JPH0560583U

JPH0560583U - 超純水タンク装置

Info

Publication number: JPH0560583U
Application number: JP143492U
Authority: JP
Inventors: 隆士塚田
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1992-01-20
Filing date: 1992-01-20
Publication date: 1993-08-10

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】窒素圧の急激な上昇時の安全性および液面測
定の安定度を向上させた超純水タンク装置を実現する。【構成】超純水タンク２と、この超純水タンクに窒素
ガスを供給する系統と、前記超純水タンクに超純水を供
給する系統と、前記超純水タンクからユースポイントに
超純水を供給する系統と、前記超純水タンク内の圧力を
一定に保つ水封器７とを備え、前記水封器は、前記超純
水タンクに連通したパイプ８の端部が水の入れられた容
器中に挿入された構造であって、このパイプの端部には
複数の小孔８１またはクサビ状の切れ込みを形成した構
成としたことを特徴とするものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、超純水タンク装置の超純水タンクの窒素シール時に用いられる水封器に関し、特に超純水タンク内の窒素圧変動を低減できるようにした装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

超純水は半導体基板の洗浄などに使用されるものであり、精製された超純水は、超純水タンクを経て、各ユースポイントに給水するように構成されることが多い。

【０００３】図３は従来の超純水タンク装置の一例を示す構成図である。図３において、精製された超純水は、パイプ１を介して超純水タンク２に供給される。超純水タンク２に蓄えられた超純水は、ポンプ３およびパイプ４を介してユースポイントに供給される。５は超純水タンク２に窒素ガスを供給するパイプである。６はレベル計であり、超純水タンク２の超純水の水位レベルを測定する。７は超純水タンク２の内部圧力を一定に保つ圧力調整器として機能する水封器であり、下部に水が入れてあり、その水中には、超純水タンク２に連通したパイプ８の端部が挿入されている。なお、窒素圧は、図中のパイプ８の下端部と水封器７に入れられた水位との差ｌに相当する水圧に等しくなるように、超純水タンク２の内圧が保たれる。また、水封器７内部の水は、たまり水にしておくと自然蒸発による水位変化や細菌の発生による超純水タンク２内部の汚染の恐れがあるので、補給管から若干の水量を常に補給するようにしておく。

【０００４】このような構成において、超純水タンク２の水位がＬｏｗレベル以下になると、レベル計６が検知し、パイプ１から超純水が供給される。そして、Ｈｉｇｈレベルに達すると、レベル計６が検知して、パイプ１からの超純水の供給が停止する。一方、窒素ガスは、ユ−スポイントでの平均超純水使用量ｆリットル／分に応じて供給され、超純水タンク２の内圧が高くなると、水封器７の水中に入れられたパイプ８の下端部から気泡として大気に放出され、超純水タンク２内の内圧を保つようにしてある。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような構造の超純水タンク装置では、パイプ８の管径Ｍが大きい場合、パイプ８の下端部から出る気泡の体積が大きくなるため、これが間欠的な状態になると、超純水タンク２の内圧が変動する。なお、圧力変動は、ほぼΔＭｃｍＨ₂Ｏとなる。このような圧力変動は、差圧計などのレベル計６による水位レベル測定時の誤差や、窒素ガス流量の増加を引き起こすという課題があった。また、パイプ８の管径Ｍが小さい場合は、気泡が小さくなるので、圧力変動は小さいが、超純水タンク２への超純水の供給がある状態では、パイプ８によるコンダクタンスが小さいので、排気速度が遅く、この状態では、超純水タンク２の内圧の急激な上昇を引き起こす。この圧力の急激な上昇は、超純水タンク２の損傷につながるため、安全上の問題があるという課題があった。

【０００６】本考案は、上記従来技術の課題を踏まえて成されたものであり、超純水タンク内の窒素圧変動を低減させることにより、窒素圧の急激な上昇時の安全性および液面測定の安定度を向上させた超純水タンク装置を提供することを目的としたものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するための本考案の構成は、超純水タンクと、この超純水タンクに窒素ガスを供給する系統と、前記超純水タンクに超純水を供給する系統と、前記超純水タンクからユースポイントに超純水を供給する系統と、前記超純水タンク内の圧力を一定に保つ水封器とを備え、前記水封器は、前記超純水タンクに連通したパイプの端部が水の入れられた容器中に挿入された構造であって、このパイプの端部には複数の小孔またはクサビ状の切れ込みを形成した構成としたことを特徴とするものである。

【０００８】

【作用】

本考案によれば、装置の安全を考慮して、管径Ｍを大きくし、かつレベルの変動がない時の窒素圧の変動を最小にして、レベル計の誤差を減らしている。

【０００９】

【実施例】

以下、本考案を図面に基づいて説明する。図１は本考案の超純水タンク装置の一実施例を示す構成図であり、（イ）図は装置構成図、（ロ）図は水封器部分の拡大図である。なお、図１において図３と同一要素には同一符号を付して重複する説明は省略する。図１と図３との相違点は、水封器７の水中に入れられたパイプ８の下端部に複数の小さな孔８１（図１では３ケ所）を形成した点である。また、図１装置では、例えば、このパイプ８の下端部に形成された複数の小さな孔８１は、水封器７の水面から５０ｍｍのところに形成しておき、また、窒素ガスの供給は８０ｍｍＨ₂Ｏで行われ、超純水タンク２の内部圧力は、この窒素供給圧力より小さい７０ｍｍＨ₂Ｏとなるように、パイプ８の下端部と水封器７に入れられた水位との差を７０ｃｍとしてある。

【００１０】このような構成において、超純水タンク２への超純水の補給がなく、ユースポイントでの超純水の消費がなく、実効的に水位面の変動がない場合、窒素ガスの補給は、８０ｍｍＨ₂Ｏで行われ、水封器７のパイプ８の下端部に形成した小孔８１は５０ｍｍのところにあるので、余分な窒素ガスは、小孔８１から気泡となって逃げ、超純水タンク２内の窒素は、５０ｍｍＨ₂Ｏに保たれる。この時、パイプ８から大気に放出される気泡は、３ケ所の小孔８１から出るため、液面のゆらぎによる多量の水が排水管から流出することは少なく、超純水タンク２内の窒素圧変動は低減できる。

【００１１】また、超純水タンク２への超純水の補給がある場合には、窒素圧力が急激に上昇してくる。この時、小孔８１から気泡として窒素が排気されても追いつかないため、超純水タンク２内の窒素は、やがて５０ｍｍＨ₂Ｏを越えた圧力となり、パイプ８の下端部の端面から、大きな気泡となって排気される。この圧力は、窒素供給圧力より小さい７０ｍｍＨ₂Ｏに設定してあり、管径Ｍが大きく、排気速度が大きいため、超純水タンク２内が過大圧になることはなく、窒素圧力の急激な上昇による超純水タンク２の損傷を少なくでき、安全性を向上できる。

【００１２】このように、本考案の超純水タンク装置では、水封器７の水中に入れられたパイプ８の下端部に複数の小さな孔８１を形成している。したがって、余分な窒素ガスの排気による液面のゆらぎによる超純水タンク２内の窒素圧変動を低減することができるため、レベル測定時の誤差や窒素ガス流量の増加を低減できる。

【００１３】なお、上記実施例において、パイプ８の下端部に形成した複数の小さな孔８１は、図２に示すようなクサビ状の切れ込みであっても良い。

【００１４】

【考案の効果】

以上、実施例と共に具体的に説明したように、本考案によれば、水封器の気泡による窒素排気に伴う圧力変動を小さくし、圧力測定で液面測定の安定度を向上させることができる。また、窒素液量を低減できる。さらに、窒素圧の急激な上昇の際の安全性を向上できるなどの効果を有する超純水タンク装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の超純水タンク装置の一実施例を示す構
成図である。

【図２】本考案の超純水タンク装置の他の実施例を示す
部分構成図である。

【図３】超純水タンク装置の従来例である。

【符号の説明】

１、４、５、８パイプ２超純水タンク３ポンプ６レベル計７水封器８１小孔

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】超純水タンクと、この超純水タンクに窒素ガスを供給する系統と、前記超純水タンクに超純水を供給する系統と、前記超純水タンクからユースポイントに超純水を供給す
る系統と、前記超純水タンク内の圧力を一定に保つ水封器とを備
え、前記水封器は、前記超純水タンクに連通したパイプの端
部が水の入れられた容器中に挿入された構造であって、このパイプの端部には複数の小孔またはクサビ状の切れ
込みを形成した構成としたことを特徴とする超純水タン
ク装置。