JPH0552454B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0552454B2
JPH0552454B2 JP14362584A JP14362584A JPH0552454B2 JP H0552454 B2 JPH0552454 B2 JP H0552454B2 JP 14362584 A JP14362584 A JP 14362584A JP 14362584 A JP14362584 A JP 14362584A JP H0552454 B2 JPH0552454 B2 JP H0552454B2
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JP
Japan
Prior art keywords
light
light beam
photodetector
sample
plate
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP14362584A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6122220A (ja
Inventor
Kunihiko Ookubo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP14362584A priority Critical patent/JPS6122220A/ja
Publication of JPS6122220A publication Critical patent/JPS6122220A/ja
Publication of JPH0552454B2 publication Critical patent/JPH0552454B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/59Transmissivity
    • G01N21/5907Densitometers
    • G01N21/5911Densitometers of the scanning type

Description

【発明の詳細な説明】 イ 産業上の利用分野 本発明は薄膜クロマツグラフイとかゾーン電気
泳動法で展開された試料成分を定量成分する場合
等に用いられるデンシトメータに関する。
ロ 従来の技術 従来のデンシトメータは試料成分が展開された
プレート上の試料スポツトを光ビームで走査する
際、光ビームを固定しておいてプレートの方をジ
グザグ運動させていた。この構成によるときは往
復運動を行う部分がプレートとプレートを保持す
る台とで慣性が大きいから、余り高速の往復運動
を行うことができず、走査速度を上げる場合のネ
ツクになつていた。このため走査速度を上げるに
は他の方法を用いる必要があり、プレートには一
方向の送りだけを与え、光ビームの方を右左に振
らせるフライングスポツト方式の装置が用いられ
ている。しかしフライングスポツト方式はプレー
トからの反射光を測定する場合、光検出器に入射
するプレートから反射光に対して光スポツトのフ
レート上の位置による入射角の違い等の補正を行
えばよいが、透過光を測定する場合には、透過光
の位置の移動が大きいため一つの光検出器では検
出そのものが困難であつた。
ハ 発明が解決しようとする問題点 本発明はフライングスポツト方式のデンシトメ
ータで透過光を測定する場合における上述した問
題を解決し、透過光測定を可能にしようとするも
のである。
ニ 問題点を解決するための手段 本発明は第1図に示すようにプレートPを透過
した走査光を非結像性のビームコレクタCを用い
て光検出器Dに導くようにした。またビームコレ
クタは光の入射方向及び位置によつて光を検出器
Dに導く効率が異るから測定に先立ち補正データ
を採取する初期動作を行わせるようにした。
ホ 作用 第1図でBは試料であるプレートPを走査する
光ビームでミラーmの揺動により角度θの範囲を
往復する。これに対してプレートPは図の紙面に
垂直の方向に移送される。ビームコレクタは内面
が反射面になつているラツパ状の筒で底部位置に
光検出器Dが配置される。ビームコレクタCに対
してプレート透過光はTからT′の範囲で入射位
置及び方向が変化する。ビームコレクタCに入射
した光はビームコレクタCの内面で反射され、結
局は光検出器Dに入射せしめられる。ビームコレ
クタCがない状態を考えると、透過光のT,
T′等は点線のように進み、検出器Dに入射でき
るのはQ,Q′点における散乱光の一部だけであ
り、実際上測定はできないが、ビームコレクタC
を設けることにより、T,T′のような位置の透
過光も測定可能となる。また例えばT0のような
透過光とT,T′のような透過光とでは光検出器
Dに導かれる効率が異る。このため予めプレート
がない状態で光ビームBを角θの範囲で振らせて
そのときの光ビームの位置と光検出器Dの出力と
の関数関係を記憶しておき、測定時に補正演算を
行つて、この効率の差を消去する。
ヘ 実施例 第2図は本発明の一実施例を示す。1,1′は
高原のランプで一方はタングステン電球、他方は
D2ランプで測定波長域により何れかゞ選択点灯
される。2は集光ミラーで光源1,1′の光を分
光器3の入射スリツト位置に集光させる。4は揺
動ミラーで第1図にmで示したものに相当し、パ
ルスモータ5によつて揺動駆動される。6は試料
ステージでx,y2方向に駆動することができる。
分光器3の出射光はミラー4で反射され、試料ス
テージ面でQ,Q′の範囲を往復せしめられる。
図では省略されているが、分光器3とミラー4と
の間に集光光学系があつて、分光器3の出射光は
試料ステージ面に集光せしめられ光のスポツトを
形成している。7はビームコレクタで内面が鏡面
の偏平なラツパ状の筒で、方物面鏡のような結像
性がないものであつて、その偏平な方向が光ビー
ムBの移動範囲と平行に配置されている。8はビ
ームコレクタ7の底部開口にセツトされた光検出
器である。このビームコレクタは光の入射口から
出射口に向つて断面が縮小して行く形であり、入
射口の長径に比し、深さが比較的大きく、非結像
性であるから、或る角度範囲であればどのような
方向から入射した光を繰返し反射によつて出射口
に到達するものである。
試料のプレートは試料ステージ6上に載置さ
れ、y方向に移送されて一定幅の帯状範囲が光ス
ポツトによつてジグザグに走査される。一定幅の
帯状範囲の走査が終ると、試料ステージはx方向
に動いて、プレート上の別の範囲を光スポツトの
走査位置に持つて来る。
第3図は上述実施例における信号処理系の構成
を示す。光検出器8の出力はプリアンプ9を経て
対数増幅器10で対数変換されて吸光度信号とな
り、A/D変換器11でデイジタルデータとなり
コンピユータ(CPU)12に続込まれる。CPU
12ではこのデータに対して補正演算を施して積
分を行い、その結果をプリンタ等の表示装置13
に出力する。CPU12はステージ駆動装置14
に制御信号を送り、試料ステージ6を動かしてい
る。またパルスモータ駆動回路15にも信号を送
つて、パルスモータ5を正逆転させてミラー4を
傾動させ光ビームを揺動させている。このとき、
CPUはパルスモータ5に供給されたパルスをカ
ウントしてミラー4の傾きを検出しており、この
傾きのデータから試料ステージ6上における光ス
ポツトの位置を算出している。CPU12は測定
に先立ち初期動作として、試料スデーシ6をその
上に載置されたプレートが光ビームを切らない位
置まで移動させ、ミラー4を傾動させて、上述し
た光スポツトの位置と、そのときのA/D変換器
の出力、即ち検出器8の検出信号を対数変換した
データとをメモリ16に記憶させる。この動作に
おいては、試料のプレートが光ビームの通路にな
いから、このときの光検出器8の出力はビームコ
レクタ7の導光効率の情報を与える。CPU12
は以上の初期動作を行つた後、試料ステージ6を
動かしてプレートの走査開始点を所定位置に持つ
て来、測定を開始する。測定時における補正演算
は測定時の対数増幅器10の出力をlogS、同じ
光スポツト位置に対する初期動作時の対数増幅器
出力をlogBとすると、補正演算は A=logS−logB であつて、この補正演算を測定走査を行つている
間各光スポツト位置において行う。
第4図は本発明の他の一実施例を示す。この図
においても、第2図の各部と対応する部分には同
じ番号が付けてある。この実施例は光ビームを往
復偏向させる手段として分光器の出口スリツトを
Sを往復運動させこのスリツトの像を固定ミラー
M,M′によつて試料ステージ面に形成させるよ
うにしたものであり、ミラーMが結像用の凹面鏡
になつている。結像用ミラーMに対して物点であ
る出口スリツトSが往復運動するので、それに応
じて試料ステージ面の像も往復運動する。このと
き試料ステージから見るとき、ミラーMのミラー
M′による虚像m′の中心を中心として試料ステー
ジ面への入射光ビームが振れているように見える
ので、光ビームの振れ角θは第2の実施例に比し
小さくはできるが、それでも、往復範囲の中央付
近以外の光ビームのプレート透過光を直接有効に
光検出器8に入射させることはできずビームコレ
クタ7を用いる。
ビームコレクタ7はガラス或はプラスチツクで
作られ、内面にミラーコーテイングを施したもの
であるが、内部のつまつたガラス或は石英で第2
図のような形にし表面にミラーコーテイングを行
つたものでもよい。
ト 発明の効果 本発明デンシトメータは光ビーム走査方式であ
るから高速走査が可能であり、ビームコレクタを
用いて異る方向に向う試料透過光を光検出器に導
くようにしたから、光検出器に対して光ビームの
試料照射位置が動くにもかゝわらず試料透過光を
検出することができ、従来困難であつた透過光に
よる試料測定も可能となり、またビームコレクタ
が非結像性であるから工作精度が低くてもよく、
かつどのような入射方向の光でも光検出器の所へ
導かれるので、試料の直透過光だけでなく、散乱
光も補足でき、しかも初期動作によつて補正デー
タを採取しておくことにより光ビームの方向の変
化による光検出器の受光効率の変化に対する補正
を行うことで光ビームの方向変化の影響が除去さ
れ正確な定量測定ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の概要を示す図、第2図は本発
明の一実施例装置の構造斜視図、第3図は同実施
例の信号処理系の構成を示すブロツク図、第4図
は本発明の他の一実施例の構造斜視図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 光ビームを往復偏向させる手段と、試料ステ
    ージの光ビーム入射側とは反対側に配置され、上
    記光ビームが入射する非結像性のビームコレクタ
    と、同ビームコレクタの底部に配置された光検出
    器とを有し、測定に先立つ初期動作として、試料
    がない状態における光ビームの偏向位置と、その
    ときの光検出器出力との関係を記憶しておき、測
    定動作において、光検出器出力に対し、上記記憶
    されているデータを用いて、光ビームの位置によ
    る光検出器の受光効率の変化に対する補正演算を
    行う信号処理系を備えたデンシトメータ。
JP14362584A 1984-07-10 1984-07-10 デンシトメ−タ Granted JPS6122220A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14362584A JPS6122220A (ja) 1984-07-10 1984-07-10 デンシトメ−タ

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JP14362584A JPS6122220A (ja) 1984-07-10 1984-07-10 デンシトメ−タ

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Publication Number Publication Date
JPS6122220A JPS6122220A (ja) 1986-01-30
JPH0552454B2 true JPH0552454B2 (ja) 1993-08-05

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JP14362584A Granted JPS6122220A (ja) 1984-07-10 1984-07-10 デンシトメ−タ

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