ガスのよ
うなハロゲンガスあるいはハロゲン化合物のガスなどい
わゆる脱水作用のあるハロゲン系のガスとの混合ガス雰
囲気中で加熱処理する。
【０００４】このようなハロゲン混合ガスによる加熱装
置としては例えばカーボンヒータを設けたカーボンヒー
タ加熱炉がある。カーボンヒータ加熱炉にはその中心に
炉心管を設ける。炉心管の管口は母材挿通口とし、上記
ハロゲン混合ガスの流入口と流出口とを炉心管の内側に
開口させている。
置としては例えばカーボンヒータを設けたカーボンヒー
タ加熱炉がある。カーボンヒータ加熱炉にはその中心に
炉心管を設ける。炉心管の管口は母材挿通口とし、上記
ハロゲン混合ガスの流入口と流出口とを炉心管の内側に
開口させている。
【０００５】このカーボンヒータ加熱炉内にはシールガ
スを導入する為の流通路を設けてある。シールガス流通
路の上流側はシールガスのヘリウムやアルゴンガスなど
の貯蔵タンクに連結し、下流側はガスの回収設備に連結
している。
スを導入する為の流通路を設けてある。シールガス流通
路の上流側はシールガスのヘリウムやアルゴンガスなど
の貯蔵タンクに連結し、下流側はガスの回収設備に連結
している。
【０００６】上記の加熱装置では、ハロゲン混合ガスの
加熱炉内への混入を炉心管が防いでいる。炉心管の素材
には通常、アルミナなどのセラミックチューブか石英ガ
ラスなどを用いる。
加熱炉内への混入を炉心管が防いでいる。炉心管の素材
には通常、アルミナなどのセラミックチューブか石英ガ
ラスなどを用いる。
【０００７】そのうち、アルミナの場合に炉心管は急激
な熱的変化つまり熱衝撃に弱く、老朽化するとしばしば
割れることがある。また石英ガラスの場合、熱を受けて
老朽化すると失透してピンホールや割れが発生する場合
がある。炉心管にピンホールや割れが発生するとハロゲ
ン系のガスを含む混合ガスが炉心管の外に漏洩し、同時
に腐食性のハロゲン系のガスもカーボンヒータ内部に及
んで周囲の金属を腐食し、冷却水を外部に漏洩させた
り、ハロゲン系のガスが加熱炉の炉壁を通り抜けて直接
外部に漏れ、非常に危険になるというような不測の事態
を招く。又、シールガスが炉心管内に漏洩していけば、
カーボンヒータ中に微量に含まれる重金属等の不純物が
光ファイバ用の母材中に混入し、得られる光ファイバの
伝送特性を著しく劣化させるという不測の事態を招いて
しまうというおそれがある。
な熱的変化つまり熱衝撃に弱く、老朽化するとしばしば
割れることがある。また石英ガラスの場合、熱を受けて
老朽化すると失透してピンホールや割れが発生する場合
がある。炉心管にピンホールや割れが発生するとハロゲ
ン系のガスを含む混合ガスが炉心管の外に漏洩し、同時
に腐食性のハロゲン系のガスもカーボンヒータ内部に及
んで周囲の金属を腐食し、冷却水を外部に漏洩させた
り、ハロゲン系のガスが加熱炉の炉壁を通り抜けて直接
外部に漏れ、非常に危険になるというような不測の事態
を招く。又、シールガスが炉心管内に漏洩していけば、
カーボンヒータ中に微量に含まれる重金属等の不純物が
光ファイバ用の母材中に混入し、得られる光ファイバの
伝送特性を著しく劣化させるという不測の事態を招いて
しまうというおそれがある。
【０００８】ひび割れやピンホールを通じてガスが漏洩
する場合、炉心管内外の圧力差が影響する。内圧はハロ
ゲン混合ガスの流通する炉心管内も、加熱炉内も、いず
れもそれぞれ通常で数ｍｍＨ2 Ｏ〜数百ｍｍＨ2 Ｏ程度
である。炉心管内の圧力を加熱炉側の圧力より高く設定
しても、逆に低く設定しても、炉心管内外のガスの漏洩
を避けることはできない炉心管のピンホールや割れの発
生頻度は、脱水焼結回数が多く累積するに従って高くな
るという傾向が一般に見られる。したがって従来では、
予め使用限度回数を経験的に予測し、ひび割れやピンホ
ールなどが発生する危険の発生する前にそれを交換する
のが通常である。
する場合、炉心管内外の圧力差が影響する。内圧はハロ
ゲン混合ガスの流通する炉心管内も、加熱炉内も、いず
れもそれぞれ通常で数ｍｍＨ2 Ｏ〜数百ｍｍＨ2 Ｏ程度
である。炉心管内の圧力を加熱炉側の圧力より高く設定
しても、逆に低く設定しても、炉心管内外のガスの漏洩
を避けることはできない炉心管のピンホールや割れの発
生頻度は、脱水焼結回数が多く累積するに従って高くな
るという傾向が一般に見られる。したがって従来では、
予め使用限度回数を経験的に予測し、ひび割れやピンホ
ールなどが発生する危険の発生する前にそれを交換する
のが通常である。
【０００９】それでは、そのような方法で突発的な不測
の漏洩事故を本当に防ぐことができるかといえば必ずし
もそうではない。炉心管の素材の精度のバラツキ等によ
り所定の使用限度回数に満たないうちに割れ等が発生
し、気がついた時にはすでに取り返し困難な不測の事態
が生じていたということも少なくない。
の漏洩事故を本当に防ぐことができるかといえば必ずし
もそうではない。炉心管の素材の精度のバラツキ等によ
り所定の使用限度回数に満たないうちに割れ等が発生
し、気がついた時にはすでに取り返し困難な不測の事態
が生じていたということも少なくない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の問題点
を解決するため、万一、炉心管にガス漏洩事故が発生し
た場合、必要な操作をただちに行いうる光ファイバ用母
材の製造装置を提供することを目的とする。
を解決するため、万一、炉心管にガス漏洩事故が発生し
た場合、必要な操作をただちに行いうる光ファイバ用母
材の製造装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、実施例に対応する図１に示すように本発明の光ファ
イバ用母材の製造装置は、母材挿通口４とハロゲン混合
ガス流入口５、流出口６とを開口させてある炉心管３
と、少なくともその炉心管３の外周を囲む加熱炉２と、
該加熱炉２のシールガス流通路の途中にセンサ１２を設
けたハロゲン系ガス検知器１１、１２とを備えている。
め、実施例に対応する図１に示すように本発明の光ファ
イバ用母材の製造装置は、母材挿通口４とハロゲン混合
ガス流入口５、流出口６とを開口させてある炉心管３
と、少なくともその炉心管３の外周を囲む加熱炉２と、
該加熱炉２のシールガス流通路の途中にセンサ１２を設
けたハロゲン系ガス検知器１１、１２とを備えている。
【００１２】
【作用】炉心管３に異常が発生した場合、炉心管３内の
圧力が加熱炉２内の圧力より低くても炉心管３内の対流
によりハロゲンガスあるいはハロゲン化物ガスなどのハ
ロゲン混合ガスは加熱炉２内に浸入してただちに下流へ
と流れ、このハロゲンガスあるいはハロゲン化物ガス
は、センサ１２が検知し外部に通報するので炉心管３の
ピンホールや割れの発見が早くなる。
圧力が加熱炉２内の圧力より低くても炉心管３内の対流
によりハロゲンガスあるいはハロゲン化物ガスなどのハ
ロゲン混合ガスは加熱炉２内に浸入してただちに下流へ
と流れ、このハロゲンガスあるいはハロゲン化物ガス
は、センサ１２が検知し外部に通報するので炉心管３の
ピンホールや割れの発見が早くなる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１にしたがって説
明する。
明する。
【００１４】図１に示すように、カーボンヒータ１を内
部に備えたカーボンヒータ加熱炉２の中心に、耐用可能
回数約２００回の石英ガラス管で形成した新品の炉心管
３を上下方向に挿通して設けてある。炉心管３は両端を
閉塞し、上端に小さな管口を開いて光ファイバ用母材の
挿通口４とし、下部にはヘリウムと塩素とを混合したハ
ロゲン混合ガスの流入口５、上部にはその流出口６を開
口させている。
部に備えたカーボンヒータ加熱炉２の中心に、耐用可能
回数約２００回の石英ガラス管で形成した新品の炉心管
３を上下方向に挿通して設けてある。炉心管３は両端を
閉塞し、上端に小さな管口を開いて光ファイバ用母材の
挿通口４とし、下部にはヘリウムと塩素とを混合したハ
ロゲン混合ガスの流入口５、上部にはその流出口６を開
口させている。
【００１５】炉心管３を囲むカーボンヒータ加熱炉２内
に、シールガス流入口８とシールガス流出口９とが開口
している。シールガス流入口８と図示外のアルゴンガス
貯蔵器に連結しており、シールガス流出口９は下流方向
に送気管１０を結合して図示外の排ガス処理設備に連結
している。
に、シールガス流入口８とシールガス流出口９とが開口
している。シールガス流入口８と図示外のアルゴンガス
貯蔵器に連結しており、シールガス流出口９は下流方向
に送気管１０を結合して図示外の排ガス処理設備に連結
している。
【００１６】シールガス流出口９から送気管１０で伸び
た通路には、外部の警報装置１１と一緒になってハロゲ
ン系ガス検知器となる塩素ガスセンサ１２を内蔵させて
ある。
た通路には、外部の警報装置１１と一緒になってハロゲ
ン系ガス検知器となる塩素ガスセンサ１２を内蔵させて
ある。
【００１７】塩素ガスセンサ１２としては、塩素ガスを
検知しその検知信号を電気信号に変えるものであればよ
く、塩素ガスセンサ１２と警報装置１１とは電気的に連
結する。
検知しその検知信号を電気信号に変えるものであればよ
く、塩素ガスセンサ１２と警報装置１１とは電気的に連
結する。
【００１８】上記の光ファイバ用母材の製造装置を次の
ように駆動させた。
ように駆動させた。
【００１９】ＶＡＤ法で得られた多孔質ガラス母材７を
母材挿通口４に挿通し、炉心管３にヘリウムと塩素の混
合ガスを流通させた。一方、カーボンヒータ加熱炉２内
にはアルゴンガスを流通させ、カーボンヒータ１で炉心
管３を加熱した。
母材挿通口４に挿通し、炉心管３にヘリウムと塩素の混
合ガスを流通させた。一方、カーボンヒータ加熱炉２内
にはアルゴンガスを流通させ、カーボンヒータ１で炉心
管３を加熱した。
【００２０】上記の操作を多数回くり返し、多数の多孔
質ガラス母材７を脱水処理した。１８３バッチ目になっ
て塩素ガスセンサ１２が塩素ガスを検知し、警報装置１
１が作動した。このとき、直ちにカーボンヒータ１の駆
動を停止した。
質ガラス母材７を脱水処理した。１８３バッチ目になっ
て塩素ガスセンサ１２が塩素ガスを検知し、警報装置１
１が作動した。このとき、直ちにカーボンヒータ１の駆
動を停止した。
【００２１】カーボンヒータ加熱炉２の冷却後、炉心管
３を取り出して調べたところ、石英製の周壁が白く失透
しており、中央に割れが発生していた。１８２バッチ目
までの光ファイバ用母材を線引して光ファイバを製造し
たが、光伝送特性には全く問題が見られなかった。
３を取り出して調べたところ、石英製の周壁が白く失透
しており、中央に割れが発生していた。１８２バッチ目
までの光ファイバ用母材を線引して光ファイバを製造し
たが、光伝送特性には全く問題が見られなかった。
【００２２】比較のために塩素ガス濃度センサを設けな
い例を行ってみた。濃度センサを設けない外は上記の実
施例と同様にした。
い例を行ってみた。濃度センサを設けない外は上記の実
施例と同様にした。
【００２３】１９８バッチ目の焼結を開始したところで
炉の周囲から塩素臭がした。このため直ちに焼結操作を
停止した。
炉の周囲から塩素臭がした。このため直ちに焼結操作を
停止した。
【００２４】カーボンヒータ加熱炉２の冷却後に炉心管
３を取り出して調べたところ、周囲が白く失透し、中央
に割れが発生していた。
３を取り出して調べたところ、周囲が白く失透し、中央
に割れが発生していた。
【００２５】このバッチ以前の１９７バッチ目までの光
ファイバ用母材から線引して得られた光ファイバの伝送
特性を調べたところ、１９６バッチ目と１９７バッチ目
の光ファイバには短波長側に不純物によると思われる光
吸収が見られ、光ファイバとして使用不可能であること
が分かった。特に１９７バッチ目の光ファイバは長距離
では全く光が通らないという状態であった。
ファイバ用母材から線引して得られた光ファイバの伝送
特性を調べたところ、１９６バッチ目と１９７バッチ目
の光ファイバには短波長側に不純物によると思われる光
吸収が見られ、光ファイバとして使用不可能であること
が分かった。特に１９７バッチ目の光ファイバは長距離
では全く光が通らないという状態であった。
【００２６】
【発明の効果】本発明は上記のような構成でなるから、
万一、炉心管にガス漏洩事故が発生した場合、必要な操
作をただちに行うことができる。
万一、炉心管にガス漏洩事故が発生した場合、必要な操
作をただちに行うことができる。
【図１】本発明を適用する一実施例の光ファイバ用母材
の製造装置である。
の製造装置である。
１はカーボンヒーター、２は加熱炉、３は炉心管、４は
母材挿通口、５はハロゲン混合ガスの流入口、６はハロ
ゲン混合ガスの流出口、７は多孔質ガラス母材、８はシ
ールガス流入口、９はシールガス流出口、１１は警報装
置、１２は塩素ガスセンサ。
母材挿通口、５はハロゲン混合ガスの流入口、６はハロ
ゲン混合ガスの流出口、７は多孔質ガラス母材、８はシ
ールガス流入口、９はシールガス流出口、１１は警報装
置、１２は塩素ガスセンサ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 母材挿通口とハロゲン混合ガスの流入口
と流出口とを開口させてある炉心管と、少なくともその
炉心管の外周を囲む加熱炉と、該加熱炉のシールガス流
通路の途中にセンサを設けたハロゲン系ガス検知器とを
備えていることを特徴とする光ファイバ用母材の製造装
置。 - 【請求項２】 ハロゲン系ガス検知器は塩素ガス検知器
である光ファイバ用母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24133791A JP2563699B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24133791A JP2563699B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0578140A true JPH0578140A (ja) | 1993-03-30 |
| JP2563699B2 JP2563699B2 (ja) | 1996-12-11 |
Family
ID=17072805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24133791A Expired - Fee Related JP2563699B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 光ファイバ用母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2563699B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6543257B1 (en) * | 1999-05-28 | 2003-04-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dehydration and sintering apparatus for porous optical fiber preform |
| WO2012002476A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | 株式会社フジクラ | 炉心管の検査方法および石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法 |
| JP2012121737A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Fujikura Ltd | 光ファイバー母材製造装置 |
| JP2021134109A (ja) * | 2020-02-26 | 2021-09-13 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置 |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP24133791A patent/JP2563699B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6543257B1 (en) * | 1999-05-28 | 2003-04-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dehydration and sintering apparatus for porous optical fiber preform |
| WO2012002476A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | 株式会社フジクラ | 炉心管の検査方法および石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法 |
| JPWO2012002476A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2013-08-29 | 株式会社フジクラ | 炉心管の検査方法および石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法 |
| JP5542932B2 (ja) * | 2010-06-30 | 2014-07-09 | 株式会社フジクラ | 炉心管の検査方法および石英ガラス系光ファイバ用の母材の製造方法 |
| US8978421B2 (en) | 2010-06-30 | 2015-03-17 | Fujikura Ltd. | Muffle tube inspection method and manufacturing method of silica glass-based optical fiber preform |
| JP2012121737A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Fujikura Ltd | 光ファイバー母材製造装置 |
| JP2021134109A (ja) * | 2020-02-26 | 2021-09-13 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2563699B2 (ja) | 1996-12-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080919 Year of fee payment: 12 |
|
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