JP3514474B2 - Cylinder with vacuum controller - Google Patents

Cylinder with vacuum controller

Info

Publication number
JP3514474B2
JP3514474B2 JP22615591A JP22615591A JP3514474B2 JP 3514474 B2 JP3514474 B2 JP 3514474B2 JP 22615591 A JP22615591 A JP 22615591A JP 22615591 A JP22615591 A JP 22615591A JP 3514474 B2 JP3514474 B2 JP 3514474B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
cylinder
port
state
supply port
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP22615591A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0565907A (en
Inventor
茂和 永井
修三 桜井
正義 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP22615591A priority Critical patent/JP3514474B2/en
Publication of JPH0565907A publication Critical patent/JPH0565907A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3514474B2 publication Critical patent/JP3514474B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
  • Actuator (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、シリンダと真空発生器
等を結合させて一体化した真空制御装置付シリンダに関
する。 【0002】 【従来の技術】従来、シリンダと真空発生器は、夫々個
別に流体回路中に配置されていた。すなわち、シリンダ
のポートに圧縮空気を導入してピストンを変位させ、こ
のピストンの変位に伴ってピストンロッドの先端部に連
結されたワーク把持用吸着具である吸着用パッドが、直
線的に移動してワークを搬送させていた。一方、真空発
生器は、シリンダとは個別に配置されており、吸着用パ
ッドの空気吸引ポートにチューブ等の管路を接続して真
空発生器に連通させて、ワークを搬送する際、真空発生
器の負圧作用のもとにワークを吸着し、シリンダの直線
運動により所望の位置にワークを搬送する。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の技術では、空気供給源からの圧縮空気をシリンダ
側とエゼクタ側の両方に個別に供給しなければならず、
そのための配管作業が必要となる。 【0004】また、真空発生器と吸着用パッドとを接続
するチューブは、ワークの搬送に伴って吸着用パッドも
移動するため、ワークの移動範囲に到達可能な十分な長
さを確保しなければならず、しかもそのチューブが移動
するスペースを必要とする。 【0005】そこで、本発明は、シリンダと真空発生器
とを結合させ、さらに吸着用パッドの空気吸引ポートに
通じる通路をシリンダロッドの管内に設けて、真空発生
器から通じるワーク吸引のための通路を一本化すること
により、配管作業を簡素化することができるとともに、
作業スペースの有効利用を図ることが可能な真空制御装
置付シリンダを提供することを目的とする。 【0006】 【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、単一の流体供給ポートから供給された
流体が切換手段を介して一方または他方のシリンダ室に
導入されることにより直線的に往復動作する管体を有
し、前記管体内に中空の流体用管路が設けられたシリン
ダ部と、前記シリンダ部に内蔵または付設され、少なく
とも真空発生器を含む真空制御部とを備え、前記単一の
流体供給ポートから供給された流体を前記シリンダ室に
導入する第1連通路と、前記単一の流体供給ポートから
供給された流体を前記真空発生器に導入し、さらに前記
真空発生器で発生した負圧を前記流体用管路に導入する
第2連通路とがそれぞれ設けられ、前記真空制御部は、
前記第2連通路に連通する通路を介して導入された負圧
状態を検知し、ワークに対する吸着状態、未吸着状態あ
るいは吸着不良状態を判別し、その判別信号を外部コン
トローラに導出するスイッチ手段を有し、前記スイッチ
手段は一組のセンサを含み、一方のセンサは、前記真空
発生器の圧力変動に対応して、他方のセンサのワークに
対する吸着状態と未吸着状態との合否判定の値を変化さ
せるように設けられ一体的に組み付けられた前記シリ
ンダ部および前記真空制御部を複数個連設することによ
り、前記真空発生器で発生した負圧を供給する真空供給
ポートと、前記真空発生器に供給された流体を排気する
排気ポートとをそれぞれ貫通させて共有化させることを
特徴とする。 【0007】 【作用】上記の本発明に係る真空制御装置付シリンダで
は、空気供給源から供給された圧縮空気は、シリンダ側
のポートに供給されて管体を直線的に変位させるととも
に、真空制御部側の流体通路に導入される。真空制御部
側に導入された圧縮空気は、真空制御部内に配置された
流体通路中のノズルから勢い良く噴射されて、減圧作用
下に負圧を発生させる。この負圧作用により、管体内に
設けられ、且つ真空制御部の流体通路に連通する流体用
管路を通じてワークを吸引し、管体の直線的変位を介し
てワークを搬送することができる。 【0008】 【実施例】次に、本発明に係る真空制御装置付シリンダ
について好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。 【0009】図1は、本発明に係る真空制御装置付シリ
ンダを示す一部省略縦断面図、図2は真空制御装置付シ
リンダの平面図、図3は回路構成図である。 【0010】真空制御装置付シリンダ10は、基本的
に、内部にピストン12を収納するシリンダ本体部14
と、エゼクタ16等を内蔵する真空制御部18と、連結
部材としてのコネクタ20に吸着用パッド22が連結さ
れたワーク把持部24とから構成される。 【0011】詳細には、シリンダ本体部14は直方体状
に形成され、その内部には、ポート26、27から流体
を導入、排出して管状のシリンダ室28を直線的に変位
するピストン12が配置されている。このピストン12
の外周には、図示しない位置検出機構によりピストン1
2の位置を検出するためのリング状の磁石30と、コイ
ル32が設けられている。ピストン12の内周には、ピ
ストン12を締結してピストン12の出力、変位をワー
ク把持部24に伝達するピストンロッド(管体)34が
連結されている。ピストンロッド34の管内には、その
変位方向に中空の貫通孔を画成する流体用管路35が設
けられ、一端側は後述するエゼクタ16に連通するとと
もに、他端側はワーク把持部24のコネクタ20に連通
している。この流体用管路35は、エゼクタ16で発生
させた負圧作用のもとに、ワークを吸着させるための吸
引通路を画成するものである。シリンダ室28は、流体
を導入、排出するための一組のポート26、27が画成
され、このポート26、27は、通路36、37を介し
て後述するシリンダ駆動用の5ポート電磁パイロット弁
38に連通している。シリンダ本体部14の一端側に
は、ピストンロッド34の回転を防止するための回り止
め部材40がシリンダ本体部14に接続され、前記回り
止め部材40に近接してピストンロッド34の直線運動
を確保するためのロッドカバー42が設けられてシリン
ダ室28を形成している。なお、図2に示すように、真
空制御装置付シリンダ10を図示しない取り付け板等に
固定するための貫通孔としての穴44が2箇所画成され
ている。また、ピン等を挿入して前記回り止め部材40
が回転しないように回り止め用ピン46が取り付けられ
ている。 【0012】真空制御部18は直方体を形成し、その上
面には、シリンダ駆動用の5ポート電磁パイロット弁
(切換手段)38、パイロット操作弁48の弁開閉を操
作するための3ポート電磁弁50および真空制御部18
における負圧状態を検出するための真空圧力スイッチ5
2が搭載されている。ピストンロッド34の変位方向の
両側面には、単一の空気供給ポート(流体供給ポート)
54を有するワンタッチ管継手56および円筒状に形成
された排気用サイレンサ58が取り付けられている。前
記ワンタッチ管継手56は真空制御部18と一体的に形
成してもよい。真空制御部18の内部には、真空破壊用
に使用される圧縮空気の流量を調節するための流量調節
弁60(図3参照)が配置されている。この真空制御部
18の下方には、ノズル62およびディフューザ64を
備えるエゼクタ(真空発生器)16と、塵埃等を除去す
るフィルタ66と、エゼクタ16の側面に位置するサイ
レンサ68とが配置されている。 【0013】なお、図2に示すように、真空制御装置付
シリンダ10を連設し、マニホールド化(分岐管)して
使用する場合、真空供給ポートおよび排気ポートを貫通
させて共有化させてもよい。また、前記排気ポート部分
の本体に切り欠きを設けて排気させてもよい。 【0014】次に、以上のように構成される真空制御装
置付シリンダ10の動作について、図3の回路構成図を
もとにして説明する。 【0015】まず、ワンタッチ管継手56の空気供給ポ
ート54にチューブ等の管路を接続して、図示しない空
気供給源から圧縮空気を導入する。この空気供給ポート
54から導入された圧縮空気は、通路36を介してシリ
ンダ室28のポート26に連通する5ポート電磁パイロ
ット弁38に導入されるとともに、3ポート電磁弁50
を介して弁開閉が制御されるパイロット操作弁48に導
入される。このように、1箇所の空気供給ポート54か
ら導入された圧縮空気は、ピストン12の直線運動を駆
動させるための5ポート電磁パイロット弁38側と、真
空制御部18で負圧状態を発生させワーク把持部24に
おいてワークを吸引させるためのパイロット操作弁48
側の両者に供給される。 【0016】初めに、前者、すなわち、ピストン12の
直線運動を駆動させる場合について説明する。5ポート
電磁パイロット弁38は、通路36、37を介してポー
ト26、27に連通しているとともに、排気用サイレン
サ58に接続されている。空気供給ポート54から導入
された圧縮空気は、通路70を介して5ポート電磁パイ
ロット弁38に導入される。この時、一方のポート26
に通じる通路36は導入用に用いられ、他方のポート2
7に通じる通路37は排気用に用いられて排気用サイレ
ンサ58から外部へ排出される。このようにして、ピス
トン12は、導入用のポート26方向から排気用のポー
ト27方向に直線的に変位する。続いて、5ポート電磁
パイロット弁38の内部のソレノイド(図示せず)によ
りパイロット弁を励磁させるとともに、パイロット圧で
主弁操作を行って、5ポート電磁パイロット弁38を切
り換える。この5ポート電磁パイロット弁38の切り換
えにより前述したポート26、27への圧縮空気の導入
と排気が反対になり、ピストン12は前記方向と逆方向
に直線的に変位する。以上のように、5ポート電磁パイ
ロット弁38の切り換えを断続的に行って、圧縮空気の
導入と排気を繰り返すことにより、ピストン12の直線
運動を反復継続させることができる。 【0017】次に、後者、すなわち、真空制御部18で
負圧状態を発生させる場合について説明する。パイロッ
ト操作弁48には、弁切り換えの制御を行うための3ポ
ート電磁弁50が接続され、3ポート電磁弁50を操作
して、パイロット操作弁48を弁開時の状態にする。す
なわち、空気供給ポート54から導入された圧縮空気
は、通路72を介してパイロット操作弁48の一方側の
供給ポート74および3ポート電磁弁50に供給され
る。この時、パイロット操作弁48は閉じている状態に
あり、また3ポート電磁弁50も、バネの作動により弁
閉時の状態を形成している。そこで、図示しないソレノ
イドの励磁作用のもとに3ポート電磁弁50を切り換え
る。この切り換えにより、パイロット操作弁48には、
前記一方側の供給ポート74および他方側の供給ポート
76の両方に圧縮空気が導入される。この場合、前記圧
縮空気が導入される供給ポート74、76の断面積の大
小により(供給ポート76の断面積の方が大きい)、図
示しない弁体が変位して弁開時の状態を形成する。従っ
て、導入された圧縮空気は、通路78を介してエゼクタ
16に導入される。エゼクタ16に導入された圧縮空気
は、図1に示すように、ノズル62に送出され、ノズル
62の先端部で勢いよく噴射させることにより、先端部
の周囲に圧力降下作用を発生させる。従って、フィルタ
66を介してピストンロッド34の管内に設けられた流
体用管路35を通じて空気が吸引される。この吸引作用
により、ピストンロッド34の先端部に連結されたコネ
クタ20の内管80を通じて、コネクタ20に連結され
た吸着用パッド22の空気吸引ポート82からワークが
吸引される。コネクタ20の内部には、ワーク吸着時の
衝撃をピストンロッド34に対して緩和させるためのク
ッション84(図1参照)が設けられている。 【0018】このようにして、吸着用パッド22に吸着
されたワークを、ピストンロッド34の直線的変位のも
とに、ストロークの距離だけ移動させて搬送することが
可能となる。また、ノズル62の先端部から噴射された
圧縮空気は、ディフューザ64を介してサイレンサ68
から外部に排出される。フィルタ66と流体用管路35
との間には、前記圧力降下作用により発生した負圧状態
を検出するための真空圧力スイッチ52が接続されてい
る。 【0019】次に、このような負圧状態が形成されてい
る時に、負圧状態を解除して真空破壊を行う場合につい
て説明する。空気供給ポート54から導入された圧縮空
気は、通路86を介して真空破壊用パイロット弁88に
送出され、前述したように3ポート電磁弁50を制御し
て真空破壊用パイロット弁88の切り換えを行うことが
できる。この切り換えにより、真空破壊用パイロット弁
88は、弁開時の状態となり、導入された圧縮空気は、
フィルタ66と真空圧力スイッチ52間の通路90に導
出される。従って、エゼクタ16で発生した負圧空気に
正圧の圧縮空気を混入させることにより、負圧状態が解
除され真空破壊を行うことができる。 【0020】なお、前記通路70、通路36および通路
37は、単一の空気供給ポート54から供給された圧縮
空気をシリンダ室28に導入する第1連通路として機能
するものであり、前記通路72、通路78および通路9
0は、前記単一の空気供給ポート54から供給された圧
縮空気をエゼクタ16に導入し、さらに前記エゼクタ1
6で発生した負圧を流体用管路35に導入する第2連通
路として機能するものである。次に、本発明の他の実施
例に係る真空制御装置付シリンダの回路図を図4に示
す。なお、前記実施例と同一の構成要素には同一の参照
符号を付し、その詳細な説明を省略する。 【0021】本実施例における真空制御装置付シリンダ
92は、真空制御部18側のスイッチ94の内部に半導
体の抵抗型、または容量型のセンサA96、センサB9
8を2個組み合わせて配設し、該センサA96、センサ
B98をフィルタ100、102、若しくは疏水性エレ
メント(例えば、ポリテトラフルオロエチレン膜)等に
よって塵埃、水から防御できるように形成する。 【0022】そこで、予め定常運転、若しくは運転途中
において、真空発生弁として機能するパイロット操作弁
48、真空破壊用パイロット弁88、5ポート電磁パイ
ロット弁38、ワークの作動アクチュエータのコントロ
ーラ(図示せず)を作動させ、その圧力状態からワーク
に対する適切な吸着、若しくは未吸着、吸着不良状態等
を判断し、前記運転データに係る信号をスイッチ回路1
04を介し、制御部106、ローカルシーケンサ(また
はローカルコントローラ)108に伝送する。さらに、
この信号は、外部に設けられたシーケンサ(外部コント
ローラ)110に導出される。前記シーケンサ110等
との信号の送受信は電磁弁の作動信号、スイッチ(スイ
ッチ手段)94の出力信号、アナログ信号を含めてシリ
アル伝送することが可能である。 【0023】また、センサA96は、真空発生器の圧力
変動に応じて適時可能な限りセンサB98による合否判
定の値を変えるように変化させる。例えば、吸着と未吸
着のセンサB98の圧力を50%の値で合否が決まるよ
うにセンサA96の圧力から計算、予測して判断する自
動シフト方法を採用すると好適である。 【0024】さらに、他のロボット等に真空制御装置付
シリンダ10、92を取り付ける場合、Tスロットを設
けると好適である。マニホールド化して、複数の真空制
御装置付シリンダ10、92を連設して取り付ける場合
も同様である。 【0025】 【発明の効果】本発明に係る真空制御装置付シリンダに
よれば、以下の効果が得られる。 【0026】すなわち、真空制御部の流体通路に、吸着
用パッドの吸引ポートに通じる流体用管路およびシリン
ダ部に圧縮空気導入用のポートが連通して接続されるた
め、夫々シリンダ部側と真空制御部側の両者に個別に空
気供給源から圧縮空気を導入する必要がなく、両者に共
用の1本の圧縮空気供給経路を設けるだけでよい。 【0027】また、真空制御部は、シリンダ部に内蔵ま
たは付設されているため、真空制御部と吸着用パッドの
空気吸引ポートとを連通する通路としてのチューブの配
管をする必要がない。このため、チューブの配管に必要
とされるスペースの有効利用を図ることができる。さら
に、スイッチ手段として一組のセンサを含み、一方のセ
ンサが真空発生器の圧力変動に対応して、他方のセンサ
のワークに対する吸着状態と未吸着状態との合否判定の
値を変化させるように設けることにより、真空発生器の
圧力が変動した場合であっても負圧状態の検出精度を向
上させることができる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cylinder with a vacuum control device which is formed by combining a cylinder and a vacuum generator. 2. Description of the Related Art Conventionally, a cylinder and a vacuum generator have been individually arranged in a fluid circuit. That is, the compressed air is introduced into the port of the cylinder to displace the piston, and with the displacement of the piston, the suction pad, which is the work holding suction tool connected to the tip of the piston rod, moves linearly. Work was being transported. On the other hand, the vacuum generator is arranged separately from the cylinder, and is connected to a pipe such as a tube to the air suction port of the suction pad to communicate with the vacuum generator. The work is sucked under the negative pressure of the container, and the work is conveyed to a desired position by linear movement of the cylinder. [0003] However, in the above-mentioned conventional technique, compressed air from an air supply source must be individually supplied to both a cylinder side and an ejector side.
Piping work for that is required. Further, the tube connecting the vacuum generator and the suction pad also moves the suction pad as the work is conveyed. Therefore, the tube must be long enough to reach the moving range of the work. And space is required for the tube to move. In view of the above, the present invention relates to a method of connecting a cylinder and a vacuum generator, and further providing a passage communicating with an air suction port of a suction pad in a pipe of a cylinder rod for sucking a work which communicates with the vacuum generator. By simplifying the piping work can be simplified,
It is an object of the present invention to provide a cylinder with a vacuum control device capable of effectively utilizing a work space. SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a method in which a fluid supplied from a single fluid supply port is introduced into one or the other cylinder chamber via a switching means. A cylinder part having a hollow fluid conduit provided in the pipe body, and a vacuum built in or attached to the cylinder part and including at least a vacuum generator. A first communication path for introducing a fluid supplied from the single fluid supply port into the cylinder chamber; and introducing a fluid supplied from the single fluid supply port to the vacuum generator. And a second communication path for introducing a negative pressure generated by the vacuum generator into the fluid conduit, and the vacuum control unit includes:
A switch means for detecting a negative pressure state introduced through a passage communicating with the second communication passage, discriminating a suction state, a non-suction state or a poor suction state with respect to the work, and leading a determination signal to an external controller. The switch means includes a set of sensors, and one of the sensors determines a pass / fail judgment value between the suction state and the non-suction state of the other sensor with respect to the workpiece in response to the pressure fluctuation of the vacuum generator. A vacuum supply port for supplying a negative pressure generated by the vacuum generator by connecting a plurality of the cylinder units and the vacuum control unit, which are provided so as to be changed and integrally assembled, An exhaust port for exhausting the fluid supplied to the vessel is penetrated and shared. In the above-described cylinder with a vacuum control device according to the present invention, the compressed air supplied from the air supply source is supplied to the port on the cylinder side to linearly displace the pipe and to perform the vacuum control. It is introduced into the fluid passage on the part side. The compressed air introduced into the vacuum control unit is vigorously jetted from a nozzle in a fluid passage arranged in the vacuum control unit, and generates a negative pressure under a pressure reducing action. By this negative pressure action, the work can be sucked through the fluid pipe provided in the pipe body and communicated with the fluid passage of the vacuum control unit, and the work can be transferred via the linear displacement of the pipe body. Next, a preferred embodiment of a cylinder with a vacuum control device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a partially omitted longitudinal sectional view showing a cylinder with a vacuum control device according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of the cylinder with a vacuum control device, and FIG. 3 is a circuit configuration diagram. The cylinder 10 with a vacuum control device basically has a cylinder body 14 in which a piston 12 is housed.
, A vacuum control unit 18 containing the ejector 16 and the like, and a work holding unit 24 in which a suction pad 22 is connected to a connector 20 as a connecting member. In detail, the cylinder body 14 is formed in a rectangular parallelepiped shape, and the piston 12 for introducing and discharging fluid from the ports 26 and 27 to linearly displace the tubular cylinder chamber 28 is disposed inside the cylinder body 14. Have been. This piston 12
Around the piston 1 by a position detecting mechanism (not shown).
A ring-shaped magnet 30 for detecting the position 2 and a coil 32 are provided. A piston rod (tube) 34 that couples the piston 12 to transmit the output and displacement of the piston 12 to the work grip 24 is connected to the inner periphery of the piston 12. In the pipe of the piston rod 34, there is provided a fluid conduit 35 defining a hollow through hole in the displacement direction, and one end communicates with an ejector 16 described later, and the other end of the work gripper 24 has the other end. It communicates with the connector 20. The fluid conduit 35 defines a suction passage for adsorbing the work under the negative pressure generated by the ejector 16. The cylinder chamber 28 defines a pair of ports 26 and 27 for introducing and discharging a fluid. The ports 26 and 27 are connected to a 5-port solenoid pilot valve for driving a cylinder described later through passages 36 and 37. 38. A detent member 40 for preventing rotation of the piston rod 34 is connected to the cylinder main body 14 at one end of the cylinder body 14, and the linear motion of the piston rod 34 is ensured close to the detent member 40. The cylinder chamber 28 is formed by the provision of a rod cover 42. As shown in FIG. 2, two holes 44 are defined as through holes for fixing the cylinder with vacuum control device 10 to a mounting plate or the like (not shown). In addition, a pin or the like is inserted to
A detent pin 46 is attached to prevent rotation. The vacuum controller 18 has a rectangular parallelepiped shape, and a 5-port solenoid pilot valve for driving a cylinder is provided on the upper surface thereof.
(Switching Means) 38, 3-Port Solenoid Valve 50 for Operating Valve Open / Close of Pilot Operated Valve 48 and Vacuum Controller 18
Pressure switch 5 for detecting the negative pressure condition in
2 is mounted. A single air supply port (fluid supply port) is provided on both sides of the piston rod 34 in the displacement direction.
A one-touch fitting 56 having an exhaust silencer 58 and a cylindrical exhaust silencer 58 are attached. The one-touch fitting 56 may be formed integrally with the vacuum controller 18. Inside the vacuum control unit 18, a flow control valve 60 (see FIG. 3) for controlling the flow rate of the compressed air used for vacuum breaking is arranged. An ejector (vacuum generator) 16 having a nozzle 62 and a diffuser 64, a filter 66 for removing dust and the like, and a silencer 68 located on a side surface of the ejector 16 are arranged below the vacuum control unit 18. . As shown in FIG. 2, when a cylinder 10 with a vacuum control device is connected and used as a manifold (branch pipe), the vacuum supply port and the exhaust port can be penetrated and shared. Good. Further, a notch may be provided in the main body of the exhaust port portion to exhaust air. Next, the operation of the thus-configured cylinder with vacuum controller 10 will be described with reference to the circuit diagram of FIG. First, a pipe such as a tube is connected to the air supply port 54 of the one-touch fitting 56, and compressed air is introduced from an air supply source (not shown). The compressed air introduced from the air supply port 54 is introduced into a 5-port electromagnetic pilot valve 38 that communicates with the port 26 of the cylinder chamber 28 via the passage 36 and a 3-port electromagnetic valve 50.
Is introduced into a pilot operation valve 48 whose opening and closing are controlled via the valve. As described above, the compressed air introduced from one air supply port 54 generates a negative pressure state in the 5-port electromagnetic pilot valve 38 for driving the linear motion of the piston 12 and the vacuum Pilot operation valve 48 for sucking the work in grip portion 24
Supplied to both sides. First, the former case, that is, the case of driving the linear movement of the piston 12 will be described. The 5-port electromagnetic pilot valve 38 communicates with the ports 26 and 27 via passages 36 and 37 and is connected to an exhaust silencer 58. The compressed air introduced from the air supply port 54 is introduced into the 5-port electromagnetic pilot valve 38 through the passage 70. At this time, one port 26
A passage 36 leading to the other port 2
The passage 37 leading to 7 is used for exhaust and is discharged from the exhaust silencer 58 to the outside. Thus, the piston 12 is linearly displaced from the direction of the introduction port 26 to the direction of the exhaust port 27. Subsequently, the pilot valve is excited by a solenoid (not shown) inside the 5-port electromagnetic pilot valve 38, and the main valve is operated with the pilot pressure to switch the 5-port electromagnetic pilot valve 38. By the switching of the five-port electromagnetic pilot valve 38, the introduction and exhaust of the compressed air to the ports 26 and 27 described above are reversed, and the piston 12 is linearly displaced in the direction opposite to the above direction. As described above, the switching of the 5-port electromagnetic pilot valve 38 is performed intermittently, and the introduction and exhaust of compressed air are repeated, so that the linear motion of the piston 12 can be repeated and continued. Next, the latter case, that is, the case where the vacuum control unit 18 generates a negative pressure state will be described. A three-port solenoid valve 50 for controlling valve switching is connected to the pilot operation valve 48, and the three-port solenoid valve 50 is operated to bring the pilot operation valve 48 into a valve-open state. That is, the compressed air introduced from the air supply port 54 is supplied to the supply port 74 on one side of the pilot operation valve 48 and the three-port solenoid valve 50 via the passage 72. At this time, the pilot operation valve 48 is in the closed state, and the three-port solenoid valve 50 is also in the closed state by the operation of the spring. Therefore, the three-port solenoid valve 50 is switched under the excitation of a solenoid (not shown). By this switching, the pilot operation valve 48 has:
Compressed air is introduced into both the one supply port 74 and the other supply port 76. In this case, depending on the size of the cross-sectional area of the supply ports 74 and 76 into which the compressed air is introduced (the cross-sectional area of the supply port 76 is larger), a valve body (not shown) is displaced to form a state when the valve is opened. . Therefore, the introduced compressed air is introduced into the ejector 16 through the passage 78. As shown in FIG. 1, the compressed air introduced into the ejector 16 is sent out to a nozzle 62 and is jetted vigorously at the tip of the nozzle 62 to generate a pressure drop around the tip. Accordingly, air is sucked through the fluid pipe 35 provided in the pipe of the piston rod 34 via the filter 66. By this suction action, the work is sucked from the air suction port 82 of the suction pad 22 connected to the connector 20 through the inner pipe 80 of the connector 20 connected to the tip of the piston rod 34. A cushion 84 (see FIG. 1) is provided inside the connector 20 for reducing the impact at the time of sucking the work to the piston rod 34. In this way, the work sucked by the suction pad 22 can be conveyed while being moved by the stroke distance under the linear displacement of the piston rod 34. The compressed air injected from the tip of the nozzle 62 is supplied to a silencer 68 through a diffuser 64.
Is discharged to the outside. Filter 66 and fluid line 35
A vacuum pressure switch 52 for detecting a negative pressure state generated by the pressure drop operation is connected between the vacuum pressure switch 52. Next, a description will be given of a case where the negative pressure state is released and the vacuum is broken when such a negative pressure state is formed. The compressed air introduced from the air supply port 54 is sent out to the vacuum breaking pilot valve 88 via the passage 86, and controls the three-port solenoid valve 50 to switch the vacuum breaking pilot valve 88 as described above. be able to. By this switching, the vacuum breaking pilot valve 88 is in a state when the valve is opened, and the introduced compressed air is
It is led out to a passage 90 between the filter 66 and the vacuum pressure switch 52. Therefore, by mixing the positive pressure compressed air into the negative pressure air generated by the ejector 16, the negative pressure state is released and the vacuum can be broken. The passage 70, the passage 36 and the passage
37 is a compressor supplied from a single air supply port 54
Functions as a first communication passage for introducing air into cylinder chamber 28
The passage 72, the passage 78 and the passage 9
0 is the pressure supplied from the single air supply port 54
Compressed air is introduced into the ejector 16 and the ejector 1
Second communication for introducing the negative pressure generated in 6 into the fluid line 35
It functions as a road. Next, a circuit diagram of a cylinder with a vacuum control device according to another embodiment of the present invention is shown in FIG. Note that the same components as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. The cylinder 92 with a vacuum control device in this embodiment includes a semiconductor resistance-type or capacitance-type sensor A96 and a sensor B9 inside a switch 94 on the vacuum control unit 18 side.
8 are arranged in combination, and the sensors A96 and B98 are formed so as to be protected from dust and water by the filters 100 and 102 or a hydrophobic element (for example, a polytetrafluoroethylene film). Therefore, during normal operation or during operation, the pilot operation valve 48, the vacuum breaking pilot valve 88, and the 5-port electromagnetic pilot valve 38 functioning as a vacuum generating valve, and a controller (not shown) for the work actuator of the work. Is operated to determine appropriate suction or non-suction, poor suction, or the like on the work from the pressure state, and a signal related to the operation data is transmitted to the switch circuit 1.
The control signal is transmitted to the control unit 106 and the local sequencer (or local controller) 108 via the control unit 04. further,
This signal is output from an external sequencer (external controller).
Roller) 110. Transmission and reception of signals with the sequencer 110 and the like are performed by operating signals of solenoid valves and switches ( switches ).
The output signal of the pitch means) 94, including an analog signal can be serially transmitted. Further, the sensor A96 changes the value of the pass / fail judgment by the sensor B98 as timely as possible according to the pressure fluctuation of the vacuum generator. For example, it is preferable to employ an automatic shift method of calculating, predicting and judging from the pressure of the sensor A96 such that the pass / fail of the pressure of the sensor B98 that has been adsorbed and not adsorbed is determined by a value of 50%. Further, when attaching the cylinders 10 and 92 with a vacuum control device to another robot or the like, it is preferable to provide a T slot. The same applies to a case where a plurality of cylinders 10 and 92 with a vacuum control device are connected and mounted in a manifold. According to the cylinder with a vacuum control device according to the present invention, the following effects can be obtained. In other words, the fluid passage of the vacuum control unit is connected to the fluid conduit leading to the suction port of the suction pad, and the cylinder unit is connected to the port for introducing compressed air. There is no need to separately introduce compressed air from the air supply source to both sides of the control unit, and it is only necessary to provide one common compressed air supply path for both. Further, since the vacuum control section is built in or attached to the cylinder section, there is no need to provide a tube as a passage for communicating the vacuum control section with the air suction port of the suction pad. For this reason, it is possible to effectively use the space required for the tube piping. Further
In addition, one set of sensors includes one set of sensors as switch means.
Sensor responds to pressure fluctuations in the vacuum
Of pass / fail judgment between the suction state and the non-suction state of the workpiece
By changing the value, the vacuum generator
Even if the pressure fluctuates, the accuracy of detecting a negative pressure condition is improved.
Can be up.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の実施例に係る真空制御装置付シリンダ
の一部省略縦断面図である。 【図2】本発明の実施例に係る真空制御装置付シリンダ
の平面図である。 【図3】本発明の実施例に係る真空制御装置付シリンダ
の回路構成図である。 【図4】本発明の他の実施例に係る真空制御装置付シリ
ンダの回路構成図である。 【符号の説明】 10、92…真空制御装置付シリンダ 12…ピストン 14…シリンダ本体部 16…エゼクタ 18…真空制御部 26、27…ポート 35…流体用管路 38…5ポート電磁パイロット弁 48…パイロット操作弁 50…3ポート電磁弁
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a partially omitted longitudinal sectional view of a cylinder with a vacuum control device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of a cylinder with a vacuum control device according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a circuit configuration diagram of a cylinder with a vacuum control device according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 is a circuit configuration diagram of a cylinder with a vacuum control device according to another embodiment of the present invention. [Description of Signs] 10, 92: Cylinder with vacuum controller 12: Piston 14: Cylinder body 16: Ejector 18: Vacuum controller 26, 27 ... Port 35: Fluid line 38: 5-port solenoid pilot valve 48 Pilot operated valve 50 ... 3-port solenoid valve

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桜井 修三 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (72)発明者 山本 正義 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社 筑波技術セン ター内 (56)参考文献 特開 昭60−215108(JP,A) 特開 昭63−142651(JP,A) 特開 昭63−106001(JP,A) 特開 昭60−143281(JP,A) 特公 昭49−31059(JP,B1)   ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page    (72) Inventor Shuzo Sakurai               4-2-2 Kinokudai, Yawahara Village, Tsukuba-gun, Ibaraki Prefecture                 SMC Corporation Tsukuba Technology Center               Inside (72) Inventor Masayoshi Yamamoto               4-2-2 Kinokudai, Yawahara Village, Tsukuba-gun, Ibaraki Prefecture                 SMC Corporation Tsukuba Technology Center               Inside                (56) References JP-A-60-215108 (JP, A)                 JP-A-63-142651 (JP, A)                 JP-A-63-106001 (JP, A)                 JP-A-60-143281 (JP, A)                 JP-B-49-31059 (JP, B1)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】単一の流体供給ポートから供給された流体
が切換手段を介して一方または他方のシリンダ室に導入
されることにより直線的に往復動作する管体を有し、前
記管体内に中空の流体用管路が設けられたシリンダ部
と、 前記シリンダ部に内蔵または付設され、少なくとも真空
発生器を含む真空制御部とを備え、 前記単一の流体供給ポートから供給された流体を前記シ
リンダ室に導入する第1連通路と、前記単一の流体供給
ポートから供給された流体を前記真空発生器に導入し、
さらに前記真空発生器で発生した負圧を前記流体用管路
に導入する第2連通路とがそれぞれ設けられ、 前記真空制御部は、前記第2連通路に連通する通路を介
して導入された負圧状態を検知し、ワークに対する吸着
状態、未吸着状態あるいは吸着不良状態を判別し、その
判別信号を外部コントローラに導出するスイッチ手段を
有し、 前記スイッチ手段は一組のセンサを含み、一方のセンサ
は、前記真空発生器の圧力変動に対応して、他方のセン
サのワークに対する吸着状態と未吸着状態との合否判定
の値を変化させるように設けられ 一体的に組み付けられた前記シリンダ部および前記真空
制御部を複数個連設することにより、前記真空発生器で
発生した負圧を供給する真空供給ポートと、前記真空発
生器に供給された流体を排気する排気ポートとをそれぞ
れ貫通させて共有化させ ることを特徴とする真空制御装
置付シリンダ。
(57) [Claim 1] A pipe which reciprocates linearly by introducing a fluid supplied from a single fluid supply port into one or the other cylinder chamber via a switching means. A cylinder portion having a body, and a hollow fluid conduit provided in the tube body; and a vacuum controller built in or attached to the cylinder portion and including at least a vacuum generator. A first communication path for introducing a fluid supplied from a supply port into the cylinder chamber, and introducing a fluid supplied from the single fluid supply port to the vacuum generator;
And a second communication passage for introducing a negative pressure generated by the vacuum generator into the fluid conduit, wherein the vacuum control unit is introduced via a passage communicating with the second communication passage. A switch means for detecting a negative pressure state, determining a suction state, a non-suction state, or a suction failure state with respect to the work, and deriving a determination signal to an external controller, wherein the switch means includes a set of sensors, the cylinder of the sensor, which in response to pressure fluctuations of the vacuum generator, is provided to vary the value of the acceptability determination and unadsorbed state and adsorption state with respect to the other sensor of the workpiece, are assembled integrally Part and the vacuum
By connecting a plurality of control units, the vacuum generator
A vacuum supply port for supplying the generated negative pressure;
And an exhaust port for exhausting the fluid supplied to the creature.
A cylinder with a vacuum control device characterized by being penetrated and shared .
JP22615591A 1991-09-05 1991-09-05 Cylinder with vacuum controller Expired - Fee Related JP3514474B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22615591A JP3514474B2 (en) 1991-09-05 1991-09-05 Cylinder with vacuum controller

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22615591A JP3514474B2 (en) 1991-09-05 1991-09-05 Cylinder with vacuum controller

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0565907A JPH0565907A (en) 1993-03-19
JP3514474B2 true JP3514474B2 (en) 2004-03-31

Family

ID=16840727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22615591A Expired - Fee Related JP3514474B2 (en) 1991-09-05 1991-09-05 Cylinder with vacuum controller

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3514474B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160026446A (en) * 2014-09-01 2016-03-09 현대자동차주식회사 Apparatus for vacuum cleaning

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4943989B2 (en) * 2007-10-05 2012-05-30 ヤマハ発動機株式会社 Electronic component transfer equipment
FR2924373B1 (en) * 2007-12-04 2010-04-16 Sidel Participations VACUUM TOOLS (S) FOR HANDLING ROBOT
KR100977309B1 (en) * 2008-05-13 2010-08-23 주식회사 프로텍 Pick-up cylinder of rotation type
US9909601B2 (en) * 2010-11-16 2018-03-06 Illinois Tool Works Inc. Motor control
CN107180990B (en) * 2017-05-23 2023-06-16 上海先惠自动化技术股份有限公司 Full-automatic battery pack blocking press-fitting structure

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160026446A (en) * 2014-09-01 2016-03-09 현대자동차주식회사 Apparatus for vacuum cleaning
KR101637275B1 (en) * 2014-09-01 2016-07-20 현대자동차 주식회사 Apparatus for vacuum cleaning

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0565907A (en) 1993-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1348873B1 (en) Vacuum generator
KR100378438B1 (en) Directional control valve having position detecting function
JP3696075B2 (en) Switching valve with magnetic sensor
EP0833239A3 (en) Pneumatic pressure relay
US20080257090A1 (en) Hybrid hydraulic joystick for electrically operating valves
EP1136735A3 (en) Pilot-type two-port vacuum valve
JP3514474B2 (en) Cylinder with vacuum controller
US5797262A (en) Drive circuit for fluid operated actuator having high and low pressure reservoirs
US6715400B2 (en) Fluid power operative instrumentality
JP2005069481A (en) Electric fluid-pressure servo valve and its manufacturing method
CA2463209A1 (en) Proportional pressure regulator having positive and negative pressure delivery capability
KR20050053339A (en) Vacuum-generating unit
KR100244540B1 (en) Pressure-control valve mounted on a base selector valve
EP1217212B1 (en) Restarting device of a pump
TW202030430A (en) Flow controller and driving apparatus including the same
JP3523629B2 (en) Valve unit that can monitor output pressure
JP2000515227A (en) Decompression device
JP3220482B2 (en) Vacuum supply unit with suction pad
JP3704163B2 (en) Vacuum supply unit
JPH0321763B2 (en)
JP4003218B2 (en) Electro-pneumatic proportional differential pressure control valve
KR0144318B1 (en) Transmission control device
JP3021360B2 (en) Control valve
CN113878563B (en) Pneumatic soft actuator driving system based on self-excited oscillation principle
JPH06313488A (en) Solenoid valve manifold

Legal Events

Date Code Title Description
A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040113

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees