JPH0547887A - 繰り返しパターン検出データの削除方法 - Google Patents
繰り返しパターン検出データの削除方法Info
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- JPH0547887A JPH0547887A JP22943791A JP22943791A JPH0547887A JP H0547887 A JPH0547887 A JP H0547887A JP 22943791 A JP22943791 A JP 22943791A JP 22943791 A JP22943791 A JP 22943791A JP H0547887 A JPH0547887 A JP H0547887A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 パターン付きウエハの異物検査において、各
チップの同一パターンの同一位置の検出データを、パタ
ーンの位置ズレの有無に拘らず削除する方法を提供す
る。 【構成】 検出データが検出された検出セルと、検出セ
ルの周囲に隣接した８個の隣接セルにそれぞれ対応した
ＲＡＭのアドレスに、検出データを表示する“1"を記憶
し、各チップについてこの“１" を加算する。加算によ
りえられる“ｎ"の分布により、検出データがｎ回の繰
り返しパターンによるものと判定して削除し、異物のみ
の検出データがえられる。 【効果】 各パターンの位置ズレの有無に拘らず、繰り
返しパターンの検出データが確実に削除されて、検出デ
ータの信頼性と異物の検出性能が向上する。
チップの同一パターンの同一位置の検出データを、パタ
ーンの位置ズレの有無に拘らず削除する方法を提供す
る。 【構成】 検出データが検出された検出セルと、検出セ
ルの周囲に隣接した８個の隣接セルにそれぞれ対応した
ＲＡＭのアドレスに、検出データを表示する“1"を記憶
し、各チップについてこの“１" を加算する。加算によ
りえられる“ｎ"の分布により、検出データがｎ回の繰
り返しパターンによるものと判定して削除し、異物のみ
の検出データがえられる。 【効果】 各パターンの位置ズレの有無に拘らず、繰り
返しパターンの検出データが確実に削除されて、検出デ
ータの信頼性と異物の検出性能が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、パターン付きウエハ
の異物検査において、各チップの同一のパターンの繰り
返しによる検出データを削除する方法に関する。
の異物検査において、各チップの同一のパターンの繰り
返しによる検出データを削除する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ＩＣの製造においてはシリコンな
どの素材のウエハに対して、パターン配線を有する多数
のチップが形成され、ウエハを各チップに切断してＩＣ
チップとされる。パターン配線に異物が付着するとＩＣ
チップの品質が劣化するので異物検査装置により検査さ
れる。
どの素材のウエハに対して、パターン配線を有する多数
のチップが形成され、ウエハを各チップに切断してＩＣ
チップとされる。パターン配線に異物が付着するとＩＣ
チップの品質が劣化するので異物検査装置により検査さ
れる。
【０００３】図２(a) はパターン付きのウエハを、(b)
はその異物検査装置の概略の基本構成をそれぞれ示す。
図２(a) のパターン付きウエハ１（以下単にウエハとい
う）には、周辺を除いて、パターン配線（以下単にパタ
ーンという）を有する多数のチップ11が形成されてい
る。(b) において、ウエハ１はＸＹテーブル２に載置さ
れてＸまたはＹ方向に移動する。これに対して、検査光
学系３を設け、その光源３a よりのレーザビームを投光
レンズ３b により投光して、ウエハの表面を走査する。
レーザビームの表面による反射または散乱光は集光レン
ズ３c により集光され、光電変換器３d よりの検出信号
は異物検出部４に入力し、その信号処理部４a とデータ
処理部４b によりそれぞれ処理された検出データはＲＡ
Ｍ４c に記憶されて、出力部４d にマップ表示される。
はその異物検査装置の概略の基本構成をそれぞれ示す。
図２(a) のパターン付きウエハ１（以下単にウエハとい
う）には、周辺を除いて、パターン配線（以下単にパタ
ーンという）を有する多数のチップ11が形成されてい
る。(b) において、ウエハ１はＸＹテーブル２に載置さ
れてＸまたはＹ方向に移動する。これに対して、検査光
学系３を設け、その光源３a よりのレーザビームを投光
レンズ３b により投光して、ウエハの表面を走査する。
レーザビームの表面による反射または散乱光は集光レン
ズ３c により集光され、光電変換器３d よりの検出信号
は異物検出部４に入力し、その信号処理部４a とデータ
処理部４b によりそれぞれ処理された検出データはＲＡ
Ｍ４c に記憶されて、出力部４d にマップ表示される。
【０００４】上記の異物検査においては、投射されたレ
ーザビームは異物のみでなく、各チップのパターンによ
っても散乱されて光電変換器３d に受光されるので、検
出データもまた異物とパターンの分が混在する。もとよ
り異物のみを検出するのが目的であるから、パターンを
検出しないか、またはこれを区別して削除することが必
要である。パターンを検出しないために、上記の検査光
学系３には種々の改良が加えられているが、これのみで
は区別が確実でない。これに対して、データ処理部４b
の処理により、繰り返しパターンによる検出データを削
除する方法が知られている。その方法は、各チップのパ
ターンが同一の場合は、同一パターンが繰り返されるの
で、各パターンの同一点が複数回検出される。一方、異
物は通常、多くは離散しているので同一位置には殆ど検
出されない。このような特徴を利用してパターンの検出
データを削除するものである。図３(a) 〜(c) は繰り返
しパターンに対する従来の削除方法を説明するもので、
(a) において、各チップはソフト処理により、マトリッ
クス状に方形の単位セルＳ（Ｓ11〜Ｓnn）に区分され
る。各単位セルＳの寸法ΔＸ，ΔＹは微小な、例えば５
０μｍとされる。(b) において、例として同一のパター
ンＰT が形成された３個のチップ11をとり、各チップに
対してレーザビームが順次に走査され、各パターンＰT
の同一位置の各点ｐt と、離散した異物ｉとが検出され
たとする。各単位セルＳを(c) に示すＲＡＭ４c の各ア
ドレスＡs に対応させ、各点ｐt および異物ｉの検出デ
ータを“１" として対応するアドレスＡs に記憶し、こ
れらを加算すると各点ｐt の合計は“３" となり、異物
ｉはやはり“１" である。多数のチップの検出データ
“１" が加算されて数値が“ｎ"となったときは、同一
点がｎ回検出されたことを示すので、数値ｎにより同一
パターンの繰り返しと判定して削除するものである。
ーザビームは異物のみでなく、各チップのパターンによ
っても散乱されて光電変換器３d に受光されるので、検
出データもまた異物とパターンの分が混在する。もとよ
り異物のみを検出するのが目的であるから、パターンを
検出しないか、またはこれを区別して削除することが必
要である。パターンを検出しないために、上記の検査光
学系３には種々の改良が加えられているが、これのみで
は区別が確実でない。これに対して、データ処理部４b
の処理により、繰り返しパターンによる検出データを削
除する方法が知られている。その方法は、各チップのパ
ターンが同一の場合は、同一パターンが繰り返されるの
で、各パターンの同一点が複数回検出される。一方、異
物は通常、多くは離散しているので同一位置には殆ど検
出されない。このような特徴を利用してパターンの検出
データを削除するものである。図３(a) 〜(c) は繰り返
しパターンに対する従来の削除方法を説明するもので、
(a) において、各チップはソフト処理により、マトリッ
クス状に方形の単位セルＳ（Ｓ11〜Ｓnn）に区分され
る。各単位セルＳの寸法ΔＸ，ΔＹは微小な、例えば５
０μｍとされる。(b) において、例として同一のパター
ンＰT が形成された３個のチップ11をとり、各チップに
対してレーザビームが順次に走査され、各パターンＰT
の同一位置の各点ｐt と、離散した異物ｉとが検出され
たとする。各単位セルＳを(c) に示すＲＡＭ４c の各ア
ドレスＡs に対応させ、各点ｐt および異物ｉの検出デ
ータを“１" として対応するアドレスＡs に記憶し、こ
れらを加算すると各点ｐt の合計は“３" となり、異物
ｉはやはり“１" である。多数のチップの検出データ
“１" が加算されて数値が“ｎ"となったときは、同一
点がｎ回検出されたことを示すので、数値ｎにより同一
パターンの繰り返しと判定して削除するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】さて、上記の判定方法
においては、各点ｐt が検出された単位セル（以下単に
検出セルという）が同一であることが必要条件である。
しかしながら、投影露光によりパターンを形成するステ
ッパや、検査光学系の走査などの精度により、各パター
ンが相対的に位置ズレを生ずることがあり、この位置ズ
レにより検出セルが同一とならず、隣接した単位セル
（以下単に隣接セルという）に分散する場合がありう
る。図４(a),(b) は例として、３個の繰り返しパターン
の位置ズレと、これに対するＲＡＭの記憶データを示す
もので、(a) において、点ｐt は同一位置であるに拘ら
ず各単位セルの境界付近にあるため、各パターンの相対
的な微小な位置ズレδｘ，δｙにより、隣接セルＳ11，
Ｓ12およびＳ22に分散してｐt(Ａ),ｐt(Ｂ),ｐt(Ｃ) と
して検出され、これらは(b) のように、ＲＡＭの隣接し
たアドレスに３個の“１" が分散して記憶される。この
ように分散した“１" は同一位置のものとはみなされな
いので、検出データを削除することができず、異物に対
する検出データの信頼性が低下して致命的な欠点となっ
ている。このような同一の各点ｐt の分散を防止するに
は、単位セルの大きさをより大きくすれば少しは改善さ
れるが、その反面、異物に対する分解能が低下するので
好ましくなく、現在ではむしろ単位セルをより縮小する
ことが望まれている。そこで、隣接セルに分散した検出
データのまま、これを繰り返しパターンによるものと判
定する方法が必要となる。この発明は以上に鑑みてなさ
れたもので、繰り返しパターンの同一点の検出データ
を、パターンの位置ズレに拘らず確実に削除する方法を
提供することを目的とするものである。
においては、各点ｐt が検出された単位セル（以下単に
検出セルという）が同一であることが必要条件である。
しかしながら、投影露光によりパターンを形成するステ
ッパや、検査光学系の走査などの精度により、各パター
ンが相対的に位置ズレを生ずることがあり、この位置ズ
レにより検出セルが同一とならず、隣接した単位セル
（以下単に隣接セルという）に分散する場合がありう
る。図４(a),(b) は例として、３個の繰り返しパターン
の位置ズレと、これに対するＲＡＭの記憶データを示す
もので、(a) において、点ｐt は同一位置であるに拘ら
ず各単位セルの境界付近にあるため、各パターンの相対
的な微小な位置ズレδｘ，δｙにより、隣接セルＳ11，
Ｓ12およびＳ22に分散してｐt(Ａ),ｐt(Ｂ),ｐt(Ｃ) と
して検出され、これらは(b) のように、ＲＡＭの隣接し
たアドレスに３個の“１" が分散して記憶される。この
ように分散した“１" は同一位置のものとはみなされな
いので、検出データを削除することができず、異物に対
する検出データの信頼性が低下して致命的な欠点となっ
ている。このような同一の各点ｐt の分散を防止するに
は、単位セルの大きさをより大きくすれば少しは改善さ
れるが、その反面、異物に対する分解能が低下するので
好ましくなく、現在ではむしろ単位セルをより縮小する
ことが望まれている。そこで、隣接セルに分散した検出
データのまま、これを繰り返しパターンによるものと判
定する方法が必要となる。この発明は以上に鑑みてなさ
れたもので、繰り返しパターンの同一点の検出データ
を、パターンの位置ズレに拘らず確実に削除する方法を
提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成する繰り返しパターン検出データの削除方法であ
って、上記のパターン付きウエハの異物検査において、
検出データが検出された検出セルと、検出セルの周囲の
８個の隣接セルにそれぞれ対応したＲＡＭのアドレス
に、検出データを表示する“1"を記憶し、各チップにつ
いてこの“１" を加算する。加算によりえられる各アド
レスの記憶データ“ｎ" の分布により、検出データを各
チップの同一パターンのｎ回の繰り返しによるものと判
定して削除するものである。
を達成する繰り返しパターン検出データの削除方法であ
って、上記のパターン付きウエハの異物検査において、
検出データが検出された検出セルと、検出セルの周囲の
８個の隣接セルにそれぞれ対応したＲＡＭのアドレス
に、検出データを表示する“1"を記憶し、各チップにつ
いてこの“１" を加算する。加算によりえられる各アド
レスの記憶データ“ｎ" の分布により、検出データを各
チップの同一パターンのｎ回の繰り返しによるものと判
定して削除するものである。
【０００７】
【作用】上記したこの発明の削除方法においては、検出
セルと８個の隣接セルとに対応したＲＡＭのアドレスに
それぞれ“１" が記憶される。複数のパターンの同一位
置がｎ回繰り返して検出されると、記憶された“１" が
加算され、各パターンに位置ズレがないときは、９個の
単位セルに“ｎ" が等しく分布する。これに対して、位
置ズレがあるときは、“ｎ" を中心として、その周辺に
隣接セルの“１"が加算された“（ｎ−１)"，“（ｎ−
２)"，……，“１" が重みを伴って分布する。これらの
“ｎ"の分布により、各パターンの位置ズレの有無に拘
らず、検出データは繰り返しパターンによるものと判定
することができ、判定された検出データは削除される。
また、離散した異物の検出データは加算されても“１"
より大きくならず、異物のみの検出データがえられる。
セルと８個の隣接セルとに対応したＲＡＭのアドレスに
それぞれ“１" が記憶される。複数のパターンの同一位
置がｎ回繰り返して検出されると、記憶された“１" が
加算され、各パターンに位置ズレがないときは、９個の
単位セルに“ｎ" が等しく分布する。これに対して、位
置ズレがあるときは、“ｎ" を中心として、その周辺に
隣接セルの“１"が加算された“（ｎ−１)"，“（ｎ−
２)"，……，“１" が重みを伴って分布する。これらの
“ｎ"の分布により、各パターンの位置ズレの有無に拘
らず、検出データは繰り返しパターンによるものと判定
することができ、判定された検出データは削除される。
また、離散した異物の検出データは加算されても“１"
より大きくならず、異物のみの検出データがえられる。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示すもので、
(a) は前記した図３(c) のＲＡＭのアドレスＡs を示
す。ただし、この場合は各チップの単位セルＳのΔＸ1,
ΔＹ1を、従来（５０μｍ角）の２．５分の１の２０μ
ｍとして、異物検出の分解能を２．５倍向上している。
異物ｉまたは繰り返しパターンの各点ｐt を検出したと
き、検出セルと８個の隣接セルにそれぞれ対応したＲＡ
Ｍのアドレスに、検出データを“１”として記憶する。
図においては、便宜上検出セルに対応したアドレスの検
出データを“" で示す。(b) は、各パターンに位置ズ
レがないとし、ｎ個の点ｐt が検出された場合で、９個
のアドレスに“ｎ" がそれぞれ記憶されていることを示
す。以上に対して、図１(c) は各パターンに位置ズレが
ある場合を示し、繰り返しパターンより、３個の同一点
ｐt が３個の隣接セルに検出され、図の(イ),(ロ),(ハ) の
ように検出セルに対応したアドレスに、前記した図４に
倣ってｐt(Ａ),ｐt(Ｂ),ｐt(Ｃ) がそれぞれ“" とし
て記憶され、それぞれの隣接アドレスにも“１" が記憶
されている。また、(ロ) には、離散した異物ｉに対する
“１" が同様に記憶されている。いま、(イ),(ロ) および
(ハ) の各検出データ“１" を加算すると、(ニ) に示すよ
うに、４個の“３"を中心として、その周辺に“２" ま
たは“１" が重み分布している。この重み分布は、同一
パターンの同一点が３回繰り返して検出されたことを示
し、これにより検出データは繰り返しパターンによるも
のと判定される。なお、上記は３回の繰り返しパターン
に対する例であるが、繰り返し回数が大きくなれば、加
算された検出データの数は当然大きくなる。しかし、各
パターンの位置ズレが単位セルの大きさ以内であれば、
検出データの分布は検出セルと、８個の隣接セルの範囲
に限られ、この範囲外に分散しない。以上の判定は前記
した図２(b) のデータ処理部４b によりなされ、繰り返
しパターンによると判定された検出データは削除され
る。また、離散した異物ｉの検出データは、“１" が平
等に分布しているので削除されず、出力部４d にマップ
表示される。
(a) は前記した図３(c) のＲＡＭのアドレスＡs を示
す。ただし、この場合は各チップの単位セルＳのΔＸ1,
ΔＹ1を、従来（５０μｍ角）の２．５分の１の２０μ
ｍとして、異物検出の分解能を２．５倍向上している。
異物ｉまたは繰り返しパターンの各点ｐt を検出したと
き、検出セルと８個の隣接セルにそれぞれ対応したＲＡ
Ｍのアドレスに、検出データを“１”として記憶する。
図においては、便宜上検出セルに対応したアドレスの検
出データを“" で示す。(b) は、各パターンに位置ズ
レがないとし、ｎ個の点ｐt が検出された場合で、９個
のアドレスに“ｎ" がそれぞれ記憶されていることを示
す。以上に対して、図１(c) は各パターンに位置ズレが
ある場合を示し、繰り返しパターンより、３個の同一点
ｐt が３個の隣接セルに検出され、図の(イ),(ロ),(ハ) の
ように検出セルに対応したアドレスに、前記した図４に
倣ってｐt(Ａ),ｐt(Ｂ),ｐt(Ｃ) がそれぞれ“" とし
て記憶され、それぞれの隣接アドレスにも“１" が記憶
されている。また、(ロ) には、離散した異物ｉに対する
“１" が同様に記憶されている。いま、(イ),(ロ) および
(ハ) の各検出データ“１" を加算すると、(ニ) に示すよ
うに、４個の“３"を中心として、その周辺に“２" ま
たは“１" が重み分布している。この重み分布は、同一
パターンの同一点が３回繰り返して検出されたことを示
し、これにより検出データは繰り返しパターンによるも
のと判定される。なお、上記は３回の繰り返しパターン
に対する例であるが、繰り返し回数が大きくなれば、加
算された検出データの数は当然大きくなる。しかし、各
パターンの位置ズレが単位セルの大きさ以内であれば、
検出データの分布は検出セルと、８個の隣接セルの範囲
に限られ、この範囲外に分散しない。以上の判定は前記
した図２(b) のデータ処理部４b によりなされ、繰り返
しパターンによると判定された検出データは削除され
る。また、離散した異物ｉの検出データは、“１" が平
等に分布しているので削除されず、出力部４d にマップ
表示される。
【０００９】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による繰
り返しパターン検出データの削除方法においては、異物
またはパターンの検出データは、検出セルと８個の隣接
セルとにそれぞれ対応したＲＡＭのアドレスに“１" が
記憶されて加算され、加算された“ｎ" の分布により、
各パターンの位置ズレの有無に拘らず、繰り返しパター
ンが確実に判定されてその検出データが削除され、異物
のみの検出データがえられるもので、異物に対する検出
データの信頼性と検出性能の向上し、パターン付きウエ
ハの異物検査に寄与するところには大きいものがある。
り返しパターン検出データの削除方法においては、異物
またはパターンの検出データは、検出セルと８個の隣接
セルとにそれぞれ対応したＲＡＭのアドレスに“１" が
記憶されて加算され、加算された“ｎ" の分布により、
各パターンの位置ズレの有無に拘らず、繰り返しパター
ンが確実に判定されてその検出データが削除され、異物
のみの検出データがえられるもので、異物に対する検出
データの信頼性と検出性能の向上し、パターン付きウエ
ハの異物検査に寄与するところには大きいものがある。
【図１】 この発明の一実施例を示し、(a) はＲＡＭに
対する検出データの記憶方法の説明図、(b) は各パター
ンに位置ズレがない場合、ＲＡＭに記憶された検出デー
タを示す図、(c) は位置ズレがある場合、ＲＡＭに記憶
された検出データと、加算された記憶データの分布の一
例を示す図である。
対する検出データの記憶方法の説明図、(b) は各パター
ンに位置ズレがない場合、ＲＡＭに記憶された検出デー
タを示す図、(c) は位置ズレがある場合、ＲＡＭに記憶
された検出データと、加算された記憶データの分布の一
例を示す図である。
【図２】 パターン付きウエハと、その異物検査装置の
構成図である。
構成図である。
【図３】 繰り返しパターンの検出データに対する従来
の削除方法の説明図である。
の削除方法の説明図である。
【図４】 図３による従来の削除方法の欠点の説明図で
ある。
ある。
１…パターン付きウエハ、単にウエハ、11…チップ、２
…ＸＹテーブル、３…検査光学系、３a …光源、３b …
投光レンズ、３c …集光レンズ、３d …光電変換器、４
…処理部、４a …信号処理部、４b …データ処理部、４
c …ＲＡＭ、４d …出力部、Ｓ（Ｓ11〜Ｓ22）…単位セ
ル、ＰT …パターン配線、単に配線、Ａs …ＲＡＭのア
ドレス、ｐt …パターンの検出点、またはその検出デー
タ、ｉ…異物、またはその検出データ。
…ＸＹテーブル、３…検査光学系、３a …光源、３b …
投光レンズ、３c …集光レンズ、３d …光電変換器、４
…処理部、４a …信号処理部、４b …データ処理部、４
c …ＲＡＭ、４d …出力部、Ｓ（Ｓ11〜Ｓ22）…単位セ
ル、ＰT …パターン配線、単に配線、Ａs …ＲＡＭのア
ドレス、ｐt …パターンの検出点、またはその検出デー
タ、ｉ…異物、またはその検出データ。
Claims (1)
- 【請求項１】 同一のパターンを有する複数のチップが
配列されたウエハを対象とし、該各チップをマトリック
ス状に微小な方形の単位セルに区分し、前記各チップに
レーザビームを連続して走査し、該単位セル内の散乱光
を受光して検出された検出データを、該単位セルに対応
するＲＡＭのアドレスに記憶してマップ表示するパター
ン付きウエハの異物検査において、前記検出データが検
出された単位セル、および該検出単位セルの周囲に隣接
する８個の単位セルにそれぞれ対応した前記ＲＡＭのア
ドレスに前記検出データを表示する“１”を記憶し、前
記各チップについて該“１" を加算し、該加算によりえ
られる前記各アドレスの記憶データ“ｎ" の分布によ
り、前記検出データを各チップの同一パターンのｎ回の
繰り返しによるものと判定して削除することを特徴とす
る、繰り返しパターン検出データの削除方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22943791A JPH0547887A (ja) | 1991-08-15 | 1991-08-15 | 繰り返しパターン検出データの削除方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22943791A JPH0547887A (ja) | 1991-08-15 | 1991-08-15 | 繰り返しパターン検出データの削除方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547887A true JPH0547887A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16892213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22943791A Pending JPH0547887A (ja) | 1991-08-15 | 1991-08-15 | 繰り返しパターン検出データの削除方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0547887A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5813227A (en) * | 1995-10-26 | 1998-09-29 | Fichtel & Sachs Ag | Hydrokinetic torque converter with stabilizer ring on the blade wheels |
| JP2002259951A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 繰り返しパターン消去方法、欠陥検査方法及び装置 |
| GB2384338A (en) * | 2001-09-28 | 2003-07-23 | Lexar Media Inc | Detecting and recording repetitive data patterns |
-
1991
- 1991-08-15 JP JP22943791A patent/JPH0547887A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5813227A (en) * | 1995-10-26 | 1998-09-29 | Fichtel & Sachs Ag | Hydrokinetic torque converter with stabilizer ring on the blade wheels |
| JP2002259951A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 繰り返しパターン消去方法、欠陥検査方法及び装置 |
| JP4560969B2 (ja) * | 2001-02-27 | 2010-10-13 | パナソニック株式会社 | 欠陥検査方法 |
| GB2384338A (en) * | 2001-09-28 | 2003-07-23 | Lexar Media Inc | Detecting and recording repetitive data patterns |
| GB2384338B (en) * | 2001-09-28 | 2005-11-09 | Lexar Media Inc | Memory system for data storage and retrieval |
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