JPH0572111A - Fixation of fine particle detector nozzle - Google Patents
Fixation of fine particle detector nozzleInfo
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- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title abstract description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 9
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、微粒子検出器におけ
るノズルの固定方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for fixing a nozzle in a particle detector.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ＩＣなどの微小で精密な部品はク
リーンルームで製造され、クリーンルームに存在する塵
埃などの微粒子は微粒子検出器により測定され、清浄度
が管理されている。図２は微粒子検出器の検出セル１の
基本的な一例を示す。(a) は検出セル１のＸＺ断面図
で、噴射ノズル12と排出ノズル13は円形断面の胴部122,
132 が、これより大きい直径の嵌入孔111 に嵌入され、
取り付けフランジ（以下単にフランジという）123,133
がＯリング124,134 を介して固定ボルト125,135 により
筐体11に気密に固定される。噴射ノズル12に吸入された
サンプルエアＳA は、その噴射孔121 より検出セル内に
噴射され、排出ノズル13の排出孔131 より外部に排出さ
れる。これに対して、レーザ管141 と外部ミラー142 が
それぞれ光軸調整具143と側板144 により支持され、外
部ミラー形式のレーザ発振器14が構成される。レーザ発
振器が発振するレーザビームＬは、両ノズルの先端間の
ギャップＧを通り、ここを流れるサンプルエアＳA に対
して直角に交差する。交差した領域を検出領域Ｄとし、
Ｄにおけるレーザビームの散乱光を図示しない受光器に
より受光して、サンプルエアＳA に含まれた微粒子が検
出される。クリーンルーム内のエアは多量であり、これ
に含まれている微粒子を検出するには、検出セル内にで
きるだけ多量のサンプルエアを吸入して処理することが
必要である。このための一方法として、噴射孔121 と排
出孔131 は、断面を図(b),(c) に示すような長円形（正
確には半円形の両端を直接で結んだ形状））としてサン
プルエアＳA の流量を増加し、また、レーザビームＬに
対する噴射孔と排出孔の中心合わせと、長円形の長軸の
方向合わせとを行い、検出領域Ｄを拡張する方法が行わ
れている。2. Description of the Related Art Minute and precise parts such as semiconductor ICs are manufactured in a clean room, and fine particles such as dust existing in the clean room are measured by a particle detector to control cleanliness. FIG. 2 shows a basic example of the detection cell 1 of the particle detector. (a) is an XZ sectional view of the detection cell 1, in which the injection nozzle 12 and the discharge nozzle 13 have a circular section 122,
132 is inserted into the insertion hole 111 having a larger diameter,
Mounting flange (hereinafter simply referred to as flange) 123,133
Is hermetically fixed to the housing 11 by fixing bolts 125 and 135 via O-rings 124 and 134. The sample air S A drawn into the jet nozzle 12 is jetted into the detection cell through the jet hole 121, and is discharged to the outside through the discharge hole 131 of the discharge nozzle 13. On the other hand, the laser tube 141 and the external mirror 142 are supported by the optical axis adjusting tool 143 and the side plate 144, respectively, and the external mirror type laser oscillator 14 is configured. The laser beam L oscillated by the laser oscillator passes through the gap G between the tips of both nozzles and intersects the sample air S A flowing therethrough at a right angle. The intersecting area is defined as the detection area D,
The scattered light of the laser beam at D is received by a light receiver (not shown), and the fine particles contained in the sample air S A are detected. There is a large amount of air in the clean room, and in order to detect the particles contained therein, it is necessary to inhale and process as much sample air as possible into the detection cell. As one method to do this, the injection hole 121 and the discharge hole 131 are sampled as an oval shape (correctly, a shape in which both ends of a semicircle are directly connected) as shown in Figures (b) and (c). A method of expanding the detection region D by increasing the flow rate of the air S A , centering the injection hole and the discharge hole with respect to the laser beam L, and aligning the direction of the long axis of the ellipse is used.
【０００３】さて、上記の外部ミラー形式のレーザ発振
器14においては、レーザ管141 と外部ミラー142 とを方
向調整してレーザビームＬを発振させるために、レーザ
ビームＬが噴射孔121 または排出孔131 に対して必ずし
も正しい位置とならない。従って、レーザビームＬに対
するこれらの位置合わせが必要であり、このために筐体
11の嵌入孔111 の直径を両ノズルの胴部122,132 より大
きくし、また固定ボルトに対する孔をバカ孔とされてい
るので、機械的に両ノズルの位置合わせを行うことがで
きない。これに対して、従来の組み立て作業において
は、噴射孔121 または排出孔131 より検出セルの内部を
覗き込み、両ノズルを移動または回転してレーザビーム
Ｌに対する噴射孔121 と排出孔131 の中心合わせと、方
向合わせを行って図(b),(c) の状態とした後、両ノズル
が筐体11に固定されるものである。なお、上記の位置合
わせを効率的に行うために、この発明の発明者により、
「微粒子検出器のノズル位置合わせ方法」が別途に特許
出願される。In the external mirror type laser oscillator 14 described above, the laser beam L is oscillated by adjusting the direction of the laser tube 141 and the external mirror 142 to oscillate the laser beam L. Is not always in the correct position. Therefore, these alignments with respect to the laser beam L are necessary, and for this reason the housing is
Since the diameter of the fitting hole 111 of 11 is larger than the diameters of the body portions 122 and 132 of both nozzles, and the holes for the fixing bolts are blunt holes, it is not possible to mechanically align both nozzles. On the other hand, in the conventional assembly work, the inside of the detection cell is looked into through the injection hole 121 or the discharge hole 131, and both nozzles are moved or rotated to center the injection hole 121 and the discharge hole 131 with respect to the laser beam L. Then, the nozzles are fixed to the housing 11 after the directions are aligned and the states shown in FIGS. In addition, in order to perform the above alignment efficiently, the inventor of the present invention
A patent for "a method for aligning nozzles of a particle detector" is separately filed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】さて、上記の検出セル
１は使用時間の経過により、その内部や両ノズルの噴射
孔121,排出孔131 などに微粒子が付着して性能が低下す
る。検出セルの内部に対しては、図示しないルートによ
りパージエアをフローして常に清掃されいる。一方、噴
射孔と排出孔の清掃は検出セルより両ノズルを取り外し
て行われる。この場合、一旦取り外されたノズルは位置
合わせが不良となるので、再び上記の方法により位置合
わせをする必要があり、保守性が良好でない。これに対
して、筐体11の嵌入孔111 を両ノズルの胴部122,132 に
精密に嵌合するようにすれば、再度の位置合わせが簡略
化できるが、しかし上記した組み立ての際の位置合わせ
が困難となる。そこで、再調整を簡易化ないしは不要と
するノズルの固定方法が望まれている。この発明は以上
に鑑みてなされたもので、清掃のために取り外された両
ノズルに対する再調整を不要とする固定方法を提供する
ことを目的とする。The above-described detection cell 1 deteriorates in performance due to the adherence of fine particles to the inside of the detection cell 1 and the injection holes 121 and the discharge holes 131 of both nozzles with the lapse of time. The inside of the detection cell is constantly cleaned by flowing purge air through a route (not shown). On the other hand, cleaning of the injection hole and the discharge hole is performed by removing both nozzles from the detection cell. In this case, the once removed nozzle has a poor alignment, so it is necessary to perform the alignment again by the above method, and the maintainability is not good. On the other hand, if the fitting holes 111 of the housing 11 are fitted precisely to the body parts 122 and 132 of both nozzles, the re-alignment can be simplified, but the alignment at the time of the assembly described above can be performed. It will be difficult. Therefore, a nozzle fixing method that simplifies or does not require readjustment is desired. The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a fixing method that does not require readjustment for both nozzles removed for cleaning.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成するノズル固定方法であって、上記の微粒子検出器
において、噴射ノズルまたは排出ノズルのフランジと検
出セルの筐体の間に、各ノズルの円形断面の胴部が高精
度で嵌合する嵌合孔を有する補助板をそれぞれ介在させ
る。各胴部を各嵌合孔にそれぞれ挿入し、各補助板に対
して各フランジを気密で着脱自由にそれぞれネジ止めす
る。噴射ノズルまたは排出ノズルと補助板とを一体とし
て、噴射孔および排出孔をレーザビームに対して位置合
わせした後、各補助板がそれぞれ筐体に気密に固定され
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a method of fixing a nozzle for achieving the above object, wherein in the above particle detector, a nozzle is provided between the flange of the injection nozzle or the discharge nozzle and the casing of the detection cell. Auxiliary plates each having a fitting hole into which the body having a circular cross section of the nozzle is fitted with high accuracy are interposed. Each body is inserted into each fitting hole, and each flange is airtightly attached to each auxiliary plate in a freely attachable and detachable manner. After the injection nozzle or the discharge nozzle and the auxiliary plate are integrated and the injection hole and the discharge hole are aligned with respect to the laser beam, each auxiliary plate is hermetically fixed to the housing.
【０００６】[0006]
【作用】上記のノズル固定方法においては、両ノズルの
フランジと検出セルの筐体の間に補助板を介在させ、補
助板に設けた嵌合孔に胴部が挿入された各ノズルは、各
フランジが各補助板に対して気密、かつ着脱自由にそれ
ぞれネジ止めされ、各ノズルと各補助板とをそれぞれ一
体として、噴射孔または排出孔をレーザビームに対して
位置合わせされる。この状態で各補助板を筐体にそれぞ
れ気密に固定するもので、清掃作業のために、着脱自由
の各フランジにより筐体より各ノズルを取り外し、再び
筐体に装着した場合、嵌合孔と各ノズルの胴部は高精度
に嵌合し、かつ補助板が筐体に対して位置合わせされて
いるので、レーザビームに対する噴射孔または排出孔の
中心、または方向合わせがそのままなされ、再度の位置
合わせが不要となるものである。また、回転方向につい
ても、方向調整後、アテゴマをピンに当てることにより
位置合わせされる。In the nozzle fixing method described above, the auxiliary plates are interposed between the flanges of both nozzles and the casing of the detection cell, and each of the nozzles in which the body portion is inserted into the fitting hole formed in the auxiliary plate is The flange is airtightly and detachably attached to each auxiliary plate, and each nozzle and each auxiliary plate are integrated with each other, and the injection hole or the discharge hole is aligned with the laser beam. In this state, each auxiliary plate is airtightly fixed to the housing.For cleaning work, when each nozzle is removed from the housing by each detachable flange and reattached to the housing, Since the body of each nozzle is fitted with high precision and the auxiliary plate is aligned with the housing, the center of the injection hole or discharge hole with respect to the laser beam, or the alignment is maintained, and the repositioning is performed again. It does not require alignment. In addition, the rotational direction is also adjusted by applying the attemago to the pin after adjusting the direction.
【０００７】[0007]
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示し、(a) は検
出セルの斜視外観図、(b) はＹＺ断面図である。両図に
おいて検出セル１は、前記した図２(a),(b) の検出セル
１の筐体11と噴射ノズル12および排出ノズル13のフラン
ジ123,133 の間に、補助板126,136 を介在させ、これら
に対する固定ボルト128,138 、およびＯリング129,139
を付加して構成される。各補助板には、各ノズルの胴部
122,132 がそれぞれ高精度で嵌合する嵌合孔127,137 が
設けられる。図の15は受光窓を示し、これより微粒子の
散乱光Ｒが取り出されて受光器（図示省略）に入力す
る。なお、従来と同一構成要素は同一符号で示す。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, in which (a) is a perspective external view of a detection cell and (b) is a YZ sectional view. In both figures, the detection cell 1 has auxiliary plates 126, 136 interposed between the casing 11 of the detection cell 1 of FIGS. Fixing bolts 128,138 and O-rings 129,139
Is added. Each auxiliary plate has a body of each nozzle
Fitting holes 127 and 137 for fitting the 122 and 132 with high precision are provided. Reference numeral 15 in the drawing denotes a light receiving window from which scattered light R of fine particles is extracted and inputted to a light receiver (not shown). It should be noted that the same components as those of the related art are denoted by the same reference numerals.
【０００８】図１(a),(b) により噴射ノズル12と排出ノ
ズル13の固定方法を説明する。検出セル１の組み立て作
業においては、各ノズルの胴部122,132 を補助板の嵌合
孔127,137 にそれぞれ嵌入し、Ｏリング124,134 を介し
て各フランジ123,133と各補助板126,136 とを、固定ボ
ルト125,135 により気密で着脱自由にネジ止めする。こ
れにより各ノズルと各補助板はそれぞれ一体となる。各
胴部122,132 を筐体の嵌入孔111 にそれぞれ挿入し、前
記した位置合わせ方法により、レーザビームＬ（図２
(a) 参照）に対する各ノズルの噴射孔121 または排出孔
131 の中心合わせと、方向合わせを行う。位置合わせが
終了すると、各補助板126,136 は、Ｏリング129,139 を
介して固定ボルト128,138により筐体11にそれぞれ気密
に固定され、筐体11に対する両ノズルの固定が終了す
る。この固定は各補助板の位置合わせであるので、適当
な方法により各固定ボルト128,138 が弛緩しない様に処
置する。次に、各ノズル12,13 の清掃作業においては、
固定ボルト125,135 を緩めて各フランジ123,133 を補助
板126,136 より取り外し、各ノズルの胴部122,132 をそ
れぞれの嵌合孔127,137 より抜き取って清掃を行う。清
掃が終了後、胴部を嵌合孔に再び挿入すると、各補助板
は前記により位置合わせされているので、噴射孔121 ま
たは排出孔131 は再調整することなくレーザビームＬに
対して位置合わせされ、この状態で各フランジが筐体に
気密にネジ止めされて各ノズルが固定される。A method of fixing the injection nozzle 12 and the discharge nozzle 13 will be described with reference to FIGS. 1 (a) and 1 (b). In the assembling work of the detection cell 1, the body parts 122, 132 of the nozzles are fitted into the fitting holes 127, 137 of the auxiliary plates, respectively, and the flanges 123, 133 and the auxiliary plates 126, 136 are hermetically sealed with the fixing bolts 125, 135 via the O-rings 124, 134. Use screws to attach and detach freely. As a result, each nozzle is integrated with each auxiliary plate. The body portions 122 and 132 are respectively inserted into the fitting holes 111 of the housing, and the laser beam L (see FIG.
(Refer to (a)) Injection hole 121 or discharge hole of each nozzle
Align the center of 131 and the direction. When the alignment is completed, the auxiliary plates 126, 136 are airtightly fixed to the housing 11 by the fixing bolts 128, 138 via the O-rings 129, 139, and the fixing of both nozzles to the housing 11 is completed. Since this fixing is the alignment of the auxiliary plates, the fixing bolts 128 and 138 are treated by an appropriate method so as not to loosen. Next, when cleaning the nozzles 12 and 13,
Loosen the fixing bolts 125 and 135 to remove the flanges 123 and 133 from the auxiliary plates 126 and 136, and remove the body parts 122 and 132 of the nozzles from the fitting holes 127 and 137 for cleaning. After the cleaning is completed, when the body is reinserted into the fitting hole, the auxiliary plates are aligned as described above, so that the injection hole 121 or the discharge hole 131 is aligned with the laser beam L without readjustment. In this state, each flange is airtightly screwed to the housing and each nozzle is fixed.
【０００９】[0009]
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明によるノ
ズル固定方法においては、各ノズルに対して補助板を設
け、補助板に対して各ノズルのフランジを着脱自由にネ
ジ止めし、両者を一体として位置合わせされるもので、
清掃作業のために取り外されて補助板に再装着された各
ノズルは、そのまま位置合わせされて再調整が不要であ
り、検出セルの保守性の向上に寄与するものである。As described above, in the nozzle fixing method according to the present invention, the auxiliary plate is provided for each nozzle, and the flange of each nozzle is freely screwed to the auxiliary plate so that both are integrated. Is aligned as
The nozzles removed for the cleaning work and reattached to the auxiliary plate are aligned as they are and do not need to be readjusted, which contributes to improving the maintainability of the detection cell.
【図１】 この発明の一実施例を示し、(a) は検出セル
の斜視外観図、(b)はＹＺ断面図である。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, (a) is a perspective external view of a detection cell, and (b) is a YZ sectional view.
【図２】 微粒子検出器における従来の検出セルの構造
を示し、(a) はＸＺ断面図、(b),(c) はレーザビームに
対する噴射孔と排出孔の位置合わせの説明図である。2A and 2B show a structure of a conventional detection cell in a particle detector, wherein FIG. 2A is an XZ sectional view, and FIGS. 2B and 2C are explanatory views of alignment of an injection hole and an ejection hole with respect to a laser beam.
１…検出セル、11…筐体、111 …嵌入孔、12…噴射ノズ
ル、13…排出ノズル、121 …噴射孔、131 …排出孔、12
2,132 …ノズルの胴部、123,133 …取り付けフランジ、
124,134,129,139 …Ｏリング、125,128,135,138 …固定
ボルト、126,136 …補助板、127,137…嵌合孔、14…レ
ーザ発振器、141 …レーザ管、142 …外部ミラー、143
…光軸調整具、144 …側板、15…受光窓。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Detection cell, 11 ... Housing, 111 ... Fitting hole, 12 ... Injection nozzle, 13 ... Discharge nozzle, 121 ... Injection hole, 131 ... Discharge hole, 12
2,132… Nozzle body, 123,133… Mounting flange,
124,134,129,139 ... O-ring, 125,128,135,138 ... Fixing bolt, 126,136 ... Auxiliary plate, 127,137 ... Fitting hole, 14 ... Laser oscillator, 141 ... Laser tube, 142 ... External mirror, 143
… Optical axis adjustment tool, 144… Side plate, 15… Light receiving window.
Claims (1)
アを検出セルの内部に噴射する噴射ノズルと、該噴射孔
よりやや大きい長円形断面の排出孔を有し、該サンプル
エアを外部に排出する排出ノズルを具備し、該各ノズル
の先端の間のギャップ部を通過する前記サンプルエアに
対して、外部ミラー形式のレーザ発振器により、前記長
円形断面の長軸方向にレーザビームを直交させ、該レー
ザビームの散乱光を受光して微粒子を検出する微粒子検
出器において、前記噴射ノズルまたは排出ノズルの取り
付けフランジと前記検出セルの筐体の間に、前記各ノズ
ルの円形断面の胴部が高精度で嵌合する嵌合孔を有する
補助板をそれぞれ介在させ、該各胴部を該各嵌合孔にそ
れぞれ挿入し、該各補助板に対して前記各取り付けフラ
ンジを気密で着脱自由にそれぞれネジ止めし、前記噴射
ノズルまたは排出ノズルと該補助板とを一体として、前
記噴射孔および排出孔を前記レーザビームに対して位置
合わせした後、前記各補助板を前記筐体にそれぞれ気密
に固定することを特徴とする、微粒子検出器のノズル固
定方法。1. An injection nozzle having an oval cross-section injection hole for injecting sample air into a detection cell, and an ejection hole having an oval cross-section slightly larger than the injection hole, wherein the sample air is exposed to the outside. A laser beam of an external mirror type is used to make a laser beam orthogonal to the major axis direction of the oval cross section with respect to the sample air passing through the gap between the tips of the nozzles. In the particle detector that receives scattered light of the laser beam and detects particles, the body of the circular cross section of each nozzle is provided between the mounting flange of the injection nozzle or the discharge nozzle and the casing of the detection cell. Interpose an auxiliary plate having a fitting hole for highly accurate fitting, insert each body part into each fitting hole, and attach and detach the mounting flanges to and from each auxiliary plate in an airtight manner. After that, the injection nozzle or the discharge nozzle and the auxiliary plate are integrated, and the injection hole and the discharge hole are aligned with respect to the laser beam. A method for fixing a nozzle of a particle detector, which is characterized in that the nozzle is fixed in an airtight manner.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259601A JP2732158B2 (en) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | Nozzle fixing method for particle detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259601A JP2732158B2 (en) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | Nozzle fixing method for particle detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572111A true JPH0572111A (en) | 1993-03-23 |
| JP2732158B2 JP2732158B2 (en) | 1998-03-25 |
Family
ID=17336367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3259601A Expired - Fee Related JP2732158B2 (en) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | Nozzle fixing method for particle detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2732158B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017145768A1 (en) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | アズビル株式会社 | Particle detection device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61274242A (en) * | 1985-05-30 | 1986-12-04 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Fine particle detector |
-
1991
- 1991-09-11 JP JP3259601A patent/JP2732158B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61274242A (en) * | 1985-05-30 | 1986-12-04 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Fine particle detector |
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|---|---|---|---|---|
| WO2017145768A1 (en) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | アズビル株式会社 | Particle detection device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2732158B2 (en) | 1998-03-25 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |