JPH0542994U - 真空炉用扉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空炉において、Ｏリング等のシ−ル材を損
傷することなく扉の開閉時間を短縮化する。 【構成】 炉体に設けた開口部４ｂの近傍で昇降駆動さ
れるフレ−ム１５に、扉１１ｂをリンク１３，１４を介
して連結し、扉の下降端位置において扉の下部を受止め
る受止部材１６と扉の後退位置を規制するストツパ１７
とをそなえた真空炉用扉装置において、フレ−ム昇降駆
動用の油圧シリンダ３１と給油管３４との間に昇降速度
切替装置４０を設け、電磁開閉弁５０を開いて低速で上
昇中の扉が、下降端位置より所定の小距離上昇した時点
で、リミツトスイツチ５１の出力信号Ｑにより電磁開閉
弁４９を開いてフレ−ム１５の上昇速度を高速に切替え
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は真空炉に用いる扉装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に連続式真空炉の処理室間の仕切扉としては、炉体に設けた開口部の近傍 で昇降駆動されるフレ−ムに、前記開口部密閉用の扉をリンクを介して連結し、 前記扉の下降端位置において前記扉の下部を受止める受止部材と前記扉の後退位 置を規制するストツパとを具備した扉装置が用いられている。この扉装置は、扉 の昇降と開口部に対する前後動による密閉および開放を、共通のリンク機構によ りフレ−ムの昇降運動を利用しておこなうことができ、構造が簡潔であるという 長所を有するものである。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところが上記扉装置においては、炉体の開口部の周縁と扉との間に設けたＯリ ングなどのシ−ル材を損傷しないように、開口部に対する扉の前後動はゆつくり おこなう必要があるが、従来はフレ−ムは単一の速度で昇降させていたので、上 記の扉前後動時の移動速度を基準としてフレ−ムの昇降速度を設定するため、扉 の昇降中の速度も遅いものであつた。

【０００４】 このため扉の低速上昇中に扉に付設したシ−ル材が高温の処理室からの放射熱 により焼損し、また扉の開閉中に隣合う処理室にワツクス分などを含む汚染ガス が侵入するとともに、高温側の処理室の放熱による温度損失が大きく、さらに真 空排気や雰囲気ガス送入などの次工程の開始までの時間がかかるなどの、多くの 問題をひきおこしていた。

【０００５】 この考案は上記従来の問題点を解決するもので、扉の上昇速度を大きく、扉の 開口部に対する前後動速度を小さくすることができ、Ｏリング等のシ−ル材を損 傷することなく開口部開閉時間を短縮できる真空炉用扉装置を提供しようとする ものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

しかしてこの考案の真空炉用扉装置は、炉体に設けた開口部の近傍で昇降駆動 されるフレ−ムに、前記開口部密閉用の扉をリンクを介して連結し、前記扉の下 降端位置において前記扉の下部を受止める受止部材と前記扉の後退位置を規制す るストツパとを具備してなる真空炉用扉装置において、前記フレ−ムの昇降駆動 装置に昇降速度切替装置を設け、前記扉の上昇駆動時において該扉が前記受止部 材からほぼ離間した時点で前記フレ−ムの上昇速度を低速から高速に切替えるよ うに構成したことを特徴とする。

【０００７】

【作用】

この考案の真空炉用扉装置においては、昇降速度切替装置により、扉の上昇駆 動開始時には所定の低速度でフレ−ムを上昇させて、扉が受止部材上で開口部か ら後退して該受止部材から離間した時点あるいはその前後の時点で、フレ−ムの 上昇速度を高速に切替えることにより、扉はフレ−ムと一体になつて高速で上昇 し、短時間で開放される。

【０００８】

【実施例】

以下図１乃至図３によりこの考案の一実施例を説明する。図中１は真空炉の炉 体で、端壁２ａと２ｂにより、処理室３ａと３ｂに区画されている。４ａは端壁 ２ａに設けた開口部、４ｂは端壁２ｂに設けた開口部、５は端壁２ａと２ｂの間 に形成した扉室で、この扉室５内には、扉装置１０の扉１１ａと１１ｂおよびそ の駆動機構部が配設されている。６は被処理物７の炉内搬送用のロ−ラである。

【０００９】 扉１１ａおよび１１ｂは、周縁部に気密シ−ル用のＯリングから成るシ−ル材 １２をそなえており、それぞれリンク１３および１４から成る平行リンクにより 、フレ−ム１５に連結されている。１６は端壁２（端壁２ａと２ｂの総称。以下 他の部分も同様に総称する。）に固設した受止部材で、扉１１の下端面をその下 降端位置において受止めるためのものである。また１７はフレ−ム１５に突設さ れたストツパで、開口部４開放中の扉１１の背面に当接して該扉の後退位置を規 制するためのものである。

【００１０】 図２に示すように、フレ−ム１５は上下方向に延びるガイドレ−ル１８により 昇降自在にガイドされており、１９はフレ−ム１５に軸支したロ−ラで、ガイド レ−ル１８に沿つて転動する。扉室５の壁８には、駆動軸２１と従動軸２２とが 、軸受２３および２４により回転自在に支持され、駆動軸２１に取付けたスプロ ケツト２５と従動軸２２に取付けたスプロケツト２６とに巻掛けたチエ−ン２７ の両端部がフレ−ム１５に接続されている。

【００１１】 駆動軸２１の扉室５外への突出端部にはスプロケツト２８が取付けてあり、こ のスプロケツト２８に巻掛けたチエ−ン２９の一端部は、昇降駆動装置３０の主 体をなす油圧シリンダ３１のピストンロツド３２に接続され、他端部はつり合お もり３３に接続されている。３４は図示しない油圧ポンプに接続された給油管、 ３５は昇降切替用の方向切替弁で、該弁の動作により配管３６と給油管３４が連 通するとピストンロツド３２は引込駆動されて扉１１は閉鎖方向に駆動され、配 管３７と給油管３４が連通するとピストンロツド３２は押出駆動されて扉１１は 開放方向に駆動される。

【００１２】 ４０は昇降速度切替装置で、フレ−ム１５の下降駆動時に開く逆止弁４１と、 フレ−ム下降時の高速設定用の絞り弁４２と、同じく低速設定用の高抵抗の絞り 弁４３と、電磁開閉弁４４と４５、およびフレ−ム上昇駆動時に開く逆止弁４６ と、フレ−ム上昇時の高速設定用の絞り弁４７と、同じく低速設定用の高抵抗の 絞り弁４８と、電磁開閉弁４９と５０とから成る。

【００１３】 ５１はピストンロツド３２により動作するリミツトスイツチで、下降中の扉１ １が受止部材１６に当接するよりも小距離手前（たとえば１０mm手前）の位置に 達したことを検出して、電磁開閉弁４４に閉信号Ｐを発するとともに、下降端位 置から上昇中の扉１１が受止部材１６当接位置から小距離上方（たとえば１０mm 上方）の位置に達したことを検出して、電磁開閉弁４９に開信号Ｑを発するもの である。

【００１４】 また５２は同じくピストンロツド３２により動作するリミツトスイツチで、上 昇中の扉１１の下端が開口部４の上縁９を通過したことを検出して、電磁開閉弁 ４９に閉信号Ｒを発するものである。

【００１５】 上記構成の扉装置６０において、図１の扉開放状態から扉１１を閉じるには、 図示しない扉制御装置の発する下降指令により、方向切替弁３５の切替および電 磁開閉弁４４と４５の開放をおこない、ピストンロツド３２を高速で引込駆動し て、フレ−ム１５と扉１１を高速度で下降させる。扉１１が下降端位置の小距離 手前の位置に達した時点で、リミツトスイツチ５１の発する出力信号Ｐにより、 電磁開閉弁４４は閉じ、電磁開閉弁４５のみが開いているので、フレ−ム１５の 下降速度は低速に切替えられ、扉１１は低速で受止部材１６に当接後、さらに低 速で下降するフレ−ム１５によつてリンク１３，１４を介して前進駆動され，シ −ル材１２は低速で端壁２に圧接され、開口部４を密閉する。密閉後は、タイマ 等により方向切替弁３５を中立位置に戻し、電磁開閉弁４５を閉じればよい。

【００１６】 図３の扉閉鎖状態から扉１１を開くには、扉制御装置の上昇指令により、方向 切替弁３５の切替および電磁開閉弁５０の開放をおこない、先ずフレ−ム１５を 低速で上昇駆動して、扉１１を端壁２から低速で後退離間させ、ストツパ１７に 当接して扉１１がフレ−ム１５と共に小距離上昇した時点で、リミツトスイツチ ５１の出力信号Ｑにより電磁開閉弁４９を開き、扉を高速で上昇駆動する。扉１ １の下端が開口部４をほぼ通過した時点でリミツトスイツチ５２の出力信号Ｒに より電磁開閉弁４９が閉じ、扉１１の上昇速度は低速に減速され、扉１１が上昇 端に達したら、図示しないリミツトスイツチの出力信号により方向切替弁３５を 中立位置に戻し、各電磁開閉弁を閉じる。

【００１７】 このように扉１１は高速で開口部４を通過するので、シ−ル材１２が高温の処 理室３からの放射熱に長時間さらされ焼損することがない。

【００１８】 次に図４はこの考案の他の実施例を示し、昇降速度切替装置４０を給油管３４ の途中に設けて、上昇下降兼用のものとし、高速調整用の絞り弁を省略し、さら に扉１１の上昇端手前位置に設けたリミツトスイツチ５２を省略した点が、前記 実施例と異なる。電磁開閉弁７１および７２の開放時にフレ−ム１５は高速で昇 降し、電磁開閉弁７１を閉じ電磁開閉弁７２のみを開放した状態とすることによ り絞り弁７３の抵抗値に応じてフレ−ム１５は低速で昇降するものであり、その 速度切替動作は図１の実施例と同様なので説明を省略する。なお図中、図１と同 一部分には同一符号を付してある。

【００１９】 この考案は上記各実施例に限定されるものではなく、たとえばフレ−ム１５の 高低速の切替えは、扉１１の下降端位置付近であれば、他の位置でおこなつても よい。またたとえば図２の昇降速度切替装置４０において、フレ−ム１５の高速 駆動時には、電磁開閉弁４４（下降時）または４９（上昇時）のみを開き、低速 への切替時にはこれらの弁を閉じて、代りに電磁開閉弁４５（下降時）または５ ０（上昇時）を開くようにしてもよい。

【００２０】 また上記各実施例では扉１１の下降駆動時にも、フレ−ム１５の下降終期を除 く範囲に高速域を設けたので、扉１１の下降速度を大きく、かつ開口部４に向う 前進速度は小さくすることができ、扉１１の開閉所要時間の短縮化に一層効果的 であるが、扉１１の開放と被処理物７の移送により処理室３の温度は降下するた め扉下降中にシ−ル材１２が焼損することは少ないので、たとえば図２の昇降速 度切替装置４０において電磁開閉弁４４と絞り弁４２およびその接続管路を省略 して、フレ−ム下降駆動時には高速駆動域を設けずに、全域を低速で下降駆動す るようにしてもよい。

【００２１】 またこの考案は、フレ−ム１５の片側にのみ扉１１を設けたものや、フレ−ム １５の片側にリンク１３，１４を介して扉１１を連結し他側には扉を固設した形 式の扉を用いる扉装置にも適用できる。

【００２２】 さらにこの考案は、チエ−ン２７を介さずにシリンダのピストンロツドを直接 フレ−ム１５に連結してフレ−ム１５の昇降駆動をおこなうものや、シリンダの かわり電動機を原動機として駆動軸２１を回転駆動する扉装置等にも適用でき、 電動機式の場合は、２段乃至多段変速あるいは無段変速式の制御回路を昇降速度 切替装置として用いることができる。

【００２３】

【考案の効果】

以上説明したようにこの考案によれば、昇降速度切替装置によつて、扉の上昇 速度を大きく、扉の開口部に対する前後動速度を小さくすることができるので、 Ｏリング等のシ−ル材を損傷することなく開口部開閉時間を短縮でき、シ−ル材 の焼損を防止できるとともに、処理室への汚染ガスの侵入や処理室からの熱放散 が低減化され、扉の緩速開閉によるロスタイムが減少し炉の生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例を示す真空炉用扉装置の縦
断面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】図１の扉装置の扉閉鎖状態の縦断面図である。

【図４】この考案の他の実施例を示す昇降駆動装置の油
圧回路図である。

【符号の説明】

１…炉体、２ａ…端壁、２ｂ…端壁、４ａ…開口部、４
ｂ…開口部、１０…扉装置、１１ａ…扉、１１ｂ…扉、
１３…リンク、１４…リンク、１５…フレ−ム、１６…
受止部材、１７…ストツパ、１８…ガイドレ−ル、２１
…駆動軸、２２…従動軸、２７…チエ−ン、２９…チエ
−ン、３０…昇降駆動装置、３１…油圧シリンダ、３２
…ピストンロツド、３４…給油管、３５…方向切替弁、
４０…昇降速度切替装置、４１…逆止弁、４２…絞り
弁、４３…絞り弁、４４…電磁開閉弁、４５…電磁開閉
弁、４６…逆止弁、４７…絞り弁、４８…絞り弁、４９
…電磁開閉弁、５０…電磁開閉弁、５１…リミツトスイ
ツチ、５２…リミツトスイツチ、６０…扉装置、７０…
昇降速度切替装置、７１…電磁開閉弁、７２…電磁開閉
弁、７３…絞り弁。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 炉体に設けた開口部の近傍で昇降駆動さ
   れるフレ−ムに、前記開口部密閉用の扉をリンクを介し
   て連結し、前記扉の下降端位置において前記扉の下部を
   受止める受止部材と前記扉の後退位置を規制するストツ
   パとを具備してなる真空炉用扉装置において、前記フレ
   −ムの昇降駆動装置に昇降速度切替装置を設け、前記扉
   の上昇駆動時において該扉が前記受止部材からほぼ離間
   した時点で前記フレ−ムの上昇速度を低速から高速に切
   替えるように構成したことを特徴とする真空炉用扉装
   置。