JPH0539568Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0539568Y2 JPH0539568Y2 JP1988167688U JP16768888U JPH0539568Y2 JP H0539568 Y2 JPH0539568 Y2 JP H0539568Y2 JP 1988167688 U JP1988167688 U JP 1988167688U JP 16768888 U JP16768888 U JP 16768888U JP H0539568 Y2 JPH0539568 Y2 JP H0539568Y2
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- Japan
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- anode
- light
- cathode
- internal lead
- emitting bulb
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
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Landscapes
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔技術の属する分野〕
本考案は直流電源で使用されるシヨートアーク
型高圧水銀灯に関する。
型高圧水銀灯に関する。
直流電源で点灯使用されるシヨートアーク型の
高圧水銀灯は、耐熱温度の高い石英ガラスよりな
る発光バルブ内にタングステン製の陽極と陰極と
を、電極間距離１mm乃至６mm程度保つて配置し、
内部に始動用ガスと共に点灯時蒸気圧が１気圧前
後から50気圧になる程度の量の水銀を封入してい
る。
高圧水銀灯は、耐熱温度の高い石英ガラスよりな
る発光バルブ内にタングステン製の陽極と陰極と
を、電極間距離１mm乃至６mm程度保つて配置し、
内部に始動用ガスと共に点灯時蒸気圧が１気圧前
後から50気圧になる程度の量の水銀を封入してい
る。
このような放電灯は電極間距離が短かくて高輝
度が得られることから半導体露光装置用の光源等
に好んで使用されている。ところで近時、半導体
露光装置用の光源としては、半導体ウエハの大型
化、スループツトの増大（露光処理時間の短縮）
等の関係から大出力化の傾向がある。比較的小出
力のものは、例えば実願昭49−102752（実開昭51
−30377）に解説された構造の放電灯で十分であ
るが、消費電力が1KW以上のものでは、更に改
良の必要のあることが分つた。
度が得られることから半導体露光装置用の光源等
に好んで使用されている。ところで近時、半導体
露光装置用の光源としては、半導体ウエハの大型
化、スループツトの増大（露光処理時間の短縮）
等の関係から大出力化の傾向がある。比較的小出
力のものは、例えば実願昭49−102752（実開昭51
−30377）に解説された構造の放電灯で十分であ
るが、消費電力が1KW以上のものでは、更に改
良の必要のあることが分つた。
従来の放電灯について、上記出願を参考にして
述べると以下の問題点がある。
述べると以下の問題点がある。
第２図は従来のシヨートアーク型高圧水銀灯の
概略説明図である。図において、１は発光バル
ブ、２は発光空間、３と４は陰極と陽極であつ
て、消費電力が小さい場合は、電極胴体部３ａと
４ａとが内部リード棒を兼務している。５と６
は、外部電源と接続される外部リード棒９と１０
と前記内部リード棒とを接続するモリブデン金属
箔であつて、５ａと６ａはそれぞれの接続部であ
る。７と８は、前記発光バルブ１の両端から伸び
る枝管部であつて、上記のとうり、消費電力が小
さいものでは、電極が小さく、したがつて電極と
内部リード棒の重量も大きくないので、枝管部は
短く、内部リード棒を保持する距離l1，l2は小さ
い。尚、１１は、温度調節用のサブコイルであ
る。
概略説明図である。図において、１は発光バル
ブ、２は発光空間、３と４は陰極と陽極であつ
て、消費電力が小さい場合は、電極胴体部３ａと
４ａとが内部リード棒を兼務している。５と６
は、外部電源と接続される外部リード棒９と１０
と前記内部リード棒とを接続するモリブデン金属
箔であつて、５ａと６ａはそれぞれの接続部であ
る。７と８は、前記発光バルブ１の両端から伸び
る枝管部であつて、上記のとうり、消費電力が小
さいものでは、電極が小さく、したがつて電極と
内部リード棒の重量も大きくないので、枝管部は
短く、内部リード棒を保持する距離l1，l2は小さ
い。尚、１１は、温度調節用のサブコイルであ
る。
しかしながら消費電力が1KW以上にもなつて
くると、電流値の関係から、電極、特に電子衝突
を受ける陽極を大きくすること及びそれに見合つ
て、かつ接続部６ａの温度上昇を抑制するため内
部リード棒も太く、かつ長くする必要がある。し
たがつて内部リード棒と枝管部とが作る間隙１２
の体積が大きくなるばかりでなく、発光空間より
見て「深く」なり、使用を繰り返している内にこ
の奥に逃げ込んだ水銀が著しく蒸発しにくいこと
が分り、放電灯としての要求性能が点灯使用時す
ぐ発揮されないという欠点がある。
くると、電流値の関係から、電極、特に電子衝突
を受ける陽極を大きくすること及びそれに見合つ
て、かつ接続部６ａの温度上昇を抑制するため内
部リード棒も太く、かつ長くする必要がある。し
たがつて内部リード棒と枝管部とが作る間隙１２
の体積が大きくなるばかりでなく、発光空間より
見て「深く」なり、使用を繰り返している内にこ
の奥に逃げ込んだ水銀が著しく蒸発しにくいこと
が分り、放電灯としての要求性能が点灯使用時す
ぐ発揮されないという欠点がある。
前記の間隙の大きさは、普通内部リード棒（金
属）の膨張係数と枝管部の石英ガラスの膨張係数
とが数十倍異なることから、その膨張による内部
リード棒の増加分だけ見積もつておけば良いわけ
であるが、実際には余裕をもたせるので案外大き
い場合もある。
属）の膨張係数と枝管部の石英ガラスの膨張係数
とが数十倍異なることから、その膨張による内部
リード棒の増加分だけ見積もつておけば良いわけ
であるが、実際には余裕をもたせるので案外大き
い場合もある。
本考案の目的は、比較的消費電力が大きく、特
に消費電力が1KW以上であつて、陽極側の内部
リード棒の長いシヨートアーク型高圧水銀灯にお
いて、上記のように、該リード棒の奥の方に逃げ
込んでしまう水銀が出来るだけ早く気化されるよ
うに構成した放電灯を提供することにある。
に消費電力が1KW以上であつて、陽極側の内部
リード棒の長いシヨートアーク型高圧水銀灯にお
いて、上記のように、該リード棒の奥の方に逃げ
込んでしまう水銀が出来るだけ早く気化されるよ
うに構成した放電灯を提供することにある。
本考案の目的を達成するため、シヨートアーク
型高圧水銀灯を、 放電空間を取り囲む発光バルブとその両端に続
く枝管部と、 発光バルブ内に対設された陰極と陽極と、 該陰極と該陽極とを支持し、該枝管部に保持さ
れる内部リード棒と、 該内部リード棒に、該棒と外部電源とを連絡す
る気密封止金属箔を接続してなり、 少なくとも陽極側において、発光バルブの端部
から該陽極と該金属箔の接続部までの枝管部表面
に保温膜を形成して構成する。
型高圧水銀灯を、 放電空間を取り囲む発光バルブとその両端に続
く枝管部と、 発光バルブ内に対設された陰極と陽極と、 該陰極と該陽極とを支持し、該枝管部に保持さ
れる内部リード棒と、 該内部リード棒に、該棒と外部電源とを連絡す
る気密封止金属箔を接続してなり、 少なくとも陽極側において、発光バルブの端部
から該陽極と該金属箔の接続部までの枝管部表面
に保温膜を形成して構成する。
枝管部が早く昇温するので、間隙の深い所にあ
る水銀も早く蒸発して所定の圧力になる。特に、
シヨートアーク型の高圧水銀灯において、陽極を
下方に位置して点灯使用する場合は、この下方に
位置した枝管部の昇温が遅いのが普通であるが、
上記構成の水銀灯では昇温が早い。したがつて点
灯直後の所定の光量を放射するまでの時間も短縮
できる。
る水銀も早く蒸発して所定の圧力になる。特に、
シヨートアーク型の高圧水銀灯において、陽極を
下方に位置して点灯使用する場合は、この下方に
位置した枝管部の昇温が遅いのが普通であるが、
上記構成の水銀灯では昇温が早い。したがつて点
灯直後の所定の光量を放射するまでの時間も短縮
できる。
第１図は本考案に係るシヨートアーク型高圧水
銀灯の実施例の説明図である。
銀灯の実施例の説明図である。
図において、１３と４はそれぞれ陰極内部リー
ド棒と陽極内部リード棒であつて、設計例の一例
を述べると消費電極2KW、電流が53Aであり、
したがつて、陰極内部リード棒としては直径６
mm、長さ40mm、陽極内部リード棒としては直径６
mm、長さ30mmのタングステンもしくはモリブデン
を使用する。点灯使用時は、陽極を下方、陰極を
上方とする。そして図示のとうり、陰極及び陽極
のそれぞれの胴体部とは別体のものから構成して
いる。接続部１３ａと１４ａとは既知の如く点灯
使用中で400℃以上の温度に抑制するように設計
したり、またその設計の範囲内で使用するのが良
い。金属箔は、１枚使用で電流容量が不足であれ
ば、２枚組みにすれば良いことは既知である。
ド棒と陽極内部リード棒であつて、設計例の一例
を述べると消費電極2KW、電流が53Aであり、
したがつて、陰極内部リード棒としては直径６
mm、長さ40mm、陽極内部リード棒としては直径６
mm、長さ30mmのタングステンもしくはモリブデン
を使用する。点灯使用時は、陽極を下方、陰極を
上方とする。そして図示のとうり、陰極及び陽極
のそれぞれの胴体部とは別体のものから構成して
いる。接続部１３ａと１４ａとは既知の如く点灯
使用中で400℃以上の温度に抑制するように設計
したり、またその設計の範囲内で使用するのが良
い。金属箔は、１枚使用で電流容量が不足であれ
ば、２枚組みにすれば良いことは既知である。
上記のように内部リード棒が長いので、本考案
においては、発光バルブの端部１ａから接続部１
４ａの近傍にまたがる枝管部L2の区域の表面に
保温膜１５を設ける。理想的には、間隙の形成さ
れる区域全域、つまり接続部１４ａを含めた区域
L1に保温膜１５を設けると良い。
においては、発光バルブの端部１ａから接続部１
４ａの近傍にまたがる枝管部L2の区域の表面に
保温膜１５を設ける。理想的には、間隙の形成さ
れる区域全域、つまり接続部１４ａを含めた区域
L1に保温膜１５を設けると良い。
上記実施例においては、保温膜１５は陰極側に
は設けていないが、勿論、それを設けた方が更に
良くなる。ただし、陰極の設計は、陽極の設計と
は考え方がかなり異なつているので、設けないで
済ませることもできるし、内部リード棒は陰極胴
体部を延長させて兼務できる。
は設けていないが、勿論、それを設けた方が更に
良くなる。ただし、陰極の設計は、陽極の設計と
は考え方がかなり異なつているので、設けないで
済ませることもできるし、内部リード棒は陰極胴
体部を延長させて兼務できる。
膜の材質としては、金膜、白金膜のような金属
膜の他に、セラミツク類のコーテイングでも良
い。
膜の他に、セラミツク類のコーテイングでも良
い。
本考案は上記実施例からも理解できるように、
シヨートアーク型の高圧水銀灯において、消費電
力が大きくなり、それにともなつて陽極及び陽極
を支持する内部リード棒が大きくなつてくること
にともなうシヨートアーク型高圧水銀灯独特の封
入水銀問題について、封入水銀が内部リード棒の
金属箔接続部近傍の深いところまで逃げ込んで生
ずる蒸発のしにさの問題を解決し、放電灯の繰り
返し使用にあたつて、特に、陽極を下方、陰極を
上方にして垂直点灯するような使い方において、
早く水銀が蒸発して所定の圧力になる。したがつ
て半導体露光用装置などで要求される処理時間の
短縮に適した放電灯が提供できる。更に、安定放
電後も１４ａを400℃以上に容易に保て、外部か
らの冷却に対しても安定して水銀を蒸発させ規定
圧力を保てる。
シヨートアーク型の高圧水銀灯において、消費電
力が大きくなり、それにともなつて陽極及び陽極
を支持する内部リード棒が大きくなつてくること
にともなうシヨートアーク型高圧水銀灯独特の封
入水銀問題について、封入水銀が内部リード棒の
金属箔接続部近傍の深いところまで逃げ込んで生
ずる蒸発のしにさの問題を解決し、放電灯の繰り
返し使用にあたつて、特に、陽極を下方、陰極を
上方にして垂直点灯するような使い方において、
早く水銀が蒸発して所定の圧力になる。したがつ
て半導体露光用装置などで要求される処理時間の
短縮に適した放電灯が提供できる。更に、安定放
電後も１４ａを400℃以上に容易に保て、外部か
らの冷却に対しても安定して水銀を蒸発させ規定
圧力を保てる。
第１図は本考案シヨートアーク型高圧水銀灯の
実施例の説明図、第２図は従来のシヨートアーク
型高圧水銀灯の説明図である。 図において、１は発光バルブ、２は発光空間、
３は陰極、４は陽極、５と６は金属箔、７と８は
枝管部、９と１０は外部リード棒、１３は陰極リ
ード棒、１４は陽極リード棒、１５は保温膜を示
す。
実施例の説明図、第２図は従来のシヨートアーク
型高圧水銀灯の説明図である。 図において、１は発光バルブ、２は発光空間、
３は陰極、４は陽極、５と６は金属箔、７と８は
枝管部、９と１０は外部リード棒、１３は陰極リ
ード棒、１４は陽極リード棒、１５は保温膜を示
す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 放電空間を取り囲む発光バルブとその両端に続
く枝管部と、 発光バルブ内に対設された陰極と陽極と、 該陰極と該陽極とを支持し、該枝管部に保持さ
れる内部リード棒と、 該内部リード棒に、該棒と外部電源とを連絡す
る気密封止金属箔を接続してなり、 少なくとも陽極側において、発光バルブの端部
から該陽極と該金属箔の接続部近傍もしくはそれ
までの枝管部表面に保温膜を形成し、陽極を下方
に位置して使用されることを特徴とするシヨート
アーク型高圧水銀灯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988167688U JPH0539568Y2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988167688U JPH0539568Y2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0289766U JPH0289766U (ja) | 1990-07-17 |
| JPH0539568Y2 true JPH0539568Y2 (ja) | 1993-10-07 |
Family
ID=31699667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988167688U Expired - Lifetime JPH0539568Y2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0539568Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63131457A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-03 | Toshiba Corp | 高圧放電灯 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6087156U (ja) * | 1983-11-16 | 1985-06-15 | 東芝ライテック株式会社 | 小型メタルハライドランプ |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP1988167688U patent/JPH0539568Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63131457A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-03 | Toshiba Corp | 高圧放電灯 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0289766U (ja) | 1990-07-17 |
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