JPH0546699B2 - - Google Patents
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- JPH0546699B2 JPH0546699B2 JP60008374A JP837485A JPH0546699B2 JP H0546699 B2 JPH0546699 B2 JP H0546699B2 JP 60008374 A JP60008374 A JP 60008374A JP 837485 A JP837485 A JP 837485A JP H0546699 B2 JPH0546699 B2 JP H0546699B2
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- wire bonding
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はボンデイング装置に関する。[Detailed description of the invention] [Technical field of invention] The present invention relates to a bonding device.
デイスペンス工程、マウント工程などのダイボ
ンダ、チツプマウンタやワイヤボンダなどのボン
デイング装置は周知である。これら装置は実際の
装置工程においてはスピードなどの関係からダイ
ボンダ又はチツプマウンタ1台に対してワイヤボ
ンダ8台が対応したラインが形成されている。
Bonding apparatuses such as die bonders, chip mounters, and wire bonders for dispensing processes, mounting processes, etc. are well known. In the actual process of these devices, a line is formed in which eight wire bonders correspond to one die bonder or chip mounter due to factors such as speed.
そしてワーク例えば印刷回路基板についても多
品種のものを自動ボンデイングする必要がある。
例えばワイヤボンダにおいては、高速で超精確性
が要求されるため従来第5図に示めす対応がとら
れている。すなわち印刷回路41についてA,
B,Cの3種のものについてワイヤボンデイング
するために、各ワイヤボンダ42,43,44
毎、各種の回路基板毎に夫々の位置認識のための
規準信号例えば原点算出のプログラムを入力した
フロツピーデイスク45,46,47を作製し、
ワイヤボンデイングに際し、都度ワークの品種に
対応したフロツピーデイスクを入れ換えてワイヤ
ボンデイングを実行している。しかしながら、実
際の生産ラインにおいては、ワークの品種が多品
種であり、ワークの品種に対応したプログラムば
かりでなく、各ワイヤボンダ毎に対応したプログ
ラムを必要とし、ワークの品種と、ワイヤボンダ
毎のプログラムを記憶したフロツピーデイスクの
交換作業が頻繁に行なわれている。 It is also necessary to automatically bond a wide variety of workpieces, such as printed circuit boards.
For example, in wire bonders, high speed and ultra-accuracy are required, so the conventional measures shown in FIG. 5 have been taken. That is, regarding the printed circuit 41, A,
In order to wire bond the three types B and C, each wire bonder 42, 43, 44 is used.
For each circuit board, floppy disks 45, 46, and 47 are prepared, into which reference signals for position recognition, such as a program for calculating the origin, are input.
When wire bonding is performed, the floppy disk corresponding to the type of workpiece is replaced each time. However, in an actual production line, there are many different types of workpieces, and it is necessary not only to have a program that corresponds to the type of workpiece, but also a program that corresponds to each wire bonder. Memorized floppy disks are frequently replaced.
このための交換作業時間も生産性の面から望ま
しくなく、また、新品種になると、その都度ワー
クの品種と当該ワイヤボンダに対応した補正プロ
グラムを作製しなおしする必要があり、改善が望
まれていた。 The time required for replacement work is also undesirable from a productivity standpoint, and each time a new product is introduced, it is necessary to create a correction program that corresponds to the workpiece type and the wire bonder in question. Improvements were desired. .
特に一台のマウンタに8台のワイヤボンダが並
列配置される実際の実装ラインにおいては、一品
種について8台のワイヤボンダを用いるため8台
のボンダ毎に適合したプログラムの作製が必要で
あつた。 Particularly in an actual mounting line where eight wire bonders are arranged in parallel on one mounter, eight wire bonders are used for one product, so it is necessary to create a program suitable for each of the eight bonders.
この発明は上記点に対処してなされたもので、
ワークの品種が変わる時のみ、その品種に対応し
他の装置にも共通なプログラムを内蔵した交換可
能な記憶装置を用いるボンデイング装置を提供す
るものである。
This invention was made in response to the above points,
To provide a bonding device that uses a replaceable storage device containing a program compatible with the type of workpiece and common to other devices only when the type of workpiece changes.
すなわち、ワークのボンデイング位置を撮像し
た出力と予め記憶された標準データを比較し位置
認識してボンデイングする装置において、上記位
置認識のための規準信号を算出して補正したのち
この規準信号を基に上記位置認識する機構を設け
てなるボンデイング装置を得るものである。
In other words, in a device that performs bonding by position recognition by comparing the output of an image of the bonding position of the workpiece with pre-stored standard data, the reference signal for the position recognition is calculated and corrected, and then based on this reference signal. The present invention provides a bonding device provided with the above-mentioned position recognition mechanism.
次に本発明装置をワイヤボンデイング装置に適
用した実施例を図面を参照して説明する。
Next, an embodiment in which the device of the present invention is applied to a wire bonding device will be described with reference to the drawings.
ワーク例えば印刷回路基板1について3台のワ
イヤボンデイング装置2,3,4によりワイヤボ
ンデイングする場合を第1図に示す。この図と第
5図と比較すると明らかなように印刷回路基板1
の各品種A,B,Cに対応したプログラムが記憶
されたフロツピーデイスク5は各ワイヤボンデイ
ング装置2,3,4に共通に使用できるようにな
つている。即ちワークの品種に対応したフロツピ
ーデイスクはどのワイヤボンデイング装置2,
3,4でも共通に使用できることである。このよ
うに、各ワイヤボンデイング装置2,3,4が共
通に使用できるようにするために次のような機構
が各ワイヤボンデイング装置2,3,4に内蔵さ
れる。各ワイヤボンデイング装置2,3,4は各
装置動作の規準信号が異なることである。この規
準信号はワイヤボンデイング装置においては例え
ば位置認識のための原点位置情報である。原点位
置情報はボンデイングツール6,7,8をボンデ
イング位置に順次プログラムに従つて移動させる
XYテーブル9,10,11やボンデイングツー
ル6,7,8をボンデイング位置上で上下方向に
移動させるZ軸方向駆動の原点情報である。この
原点情報は各ワイヤボンデイング装置2,3,4
毎にわずか異なるので、夫々のワイヤボンデイン
グ装置2,3,4毎に予め算出して各ワイヤボン
デイング装置2,3,4の原点情報が同一になる
如く補正した内容を、各ワイヤボンデイング装置
2,3,4のメモリに内蔵させる。 FIG. 1 shows a case where a workpiece, for example a printed circuit board 1, is wire bonded using three wire bonding apparatuses 2, 3, and 4. As is clear from comparing this figure with Fig. 5, printed circuit board 1
A floppy disk 5 in which programs corresponding to each type A, B, and C are stored can be commonly used for each wire bonding device 2, 3, and 4. In other words, which wire bonding device 2,
3 and 4 can be used in common. In this way, the following mechanism is built into each wire bonding device 2, 3, 4 so that each wire bonding device 2, 3, 4 can be used in common. Each wire bonding device 2, 3, 4 has a different reference signal for each device operation. This reference signal is, for example, origin position information for position recognition in the wire bonding apparatus. The origin position information is obtained by moving the bonding tools 6, 7, and 8 to the bonding position in sequence according to the program.
This is origin information for driving in the Z-axis direction to move the XY tables 9, 10, 11 and bonding tools 6, 7, 8 in the vertical direction above the bonding position. This origin information is used for each wire bonding device 2, 3, 4.
Since each wire bonding device 2, 3, and 4 is slightly different, the content that has been calculated in advance for each wire bonding device 2, 3, and 4 and corrected so that the origin information of each wire bonding device 2, 3, and 4 is the same is used for each wire bonding device 2, 3, and 4. It is built into memory 3 and 4.
この原点情報補正手段は次のようにして実行さ
れる。即ち、予め規準原点データ21をメモリに
記憶し、この記憶内容と当該ワイヤボンデイング
装置のボンデイングツールの原点情報22とを比
較照合23してずれ量を検知し24、このずれ量
が最小になる値を補正プログラム25としてメモ
リに記憶する。この補正プログラムを上記XYZ
の原点情報として予め各ワイヤボンデイング装置
2,3,4に内蔵しておくことである。 This origin information correction means is executed as follows. That is, the reference origin data 21 is stored in a memory in advance, and the stored content is compared and verified 23 with the origin information 22 of the bonding tool of the wire bonding apparatus to detect the amount of deviation 24, and a value at which this amount of deviation is minimized is determined. is stored in the memory as a correction program 25. This correction program above XYZ
This information is stored in each wire bonding device 2, 3, and 4 in advance as origin information.
この補正プログラム25を第3図に示すワイヤ
ボンデイング装置2,3,4の制御装置31に設
け、制御回路32の原点情報として用い、外部か
ら入力されたワークである取扱う印刷回路基板1
のフロツピーデイスクからのボンデイングプログ
ラムをランすることにより、XYテーブルやボン
デイングヘツドなどの被制御系33を正確に駆動
することができる。すなわち、印刷回路基板1へ
のワイヤボンデイングに際してボンデイング位置
の認識を、印刷回路基板1のボンデイング位置の
ITVカメラによる撮像出力と予め記憶された標
準データとを比較し、位置認識してボンデイング
する場合、第4図に示す如くまず上記補正プログ
ラムをランさせて、(ステツプA)規準信号を算
出し、Z軸変位センサで測定した(ステツプB)
測定値とZ軸標準高さと比較して(ステツプC)
ずれ量を算出し、このずれ量を上記規準信号で補
正(ステツプD)して位置認識し位置制御信号と
して扱うものである。 This correction program 25 is installed in the control device 31 of the wire bonding apparatuses 2, 3, and 4 shown in FIG.
By running the bonding program from the floppy disk, the controlled systems 33 such as the XY table and bonding head can be accurately driven. That is, when wire bonding to the printed circuit board 1, the bonding position can be recognized by
When bonding is performed by comparing the imaging output from the ITV camera with pre-stored standard data and recognizing the position, first run the above correction program as shown in FIG. 4, (Step A) calculate the standard signal, Measured with Z-axis displacement sensor (Step B)
Compare the measured value with the Z-axis standard height (Step C)
The amount of deviation is calculated, the amount of deviation is corrected using the reference signal (step D), the position is recognized, and the position is treated as a position control signal.
このように補正プログラムを各マシンに内蔵す
ることにより幾なる制御回路基板毎に専用のプロ
グラムを作製するだけで、これをワイヤボンデイ
ング装置の数だけフロツピーデイスクのコピーす
れば良いため、作業性が大幅に向上する。 By incorporating a correction program into each machine in this way, you can simply create a dedicated program for each control circuit board, and copy this onto a floppy disk for the number of wire bonding devices, which improves work efficiency. Significantly improved.
以上説明したように本発明装置によれば、各ワ
ークの品種毎に専用のプログラムを作製するだけ
で、各マシン共通にボンデイングできる効果があ
る。上記実施例ではワイヤボンデイング装置に適
用した例について説明したが、ボンデイング装置
であればダイボンダチツプマウンタのデイスーペ
パンサヘツド、マウントヘツドの位置認識にも適
用できる。
As explained above, according to the apparatus of the present invention, bonding can be performed commonly on all machines simply by creating a dedicated program for each type of workpiece. In the above embodiment, an example has been described in which the present invention is applied to a wire bonding apparatus, but the present invention can also be applied to position recognition of a day super panther head and a mount head of a die bonder chip mounter in the case of a bonding apparatus.
第1図は本発明装置の実施例を説明するための
構成図、第2図は第1図の補正プログラム説明
図、第3図は第2図を用いた制御系の説明図、第
4図は第3図制御による補正を説明するためのフ
ローチヤート、第5図は従来のワイヤボンデイン
グ装置の生産ライン説明図である。
1……回路基板、5……フロツピーデイスク、
2,3,4……ワイヤボンデイング装置。
Fig. 1 is a configuration diagram for explaining an embodiment of the device of the present invention, Fig. 2 is an explanatory diagram of the correction program of Fig. 1, Fig. 3 is an explanatory diagram of a control system using Fig. 2, and Fig. 4 FIG. 3 is a flowchart for explaining correction by control, and FIG. 5 is an explanatory diagram of a production line of a conventional wire bonding apparatus. 1... Circuit board, 5... Floppy disk,
2, 3, 4...Wire bonding equipment.
Claims (1)
予め記憶された標準データを比較し位置認識して
ボンデイングする装置において、上記位置認識の
ための規準信号を算出して補正したのち、この規
準信号を基に上記位置認識する機構を設けてなる
ことを特徴とするボンデイング装置。 2 位置認識のための規準信号は位置認識のため
の原点である特許請求の範囲第1項記載のボンデ
イング装置。 3 ボンデイング装置はワイヤボンデイング装置
である特許請求の範囲第1項記載のボンデイング
装置。[Claims] 1. In a device that performs bonding by position recognition by comparing the output of an image of the bonding position of the workpiece with pre-stored standard data, after calculating and correcting the reference signal for position recognition, A bonding device comprising the above-mentioned position recognition mechanism based on the reference signal. 2. The bonding apparatus according to claim 1, wherein the reference signal for position recognition is an origin for position recognition. 3. The bonding device according to claim 1, wherein the bonding device is a wire bonding device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60008374A JPS61168928A (en) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | Bonding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60008374A JPS61168928A (en) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | Bonding apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61168928A JPS61168928A (en) | 1986-07-30 |
JPH0546699B2 true JPH0546699B2 (en) | 1993-07-14 |
Family
ID=11691453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60008374A Granted JPS61168928A (en) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | Bonding apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61168928A (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2649805B2 (en) * | 1987-06-29 | 1997-09-03 | 東芝メカトロニクス株式会社 | Bonding equipment for semiconductor component manufacturing |
-
1985
- 1985-01-22 JP JP60008374A patent/JPS61168928A/en active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61168928A (en) | 1986-07-30 |
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