JPH0552702U - 渦電流損検出型変位計 - Google Patents

渦電流損検出型変位計

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JPH0552702U
JPH0552702U JP11035191U JP11035191U JPH0552702U JP H0552702 U JPH0552702 U JP H0552702U JP 11035191 U JP11035191 U JP 11035191U JP 11035191 U JP11035191 U JP 11035191U JP H0552702 U JPH0552702 U JP H0552702U
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JP
Japan
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temperature
eddy current
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detection type
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Application number
JP11035191U
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English (en)
Inventor
勝男 相馬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被対象物との距離に比例して電圧出力する渦
電流損検出型変位計において、被対象物が高温になり、
前記渦電流損検出型変位計に放射される輻射熱により温
度ドリフトが生じることを防ぐ。 【構成】 渦電流損検出型変位計１は、渦電流損検出型
変位計本体２と熱電対４及びヒートパイプ３が内蔵され
ている。ヒートパイプ３は、温調器で温度調整される流
体が流れて変位計本体２を、被対象物である金属板５か
ら発せられる輻射熱などの高温による温度ドリフトに起
因した測定精度の低下を防ぐ。熱電対４は、変位計本体
２の近傍の温度を検知して温調器の温度制御指令を出力
する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は変位計に関し、特に渦電流損検出による変位計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
渦電流損検出型変位計は、被対象物までの距離に比例した電圧を出力するもの である。従来、この種の渦電流損検出型変位計には検出部の温度補償回路のみを 備えていた。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
上述の従来の渦電流損検出型変位計は、被対象物からの輻射熱や環境温度の変 化によって温度ドリフトが生じ、０．０１ｍｍ単位で正確な距離を計ることが難 しかった。また、簡易な方法として圧縮空気の吹き付け等による温度上昇を防ぐ 方法が採られていたが、完全ではなく信頼性の高い距離測定には不向きであった 。
【０００４】 本考案の目的は、被対象物から放射される輻射熱、その他の高温による温度ド リフトの発生を阻止した渦電流損検出型変位計を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本考案による渦電流損検出型変位計においては、温 調器とヒートパイプとを有し、被対象物までの距離に比例した電圧を出力する渦 電流損検出型変位計であって、 温調器は、周囲の環境の温度を無視できる程度の大気温に近い定温に調整する 調整器であり、 ヒートパイプは、温調器によって調整された温度の流体を循環させて渦電流損 検出型変位計の本体の過熱を防止するものである。
【０００６】 また、熱電対を有し、 熱電対は、渦電流損検出型変位計本体近傍の温度を検知して温調器の定温保持 に必要な制御指令を出力するものである。
【０００７】
【作用】
ヒートパイプ内の流体は、温調器により定温に調整され、変位計本体を保冷し て温度ドリフトの発生を防止する。熱電対が検知した変位計本体近傍の温度を検 知し、その検知信号をもって温調器は、保つべき一定温度に制御される。
【０００８】
【実施例】
以下に本考案の実施例を図によって説明する。図１において、渦電流損検出型 変位計１は、その変位計本体２にヒートパイプ３を巻装し、熱電対４を組み込ん で構成されたものである。
【０００９】 図２において、変位計１は、その本体２の端面から金属板５までの距離ｌに比 例した電圧を出力して距離ｌを検出するものである。ヒートパイプ３は、実質的 には保冷器であり、内部に充填された水もしくは油等の流体は、図３に示すよう に温調器６にセットされた温度に冷却されてパイプ内を循環する。
【００１０】 温調器６は、変位計１が設置される環境内の温度の影響を無視できる程度の温 度、例えば室温に対して５０℃を維持する温度調整機能を有するものであり、変 位計本体２の近傍の温度を検知する熱電対４による検知信号によって制御される 。
【００１１】 実施例において、変位計本体２は、ヒートパイプ３内の流体によって保冷され 、温調器６にセットされた温度に近い温度に保たれる。したがって、被対象物で ある金属板５が４００℃以上の高温であって、変位計本体２に輻射熱が放射され ても変位計本体２の温度変化は少なく、温度ドリフトによる０．０１ｍｍ単位の 距離測定に不都合は生じない。
【００１２】
【考案の効果】
以上説明したように本考案によれば、渦電流損検出型変位計を温調器に接続さ れたヒートパイプ内の流体で温調することにより、被検出物から放射される輻射 熱の影響を受けることなく０．０１ｍｍ単位の距離を精密に測定できる効果を有 する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本考案の渦電流損検出型変位計の斜
視図、（ｂ）は、側面略示図である。
【図２】本考案のブロック図である。
【符号の説明】
１ 渦電流損検出型変位計 ２ 変位計本体 ３ ヒートパイプ ４ 熱電対 ５ 金属板 ６ 温調器

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 温調器とヒートパイプとを有し、被対象
    物までの距離に比例した電圧を出力する渦電流損検出型
    変位計であって、 温調器は、周囲の環境の温度を無視できる程度の大気温
    に近い定温に調整する調整器であり、 ヒートパイプは、温調器によって調整された温度の流体
    を循環させて渦電流損検出型変位計の本体の過熱を防止
    するものであることを特徴とする渦電流損検出型変位
    計。
  2. 【請求項２】 熱電対を有し、 熱電対は、渦電流損検出型変位計本体近傍の温度を検知
    して温調器の定温保持に必要な制御指令を出力するもの
    であることを特徴とする請求項１に記載の渦電流損検出
    型変位計。
JP11035191U 1991-12-16 1991-12-16 渦電流損検出型変位計 Pending JPH0552702U (ja)

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JPH0552702U true JPH0552702U (ja) 1993-07-13

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013031583A1 (ja) * 2011-08-30 2013-03-07 三菱重工業株式会社 膜厚測定装置及び膜厚測定方法

Cited By (2)

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WO2013031583A1 (ja) * 2011-08-30 2013-03-07 三菱重工業株式会社 膜厚測定装置及び膜厚測定方法
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