JPH0542307Y2

JPH0542307Y2 -

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Publication number: JPH0542307Y2
Application number: JP1988146750U
Authority: JP
Priority date: 1988-11-10
Filing date: 1988-11-10
Publication date: 1993-10-25
Anticipated expiration: 2003-10-25
Also published as: JPH0267182U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は高真空バルブに関するものである。

（従来技術とその問題点）従来、この種の高真空バルブは全体が円筒状に
形成され、ピストンを収容するシリンダ部と２つ
の筒口を開口したバルブ本体とを有し、上記ピス
トンを摺動させて弁座又はベローを上記２つの筒
口の開き位置と閉じ位置とに移動させることによ
り、上記２つの筒口を開閉するものであつた。

ところで、上記筒口の一方は円筒状のバルブ本
体の側面に開口部を形成し、該開口部の周縁部に
筒体の一方の端面を溶接することにより形成され
ている。しかしながら、バルブ本体の側面は曲面
であるから、このような曲面に筒体を溶接すると
きは、バルブ本体に歪みが生じ、バルブ本体の側
面形状が変形し、非円筒となつてしまう。このた
め、シリンダ部との連結が完全に行なわれないの
で、溶接後にバルブ本体を再加工する必要があつ
た。

また、ピストンを収容するシリンダ部も円筒状
に形成され、その内部にはピストンを摺動させる
円孔とその底面とが形成されているが、円孔内壁
と底面との境界は、かなりの精度を要するので、
施盤によつて加工せざるを得なかつた。

したがつて、従来の高真空バルブは、溶接時の
歪み補正のための再加工やシリンダ部に要求され
る加工精度のため、高価にならざるを得なかつ
た。

（考案の目的）本考案は上記欠点を解消し、特に筒口の溶接及
びシリンダ部の成形を容易にすることにより、安
価に製造することができる高真空バルブを提案す
ることをその技術的課題とする。

（目的を達成するための手段）上記目的を達成するための手段として、本考案
に係る高真空バルブは、ピストンを摺動自在に収
容したシリンダ部と、側面と底面にそれぞれ筒口
を開口したバルブ本体部とを上下に連設し、上記
ピストンを摺動させて該ピストンのピストンロツ
ドに固定した弁座又はベローを上記バルブ本体部
において上記２つの筒口の開き位置と閉じ位置と
に移動させることにより、上記２つの筒口を開閉
する高真空バルブにおいて、上記シリンダ部をピストンが摺動する円孔を貫
通したシリンダ本体部と上記円孔の底部を構成す
る中間フランジ部とに分割形成するとともに、上
記バルブ本体部の外形を角筒形に形成し、該バル
ブ本体部の側面と底部の開口部に上記各筒口を構
成する筒体を溶接したことを特徴とする。

（考案の作用、効果）上述のように、シリンダ本体部には筒口が形成
されているが、バルブ本体部は外形が角筒状に形
成されているので、その側面と底部の開口部に筒
体を溶接するときに、特に側面の開口部の周縁及
び筒体の基部はともに平面状に形成され、このた
め溶接時にバルブ本体部に歪みが生じることがな
い。したがつて、溶接後に再加工する必要がな
い。

また、シリンダ本体部はピストンを摺動させる
円孔が貫通形成される構成であるから、アルミニ
ウム又はその合金を押出し加工又は引き抜き加工
処理することにより、簡単に成形することができ
る。

さらに、シリンダ本体部と中間フランジ部が分
割構成されているので、両者の結合により円孔の
内壁とその底面との境界を容易に出すことができ
る。

このように、バルブ本体部及びシリンダ部はい
ずれも、簡単に成形することができるほか、これ
らの部品の一体結合もボルト締めによつて行なえ
ばよいので、組み立ても簡単に行なうことができ
る。したがつて、高真空バルブを安価に製造する
ことができる。

（実施例）以下、図面によつて本考案の実施例について説
明する。

図において符号Ａは高真空バルブを示す。この
高真空バルブＡは、全体の外形が角筒状に形成さ
れ、ピストン３を収容したシリンダ部１と、２つ
の筒口２ａ，２ｂを開口したバルブ本体部２とを
連設してなり、上記シリンダ部１はさらにシリン
ダ本体部１ａと中間フランジ部１ｂとから分割構
成されている。

シリンダ本体部１ａの隅部にはボルト挿通孔４
ａが形成され、中央部にはピストン３を摺動自在
に収容する円孔５が貫通形成され、さらにシリン
ダ本体部１ａの側壁の上下部には透孔６，７が形
成されている。なお、シリンダ本体部１ａの上端
は閉鎖され、その上にはキヤツプ８が固定されて
いる。

中間フランジ部１ｂは上記シリンダ本体部１ａ
の円孔５の底部５ａを構成するもので、中央部に
は上記と一体に結合されたピストンロツド９の摺
動を案内する案内孔１０が開口され、隅部にはボ
ルト挿通孔４ｂが形成されている。該案内孔１０
の内壁にはピストンロツド９の周面をシールする
ために２つのＯリング１２，１３が設けられてい
る。また、上記ピストンロツド９の下部にはベロ
ー１４が取付けられ、該ベロー１４はバルブ本体
部２に位置している。

次に、バルブ本体部２の上端には受座２０が溶
接固定されている。この受座２０の隅部にはボル
ト受孔４ｃが形成されている。

バルブ本体部２の内部は空洞状に形成され、そ
の側部と下部にそれぞれ筒口２ａ，２ｂが設けら
れている。各筒口２ａ，２ｂはバルブ本体部２の
外側壁に形成された開口部の周縁に筒体１８を溶
接固定することにより形成されている。そして、
上記ベロー１４の下面に取付けられたＯリング１
５は、下部の筒口２ｂの内側周縁１９に当接可能
に配置されている。

次に、上記高真空バルブＡは、予め中間フラン
ジ部１ｂの案内孔１０を貫通させたピストンロツ
ド９の端部にベロー１４を取付けておき、バルブ
本体２の内部に上記ベロー１４を入れるととも
に、バルブ本体部２の上部に中間フランジ部１ｂ
を、さらにその上にシリンダ本体部１ａを配置し
てをシリンダ本体部１ａの円孔５内部に挿入した
後、これら各部材の隅部のボルト挿通孔４ａ，４
ｂにボルト１６を挿通させ、該ボルト１６をバル
ブ本体部２のボルト受孔４ｃに螺着させることに
より一体に形成されている。

次に、上記高真空バルブＡの使用態様について
説明する。まず、シリンダ本体部１ａの上部透孔
６から圧縮空気を送り込むと、その空気圧はピス
トン３の上面に作用するから、ピストン３は下方
に摺動し、ベロー１４の下面のＯリング１５はバ
ルブ本体部２の下部筒口２ｂの内側周縁に強く当
接する。これにより、下部筒口２ｂと側部筒口２
ａとの連通は遮断され、両筒口２ａ，２ｂは閉じ
状態となる。逆に、シリンダ本体部１ａの下部透
孔７から圧縮空気を送り込むと、その空気圧はピ
ストン３の下面に作用するから、は上方に摺動
し、ベロー１４の下面のＯリング１５はバルブ本
体部２の下部筒口２ａ，２ｂの内側周縁から離れ
る。これにより、下部筒口２ｂと側部筒口２ａと
は連通し、両筒口２ａ，２ｂは開き状態となる。
このように、上下部の透孔６，７からの圧縮空気
の供給により、筒口２ａ，２ｂの開閉を制御する
ことができる。

ところで、上記高真空バルブＡにおいて、バル
ブ本体部２の内側は高真空になるので、強度が要
求される。このため、バルブ本体部２はステンレ
ス等から構成するのが好ましい。そして、上記バ
ルブ本体部２の側面には筒口２ａが形成されてい
るが、バルブ本体部２は外形が角筒状に形成され
ているので、第３図に示すように、特にその側面
の開口部１７に筒体１８を溶接するときに、開口
部１７の周縁及び筒体１８の基部はともに平面状
に形成されているので、溶接時にバルブ本体部２
に歪みが生じることがない。したがつて、溶接後
に再加工する必要がない。

また、シリンダ本体部１ａはアルミニウム又は
その合金を押出し加工又は引き抜き加工処理する
ことにより、簡単に成形することができる。

さらに、シリンダ本体部１ａと中間フランジ部
１ｂが分割構成されているので、円孔５の内壁と
その底部５ａとの境界を容易に出すことができ
る。これに対し、従来はシリンダ部に円孔とその
底部とを単一部材に形成していたので、円孔内壁
と底面との境界の加工が非常に面倒であつた。な
お、中間フランジ部もアルミニウム又はその合金
により簡単に成形加工することができる。

このように、バルブ本体部２及びシリンダ部１
はいずれも、簡単に成形することができるほか、
これらの部品の一体結合もボルト締めによつて行
なえばよいので、組み立ても簡単に行なうことが
できる。したがつて、高真空バルブＡは安価に製
造することができる。

なお、上記高真空バルブＡにおいて、ピストン
ロツド９の先端にはベロー１４に代えて、弁座を
取付ける構成であつてもよく、また、下部透孔７
は中間フランジ部１ｂに形成する構成であつても
よい。さらに、中間フランジ部１ｂ、シリンダ本
体部１ａの外形は必ずしも角筒状である必要はな
い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る高真空バルブの斜面図、
第２図は上記高真空バルブの縦断面図、第３図は
上記高真空バルブの分解斜視図である。符号、Ａ……高真空バルブ、１……シリンダ
部、１ａ……シリンダ本体部、１ｂ……中間フラ
ンジ部、２……バルブ本体部、２ａ，２ｂ……筒
口、５……円孔、９……ピストンロツド、１４…
…ベロー。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】ピストンを摺動自在に収容したシリンダ部と、
側面と底面にそれぞれ筒口を開口したバルブ本体
部とを上下に連設し、上記ピストンを摺動させて
該ピストンのピストンロツドに固定した弁座又は
ベローを上記バルブ本体部において上記２つの筒
口の開き位置と閉じ位置とに移動させることによ
り、上記２つの筒口を開閉する高真空バルブにお
いて、上記シリンダ部をピストンが摺動する円孔を貫
通したシリンダ本体部と上記円孔の底部を構成す
る中間フランジ部とに分割形成するとともに、上
記バルブ本体部の外形を角筒形に形成し、該バル
ブ本体部の側面と底部の開口部に上記各筒口を構
成する筒体を溶接したことを特徴とする高真空バ
ルブ。