JPH0555292A - ワイヤボンデイング装置におけるリード位置の認識装置，およびその認識方法 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置におけるリード位置の認識装置，およびその認識方法Info
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- JPH0555292A JPH0555292A JP3213346A JP21334691A JPH0555292A JP H0555292 A JPH0555292 A JP H0555292A JP 3213346 A JP3213346 A JP 3213346A JP 21334691 A JP21334691 A JP 21334691A JP H0555292 A JPH0555292 A JP H0555292A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 該当リード位置に対する照明照度，および該
当リード位置での下地などの周囲条件の変化に影響され
ずに、常時，認識対象としての該当リード位置の正確な
入力位置情報を得て、実稼働認識時での認識ジャム率の
低いワイヤボンディングをなし得るようにする。 【構成】 深度測定器を用いることで、この深度測定器
により、認識対象のリードフレームにおける該当リード
位置の深度を測定して、この該当測定位置でのリード部
の有無を判断した後、こゝでの判断結果と、該当測定位
置における深度測定器の位置座標との両者を湊合して、
各測定時点毎のリード部の有無を判断し、さらに、各測
定時点毎のリード部の有無の判断結果に基づく入力位置
情報と、予め設定された基準位置にリード部が存在する
か否かの基準位置情報とを相関演算して、入力位置の基
準位置に対するズレ量を得るようにする。
当リード位置での下地などの周囲条件の変化に影響され
ずに、常時，認識対象としての該当リード位置の正確な
入力位置情報を得て、実稼働認識時での認識ジャム率の
低いワイヤボンディングをなし得るようにする。 【構成】 深度測定器を用いることで、この深度測定器
により、認識対象のリードフレームにおける該当リード
位置の深度を測定して、この該当測定位置でのリード部
の有無を判断した後、こゝでの判断結果と、該当測定位
置における深度測定器の位置座標との両者を湊合して、
各測定時点毎のリード部の有無を判断し、さらに、各測
定時点毎のリード部の有無の判断結果に基づく入力位置
情報と、予め設定された基準位置にリード部が存在する
か否かの基準位置情報とを相関演算して、入力位置の基
準位置に対するズレ量を得るようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ワイヤボンディング
装置におけるリード位置の認識装置，およびその認識方
法に関するものである。
装置におけるリード位置の認識装置，およびその認識方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来例によるこの種のワイヤボ
ンディング装置におけるリード位置の認識手段，こゝで
は、ビデオカメラで撮像された認識対象としてのリード
フレーム位置画像の入力ビデオ信号と、基準画像（基準
位置情報）との相関をとって、当該リードフレーム位置
の基準位置からのズレ量を算出するための認識手段の概
要を示す構成説明図である。
ンディング装置におけるリード位置の認識手段，こゝで
は、ビデオカメラで撮像された認識対象としてのリード
フレーム位置画像の入力ビデオ信号と、基準画像（基準
位置情報）との相関をとって、当該リードフレーム位置
の基準位置からのズレ量を算出するための認識手段の概
要を示す構成説明図である。
【０００３】すなわち、この図４の従来例構成におい
て、符号１はこゝでの認識対象のリードフレーム、２は
このリードフレーム１を固定するフレーム押えを示して
おり、３は当該リードフレーム１の該当リード位置を撮
像して入力位置画像情報を取り込むビデオカメラ、３ａ
はその照明手段である。
て、符号１はこゝでの認識対象のリードフレーム、２は
このリードフレーム１を固定するフレーム押えを示して
おり、３は当該リードフレーム１の該当リード位置を撮
像して入力位置画像情報を取り込むビデオカメラ、３ａ
はその照明手段である。
【０００４】また、４は前記ビデオカメラ３を搭載して
撮像位置を可動的に選択するｘ・ｙテーブルであって、
４ａ，および４ｂは当該ｘ・ｙテーブル４をｘ軸方向，
およびｙ軸方向に移動させるｘ軸，ｙ軸の各エンコーダ
である。
撮像位置を可動的に選択するｘ・ｙテーブルであって、
４ａ，および４ｂは当該ｘ・ｙテーブル４をｘ軸方向，
およびｙ軸方向に移動させるｘ軸，ｙ軸の各エンコーダ
である。
【０００５】さらに、５は前記ビデオカメラ３によって
取り込まれた入力ビデオ信号を２値化画像信号に変換す
る入力信号処理部、６は前記ｘ軸エンコーダ４ａ，ｙ軸
エンコーダ４ｂからの出力波形によって、前記ｘ・ｙテ
ーブル４の位置座標を算出する波形処理部であり、７は
前記入力信号処理部５と波形処理部６との各出力結果を
湊合して、現時点での座標位置における撮像画像を入力
画像情報として得る位置情報算出処理部、８は予め登録
された基準位置の画像情報を記憶する基準位置情報記憶
手段、９は前記位置情報算出処理部７によって算出され
た入力画像情報と、前記基準位置情報記憶手段８に記憶
されている該当基準位置での基準画像情報との相関演算
を行なって、入力画像情報の基準位置に対するズレ量を
算出するズレ量算出処理部である。
取り込まれた入力ビデオ信号を２値化画像信号に変換す
る入力信号処理部、６は前記ｘ軸エンコーダ４ａ，ｙ軸
エンコーダ４ｂからの出力波形によって、前記ｘ・ｙテ
ーブル４の位置座標を算出する波形処理部であり、７は
前記入力信号処理部５と波形処理部６との各出力結果を
湊合して、現時点での座標位置における撮像画像を入力
画像情報として得る位置情報算出処理部、８は予め登録
された基準位置の画像情報を記憶する基準位置情報記憶
手段、９は前記位置情報算出処理部７によって算出され
た入力画像情報と、前記基準位置情報記憶手段８に記憶
されている該当基準位置での基準画像情報との相関演算
を行なって、入力画像情報の基準位置に対するズレ量を
算出するズレ量算出処理部である。
【０００６】しかして、上記構成の従来例手段において
は、まず、照明手段３ａによる照明下で、認識対象であ
るリードフレーム１の該当リード位置を、ビデオカメラ
３により撮像して入力位置画像情報を取り込み、かつこ
れを入力ビデオ信号として出力させ、同時に、ｘ軸エン
コーダ４ａ，およびｙ軸エンコーダ４ｂからは、その撮
像時点でのｘ・ｙテーブル４の位置を示す波形が出力さ
れる。
は、まず、照明手段３ａによる照明下で、認識対象であ
るリードフレーム１の該当リード位置を、ビデオカメラ
３により撮像して入力位置画像情報を取り込み、かつこ
れを入力ビデオ信号として出力させ、同時に、ｘ軸エン
コーダ４ａ，およびｙ軸エンコーダ４ｂからは、その撮
像時点でのｘ・ｙテーブル４の位置を示す波形が出力さ
れる。
【０００７】また、入力信号処理部５では、前記入力ビ
デオ信号を、例えば、２値化スレッシュレベルの設定値
に基づき、その白，または黒の信号値を判断して２値化
入力画像情報に変換し、かつ波形処理部６では、前記出
力波形によって、当該撮像時点でのｘ・ｙテーブル４の
位置座標を算出する。
デオ信号を、例えば、２値化スレッシュレベルの設定値
に基づき、その白，または黒の信号値を判断して２値化
入力画像情報に変換し、かつ波形処理部６では、前記出
力波形によって、当該撮像時点でのｘ・ｙテーブル４の
位置座標を算出する。
【０００８】ついで、前記入力信号処理部５によって得
た２値化入力画像情報と、前記波形処理部６によって得
たｘ・ｙテーブル４の入力位置座標データとは、位置情
報算出処理部７において湊合され、現時点でのｘ・ｙテ
ーブル４の該当座標位置における入力画像を、あらため
て２値化入力画像情報として出力し、かつ同時に、基準
位置情報記憶手段８からは、予め登録された基準位置に
おける画像情報，こゝでは２値化基準画像情報を出力す
る。
た２値化入力画像情報と、前記波形処理部６によって得
たｘ・ｙテーブル４の入力位置座標データとは、位置情
報算出処理部７において湊合され、現時点でのｘ・ｙテ
ーブル４の該当座標位置における入力画像を、あらため
て２値化入力画像情報として出力し、かつ同時に、基準
位置情報記憶手段８からは、予め登録された基準位置に
おける画像情報，こゝでは２値化基準画像情報を出力す
る。
【０００９】さらに、前記位置情報算出処理部７からの
該当座標位置における２値化入力画像情報と、前記基準
位置情報記憶手段８からの２値化基準画像情報とは、ズ
レ量算出処理部９において相関演算され、相関率の最も
高かった入力位置と基準位置とのズレ量が算出されるの
であり、このようにして、所期通りに現時点での認識対
象のリードフレーム位置が認識されるのである。
該当座標位置における２値化入力画像情報と、前記基準
位置情報記憶手段８からの２値化基準画像情報とは、ズ
レ量算出処理部９において相関演算され、相関率の最も
高かった入力位置と基準位置とのズレ量が算出されるの
であり、このようにして、所期通りに現時点での認識対
象のリードフレーム位置が認識されるのである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにしてなされる従来のワイヤボンディング装置にお
けるリード位置の認識手段の場合には、認識対象として
の該当リード位置の確認が、ビデオカメラによる撮像と
いう完全に視覚的な認識であるために、こゝでの認識対
象の該当リード位置に対する照明照度，２値化スレッシ
ュレベル，および該当リード位置での下地などのそれぞ
れの条件次第によって、その入力画像データが変化する
ことから、必ずしも的確な該当リード位置の入力情報が
得られず、この結果，正確なリードフレーム位置の認識
ができない場合があり、実稼働認識時での認識ジャム率
が高くなるものであった。
ようにしてなされる従来のワイヤボンディング装置にお
けるリード位置の認識手段の場合には、認識対象として
の該当リード位置の確認が、ビデオカメラによる撮像と
いう完全に視覚的な認識であるために、こゝでの認識対
象の該当リード位置に対する照明照度，２値化スレッシ
ュレベル，および該当リード位置での下地などのそれぞ
れの条件次第によって、その入力画像データが変化する
ことから、必ずしも的確な該当リード位置の入力情報が
得られず、この結果，正確なリードフレーム位置の認識
ができない場合があり、実稼働認識時での認識ジャム率
が高くなるものであった。
【００１１】この発明は、このような従来の問題点を解
消するためになされたもので、その目的とするところ
は、該当リード位置に対する照明照度，および該当リー
ド位置での下地などの周囲条件の変化に影響されずに、
常時，認識対象としての該当リード位置の正確な入力位
置情報を得て、実稼働認識時での認識ジャム率の低いワ
イヤボンディングをなし得るようにした，この種のワイ
ヤボンディング装置におけるリード位置の認識装置，お
よびその認識方法を提供することである。
消するためになされたもので、その目的とするところ
は、該当リード位置に対する照明照度，および該当リー
ド位置での下地などの周囲条件の変化に影響されずに、
常時，認識対象としての該当リード位置の正確な入力位
置情報を得て、実稼働認識時での認識ジャム率の低いワ
イヤボンディングをなし得るようにした，この種のワイ
ヤボンディング装置におけるリード位置の認識装置，お
よびその認識方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、この発明に係るワイヤボンディング装置におけるリ
ード位置の認識装置，およびその認識方法は、上記従来
でのビデオカメラの撮像による該当リード位置の視覚的
な入力画像情報を用いた認識に代え、深度測定器の深度
測定による該当リード位置の触覚的な入力位置情報を用
いた認識を行なうようにしたものである。
に、この発明に係るワイヤボンディング装置におけるリ
ード位置の認識装置，およびその認識方法は、上記従来
でのビデオカメラの撮像による該当リード位置の視覚的
な入力画像情報を用いた認識に代え、深度測定器の深度
測定による該当リード位置の触覚的な入力位置情報を用
いた認識を行なうようにしたものである。
【００１３】すなわち、この発明は、認識対象のリード
フレームにおける該当リード位置の深度を測定する深度
測定器と、前記深度測定器の深度測定位置を可動的に選
択移動させる移動手段と、前記深度測定器により測定さ
れた信号によって、該当測定位置でのリード部の有無を
判断する入力信号処理手段と、前記移動手段からの出力
波形によって、前記深度測定器の位置座標を算出する波
形処理手段と、前記入力信号処理手段によるリード部の
有無の判断結果と、前記波形処理手段による深度測定器
の位置座標とを湊合して、各測定時点毎のリード部の有
無を判断する位置情報算出処理手段と、予め登録された
基準位置にリード部が存在するか否かの位置情報を記憶
する基準位置情報記憶手段と、前記位置情報算出処理手
段の判断結果によるリード部の有無の入力位置情報と、
前記基準位置情報記憶手段による該当基準位置でのリー
ド部の有無の基準位置情報との相関演算を行なって、入
力位置の基準位置に対するズレ量を算出するズレ量算出
処理部とを、少なくとも備えることを特徴とするワイヤ
ボンディング装置におけるリード位置の認識装置であ
る。
フレームにおける該当リード位置の深度を測定する深度
測定器と、前記深度測定器の深度測定位置を可動的に選
択移動させる移動手段と、前記深度測定器により測定さ
れた信号によって、該当測定位置でのリード部の有無を
判断する入力信号処理手段と、前記移動手段からの出力
波形によって、前記深度測定器の位置座標を算出する波
形処理手段と、前記入力信号処理手段によるリード部の
有無の判断結果と、前記波形処理手段による深度測定器
の位置座標とを湊合して、各測定時点毎のリード部の有
無を判断する位置情報算出処理手段と、予め登録された
基準位置にリード部が存在するか否かの位置情報を記憶
する基準位置情報記憶手段と、前記位置情報算出処理手
段の判断結果によるリード部の有無の入力位置情報と、
前記基準位置情報記憶手段による該当基準位置でのリー
ド部の有無の基準位置情報との相関演算を行なって、入
力位置の基準位置に対するズレ量を算出するズレ量算出
処理部とを、少なくとも備えることを特徴とするワイヤ
ボンディング装置におけるリード位置の認識装置であ
る。
【００１４】また、この発明は、深度測定器を用いて、
認識対象のリードフレームにおける該当リード位置の深
度を測定する過程と、前記深度測定信号により該当測定
位置でのリード部の有無を判断すると共に、当該判断結
果と、前記深度測定器の該当測定位置における位置座標
とから、各測定時点毎のリード部の有無を判断する過程
と、前記各測定時点毎のリード部の有無の判断結果に基
づく入力位置情報と、予め設定された基準位置にリード
部が存在するか否かの基準位置情報との相関演算によ
り、入力位置の基準位置に対するズレ量を認識する過程
とを、少なくとも含むことを特徴とするワイヤボンディ
ング装置におけるリード位置の認識方法である。
認識対象のリードフレームにおける該当リード位置の深
度を測定する過程と、前記深度測定信号により該当測定
位置でのリード部の有無を判断すると共に、当該判断結
果と、前記深度測定器の該当測定位置における位置座標
とから、各測定時点毎のリード部の有無を判断する過程
と、前記各測定時点毎のリード部の有無の判断結果に基
づく入力位置情報と、予め設定された基準位置にリード
部が存在するか否かの基準位置情報との相関演算によ
り、入力位置の基準位置に対するズレ量を認識する過程
とを、少なくとも含むことを特徴とするワイヤボンディ
ング装置におけるリード位置の認識方法である。
【００１５】
【作用】従って、この発明においては、深度測定器によ
り、まず、認識対象のリードフレームでの該当リード位
置の深度を測定して、該当測定位置でのリード部の有無
を判断した後、この判断結果と、測定位置での深度測定
器の位置座標とを湊合して、各測定時点毎のリード部の
有無を判断し、ついで、各測定時点毎のリード部の有無
の判断結果に基づく入力位置情報と、予め設定された基
準位置にリード部が存在するか否かの基準位置情報とを
相関演算することによって、入力位置の基準位置に対す
るズレ量を認識し得る。
り、まず、認識対象のリードフレームでの該当リード位
置の深度を測定して、該当測定位置でのリード部の有無
を判断した後、この判断結果と、測定位置での深度測定
器の位置座標とを湊合して、各測定時点毎のリード部の
有無を判断し、ついで、各測定時点毎のリード部の有無
の判断結果に基づく入力位置情報と、予め設定された基
準位置にリード部が存在するか否かの基準位置情報とを
相関演算することによって、入力位置の基準位置に対す
るズレ量を認識し得る。
【００１６】
【実施例】以下、この発明の実施例を適用したワイヤボ
ンディング装置におけるリード位置の認識装置，および
その認識方法につき、図１ないし図３を参照して詳細に
説明する。
ンディング装置におけるリード位置の認識装置，および
その認識方法につき、図１ないし図３を参照して詳細に
説明する。
【００１７】図１はこの発明の一実施例によるワイヤボ
ンディング装置でのリード位置の認識手段の概要を示す
構成説明図である。
ンディング装置でのリード位置の認識手段の概要を示す
構成説明図である。
【００１８】すなわち、この図１の実施例構成において
も、符号１１はこゝでの認識対象物であるリードフレー
ム、１２はこのリードフレーム１１を固定するフレーム
押えを示し、１３は当該リードフレーム１１の該当リー
ド位置の深度を測定して取り込む深度測定器であり、１
３ａは当該深度測定器１３によって取り込まれる測定入
力電圧信号である。
も、符号１１はこゝでの認識対象物であるリードフレー
ム、１２はこのリードフレーム１１を固定するフレーム
押えを示し、１３は当該リードフレーム１１の該当リー
ド位置の深度を測定して取り込む深度測定器であり、１
３ａは当該深度測定器１３によって取り込まれる測定入
力電圧信号である。
【００１９】また、１４は前記深度測定器１３を搭載し
て深度測定位置を可動的に選択するｘ・ｙテーブルであ
り、１４ａ，および１４ｂは当該ｘ・ｙテーブル１４を
ｘ軸方向，およびｙ軸方向に移動させるｘ軸，ｙ軸の各
エンコーダである。
て深度測定位置を可動的に選択するｘ・ｙテーブルであ
り、１４ａ，および１４ｂは当該ｘ・ｙテーブル１４を
ｘ軸方向，およびｙ軸方向に移動させるｘ軸，ｙ軸の各
エンコーダである。
【００２０】さらに、１５は前記深度測定器１３によっ
て取り込まれた測定入力電圧信号１３ａによって該当位
置でのリード部の有無を判断する入力信号処理部、１６
は前記ｘ軸エンコーダ１４ａ，ｙ軸エンコーダ１４ｂか
らの出力波形によって、前記ｘ・ｙテーブル１４の位置
座標を算出する波形処理部であり、１７は前記入力信号
処理部１５と波形処理部１６との出力結果を湊合して、
現在の座標位置におけるリード部の有無を判断する位置
情報算出処理部、１８は予め登録された基準位置にリー
ド部が存在するか否かの位置情報を記憶する基準位置情
報記憶手段、１９は前記位置情報算出処理部１７によっ
て判断されたリード部の有無の入力情報と、前記基準位
置情報記憶手段１８に記憶されている該当基準位置での
リード部の有無の基準情報との相関演算を行なって、前
者入力情報の基準位置に対するズレ量を算出するズレ量
算出処理部である。
て取り込まれた測定入力電圧信号１３ａによって該当位
置でのリード部の有無を判断する入力信号処理部、１６
は前記ｘ軸エンコーダ１４ａ，ｙ軸エンコーダ１４ｂか
らの出力波形によって、前記ｘ・ｙテーブル１４の位置
座標を算出する波形処理部であり、１７は前記入力信号
処理部１５と波形処理部１６との出力結果を湊合して、
現在の座標位置におけるリード部の有無を判断する位置
情報算出処理部、１８は予め登録された基準位置にリー
ド部が存在するか否かの位置情報を記憶する基準位置情
報記憶手段、１９は前記位置情報算出処理部１７によっ
て判断されたリード部の有無の入力情報と、前記基準位
置情報記憶手段１８に記憶されている該当基準位置での
リード部の有無の基準情報との相関演算を行なって、前
者入力情報の基準位置に対するズレ量を算出するズレ量
算出処理部である。
【００２１】そしてまた、図２は前記リードフレーム１
１の深度測定器１３による測定位置を示す模式図であっ
て、同図２中，２０は当該測定位置（サーチライン）を
表わしている。
１の深度測定器１３による測定位置を示す模式図であっ
て、同図２中，２０は当該測定位置（サーチライン）を
表わしている。
【００２２】さらにまた、図３は前記深度測定器１３に
よって取り込まれる測定入力電圧波形１３ａの一例を示
す波形説明図であり、同図３中，２１は当該測定入力電
圧波形１３ａからリード部の存在の有無を判断するため
のスレッシュレベルを表わしている。
よって取り込まれる測定入力電圧波形１３ａの一例を示
す波形説明図であり、同図３中，２１は当該測定入力電
圧波形１３ａからリード部の存在の有無を判断するため
のスレッシュレベルを表わしている。
【００２３】しかして、上記構成の実施例手段において
は、ワイヤボンディングのために、まず、認識対象物で
あるリードフレーム１上にあって、図２で仮に設定され
たサーチライン２０に沿い、ｘ軸エンコーダ１４ａ，お
よびｙ軸エンコーダ１４ｂにより、ｘ・ｙテーブル１４
を介して深度測定器１３を一定速度で移動させ、当該深
度測定器１３によっては、各リード部対応の測定入力電
圧信号１３ａを取り込んで出力させると共に、ｘ軸エン
コーダ１４ａ，およびｙ軸エンコーダ１４ｂからは、そ
のときのｘ・ｙテーブル１４の位置を示す波形が出力さ
れる。
は、ワイヤボンディングのために、まず、認識対象物で
あるリードフレーム１上にあって、図２で仮に設定され
たサーチライン２０に沿い、ｘ軸エンコーダ１４ａ，お
よびｙ軸エンコーダ１４ｂにより、ｘ・ｙテーブル１４
を介して深度測定器１３を一定速度で移動させ、当該深
度測定器１３によっては、各リード部対応の測定入力電
圧信号１３ａを取り込んで出力させると共に、ｘ軸エン
コーダ１４ａ，およびｙ軸エンコーダ１４ｂからは、そ
のときのｘ・ｙテーブル１４の位置を示す波形が出力さ
れる。
【００２４】また、入力信号処理部１５では、前記測定
入力電圧信号１３ａと図３に示すスレッシュレベル２１
とを比較して、前記深度測定器１３の移動測定毎の各リ
ード部の存在の有無を判断し、かつ波形処理部１６で
は、前記ｘ軸，ｙ軸の各エンコーダ１４ａ，１４ｂから
の出力波形によって、その時々のｘ・ｙテーブル１４の
位置座標を算出する。
入力電圧信号１３ａと図３に示すスレッシュレベル２１
とを比較して、前記深度測定器１３の移動測定毎の各リ
ード部の存在の有無を判断し、かつ波形処理部１６で
は、前記ｘ軸，ｙ軸の各エンコーダ１４ａ，１４ｂから
の出力波形によって、その時々のｘ・ｙテーブル１４の
位置座標を算出する。
【００２５】ついで、前記入力信号処理部１５によって
得られた各リード部の有無の判断結果と、前記波形処理
部１６によって得られたｘ・ｙテーブル１４の位置座標
データとは、位置情報算出処理部１７において湊合さ
れ、各移動時点毎の各座標位置におけるリード部の有
無，および当該リード部の幅，配置などの入力位置情報
が算出され、かつ同時に、基準位置情報記憶手段１８か
らは、予め登録された該当基準位置における位置情報，
こゝでは基準位置情報が出力される。
得られた各リード部の有無の判断結果と、前記波形処理
部１６によって得られたｘ・ｙテーブル１４の位置座標
データとは、位置情報算出処理部１７において湊合さ
れ、各移動時点毎の各座標位置におけるリード部の有
無，および当該リード部の幅，配置などの入力位置情報
が算出され、かつ同時に、基準位置情報記憶手段１８か
らは、予め登録された該当基準位置における位置情報，
こゝでは基準位置情報が出力される。
【００２６】さらに、前記位置情報算出処理部１７から
のリード部の入力位置情報と、前記基準位置情報記憶手
段１８からの該当リード部対応の基準位置情報とは、ズ
レ量算出処理部１９において相関演算され、入力位置と
基準位置とのズレ量が順次に算出されるのであり、この
ようにして、所期通りに深度測定器１３の各移動測定時
点毎の認識対象物であるリードフレーム位置が認識され
るのである。
のリード部の入力位置情報と、前記基準位置情報記憶手
段１８からの該当リード部対応の基準位置情報とは、ズ
レ量算出処理部１９において相関演算され、入力位置と
基準位置とのズレ量が順次に算出されるのであり、この
ようにして、所期通りに深度測定器１３の各移動測定時
点毎の認識対象物であるリードフレーム位置が認識され
るのである。
【００２７】なお、上記実施例手段においては、リード
フレーム１上のサーチライン２０に沿い深度測定器１３
を一定速度で移動させて各リード部の測定を行なうよう
にしているが、当該測定位置は、これのみに限定される
ものではなく、例えば、特定位置，もしくは特定位置毎
に行なうようにしてもよく、かつｘ・ｙテーブル１４の
位置座標との関連の下であれば測定速度にも限定されな
い。また、上記のような１方向１ラインの測定以外に
も、例えば、１方向数ラインの測定を行なうようにして
もよい。さらに、上記実施例手段では、認識対象物をリ
ードフレームに限定して述べたが、深度測定限界値，お
よび分解能などの高い深度測定器１３を用いるときは、
チップ側のパッド（電極）位置などの認識を行なうこと
も可能である。
フレーム１上のサーチライン２０に沿い深度測定器１３
を一定速度で移動させて各リード部の測定を行なうよう
にしているが、当該測定位置は、これのみに限定される
ものではなく、例えば、特定位置，もしくは特定位置毎
に行なうようにしてもよく、かつｘ・ｙテーブル１４の
位置座標との関連の下であれば測定速度にも限定されな
い。また、上記のような１方向１ラインの測定以外に
も、例えば、１方向数ラインの測定を行なうようにして
もよい。さらに、上記実施例手段では、認識対象物をリ
ードフレームに限定して述べたが、深度測定限界値，お
よび分解能などの高い深度測定器１３を用いるときは、
チップ側のパッド（電極）位置などの認識を行なうこと
も可能である。
【００２８】
【発明の効果】以上、実施例によって詳述したように、
この発明によれば、深度測定器を用いることで、この深
度測定器により、認識対象のリードフレームにおける該
当リード位置の深度を測定して、この該当測定位置での
リード部の有無を判断した後、こゝでの判断結果と、該
当測定位置における深度測定器の位置座標との両者を湊
合して、各測定時点毎のリード部の有無を判断し、さら
に、各測定時点毎のリード部の有無の判断結果に基づく
入力位置情報と、予め設定された基準位置にリード部が
存在するか否かの基準位置情報とを相関演算して、入力
位置の基準位置に対するズレ量を得るようにしたから、
従来でのビデオカメラを用いた該当リード位置の撮像と
いう視覚的な入力画像情報による場合とは異なって、深
度測定器では、該当リード位置を触覚的に捉えて入力位
置情報としているため、ビデオカメラでのように、該当
リード位置に対する照明照度の変化とか、あるいは該当
リード位置での下地の変化などの周囲条件に一切，影響
される惧れがなく、常に認識対象としての該当リード位
置の正確な入力位置情報を得て、的確な認識が可能にな
り、この結果，ワイヤボンディング装置における実稼働
認識時での認識ジャム率の低いワイヤボンディングを容
易に行なうことができるという優れた特長がある。
この発明によれば、深度測定器を用いることで、この深
度測定器により、認識対象のリードフレームにおける該
当リード位置の深度を測定して、この該当測定位置での
リード部の有無を判断した後、こゝでの判断結果と、該
当測定位置における深度測定器の位置座標との両者を湊
合して、各測定時点毎のリード部の有無を判断し、さら
に、各測定時点毎のリード部の有無の判断結果に基づく
入力位置情報と、予め設定された基準位置にリード部が
存在するか否かの基準位置情報とを相関演算して、入力
位置の基準位置に対するズレ量を得るようにしたから、
従来でのビデオカメラを用いた該当リード位置の撮像と
いう視覚的な入力画像情報による場合とは異なって、深
度測定器では、該当リード位置を触覚的に捉えて入力位
置情報としているため、ビデオカメラでのように、該当
リード位置に対する照明照度の変化とか、あるいは該当
リード位置での下地の変化などの周囲条件に一切，影響
される惧れがなく、常に認識対象としての該当リード位
置の正確な入力位置情報を得て、的確な認識が可能にな
り、この結果，ワイヤボンディング装置における実稼働
認識時での認識ジャム率の低いワイヤボンディングを容
易に行なうことができるという優れた特長がある。
【図１】この発明の一実施例によるワイヤボンディング
装置でのリード位置の認識手段の概要を示す構成説明図
である。
装置でのリード位置の認識手段の概要を示す構成説明図
である。
【図２】同上実施例におけるリードフレームの深度測定
器による測定位置を示す模式図である。
器による測定位置を示す模式図である。
【図３】同上実施例における深度測定器によって取り込
まれる測定入力電圧波形の一例を示す波形説明図であ
る。
まれる測定入力電圧波形の一例を示す波形説明図であ
る。
【図４】従来例によるワイヤボンディング装置でのリー
ド位置の認識手段の概要を示す説明図である。
ド位置の認識手段の概要を示す説明図である。
１１ リードフレーム １２ フレーム押え １３ 深度測定器 １３ａ 測定入力電圧信号 １４ ｘ・ｙテーブル １４ａ，１４ｂ ｘ軸，ｙ軸の各エンコーダ １５ 入力信号処理部 １６ 波形処理部 １７ 位置情報算出処理部 １８ 基準位置情報記憶手段 １９ ズレ量算出処理部 ２０ 測定位置（サーチライン） ２１ スレッシュレベル
Claims (2)
- 【請求項１】 認識対象のリードフレームにおける該当
リード位置の深度を測定する深度測定器と、 前記深度測定器の深度測定位置を可動的に選択移動させ
る移動手段と、 前記深度測定器により測定された信号によって、該当測
定位置でのリード部の有無を判断する入力信号処理手段
と、 前記移動手段からの出力波形によって、前記深度測定器
の位置座標を算出する波形処理手段と、 前記入力信号処理手段によるリード部の有無の判断結果
と、前記波形処理手段による深度測定器の位置座標とを
湊合して、各測定時点毎のリード部の有無を判断する位
置情報算出処理手段と、 予め登録された基準位置にリード部が存在するか否かの
位置情報を記憶する基準位置情報記憶手段と、 前記位置情報算出処理手段での判断結果によるリード部
の有無の入力位置情報と、前記基準位置情報記憶手段に
よる該当基準位置でのリード部の有無の基準位置情報と
の相関演算を行なって、入力位置の基準位置に対するズ
レ量を算出するズレ量算出処理部とを、 少なくとも備えることを特徴とするワイヤボンディング
装置におけるリード位置の認識装置。 - 【請求項２】 深度測定器を用いて、認識対象のリード
フレームにおける該当リード位置の深度を測定する過程
と、 前記深度測定信号により該当測定位置でのリード部の有
無を判断すると共に、当該判断結果と、前記深度測定器
の該当測定位置における位置座標とから、各測定時点毎
のリード部の有無を判断する過程と、 前記各測定時点毎のリード部の有無の判断結果に基づく
入力位置情報と、予め設定された基準位置にリード部が
存在するか否かの基準位置情報との相関演算により、入
力位置の基準位置に対するズレ量を認識する過程とを、 少なくとも含むことを特徴とするワイヤボンディング装
置におけるリード位置の認識方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3213346A JPH0555292A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | ワイヤボンデイング装置におけるリード位置の認識装置，およびその認識方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3213346A JPH0555292A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | ワイヤボンデイング装置におけるリード位置の認識装置，およびその認識方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555292A true JPH0555292A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16637639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3213346A Pending JPH0555292A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | ワイヤボンデイング装置におけるリード位置の認識装置，およびその認識方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0555292A (ja) |
-
1991
- 1991-08-26 JP JP3213346A patent/JPH0555292A/ja active Pending
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