JPH0565907A - Cylinder with vacuum control device - Google Patents

Cylinder with vacuum control device

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JPH0565907A
JPH0565907A JP22615591A JP22615591A JPH0565907A JP H0565907 A JPH0565907 A JP H0565907A JP 22615591 A JP22615591 A JP 22615591A JP 22615591 A JP22615591 A JP 22615591A JP H0565907 A JPH0565907 A JP H0565907A
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vacuum
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vacuum control
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茂和 永井
Shuzo Sakurai
修三 桜井
Masayoshi Yamamoto
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Abstract

PURPOSE:To obviate individual air piping for a cylinder body part and a vacuum control part so as to simplify air piping and effectively utilize the working space by providing a cylinder with a built-in or added vacuum control part formed of an ejector, thereby forming a common air piping passage. CONSTITUTION:Compressed air led into an air supply port 54 from an air supply source is fed out to ports 26, 27 under the control of a five-port solenoid pilot valve 38 so as to drive a piston 12 into its rectilinear motion, and also led into an ejector 16. In this ejector 16, a vacuum state is formed and the compressed air is sucked from the air suction port 82 of a suction pad 22 through a fluid pipeline 35.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、シリンダと真空発生器
等を結合させて一体化した真空制御装置付シリンダに関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cylinder with a vacuum control device in which a cylinder, a vacuum generator and the like are combined and integrated.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、シリンダと真空発生器は、夫々個
別に流体回路中に配置されていた。すなわち、シリンダ
のポートに圧縮空気を導入してピストンを変位させ、こ
のピストンの変位に伴ってピストンロッドの先端部に連
結されたワーク把持用吸着具である吸着用パッドが、直
線的に移動してワークを搬送させていた。一方、真空発
生器は、シリンダとは個別に配置されており、吸着用パ
ッドの空気吸引ポートにチューブ等の管路を接続して真
空発生器に連通させて、ワークを搬送する際、真空発生
器の負圧作用のもとにワークを吸着し、シリンダの直線
運動により所望の位置にワークを搬送する。
2. Description of the Related Art Conventionally, a cylinder and a vacuum generator are individually arranged in a fluid circuit. That is, the compressed air is introduced into the port of the cylinder to displace the piston, and the suction pad, which is the suction tool for gripping the workpiece and is connected to the tip of the piston rod, moves linearly with the displacement of the piston. To convey the work. On the other hand, the vacuum generator is arranged separately from the cylinder, and a pipe such as a tube is connected to the air suction port of the suction pad to communicate with the vacuum generator and generate a vacuum when the work is transferred. The work is sucked under the negative pressure of the container, and the work is conveyed to a desired position by the linear movement of the cylinder.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の技術では、空気供給源からの圧縮空気をシリンダ
側とエゼクタ側の両方に個別に供給しなければならず、
そのための配管作業が必要となる。
However, in the above conventional technique, the compressed air from the air supply source must be individually supplied to both the cylinder side and the ejector side.
Piping work for that is required.

【0004】また、真空発生器と吸着用パッドとを接続
するチューブは、ワークの搬送に伴って吸着用パッドも
移動するため、ワークの移動範囲に到達可能な十分な長
さを確保しなければならず、しかもそのチューブが移動
するスペースを必要とする。
The tube connecting the vacuum generator and the suction pad also has to be long enough to reach the movement range of the work, because the suction pad moves as the work is conveyed. However, it also requires a space for the tube to move.

【0005】そこで、本発明は、シリンダと真空発生器
とを結合させ、さらに吸着用パッドの空気吸引ポートに
通じる通路をシリンダロッドの管内に設けて、真空発生
器から通じるワーク吸引のための通路を一本化すること
により、配管作業を簡素化することができるとともに、
作業スペースの有効利用を図ることが可能な真空制御装
置付シリンダを提供することを目的とする。
Therefore, according to the present invention, a passage for connecting a cylinder and a vacuum generator, and a passage for communicating with the air suction port of the suction pad are provided in the pipe of the cylinder rod so as to suction the workpiece through the vacuum generator. It is possible to simplify piping work by unifying
An object of the present invention is to provide a cylinder with a vacuum control device that can effectively use a work space.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、ポートから流体を供給することにより
直線的に変位する管体を有し、前記管体内に中空の流体
用管路が設けられたシリンダ部と、少なくとも真空発生
器、サイレンサ、フィルタ、シリンダ駆動弁および制御
弁、圧力検出器から構成される真空制御部とを備え、前
記真空制御部は、前記シリンダ部に内蔵または付設され
るとともに、前記真空制御部の流体通路に前記流体用管
路および前記ポートが連通して接続されることを特徴と
する。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention has a tubular body which is linearly displaced by supplying a fluid from a port, and a hollow fluid tube inside the tubular body. And a vacuum control unit including at least a vacuum generator, a silencer, a filter, a cylinder drive valve and a control valve, and a pressure detector, and the vacuum control unit is built in the cylinder unit. Alternatively, it is additionally provided, and the fluid passage and the port are communicated with and connected to the fluid passage of the vacuum controller.

【0007】[0007]

【作用】上記の本発明に係る真空制御装置付シリンダで
は、空気供給源から供給された圧縮空気は、シリンダ側
のポートに供給されて管体を直線的に変位させるととも
に、真空制御部側の流体通路に導入される。真空制御部
側に導入された圧縮空気は、真空制御部内に配置された
流体通路中のノズルから勢い良く噴射されて、減圧作用
下に負圧を発生させる。この負圧作用により、管体内に
設けられ、且つ真空制御部の流体通路に連通する流体用
管路を通じてワークを吸引し、管体の直線的変位を介し
てワークを搬送することができる。
In the above-described cylinder with vacuum controller according to the present invention, the compressed air supplied from the air supply source is supplied to the port on the cylinder side to linearly displace the tube body, and the compressed air on the vacuum controller side Introduced into the fluid passage. The compressed air introduced to the vacuum control unit side is vigorously ejected from the nozzle in the fluid passage arranged in the vacuum control unit to generate a negative pressure under the pressure reducing action. By this negative pressure action, the work can be sucked through the fluid pipe provided in the pipe and communicating with the fluid passage of the vacuum control unit, and the work can be conveyed through the linear displacement of the pipe.

【0008】[0008]

【実施例】次に、本発明に係る真空制御装置付シリンダ
について好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
The preferred embodiments of the cylinder with a vacuum control device according to the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【0009】図1は、本発明に係る真空制御装置付シリ
ンダを示す一部省略縦断面図、図2は真空制御装置付シ
リンダの平面図、図3は回路構成図である。
FIG. 1 is a partially omitted vertical sectional view showing a cylinder with a vacuum control device according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of the cylinder with a vacuum control device, and FIG. 3 is a circuit configuration diagram.

【0010】真空制御装置付シリンダ10は、基本的
に、内部にピストン12を収納するシリンダ本体部14
と、エゼクタ16等を内蔵する真空制御部18と、連結
部材としてのコネクタ20に吸着用パッド22が連結さ
れたワーク把持部24とから構成される。
The cylinder 10 with a vacuum control device basically has a cylinder body 14 for accommodating a piston 12 therein.
And a vacuum controller 18 containing the ejector 16 and the like, and a workpiece gripper 24 in which a suction pad 22 is connected to a connector 20 as a connecting member.

【0011】詳細には、シリンダ本体部14は直方体状
に形成され、その内部には、ポート26、27から流体
を導入、排出して管状のシリンダ室28を直線的に変位
するピストン12が配置されている。このピストン12
の外周には、図示しない位置検出機構によりピストン1
2の位置を検出するためのリング状の磁石30と、コイ
ル32が設けられている。ピストン12の内周には、ピ
ストン12を締結してピストン12の出力、変位をワー
ク把持部24に伝達するピストンロッド(管体)34が
連結されている。ピストンロッド34の管内には、その
変位方向に中空の貫通孔を画成する流体用管路35が設
けられ、一端側は後述するエゼクタ16に連通するとと
もに、他端側はワーク把持部24のコネクタ20に連通
している。この流体用管路35は、エゼクタ16で発生
させた負圧作用のもとに、ワークを吸着させるための吸
引通路を画成するものである。シリンダ室28は、流体
を導入、排出するための一組のポート26、27が画成
され、このポート26、27は、通路36、37を介し
て後述するシリンダ駆動用の5ポート電磁パイロット弁
38に連通している。シリンダ本体部14の一端側に
は、ピストンロッド34の回転を防止するための回り止
め部材40がシリンダ本体部14に接続され、前記回り
止め部材40に近接してピストンロッド34の直線運動
を確保するためのロッドカバー42が設けられてシリン
ダ室28を形成している。なお、図2に示すように、真
空制御装置付シリンダ10を図示しない取り付け板等に
固定するための貫通孔としての穴44が2箇所画成され
ている。また、ピン等を挿入して前記回り止め部材40
が回転しないように回り止め用ピン46が取り付けられ
ている。
More specifically, the cylinder body 14 is formed in a rectangular parallelepiped shape, and the piston 12 for displacing the fluid through the ports 26 and 27 to linearly displace the tubular cylinder chamber 28 is disposed inside the cylinder body 14. Has been done. This piston 12
The piston 1 is attached to the outer periphery of the piston 1 by a position detection mechanism (not shown).
A ring-shaped magnet 30 for detecting the position of No. 2 and a coil 32 are provided. A piston rod (tubular body) 34 that connects the piston 12 and transmits the output and displacement of the piston 12 to the work grip 24 is connected to the inner circumference of the piston 12. In the pipe of the piston rod 34, a fluid pipe 35 that defines a hollow through hole in the displacement direction is provided. One end of the piston rod 34 communicates with an ejector 16 described below, and the other end of the work gripping portion 24 is connected. It communicates with the connector 20. The fluid conduit 35 defines a suction passage for adsorbing the work under the negative pressure generated by the ejector 16. The cylinder chamber 28 defines a set of ports 26 and 27 for introducing and discharging a fluid. The ports 26 and 27 are five-port solenoid pilot valves for driving a cylinder, which will be described later, via passages 36 and 37. It communicates with 38. A detent member 40 for preventing rotation of the piston rod 34 is connected to the cylinder body 14 at one end of the cylinder body 14, and the linear movement of the piston rod 34 is ensured in the vicinity of the detent member 40. And a rod cover 42 is provided to form the cylinder chamber 28. As shown in FIG. 2, two holes 44 are defined as through holes for fixing the cylinder 10 with a vacuum controller to a mounting plate or the like (not shown). In addition, by inserting a pin or the like, the rotation stopping member 40
An anti-rotation pin 46 is attached so as not to rotate.

【0012】真空制御部18は直方体を形成し、その上
面には、シリンダ駆動用の5ポート電磁パイロット弁3
8、パイロット操作弁48の弁開閉を操作するための3
ポート電磁弁50および真空制御部18における負圧状
態を検出するための真空圧力スイッチ52が搭載されて
いる。ピストンロッド34の変位方向の両側面には、空
気供給ポート54を有するワンタッチ管継手56および
円筒状に形成された排気用サイレンサ58が取り付けら
れている。前記ワンタッチ管継手56は真空制御部18
と一体的に形成してもよい。真空制御部18の内部に
は、真空破壊用に使用される圧縮空気の流量を調節する
ための流量調節弁60(図3参照)が配置されている。
この真空制御部18の下方には、ノズル62およびディ
フューザ64を備えるエゼクタ16と、塵埃等を除去す
るフィルタ66と、エゼクタ16の側面に位置するサイ
レンサ68とが配置されている。
The vacuum control unit 18 forms a rectangular parallelepiped, and on the upper surface thereof, a cylinder driving 5-port solenoid pilot valve 3 is provided.
8, 3 for operating the opening and closing of the pilot operated valve 48
A vacuum pressure switch 52 for detecting a negative pressure state in the port solenoid valve 50 and the vacuum controller 18 is mounted. A one-touch pipe joint 56 having an air supply port 54 and an exhaust silencer 58 formed in a cylindrical shape are attached to both side faces of the piston rod 34 in the displacement direction. The one-touch fitting 56 is a vacuum control unit 18.
It may be formed integrally with. Inside the vacuum controller 18, a flow rate control valve 60 (see FIG. 3) for controlling the flow rate of the compressed air used for breaking the vacuum is arranged.
Below the vacuum control unit 18, an ejector 16 including a nozzle 62 and a diffuser 64, a filter 66 for removing dust and the like, and a silencer 68 located on a side surface of the ejector 16 are arranged.

【0013】なお、図2に示すように、真空制御装置付
シリンダ10を連設し、マニホールド化(分岐管)して
使用する場合、真空供給ポートおよび排気ポートを貫通
させて共有化させてもよい。また、前記排気ポート部分
の本体に切り欠きを設けて排気させてもよい。
As shown in FIG. 2, when the cylinders 10 with a vacuum control device are connected in series and used as a manifold (branch pipe), even if the vacuum supply port and the exhaust port are penetrated and shared. Good. Further, the main body of the exhaust port portion may be provided with a notch for exhausting.

【0014】次に、以上のように構成される真空制御装
置付シリンダ10の動作について、図3の回路構成図を
もとにして説明する。
Next, the operation of the cylinder 10 with a vacuum controller constructed as above will be described with reference to the circuit diagram of FIG.

【0015】まず、ワンタッチ管継手56の空気供給ポ
ート54にチューブ等の管路を接続して、図示しない空
気供給源から圧縮空気を導入する。この空気供給ポート
54から導入された圧縮空気は、通路36を介してシリ
ンダ室28のポート26に連通する5ポート電磁パイロ
ット弁38に導入されるとともに、3ポート電磁弁50
を介して弁開閉が制御されるパイロット操作弁48に導
入される。このように、1箇所の空気供給ポート54か
ら導入された圧縮空気は、ピストン12の直線運動を駆
動させるための5ポート電磁パイロット弁38側と、真
空制御部18で負圧状態を発生させワーク把持部24に
おいてワークを吸引させるためのパイロット操作弁48
側の両者に供給される。
First, a pipe line such as a tube is connected to the air supply port 54 of the one-touch pipe joint 56, and compressed air is introduced from an air supply source (not shown). The compressed air introduced from the air supply port 54 is introduced into the 5-port solenoid pilot valve 38 communicating with the port 26 of the cylinder chamber 28 via the passage 36 and the 3-port solenoid valve 50.
It is introduced into the pilot operated valve 48 whose valve opening and closing is controlled via. As described above, the compressed air introduced from the air supply port 54 at one location causes the vacuum control unit 18 to generate a negative pressure state on the side of the 5-port electromagnetic pilot valve 38 for driving the linear motion of the piston 12 and the work. Pilot operation valve 48 for sucking the work in the grip portion 24
Supplied to both sides.

【0016】初めに、前者、すなわち、ピストン12の
直線運動を駆動させる場合について説明する。5ポート
電磁パイロット弁38は、通路36、37を介してポー
ト26、27に連通しているとともに、排気用サイレン
サ58に接続されている。空気供給ポート54から導入
された圧縮空気は、通路70を介して5ポート電磁パイ
ロット弁38に導入される。この時、一方のポート26
に通じる通路36は導入用に用いられ、他方のポート2
7に通じる通路37は排気用に用いられて排気用サイレ
ンサ58から外部へ排出される。このようにして、ピス
トン12は、導入用のポート26方向から排気用のポー
ト27方向に直線的に変位する。続いて、5ポート電磁
パイロット弁38の内部のソレノイド(図示せず)によ
りパイロット弁を励磁させるとともに、パイロット圧で
主弁操作を行って、5ポート電磁パイロット弁38を切
り換える。この5ポート電磁パイロット弁38の切り換
えにより前述したポート26、27への圧縮空気の導入
と排気が反対になり、ピストン12は前記方向と逆方向
に直線的に変位する。以上のように、5ポート電磁パイ
ロット弁38の切り換えを断続的に行って、圧縮空気の
導入と排気を繰り返すことにより、ピストン12の直線
運動を反復継続させることができる。
First, the former case, that is, the case of driving the linear movement of the piston 12 will be described. The 5-port electromagnetic pilot valve 38 communicates with the ports 26 and 27 via the passages 36 and 37, and is also connected to the exhaust silencer 58. The compressed air introduced from the air supply port 54 is introduced into the 5-port electromagnetic pilot valve 38 via the passage 70. At this time, one port 26
The passage 36 leading to the port is used for introduction, and the other port 2
The passage 37 leading to 7 is used for exhaust and is discharged from the exhaust silencer 58 to the outside. In this way, the piston 12 is linearly displaced from the introduction port 26 direction toward the exhaust port 27 direction. Subsequently, the solenoid valve (not shown) inside the 5-port electromagnetic pilot valve 38 excites the pilot valve, and the main valve is operated by the pilot pressure to switch the 5-port electromagnetic pilot valve 38. By switching the 5-port electromagnetic pilot valve 38, the introduction of the compressed air to the ports 26 and 27 and the exhaust are reversed, and the piston 12 is linearly displaced in the direction opposite to the above direction. As described above, by switching the 5-port electromagnetic pilot valve 38 intermittently and repeating the introduction and exhaust of compressed air, the linear motion of the piston 12 can be repeatedly continued.

【0017】次に、後者、すなわち、真空制御部18で
負圧状態を発生させる場合について説明する。パイロッ
ト操作弁48には、弁切り換えの制御を行うための3ポ
ート電磁弁50が接続され、3ポート電磁弁50を操作
して、パイロット操作弁48を弁開時の状態にする。す
なわち、空気供給ポート54から導入された圧縮空気
は、通路72を介してパイロット操作弁48の一方側の
供給ポート74および3ポート電磁弁50に供給され
る。この時、パイロット操作弁48は閉じている状態に
あり、また3ポート電磁弁50も、バネの作動により弁
閉時の状態を形成している。そこで、図示しないソレノ
イドの励磁作用のもとに3ポート電磁弁50を切り換え
る。この切り換えにより、パイロット操作弁48には、
前記一方側の供給ポート74および他方側の供給ポート
76の両方に圧縮空気が導入される。この場合、前記圧
縮空気が導入される供給ポート74、76の断面積の大
小により(供給ポート76の断面積の方が大きい)、図
示しない弁体が変位して弁開時の状態を形成する。従っ
て、導入された圧縮空気は、通路78を介してエゼクタ
16に導入される。エゼクタ16に導入された圧縮空気
は、図1に示すように、ノズル62に送出され、ノズル
62の先端部で勢いよく噴射させることにより、先端部
の周囲に圧力降下作用を発生させる。従って、フィルタ
66を介してピストンロッド34の管内に設けられた流
体用管路35を通じて空気が吸引される。この吸引作用
により、ピストンロッド34の先端部に連結されたコネ
クタ20の内管80を通じて、コネクタ20に連結され
た吸着用パッド22の空気吸引ポート82からワークが
吸引される。コネクタ20の内部には、ワーク吸着時の
衝撃をピストンロッド34に対して緩和させるためのク
ッション84(図1参照)が設けられている。
Next, the latter case, that is, the case where the vacuum controller 18 generates a negative pressure state will be described. A three-port solenoid valve 50 for controlling valve switching is connected to the pilot operation valve 48, and the three-port solenoid valve 50 is operated to bring the pilot operation valve 48 into the open state. That is, the compressed air introduced from the air supply port 54 is supplied to the one-side supply port 74 and the three-port solenoid valve 50 on one side of the pilot operated valve 48 via the passage 72. At this time, the pilot operated valve 48 is in the closed state, and the 3-port solenoid valve 50 is also in the closed state due to the operation of the spring. Therefore, the 3-port solenoid valve 50 is switched under the excitation of a solenoid (not shown). By this switching, the pilot operated valve 48 has
Compressed air is introduced into both the one-side supply port 74 and the other-side supply port 76. In this case, depending on the size of the cross-sectional area of the supply ports 74 and 76 into which the compressed air is introduced (the cross-sectional area of the supply port 76 is larger), the valve body (not shown) is displaced to form the valve open state. .. Therefore, the introduced compressed air is introduced into the ejector 16 via the passage 78. As shown in FIG. 1, the compressed air introduced into the ejector 16 is delivered to the nozzle 62 and is vigorously ejected at the tip of the nozzle 62 to generate a pressure drop action around the tip. Therefore, air is sucked through the fluid conduit 35 provided inside the piston rod 34 through the filter 66. By this suction action, the work is sucked from the air suction port 82 of the suction pad 22 connected to the connector 20 through the inner tube 80 of the connector 20 connected to the tip end portion of the piston rod 34. Inside the connector 20, there is provided a cushion 84 (see FIG. 1) for cushioning the piston rod 34 when a work is attracted.

【0018】このようにして、吸着用パッド22に吸着
されたワークを、ピストンロッド34の直線的変位のも
とに、ストロークの距離だけ移動させて搬送することが
可能となる。また、ノズル62の先端部から噴射された
圧縮空気は、ディフューザ64を介してサイレンサ68
から外部に排出される。フィルタ66と流体用管路35
との間には、前記圧力降下作用により発生した負圧状態
を検出するための真空圧力スイッチ52が接続されてい
る。
In this way, the work sucked by the suction pad 22 can be moved by the stroke distance under the linear displacement of the piston rod 34 and conveyed. The compressed air injected from the tip of the nozzle 62 is passed through the diffuser 64 and the silencer 68.
Is discharged from the outside. Filter 66 and fluid line 35
A vacuum pressure switch 52 for detecting a negative pressure state generated by the pressure drop action is connected between and.

【0019】次に、このような負圧状態が形成されてい
る時に、負圧状態を解除して真空破壊を行う場合につい
て説明する。空気供給ポート54から導入された圧縮空
気は、通路86を介して真空破壊用パイロット弁88に
送出され、前述したように3ポート電磁弁50を制御し
て真空破壊用パイロット弁88の切り換えを行うことが
できる。この切り換えにより、真空破壊用パイロット弁
88は、弁開時の状態となり、導入された圧縮空気は、
フィルタ66と真空圧力スイッチ52間の通路90に導
出される。従って、エゼクタ16で発生した負圧空気に
正圧の圧縮空気を混入させることにより、負圧状態が解
除され真空破壊を行うことができる。
Next, a description will be given of a case where the negative pressure state is released and the vacuum is broken when such a negative pressure state is formed. The compressed air introduced from the air supply port 54 is sent to the vacuum breaking pilot valve 88 via the passage 86, and the three-port solenoid valve 50 is controlled to switch the vacuum breaking pilot valve 88 as described above. be able to. By this switching, the vacuum breaking pilot valve 88 is in the state when the valve is opened, and the introduced compressed air is
It is led to a passage 90 between the filter 66 and the vacuum pressure switch 52. Therefore, by mixing the positive pressure compressed air with the negative pressure air generated in the ejector 16, the negative pressure state is released and the vacuum can be broken.

【0020】次に、本発明の他の実施例に係る真空制御
装置付シリンダの回路図を図4に示す。なお、前記実施
例と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳
細な説明を省略する。
Next, FIG. 4 shows a circuit diagram of a cylinder with a vacuum controller according to another embodiment of the present invention. The same components as those in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0021】本実施例における真空制御装置付シリンダ
92は、真空制御部18側のスイッチ94の内部に半導
体の抵抗型、または容量型のセンサA96、センサB9
8を2個組み合わせて配設し、該センサA96、センサ
B98をフィルタ100、102、若しくは疏水性エレ
メント(例えば、ポリテトラフルオロエチレン膜)等に
よって塵埃、水から防御できるように形成する。
In the cylinder 92 with the vacuum control device in this embodiment, a semiconductor resistance type or capacitance type sensor A96 or sensor B9 is provided inside the switch 94 on the vacuum control unit 18 side.
Two sensors 8 are arranged in combination, and the sensors A96 and B98 are formed by filters 100 and 102 or a hydrophobic element (for example, a polytetrafluoroethylene film) so as to protect them from dust and water.

【0022】そこで、予め定常運転、若しくは運転途中
において、真空発生弁として機能するパイロット操作弁
48、真空破壊用パイロット弁88、5ポート電磁パイ
ロット弁38、ワークの作動アクチュエータのコントロ
ーラ(図示せず)を作動させ、その圧力状態からワーク
に対する適切な吸着、若しくは未吸着、吸着不良状態等
を判断し、前記運転データに係る信号をスイッチ回路1
04を介し、制御部106、ローカルシーケンサ(また
はローカルコントローラ)108に伝送する。さらに、
この信号は、外部に設けられたシーケンサ110に導出
される。前記シーケンサ110等との信号の送受信は電
磁弁の作動信号、スイッチ94の出力信号、アナログ信
号を含めてシリアル伝送することが可能である。
Therefore, the pilot operation valve 48 functioning as a vacuum generating valve, the vacuum breaking pilot valve 88, the 5-port electromagnetic pilot valve 38, and the controller of the work operation actuator (not shown) in advance during steady operation or during operation. Is operated to judge whether the workpiece is properly adsorbed or not adsorbed, or the adsorption failure state is detected from the pressure state, and a signal related to the operation data is sent to the switch circuit 1.
It is transmitted to the control unit 106 and the local sequencer (or local controller) 108 via 04. further,
This signal is led to the sequencer 110 provided outside. Signals can be transmitted / received to / from the sequencer 110 and the like by serial transmission including an operation signal of the solenoid valve, an output signal of the switch 94, and an analog signal.

【0023】また、センサA96は、真空発生器の圧力
変動に応じて適時可能な限りセンサB98による合否判
定の値を変えるように変化させる。例えば、吸着と未吸
着のセンサB98の圧力を50%の値で合否が決まるよ
うにセンサA96の圧力から計算、予測して判断する自
動シフト方法を採用すると好適である。
Further, the sensor A96 is changed so as to change the pass / fail judgment value by the sensor B98 as timely as possible according to the pressure fluctuation of the vacuum generator. For example, it is preferable to adopt an automatic shift method in which the pressure of the adsorbed and non-adsorbed sensor B98 is calculated and predicted from the pressure of the sensor A96 so as to determine pass / fail by a value of 50%.

【0024】さらに、他のロボット等に真空制御装置付
シリンダ10、92を取り付ける場合、Tスロットを設
けると好適である。マニホールド化して、複数の真空制
御装置付シリンダ10、92を連設して取り付ける場合
も同様である。
Further, when the cylinders 10 and 92 with a vacuum controller are attached to another robot or the like, it is preferable to provide a T slot. The same applies to the case where a plurality of cylinders 10 and 92 with a vacuum control device are connected in series by forming a manifold.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明に係る真空制御装置付シリンダに
よれば、以下の効果が得られる。
According to the cylinder with a vacuum controller according to the present invention, the following effects can be obtained.

【0026】すなわち、真空制御部の流体通路に、吸着
用パッドの吸引ポートに通じる流体用管路およびシリン
ダ部に圧縮空気導入用のポートが連通して接続されるた
め、夫々シリンダ部側と真空制御部側の両者に個別に空
気供給源から圧縮空気を導入する必要がなく、両者に共
用の1本の圧縮空気供給経路を設けるだけでよい。
That is, the fluid passage of the vacuum control unit is connected to the fluid pipe leading to the suction port of the suction pad, and the compressed air introduction port is connected to the cylinder unit. It is not necessary to individually introduce compressed air from the air supply source to both of the control units, and only one shared compressed air supply path may be provided for both.

【0027】また、真空制御部は、シリンダ部に内蔵ま
たは付設されているため、真空制御部と吸着用パッドの
空気吸引ポートとを連通する通路としてのチューブの配
管をする必要がない。このため、チューブの配管に必要
とされるスペースの有効利用を図ることができる。
Further, since the vacuum control section is built in or attached to the cylinder section, it is not necessary to provide a tube as a passage for connecting the vacuum control section and the air suction port of the suction pad. Therefore, it is possible to effectively utilize the space required for tube piping.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例に係る真空制御装置付シリンダ
の一部省略縦断面図である。
FIG. 1 is a partially omitted vertical sectional view of a cylinder with a vacuum control device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例に係る真空制御装置付シリンダ
の平面図である。
FIG. 2 is a plan view of a cylinder with a vacuum control device according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施例に係る真空制御装置付シリンダ
の回路構成図である。
FIG. 3 is a circuit configuration diagram of a cylinder with a vacuum control device according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の他の実施例に係る真空制御装置付シリ
ンダの回路構成図である。
FIG. 4 is a circuit configuration diagram of a cylinder with a vacuum control device according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、92…真空制御装置付シリンダ 12…ピストン 14…シリンダ本体部 16…エゼクタ 18…真空制御部 26、27…ポート 35…流体用管路 38…5ポート電磁パイロット弁 48…パイロット操作弁 50…3ポート電磁弁 10, 92 ... Cylinder with vacuum controller 12 ... Piston 14 ... Cylinder body 16 ... Ejector 18 ... Vacuum controller 26, 27 ... Port 35 ... Fluid conduit 38 ... 5-port solenoid pilot valve 48 ... Pilot operated valve 50 ... 3-port solenoid valve

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ポートから流体を供給することにより直線
的に変位する管体を有し、前記管体内に中空の流体用管
路が設けられたシリンダ部と、 少なくとも真空発生器、サイレンサ、フィルタ、シリン
ダ駆動弁および制御弁、圧力検出器から構成される真空
制御部とを備え、 前記真空制御部は、前記シリンダ部に内蔵または付設さ
れるとともに、前記真空制御部の流体通路に前記流体用
管路および前記ポートが連通して接続されることを特徴
とする真空制御装置付シリンダ。
1. A cylinder part having a tubular body which is linearly displaced by supplying a fluid from a port, and a hollow fluid conduit is provided in the tubular body, and at least a vacuum generator, a silencer and a filter. A vacuum control unit including a cylinder drive valve, a control valve, and a pressure detector, wherein the vacuum control unit is built in or attached to the cylinder unit, and a fluid passage is provided in the vacuum control unit for the fluid. A cylinder with a vacuum control device, characterized in that a pipe and the port are connected in communication with each other.
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