JPH0554843A - 真空装置用シヤツタ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】シャッタ専用のフランジや、回転導入端子等の
駆動機構を取り付けるためのその他のフランジを必要と
せず、真空容器内への機器や部品の配置を容易にする。 【構成】真空容器内に配置された機器または部品に固着
されたシャッタ用支柱５と、このシャッタ用支柱に中央
部を回動自在に取り付けたシャッタ板７と、このシャッ
タ板の一端部の一側をバネ弾圧するバネ８と、前記シャ
ッタ板の一端部の他側をバネ弾圧する形状記憶合金製の
バネ９と、この形状記憶合金製のバネに通電してそれを
加熱する通電手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は真空容器で用いられる
真空装置用シャッタ機構に関するもので、特に、電子銃
の電子線透過穴を開閉するシャッタ機構に係るものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の真空装置用シャッタ機構は、真空
容器の壁にシャッタ専用のフランジを設け、そのフラン
ジに回転導入端子等の駆動機構を取り付け、そして、そ
の駆動機構の真空容器内の先端部にシャッタを取り付
け、駆動機構の作動によって、シャッタを開閉し、真空
容器内の部品や真空容器の覗き窓の汚れを防止してい
た。しかしながら、シャッタ専用のフランジに回転導入
端子等の駆動機構を取り付ける代りに、真空装置付フラ
ンジに回転導入端子等の駆動機構を取り付ける場合に
は、この取付フランジを通常のフランジより大きいもの
にしなければならなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の真空装置用シャ
ッタ機構は、上記のようにシャッタ専用のフランジを設
けなければならないうえ、そのシャッタ専用のフランジ
の代りに、真空装置付フランジを使用する場合には、こ
のフランジを通常のフランジより大きいものにしなけれ
ばならなず、そのため、真空装置の制作時に、回転導入
端子等の駆動機構を取り付けを考慮してフランジを作ら
なければならない問題があった。また、上記のように駆
動機構の真空容器内の先端部にシャッタを取り付けてい
るため、真空容器内に機器や部品を配置する際、シャッ
タの取り付けが邪魔となり、機器や部品の配置が困難に
なる問題があった。

【０００４】この発明の目的は、従来の上記問題を解決
して、シャッタ専用のフランジや、回転導入端子等の駆
動機構を取り付けるためのフランジを必要とせず、しか
も、シャッタを取り付けても、真空容器内に機器や部品
を配置することが困難にならない真空装置用シャッタ機
構を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の真空装置用シャッタ機構は、真空容器内
に配置された機器または部品に固着されたシャッタ用支
柱と、このシャッタ用支柱に中央部を回動自在に取り付
けたシャッタ板と、このシャッタ板の一端部の一側をバ
ネ弾圧するバネと、前記シャッタ板の一端部の他側を同
じくバネ弾圧する形状記憶合金製のバネと、この形状記
憶合金製のバネに通電してそれを加熱する通電手段とを
備えていることを特徴とするものである。

【０００６】

【作用】この発明においては、通常、室温状態ではシャ
ッタ板の一端部の一側をバネ弾圧するバネによって形状
記憶合金製のバネが引き延ばされ、シャッタ板は開の位
置になっている。しかしながら、形状記憶合金製のバネ
に通電してそれを加熱すると、形状記憶合金製のバネが
シャッタ板の一端部の一側をバネ弾圧するバネよりも強
い力でちじむ。そのため、シャッタ板がシャッタ用支柱
を支点として回動し、開の位置から閉の位置に移動す
る。そして、今度は、形状記憶合金製のバネへの通電を
停止するとそれが冷却されて、シャッタ板の一端部の一
側をバネ弾圧するバネが形状記憶合金製のバネを引き延
ばすようになる。引き延ばされると、シャッタ板はシャ
ッタ用支柱を支点として上記と反対の回動を行い、閉の
位置から開の位置に移動する。なお、室温の状態のとき
と、形状記憶合金製のバネを加熱したときとでは、上記
と反対の動作をシャッタ板が行うようにしてもよい。

【０００７】

【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例の真空装置用シャ
ッタ機構を電子銃に取り付けたものが図１、図２および
図３に示されている。これらの図において、電子銃１は
その中央部に電子線透過口２が設けられ、その電子線透
過口２より電子線が外部に放出されるようになってい
る。電子銃１の廻りには汚れ防止用カバー３が配置さ
れ、その汚れ防止用カバー３には電子線の通過する通過
口４が電子銃１の電子線透過口２と同軸上に設けられて
いる。また、汚れ防止用カバー３にはシャッタ用支柱５
が通過口４と距離をおいて固着されていると共に、両端
に爪６ａ、６ｂをもったバネホルダ６がシャッタ用支柱
５の固着位置より更に通過口４より離れた位置で固着さ
れている。シャッタ板７はその中央部でシャッタ用支柱
５と回動自在に取り付けられ、シャッタ板７の先端部が
電子線透過口２および汚れ防止用カバー３の通過口４を
開閉可能になっている。シャッタ板７の後端部の一側
と、バネホルダ６の一端の爪６ａとの間には通常のバネ
８が設けられ、また、シャッタ７の後端部の他側と、バ
ネホルダ６の他端の爪６ｂとの間には形状記憶合金製の
バネ９が設けられている。形状記憶合金製のバネ９には
導線１０が接続され、そのバネ９を通電して加熱する通
電手段（図示せず）が設けられている。通電手段の回路
には形状記憶合金製のバネ９の加熱温度を一定に保つた
めのサーモスタット回路（図示せず）が内蔵されてい
る。

【０００８】このような実施例においては、図１に示さ
れるように、通常、室温状態ではシャッタ板７の後端部
の一側をバネ弾圧するバネ８によって形状記憶合金製の
バネ９が引き延ばされ、シャッタ板７の先端部が電子線
透過口２および汚れ防止用カバー３の通過口４を開にし
て、電子線の放出を可能にしている。しかしながら、形
状記憶合金製のバネ９に通電してそれを加熱すると、バ
ネ９の温度が変態点を越え、形状記憶合金製のバネ９が
シャッタ板７の後端部の一側をバネ弾圧するバネ８より
も強い力でちじむようになる。そのため、図２に示され
るように、シャッタ板７がシャッタ用支柱５を支点とし
て回動し、シャッタ板７の先端部が電子線透過口２およ
び汚れ防止用カバー３の通過口４を開から閉の状態にな
るように移動するようになる。そして、今度は反対に、
形状記憶合金製のバネ９への通電を停止するとそれが冷
却されて、シャッタ板７の後端部の一側をバネ弾圧する
バネ８が形状記憶合金製のバネ９を引き延ばすようにな
る。引き延ばされると、シャッタ板７はシャッタ用支柱
５を支点として上記と反対の回動を行い、電子線透過口
２および汚れ防止用カバー３の通過口４を閉から開の状
態になるように移動する。

【０００９】なお、室温の状態のときと、形状記憶合金
製のバネ９を加熱したときとでは、上記と反対の動作を
シャッタ板７が行うようにしていてもよい。

【００１０】ところで、上記実施例は真空装置用シャッ
タ機構を電子銃に取り付けているが、その代わりに、真
空容器の覗き窓に設けてもよい。また、真空容器内のそ
の他の機器や部品に真空装置用シャッタ機構を用いても
よい。

【００１１】

【発明の効果】この発明は、上記のような構成をしてい
るので、シャッタ専用のフランジや、回転導入端子等の
駆動機構を取り付けるための取付けフランジを必要とせ
ず、しかも、真空容器内に機器や部品を配置することが
困難にならなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例においてシャッタ板が開の位
置にあるときの正面図

【図２】この発明の実施例においてシャッタ板が閉の位
置にあるときの正面図

【図３】この発明の実施例の平面図

【符号の説明】

１・・・・・電子銃 ２・・・・・電子線透過口 ３・・・・・汚れ防止用カバー ４・・・・・通過口 ５・・・・・シャッタ用支柱 ６・・・・・バネホルダ ７・・・・・シャッタ板 ８・・・・・バネ ９・・・・・形状記憶合金製のバネ １０・・・・導線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山室 和弘 神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内 (72)発明者 重富 潤一 神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地日本真空技 術株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空容器内に配置された機器または部品に
   固着されたシャッタ用支柱と、このシャッタ用支柱に中
   央部を回動自在に取り付けたシャッタ板と、このシャッ
   タ板の一端部の一側をバネ弾圧するバネと、前記シャッ
   タ板の一端部の他側を同じくバネ弾圧する形状記憶合金
   製のバネと、この形状記憶合金製のバネに通電してそれ
   を加熱する通電手段とを備えていることを特徴とする真
   空装置用シャッタ機構。