JPH0537377U - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 表面に凹凸のある被洗浄物に残留付着する水
滴を確実、かつ、均一的に除去する。 【構成】 多数の電子部品を実装する回路基板からなる
被洗浄物４をパレット５のレール６に嵌入して被洗浄物
４をパレット５に所定間隔を置いて平行にセットする。
第１乃至第３のエアブロー槽８，10，12には被洗浄物４
間に位置してノズル18を配置し、このノズル18から各被
洗浄物４に向けてエアを噴射するとともに、ノズル18を
駆動装置であるエアシリンダ23によって各被洗浄物４に
沿わせて移動する。 【効果】 被洗浄物４に沿わせてノズル18を移動する
ことによって、被洗浄物４のノズル18からのエアをムラ
なく噴射して洗浄工程後に被洗浄物に残留する水滴を除
去できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電子部品を実装する回路基板などの被洗浄物にノズルからの圧流体 を噴射して被洗浄物を水きり除去する洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、例えば特開昭６３−３１５１８２号公報等に開示される洗浄装置は洗浄 液を収容した洗浄槽にシリコンウェハー等の板状の被洗浄物を間隔を置いて浸漬 し、この被洗浄物の側縁に固定的に配置するノズルから洗浄液を各被洗浄物間に 噴射して被洗浄物の外面付着物を除去する洗浄装置が開示されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来例においては、ノズルの噴射圧によって、被洗浄物間に洗浄液の乱流 を生じさせ、その撹拌作用によって被洗浄物外面の付着物を除去するものである が、この種の装置は、前記ノズルからエアを高圧噴射することによって、洗浄工 程後における水切り用としての利用が可能である。しかし、従来装置においては 、ノズルが被洗浄物の側縁に固定的に配置されているため、平坦な平板状の被洗 浄物に対して効果があるものの、表面に凹凸のある形状の複雑な例えば、多数の 電子部品を実装する回路基板などの被洗浄物においては、電子部品と回路基板と の空隙や電子部品の影に隠れた部分などではノズルから噴射されるエアの作用が 低く、このような部分では洗浄工程時に付着する水滴を効果的に除去することが 困難であるうえに被洗浄物の側縁に配置するノズルから離反する被洗浄物の中央 部分においては、エアの噴射圧も減衰することから、電子部品を実装する回路基 板の中央部分は水滴が残ってしまい、均一的に水切りすることができないという 課題を有している。

【０００４】 本考案はこのような課題に基づいて成されたものあり、洗浄工程時に被洗浄物 に残留付着する水滴を確実、かつ、均一的に除去することができる洗浄装置を提 供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、パレットに複数の被洗浄物を間隔を置いて並設し、この各被洗浄物 の間にノズルからの圧流体を噴射して被洗浄物の付着物を除去する洗浄装置にお いて、前記ノズルまたは被洗浄物を移動させる駆動装置を設け、被洗浄物に対す るノズルの噴射位置を移動可能に設けたものである。

【０００６】

【作用】

本考案は上記構成により、ノズルからのエアを被洗浄物全域に渡ってムラなく 噴射し、被洗浄物に残留付着する水滴を確実、かつ、均一的に除去できる。

【０００７】

【実施例】

以下本考案の実施例を添付図面を参照して説明する。

【０００８】 図１乃至図３は本考案の一実施例を示し、洗浄機１には一側に搬入部となる搬 入台２が設けられ、他側には搬出部となる搬出台３が設けられており、この搬入 台２から搬出台３に至る搬送路に沿って例えば、多数の電子部品を実装する回路 基板などからなる被洗浄物４を図示しない搬送装置によって搬送する。この被洗 浄物４を収容するパレット５は、上下を開口する箱状に形成され、その内面側に 被洗浄物４を位置決めする複数のレール６が相対向して設けられており、このレ ール６に被洗浄物４の両端縁部を嵌入してパレット５に複数の被洗浄物４を所定 間隔を置いて平行に配置している。

【０００９】 洗浄機１の内部には、前記搬入台２から超音波洗浄槽７，第１のエアブロー槽 ８，第１の水洗い槽９，第２のエアブロー槽10及び第２の水洗い槽11，第３のエ アブロー槽12並びに乾燥槽13が順次並設されている。超音波洗浄槽７は底部に超 音波振動子７Ａを備え、内部に洗浄液14を収容し、また、各水洗い槽９，11の内 部には純水14Ａが収容されており、これら超音波洗浄槽７内の洗浄液14と各水洗 い槽９，11の内の純水14Ａは、超音波洗浄槽７及び各水洗い槽９，11の底部に付 設する循環路15中に設けたストレーナ16によって濾過した後、ポンプ17によって 再び超音波洗浄槽７及び各水洗い槽９，11内に循環するように構成し、一方、前 記各エアブロー槽８，10，12の内部には、前記各被洗浄物４間に配置される複数 のノズル18が前記各被洗浄物４の間隔に対応して配設されている。これら各ノズ ル18は中空状の管体19から構成され、これら各管体19は連通管20を介してコンプ レッサー21に連通接続され、コンプレッサー21の作動により、管体19に穿設する 複数の噴出孔22から圧流体としてのエアを高圧噴射し、被洗浄物４に付着する洗 浄液14や純水14Ａを除去して水切りを行なう。また、前記管体19を接続する連通 管20には、この連通管20を介して各ノズル18を被洗浄物４に沿わせて水平方向に 往復動させる駆動装置であるエアシリンダ23が接続されている。

【００１０】 以上のように構成される本考案の作用について説明する。

【００１１】 まず、被洗浄物４の両端縁部をパレット５のレール６に嵌入して被洗浄物４を パレット５に所定間隔を置いて平行にセットし、このように被洗浄物４を位置決 め保持したパレット５を搬入台２上に載置する。これを搬送装置（図示しない） によって超音波洗浄槽７上に搬送した後、超音波洗浄槽７内の洗浄液14に浸漬し 、超音波洗浄槽７の底部に設けた超音波振動子７Ａを励振させて被洗浄物４を超 音波洗浄する。この後、超音波洗浄工程の終了した被洗浄物４は、再び図示しな い搬送装置によって第１のエアブロー槽８上に搬送された後、第１のエアブロー 槽８内に降下させることによって、図２に示すように、パレット９の後面開口部 を介してパレット５のレール６にセットされた各被洗浄物４間に第１のエアブロ ー槽８内の各ノズル18が挿入配置される。そして、コンプレッサー21の作動によ り噴出孔22から被洗浄物４に向けてエアを噴射するとともに、エアシリンダ23を 作動させて各ノズル18を被洗浄物４に沿わせて水平方向に往復動させることによ って、従来、ノズル18からの離れた被洗浄物４の中央部分や被洗浄物４である回 路基板に実装する電子部品の影に隠れた部分などのノズル18の噴射圧の低下する 部分においても、各ノズル18からのエアを被洗浄物４全域に渡ってムラなく噴射 することができるため、超音波洗浄工程中に付着する洗浄液14を効果的に除去す ることができる。このようにして、第１のエアブロー槽８で水切りされた被洗浄 物４は、搬送装置によって第１の水洗い槽９に搬送され、ここで純水14Ａによる 水洗いが成された後、第２のエアブロー槽10に搬送され、第２のエアブロー槽10 で前記第１のエアブロー槽８と同様に各被洗浄物４間に挿入配置される各ノズル 18をエアシリンダ23によって被洗浄物４に沿わせて水平方向に往復動させること によって、被洗浄物４全域に渡ってエアを噴射し、水洗い工程中に付着する純水 14Ａを除去する。この後、パレット５を順次第２の水洗い槽11，第３のエアブロ ー槽12に搬送し、前記第１の水洗い槽９，第２のエアブロー槽10と同様に水洗い とその水切りを行ない、このように、超音波洗浄槽７．第１及び第２の水洗い槽 ９，11で洗浄され、かつ、第１乃至第３のエアブロー槽８，10，12で水切りされ た被洗浄物４は乾燥槽13へと搬送され、ここで乾燥した後、搬出台３から搬出さ れる。 このように、本考案においては、各エアブロー槽８，10，12内に設けた ノズル18をエアシリンダ23によって被洗浄物４に沿わせて水平方向に往復動させ ることにより、ノズル18からのエアを被洗浄物４全域に渡って噴射するすること ができため、超音波洗浄槽７．第１及び第２の水洗い槽９，11で被洗浄物４に付 着する洗浄液14並びに純水14Ａを確実かつ迅速に除去することができとともに、 被洗浄物４の水切りムラを抑えて均一的に水切りすることができ、特に本実施例 で示す多数の電子部品を実装する回路基板などの形状の複雑な被洗浄部材４を洗 浄，水切りする場合、洗浄工程で被洗浄部材４に付着する洗浄液14並びに純水14 Ａを効果的に除去することで水切り工程に費す時間を短縮し、効率的な洗浄を行 なうことができる。

【００１２】 以上、本考案の一実施例を詳述したが、本考案は上記実施例に限定されるもの では無く、本考案の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、超音 波洗浄槽や水洗い槽などの個数やレイアウトなどは適宜設定すればよく、また、 本実施例においては、エアシリンダによってノズル側を移動させることによって 、被洗浄物に対してのノズルの噴射位置を移動させる例を示したが、これとは逆 にノズルを固定的に設け、被洗浄物を収容するパレット側を移動させて被洗浄物 に対してのノズルの噴射位置を移動させようにしてもよく、さらに、水平に往復 動するノズルに対して被洗浄物を垂直移動させることによって噴射位置をジグザ グ状に移動させてもよい。また、ノズル構造及びその数あるいはノズルの噴射角 などは適宜設定すればよい。また、本実施例では、ノズルから圧流体としてエア を噴射して回路基板などの水切り用に適用した例を示したが、これに限らずせノ ズルから洗浄液を噴射し精密部品などの被洗浄物に付着する切り屑等を除去する ようにしてもよく、さらに、駆動装置はエアシリンダに限らずアクチェータ等各 種機構を用いてもよい。

【００１３】

【考案の効果】

本考案は、パレットに複数の被洗浄物を間隔を置いて並設し、この各被洗浄物 の間にノズルからの圧流体を噴射して被洗浄物の付着物を除去する洗浄装置にお いて、前記ノズルまたは被洗浄物を移動させる駆動装置を設け、被洗浄物に対す るノズルの噴射位置を移動可能に設けたことにより、洗浄工程時に被洗浄物の残 留付着する水滴を確実、かつ、均一的に除去することができる洗浄装置を提供す ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す概略説明図である。

【図２】同要部の断面図である。

【図３】同要部の平面図である。

【図４】

【符号の説明】

４ 被洗浄物 ５ パレット 18 ノズル 23 エアシリンダ（駆動装置）

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【手続補正書】

【提出日】平成４年１１月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す概略説明図である。

【図２】同要部の断面図である。

【図３】同要部の平面図である。

【符号の説明】 ４ 被洗浄物 ５ パレット 18 ノズル 23 エアシリンダ（駆動装置）

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 パレットに複数の被洗浄物を間隔を置い
   て並設し、この各被洗浄物の間にノズルからの圧流体を
   噴射して被洗浄物の付着物を除去する洗浄装置におい
   て、前記ノズルまたは被洗浄物を移動させる駆動装置を
   設け、被洗浄物に対するノズルの噴射位置を移動可能に
   設けたことを特徴とする洗浄装置。