JPH05345815A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物Info
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- JPH05345815A JPH05345815A JP18043292A JP18043292A JPH05345815A JP H05345815 A JPH05345815 A JP H05345815A JP 18043292 A JP18043292 A JP 18043292A JP 18043292 A JP18043292 A JP 18043292A JP H05345815 A JPH05345815 A JP H05345815A
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- photosensitive resin
- meth
- acrylate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 経時的に着色したり、あるいは増粘ゲル化し
たりする事のない、保存安定性にすぐれた光硬化性の樹
脂組成物を提供する。 【構成】 α−オレフィンと無水マレイン酸および(メ
タ)アクリル酸エステルとの共重合体に3−メチル−3
−ブテン−1−オールをエステル化反応により付加され
て得られる感光性樹脂を光硬化性成分として用いる。
たりする事のない、保存安定性にすぐれた光硬化性の樹
脂組成物を提供する。 【構成】 α−オレフィンと無水マレイン酸および(メ
タ)アクリル酸エステルとの共重合体に3−メチル−3
−ブテン−1−オールをエステル化反応により付加され
て得られる感光性樹脂を光硬化性成分として用いる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、新規な光硬化性の樹脂
組成物に関する。
組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】スチレン,イソブチレン,メチルビニル
エーテルなどのα−オレフィンと無水マレイン酸の共重
合体に水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステルを反
応させて得られた半エステル誘導体と該共重合体を溶解
する希釈剤(光重合性モノマー,有機溶剤)および光重
合開始剤からなる光硬化性の樹脂組成物は公知(特開昭
49−37701号)である。
エーテルなどのα−オレフィンと無水マレイン酸の共重
合体に水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステルを反
応させて得られた半エステル誘導体と該共重合体を溶解
する希釈剤(光重合性モノマー,有機溶剤)および光重
合開始剤からなる光硬化性の樹脂組成物は公知(特開昭
49−37701号)である。
【0003】かかる(メタ)アクリル酸エステルとして
は、2−ヒドロキシ(メタ)アクリレート,2−ヒドロ
キシ(メタ)プロピルアクリレート,(メタ)アクリル
酸−スチレンオキシド反応生成物,(メタ)アクリル酸
−ブチルグリシジルエーテル反応生成物などがあげられ
るが、これらの薬品は工業的に入手が困難であるかまた
は比較的高価なものである。
は、2−ヒドロキシ(メタ)アクリレート,2−ヒドロ
キシ(メタ)プロピルアクリレート,(メタ)アクリル
酸−スチレンオキシド反応生成物,(メタ)アクリル酸
−ブチルグリシジルエーテル反応生成物などがあげられ
るが、これらの薬品は工業的に入手が困難であるかまた
は比較的高価なものである。
【0004】また、かかる(メタ)アクリル酸エステル
中の二重結合は一般に熱重合を起こしやすいため、該共
重合体との反応(共重合体中の無水マレイン酸に由来す
る酸無水物基とヒドロキシ(メタ)アクリル酸エステル
中の水酸基とのエステル化反応)時に、著しく増粘した
り架橋ゲル化を起こしやすい問題があった。
中の二重結合は一般に熱重合を起こしやすいため、該共
重合体との反応(共重合体中の無水マレイン酸に由来す
る酸無水物基とヒドロキシ(メタ)アクリル酸エステル
中の水酸基とのエステル化反応)時に、著しく増粘した
り架橋ゲル化を起こしやすい問題があった。
【0005】さらに、得られた感光性樹脂の保存安定性
が充分でなく経時的に着色したり、増粘ゲル化するとい
った傾向があった。
が充分でなく経時的に着色したり、増粘ゲル化するとい
った傾向があった。
【0006】一方、ベースとなるα−オレフィンと無水
マレイン酸の共重合体は、一般にα−オレフィンと無水
マレイン酸の共重合組成モル比が1:1の交互共重合体
であるため、ガラス転移点,フィルム物性などのポリマ
ー物性を可変調節することが困難であった。
マレイン酸の共重合体は、一般にα−オレフィンと無水
マレイン酸の共重合組成モル比が1:1の交互共重合体
であるため、ガラス転移点,フィルム物性などのポリマ
ー物性を可変調節することが困難であった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ポリ
マー物性の可変調節が容易なベースポリマーと熱安定性
に優れた感光性化合物を反応させて得られる感光性樹脂
を用いて、前述の問題点を解決しようとするものであ
る。
マー物性の可変調節が容易なベースポリマーと熱安定性
に優れた感光性化合物を反応させて得られる感光性樹脂
を用いて、前述の問題点を解決しようとするものであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によれば上記目的
は、 (A)α−オレフィンと無水マレイン酸および(メタ)
アクリル酸エステルとの共重合体に3−メチル−3−ブ
テン−1−オールをエステル化反応により付加して得ら
れる感光性樹脂 (B)希釈剤、および (C)光重合開始剤 からなる感光性樹脂組成物により達成される。
は、 (A)α−オレフィンと無水マレイン酸および(メタ)
アクリル酸エステルとの共重合体に3−メチル−3−ブ
テン−1−オールをエステル化反応により付加して得ら
れる感光性樹脂 (B)希釈剤、および (C)光重合開始剤 からなる感光性樹脂組成物により達成される。
【0009】以下、本発明を詳細に説明する。(A)感光性樹脂 感光性樹脂の製造に使用される共重合体は、α−オレフ
ィンと無水マレイン酸および(メタ)アクリル酸エステ
ルを任意の割合(ただし、重合機構からα−オレフィン
と無水マレイン酸との共重合組成比は1:1になりやす
い)で、ラジカル共重合することにより得られる。
ィンと無水マレイン酸および(メタ)アクリル酸エステ
ルを任意の割合(ただし、重合機構からα−オレフィン
と無水マレイン酸との共重合組成比は1:1になりやす
い)で、ラジカル共重合することにより得られる。
【0010】ここで用いるα−オレフィンとは、スチレ
ン,メチルビニルエーテルなどの置換ビニル化合物のほ
かに、直鎖または分岐状の炭素数2〜8の末端二重結合
を有するオレフィンで、エチレン,プロピレン,1−ブ
テン,イソブチレン,1−ペンテン,1−ヘキセン,1
−ヘプテン,1−オクテンなどがあげられる。この中で
も価格および重合のし易さの点からイソブチレンが特に
好ましい。
ン,メチルビニルエーテルなどの置換ビニル化合物のほ
かに、直鎖または分岐状の炭素数2〜8の末端二重結合
を有するオレフィンで、エチレン,プロピレン,1−ブ
テン,イソブチレン,1−ペンテン,1−ヘキセン,1
−ヘプテン,1−オクテンなどがあげられる。この中で
も価格および重合のし易さの点からイソブチレンが特に
好ましい。
【0011】(メタ)アクリル酸エステルとしては、メ
チル(メタ)アクリレート,エチル(メタ)アクリレー
ト,プロピル(メタ)アクリレート,ブチル(メタ)ア
クリレート,ヘキシル(メタ)アクリレート,オクチル
(メタ)アクリレート,ラウリル(メタ)アクリレート
など種々のものが使用可能であるが、感光性樹脂組成物
として用途別に要求されるポリマー物性を考慮して選択
される。一般的な傾向として、ガラス転移点の高い(メ
タ)アクリレートを用いれば得られる共重合体は硬くて
脆いものになりやすく、ガラス転移点の低い(メタ)ア
クリレートを用いれば得られる共重合体は柔軟なものに
なりやすい。
チル(メタ)アクリレート,エチル(メタ)アクリレー
ト,プロピル(メタ)アクリレート,ブチル(メタ)ア
クリレート,ヘキシル(メタ)アクリレート,オクチル
(メタ)アクリレート,ラウリル(メタ)アクリレート
など種々のものが使用可能であるが、感光性樹脂組成物
として用途別に要求されるポリマー物性を考慮して選択
される。一般的な傾向として、ガラス転移点の高い(メ
タ)アクリレートを用いれば得られる共重合体は硬くて
脆いものになりやすく、ガラス転移点の低い(メタ)ア
クリレートを用いれば得られる共重合体は柔軟なものに
なりやすい。
【0012】共重合反応は、ベンゾイルパーオキシド,
ラウロイルパーオキシド,キュメンヒドロパーオキシ
ド,t−ブチルヒドロパーオキシドなどの有機過酸化
物、2,2−アゾビスイソブチロニトリル、2,2−ア
ゾビス(2−メチルブチロニトリル)、ジメチル2,2
−アゾビスイソブチレートなどのアゾ化合物を開始剤と
して、ラジカル重合を禁止しない溶媒たとえばアセト
ン,メチルエチルケトン,ベンゼン,トルエン,酢酸エ
チル,酢酸イソプロピル,ジオキサン,テトラヒドロフ
ランなどを重合溶媒として溶液重合もしくは沈殿重合の
方法で行われる。重合温度は、通常0〜200℃,好ま
しくは30〜150℃であり、重合時間は通常1〜50
時間好ましくは2〜20時間の範囲である。重合終了液
からの生成共重合体の分離回収は、沈殿重合の場合は沈
殿ポリマーを濾過脱液後乾燥することにより、また溶液
重合の場合は溶液を追出し乾燥することにより行われ
る。
ラウロイルパーオキシド,キュメンヒドロパーオキシ
ド,t−ブチルヒドロパーオキシドなどの有機過酸化
物、2,2−アゾビスイソブチロニトリル、2,2−ア
ゾビス(2−メチルブチロニトリル)、ジメチル2,2
−アゾビスイソブチレートなどのアゾ化合物を開始剤と
して、ラジカル重合を禁止しない溶媒たとえばアセト
ン,メチルエチルケトン,ベンゼン,トルエン,酢酸エ
チル,酢酸イソプロピル,ジオキサン,テトラヒドロフ
ランなどを重合溶媒として溶液重合もしくは沈殿重合の
方法で行われる。重合温度は、通常0〜200℃,好ま
しくは30〜150℃であり、重合時間は通常1〜50
時間好ましくは2〜20時間の範囲である。重合終了液
からの生成共重合体の分離回収は、沈殿重合の場合は沈
殿ポリマーを濾過脱液後乾燥することにより、また溶液
重合の場合は溶液を追出し乾燥することにより行われ
る。
【0013】本発明において用いられる共重合体は、α
−オレフィンと無水マレイン酸および(メタ)アクリル
酸エステルの共重合組成比を変えることでポリマー物性
が変化するが、該共重合体を感光性樹脂に調製使用した
場合に非露光部分をアルカリ水で溶解除去するいわゆる
アルカリ現像性を持たせるためには、無水マレイン酸に
由来する酸無水物基がモルで共重合体中に2割以上入っ
ていることが望ましい。また共重合体の分子量は、感光
性樹脂としての用途により異なるが1,000〜50
0,000の範囲にあることが好ましい。
−オレフィンと無水マレイン酸および(メタ)アクリル
酸エステルの共重合組成比を変えることでポリマー物性
が変化するが、該共重合体を感光性樹脂に調製使用した
場合に非露光部分をアルカリ水で溶解除去するいわゆる
アルカリ現像性を持たせるためには、無水マレイン酸に
由来する酸無水物基がモルで共重合体中に2割以上入っ
ていることが望ましい。また共重合体の分子量は、感光
性樹脂としての用途により異なるが1,000〜50
0,000の範囲にあることが好ましい。
【0014】本発明における感光性樹脂(A)は、下式
に示すごとくα−オレフィンと無水マレイン酸および
(メタ)アクリル酸エステルとの共重合体中の無水マレ
イン酸に由来する酸無水物基に3−メチル−3−ブテン
−1−オールをエステル化反応により付加することによ
り得られる。
に示すごとくα−オレフィンと無水マレイン酸および
(メタ)アクリル酸エステルとの共重合体中の無水マレ
イン酸に由来する酸無水物基に3−メチル−3−ブテン
−1−オールをエステル化反応により付加することによ
り得られる。
【0015】
【化1】 3−メチル−3−ブテン−1−オールの付加割合は、共
重合体中の無水マレイン酸由来の酸無水物基の含量に対
し、通常モル比で当量を超えることはない。
重合体中の無水マレイン酸由来の酸無水物基の含量に対
し、通常モル比で当量を超えることはない。
【0016】エステル化の条件としては、必要により有
機溶媒で希釈した3−メチル−3−ブテン−1−オール
中に共重合体とエステル化触媒を仕込み、加熱撹拌する
方法が好ましい。
機溶媒で希釈した3−メチル−3−ブテン−1−オール
中に共重合体とエステル化触媒を仕込み、加熱撹拌する
方法が好ましい。
【0017】エステル化触媒としては蟻酸やp−トルエ
ンスルホン酸のような酸触媒または第3級アミン,ピリ
ジン,イミダゾール系化合物などの塩基性触媒が適当で
ある。エステル化触媒の使用量は共重合体に対し、0.
1〜5重量%が適当である。希釈溶媒としては原料化合
物および生成化合物の両方を溶解する溶媒、たとえばア
セトン,ジメチルホルムアミド,テトラヒドロフランな
どが適当である。
ンスルホン酸のような酸触媒または第3級アミン,ピリ
ジン,イミダゾール系化合物などの塩基性触媒が適当で
ある。エステル化触媒の使用量は共重合体に対し、0.
1〜5重量%が適当である。希釈溶媒としては原料化合
物および生成化合物の両方を溶解する溶媒、たとえばア
セトン,ジメチルホルムアミド,テトラヒドロフランな
どが適当である。
【0018】反応温度は、使用する触媒の使用量、共重
合体の組成や分子量により異なるが通常50〜200℃
が好ましい。反応時間は1〜40時間が適当である。
合体の組成や分子量により異なるが通常50〜200℃
が好ましい。反応時間は1〜40時間が適当である。
【0019】エステル化終了後に、未反応の3−メチル
−3−ブテン−1−オールおよび使用した希釈溶媒を蒸
留除去して残渣として感光性樹脂が得られる。(B)希釈剤 本発明で使用される希釈剤としては、光重合性単量体と
有機溶剤に大別される。
−3−ブテン−1−オールおよび使用した希釈溶媒を蒸
留除去して残渣として感光性樹脂が得られる。(B)希釈剤 本発明で使用される希釈剤としては、光重合性単量体と
有機溶剤に大別される。
【0020】光重合性単量体としては、トリメチロール
プロパンジ(メタ)アクリレート,トリメチロールプロ
パントリ(メタ)アクリレート,ポリエチレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート,2−ヒドロキシ(メタ)ア
クリレート,ペンタエリスリトールトリアクリレート,
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート,N−ビニ
ルピロリドン,シクロヘキシルアクリレート,フェノキ
シエチルアクリレート,イソボルネル(メタ)アクリレ
ート,ジシクロペンタジエン(メタ)クリレートなどが
ある。
プロパンジ(メタ)アクリレート,トリメチロールプロ
パントリ(メタ)アクリレート,ポリエチレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート,2−ヒドロキシ(メタ)ア
クリレート,ペンタエリスリトールトリアクリレート,
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート,N−ビニ
ルピロリドン,シクロヘキシルアクリレート,フェノキ
シエチルアクリレート,イソボルネル(メタ)アクリレ
ート,ジシクロペンタジエン(メタ)クリレートなどが
ある。
【0021】有機溶剤としては、ベンゼン,トルエンな
どの芳香族炭化水素類、酢酸エチル,酢酸ブチル,メチ
ルセロソルブアセテート,エチルセロソルブアセテー
ト,ブチルセロソルブアセテート,カルビトールアセテ
ートなどの酢酸エステル類、エチルセロソルブ、ブチル
セロソルブなどのセロソルブ類、その他石油溶剤などが
あげられる。
どの芳香族炭化水素類、酢酸エチル,酢酸ブチル,メチ
ルセロソルブアセテート,エチルセロソルブアセテー
ト,ブチルセロソルブアセテート,カルビトールアセテ
ートなどの酢酸エステル類、エチルセロソルブ、ブチル
セロソルブなどのセロソルブ類、その他石油溶剤などが
あげられる。
【0022】また、感光性樹脂中のカルボン酸基、酸無
水物基を利用してアルカリ水に溶解希釈して使用するこ
とも可能である。この場合には、光重合性単量体として
N−ビニルピロリドン,n−ブトキシメチロールアクリ
ルアミド,イソブトキシアクリルアミドなどの水溶性の
ものが用いられる。(C)光重合開始剤 本発明で使用される光重合開始剤としては、ベンゾイン
メチルエーテル,ベンゾインエチルエーテル,ベンゾイ
ンイソブチルエーテルなどのベンゾインアルキルエーテ
ル類,ベンゾフェノン,クロロアセトフェノン,2,2
−ジエトキシアセトフェノンなどのケトン類、2−ヒド
ロキシ−2−メチルプロピオフェノンなどのプロピオフ
ェノン類、2−クロロチオキサントン,2,4−ジエチ
ルチオキサントンなどのキサントン類、クロロアンスラ
キノン,エチルアンスラキノンなどのアンスラキノン
類、ジメチルベンジルケタール,セトフェノンジメチル
ケタールなどのケタール類、その他ベンゾイルフォスフ
ィンオキサイド,ミヒラーズケトンなどがあり、これら
は単独でまたは併用して用いることが可能である。
水物基を利用してアルカリ水に溶解希釈して使用するこ
とも可能である。この場合には、光重合性単量体として
N−ビニルピロリドン,n−ブトキシメチロールアクリ
ルアミド,イソブトキシアクリルアミドなどの水溶性の
ものが用いられる。(C)光重合開始剤 本発明で使用される光重合開始剤としては、ベンゾイン
メチルエーテル,ベンゾインエチルエーテル,ベンゾイ
ンイソブチルエーテルなどのベンゾインアルキルエーテ
ル類,ベンゾフェノン,クロロアセトフェノン,2,2
−ジエトキシアセトフェノンなどのケトン類、2−ヒド
ロキシ−2−メチルプロピオフェノンなどのプロピオフ
ェノン類、2−クロロチオキサントン,2,4−ジエチ
ルチオキサントンなどのキサントン類、クロロアンスラ
キノン,エチルアンスラキノンなどのアンスラキノン
類、ジメチルベンジルケタール,セトフェノンジメチル
ケタールなどのケタール類、その他ベンゾイルフォスフ
ィンオキサイド,ミヒラーズケトンなどがあり、これら
は単独でまたは併用して用いることが可能である。
【0023】なお本発明の感光性樹脂組成物には、ハイ
ドロキノン,メチルハイドロキノン,Q−1301(商
品名,和光純薬製)などの熱重合禁止剤や塗装性,塗膜
の硬度や密着性,着色のため、硫酸バリウム,タルク,
クレー,炭酸カルシウム,ガラスパウダーなどの無機フ
ィラーやフタロシアニンブルー,フタロシアニングリー
ンなどの染料や顔料、シリコン系,弗素系などの消泡剤
およびレベリング剤、その他シラン系,チタン系などの
カップリング剤などの薬剤を必要に応じて併用すること
もできる。
ドロキノン,メチルハイドロキノン,Q−1301(商
品名,和光純薬製)などの熱重合禁止剤や塗装性,塗膜
の硬度や密着性,着色のため、硫酸バリウム,タルク,
クレー,炭酸カルシウム,ガラスパウダーなどの無機フ
ィラーやフタロシアニンブルー,フタロシアニングリー
ンなどの染料や顔料、シリコン系,弗素系などの消泡剤
およびレベリング剤、その他シラン系,チタン系などの
カップリング剤などの薬剤を必要に応じて併用すること
もできる。
【0024】感光性樹脂の硬化反応は、水銀灯,メタル
ハライドランプ,キセノンランプ,カーボンアーク灯,
太陽光などからの活性光線(紫外線)によるのが一般的
であるが、電子線やレーザー光線,X線,ガンマ線など
の放射線を利用することも場合により可能である。
ハライドランプ,キセノンランプ,カーボンアーク灯,
太陽光などからの活性光線(紫外線)によるのが一般的
であるが、電子線やレーザー光線,X線,ガンマ線など
の放射線を利用することも場合により可能である。
【0025】本発明の感光性樹脂組成物は、レリーフ複
写の凸版,平版,,グラビア,シルクスクリーン印刷、
印章,ネームプレート、装飾用型材、エッチング用フォ
トレジストなどの画像形成用材料として極めて有用であ
る。
写の凸版,平版,,グラビア,シルクスクリーン印刷、
印章,ネームプレート、装飾用型材、エッチング用フォ
トレジストなどの画像形成用材料として極めて有用であ
る。
【0026】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 (実施例1)1リットルオートクレーブにアセトン12
7.9g,無水マレイン酸14.7gおよびn−ブチル
アクリレート17.9gを仕込み容器内を窒素置換後、
さらにイソブテン30.9gを仕込み70℃に昇温し
た。続いて、別途調製した2,2′−アゾビスイソブチ
ロニトリル1.15g,無水マレイン酸34.3g,n
−ブチルアクリレート7.7gおよびアセトン60.0
gの混合溶液を5時間かけて連続的に仕込みさらに3時
間、合計8時間70℃で重合反応を行った。
る。 (実施例1)1リットルオートクレーブにアセトン12
7.9g,無水マレイン酸14.7gおよびn−ブチル
アクリレート17.9gを仕込み容器内を窒素置換後、
さらにイソブテン30.9gを仕込み70℃に昇温し
た。続いて、別途調製した2,2′−アゾビスイソブチ
ロニトリル1.15g,無水マレイン酸34.3g,n
−ブチルアクリレート7.7gおよびアセトン60.0
gの混合溶液を5時間かけて連続的に仕込みさらに3時
間、合計8時間70℃で重合反応を行った。
【0027】重合終了後オートクレーブ内液を取り出
し、一夜風乾後80℃で真空乾燥して98.7gの共重
合体を得た。
し、一夜風乾後80℃で真空乾燥して98.7gの共重
合体を得た。
【0028】該共重合体の分析結果は、以下の通りであ
った。 イソブチレン:無水マレイン酸:n−ブチルアクリレ
ートの共重合組成モル比=1:1.0:0.39( 1H
−NMR) 平均分子量(GPC,ポリスチレン換算) Mn=36100 Mw=96300 次に、得られた共重合体50g,3−メチル−3−ブテ
ン−1−オール300gおよびピリジン5g,ハイドロ
キノン0.02gを1リットルオートクレーブに仕込
み、容器内を窒素置換後110℃で10時間加熱してエ
ステル化反応を行った。エバポレーターと真空乾燥器を
用いて、未反応の3−メチル−3−ブテン−1−オール
およびピリジンを除去し感光性樹脂(A)70.2gを
得た。
った。 イソブチレン:無水マレイン酸:n−ブチルアクリレ
ートの共重合組成モル比=1:1.0:0.39( 1H
−NMR) 平均分子量(GPC,ポリスチレン換算) Mn=36100 Mw=96300 次に、得られた共重合体50g,3−メチル−3−ブテ
ン−1−オール300gおよびピリジン5g,ハイドロ
キノン0.02gを1リットルオートクレーブに仕込
み、容器内を窒素置換後110℃で10時間加熱してエ
ステル化反応を行った。エバポレーターと真空乾燥器を
用いて、未反応の3−メチル−3−ブテン−1−オール
およびピリジンを除去し感光性樹脂(A)70.2gを
得た。
【0029】該感光性樹脂は、IRスペクトルおよび酸
価測定から上記共重合体に3−メチル−3−ブテン−1
−オールが共重合体中の酸無水物基に対しほぼ当モル
(1:0.95)付加した半エステル化物であった。
価測定から上記共重合体に3−メチル−3−ブテン−1
−オールが共重合体中の酸無水物基に対しほぼ当モル
(1:0.95)付加した半エステル化物であった。
【0030】該感光性樹脂20g,トリメチロールプロ
パントリアクリレート10g,ベンゾフェノン0.4g
をカルビトールアセテート30gに溶解し、これをアプ
リケーターを用いてアルミ板上に塗布乾燥して40μの
厚さの塗膜を得た。
パントリアクリレート10g,ベンゾフェノン0.4g
をカルビトールアセテート30gに溶解し、これをアプ
リケーターを用いてアルミ板上に塗布乾燥して40μの
厚さの塗膜を得た。
【0031】上記塗膜に30cmの距離から2kWの水
銀灯を60秒間照射し、照射後アセトン溶液中に浸漬す
ることにより、未露光部の溶解と露光部の硬化(不溶
解)を確認した。 (実施例2)1リットルオートクレーブにアセトン20
6.7gを仕込み容器内を窒素置換後、さらにイソブテ
ン27.5gを仕込み100℃に昇温した。続いて、別
途調製した2,2′−アゾビス(2−メチルブチロニト
リル)5.9g,無水マレイン酸40.0g,n−ブチ
ルメタアクリレート87.0g,アセトン132.9g
の混合溶液を6時間かけて連続的に仕込みさらに1時
間、合計7時間100℃で重合を行った。
銀灯を60秒間照射し、照射後アセトン溶液中に浸漬す
ることにより、未露光部の溶解と露光部の硬化(不溶
解)を確認した。 (実施例2)1リットルオートクレーブにアセトン20
6.7gを仕込み容器内を窒素置換後、さらにイソブテ
ン27.5gを仕込み100℃に昇温した。続いて、別
途調製した2,2′−アゾビス(2−メチルブチロニト
リル)5.9g,無水マレイン酸40.0g,n−ブチ
ルメタアクリレート87.0g,アセトン132.9g
の混合溶液を6時間かけて連続的に仕込みさらに1時
間、合計7時間100℃で重合を行った。
【0032】重合終了後オートクレーブ内液を取り出
し、一夜風乾後80℃で真空乾燥して140.3gの共
重合体を得た。
し、一夜風乾後80℃で真空乾燥して140.3gの共
重合体を得た。
【0033】該共重合体の分析結果は、以下の通りであ
った。 イソブチレン:無水マレイン酸:n−ブチルメタアク
リレートの共重合組成モル比=1:1.0:1.4( 1
H−NMR) 平均分子量(GPC,ポリスチレン換算) Mn=6500 Mw=11100 次に、こうして得られた共重合体50gを用い実施例1
と同じ方法で130℃で5時間エステル化反応を行い、
感光性樹脂(該共重合体の半エステル化物)(A)を得
た。
った。 イソブチレン:無水マレイン酸:n−ブチルメタアク
リレートの共重合組成モル比=1:1.0:1.4( 1
H−NMR) 平均分子量(GPC,ポリスチレン換算) Mn=6500 Mw=11100 次に、こうして得られた共重合体50gを用い実施例1
と同じ方法で130℃で5時間エステル化反応を行い、
感光性樹脂(該共重合体の半エステル化物)(A)を得
た。
【0034】該感光性ポリマー20g,ポリエチレング
リコールジメタアクリレート5g,ベンゾイルエチルエ
ーテル0.5gをジグライム15gに溶解し、実施例1
と同様にして30μの厚さの塗膜を得た。
リコールジメタアクリレート5g,ベンゾイルエチルエ
ーテル0.5gをジグライム15gに溶解し、実施例1
と同様にして30μの厚さの塗膜を得た。
【0035】上記塗膜に30cmの距離から2kWの水
銀灯を60秒間照射し、照射後1%NaOH水中に浸漬
することにより、未露光部の溶解と露光部の硬化(不溶
解)を確認した。 (実施例3)1リットルオートクレーブにトルエン20
0g,無水マレイン酸49.1g,エチルアクリレート
60.1g,2,2′−アゾビスイソブチロニトリル
1.5gを仕込み容器内を窒素置換後、さらにエチレン
42.5gを仕込んで昇温し、70℃で8時間重合反応
を行った。
銀灯を60秒間照射し、照射後1%NaOH水中に浸漬
することにより、未露光部の溶解と露光部の硬化(不溶
解)を確認した。 (実施例3)1リットルオートクレーブにトルエン20
0g,無水マレイン酸49.1g,エチルアクリレート
60.1g,2,2′−アゾビスイソブチロニトリル
1.5gを仕込み容器内を窒素置換後、さらにエチレン
42.5gを仕込んで昇温し、70℃で8時間重合反応
を行った。
【0036】重合終了後オートクレーブ内液を取り出
し、溶媒およひ未反応モノマーを乾燥除去して下記の物
性の共重合体が得られた。 エチレン:無水マレイン酸:エチルアクリレートの共
重合組成モル比=1:1:1.16( 1H−NMR) 平均分子量(GPC,ポリスチレン換算) Mn=23200 Mw=63400 こうして得られた共重合体を用いる以外は実施例1と同
様にして、エステル化反応を行い、感光性樹脂(該共重
合体の半エステル化物)(A)を得た。
し、溶媒およひ未反応モノマーを乾燥除去して下記の物
性の共重合体が得られた。 エチレン:無水マレイン酸:エチルアクリレートの共
重合組成モル比=1:1:1.16( 1H−NMR) 平均分子量(GPC,ポリスチレン換算) Mn=23200 Mw=63400 こうして得られた共重合体を用いる以外は実施例1と同
様にして、エステル化反応を行い、感光性樹脂(該共重
合体の半エステル化物)(A)を得た。
【0037】次に、上記感光性樹脂を用いる以外は、実
施例1と同様にして塗膜を形成し、光硬化試験を実施し
て実施例1と同様の結果が得られた。 (比較例1)実施例1で得られたイソブチレンと無水マ
レイン酸およびn−ブチルアクリレートの共重合体30
g,2−ヒドロキシエチルアクリレート40g,2−メ
チルイミダゾール4g,熱重合禁止剤Q−1301(和
光純薬製)0.04gおよびテトラヒドロフラン200
gを1リットルオートクレーブに仕込み、80℃で6時
間エステル化反応を行った。
施例1と同様にして塗膜を形成し、光硬化試験を実施し
て実施例1と同様の結果が得られた。 (比較例1)実施例1で得られたイソブチレンと無水マ
レイン酸およびn−ブチルアクリレートの共重合体30
g,2−ヒドロキシエチルアクリレート40g,2−メ
チルイミダゾール4g,熱重合禁止剤Q−1301(和
光純薬製)0.04gおよびテトラヒドロフラン200
gを1リットルオートクレーブに仕込み、80℃で6時
間エステル化反応を行った。
【0038】エステル化に際しては実施例1と異なり、
ハイドロキノンのような効果の低い熱重合禁止剤を用い
たり、反応率を上げる目的で溶剤で希釈せずに高温で長
時間反応を行うと得られたエステル化物がゲル化(不溶
化)するといった不都合を生じやすかった。
ハイドロキノンのような効果の低い熱重合禁止剤を用い
たり、反応率を上げる目的で溶剤で希釈せずに高温で長
時間反応を行うと得られたエステル化物がゲル化(不溶
化)するといった不都合を生じやすかった。
【0039】こうして得られた感光性樹脂は、着色が著
しくかつ実施例1と同様にして調製した感光性樹脂組成
物は貯蔵中の安定性が悪い(経時的増粘・ゲル化を起こ
しやすい)ものであった。
しくかつ実施例1と同様にして調製した感光性樹脂組成
物は貯蔵中の安定性が悪い(経時的増粘・ゲル化を起こ
しやすい)ものであった。
【0040】
【発明の効果】本発明によれば、、経時的に着色した
り、あるいは増粘ゲル化したりすることのない、保存安
定性にすぐれた感光性樹脂組成物が提供される。
り、あるいは増粘ゲル化したりすることのない、保存安
定性にすぐれた感光性樹脂組成物が提供される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/028 7/038 H01L 21/027
Claims (1)
- 【請求項1】 (A)α−オレフィンと無水マレイン酸
および(メタ)アクリル酸エステルとの共重合体に3−
メチル−3−ブテン−1−オールをエステル化反応によ
り付加して得られる感光性樹脂 (B)希釈剤、および (C)光重合開始剤 を含有してなる感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18043292A JP3268829B2 (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18043292A JP3268829B2 (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05345815A true JPH05345815A (ja) | 1993-12-27 |
JP3268829B2 JP3268829B2 (ja) | 2002-03-25 |
Family
ID=16083153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18043292A Expired - Fee Related JP3268829B2 (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3268829B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011148627A1 (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-01 | 住友ベークライト株式会社 | エステル化物の製造方法 |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP18043292A patent/JP3268829B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011148627A1 (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-01 | 住友ベークライト株式会社 | エステル化物の製造方法 |
US9070628B2 (en) | 2010-05-28 | 2015-06-30 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | Method of manufacturing esterified substance |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3268829B2 (ja) | 2002-03-25 |
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