JPH0551891B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0551891B2 JPH0551891B2 JP62079977A JP7997787A JPH0551891B2 JP H0551891 B2 JPH0551891 B2 JP H0551891B2 JP 62079977 A JP62079977 A JP 62079977A JP 7997787 A JP7997787 A JP 7997787A JP H0551891 B2 JPH0551891 B2 JP H0551891B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- chromium
- etching
- shielding film
- photomask blank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62079977A JPS63244037A (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | フオトマスクブランク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62079977A JPS63244037A (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | フオトマスクブランク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63244037A JPS63244037A (ja) | 1988-10-11 |
| JPH0551891B2 true JPH0551891B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1993-08-03 |
Family
ID=13705384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62079977A Granted JPS63244037A (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | フオトマスクブランク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63244037A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04250688A (ja) * | 1991-01-28 | 1992-09-07 | Matsushita Electric Works Ltd | プリント配線板の製造方法 |
| JP7482197B2 (ja) * | 2021-12-31 | 2024-05-13 | エスケー エンパルス カンパニー リミテッド | ブランクマスク及びそれを用いたフォトマスク |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103350A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-07 | Hoya Corp | フオトマスクブランク |
-
1987
- 1987-03-31 JP JP62079977A patent/JPS63244037A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63244037A (ja) | 1988-10-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |