JPH05343720A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents

太陽電池の製造方法

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Publication number
JPH05343720A
JPH05343720A JP4150323A JP15032392A JPH05343720A JP H05343720 A JPH05343720 A JP H05343720A JP 4150323 A JP4150323 A JP 4150323A JP 15032392 A JP15032392 A JP 15032392A JP H05343720 A JPH05343720 A JP H05343720A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solar cell
film
cds
cdte
cds film
Prior art date
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Pending
Application number
JP4150323A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Kitamura
外幸 北村
Takashi Arita
孝 有田
Yoshiaki Nishiyama
喜明 西山
Mikio Murozono
幹夫 室園
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP4150323A priority Critical patent/JPH05343720A/ja
Publication of JPH05343720A publication Critical patent/JPH05343720A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

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  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 窓層としてCdS膜を備えた太陽電池であ
り、CdS膜の抵抗を低減させることにより、曲線因子
(FF)を増加させて変換効率の高い太陽電池を提供す
る。 【構成】 窓層としてCdS膜、光吸収層としてCdT
e膜を順次積層した後、水素を含む雰囲気下のベルト焼
成炉で熱処理することにより、CdS膜の抵抗をこれま
でよりも低減することができ、太陽電池の直列抵抗を軽
減させることにより、FFが改善されて高効率な太陽電
池が実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、窓層としてCdS膜を
備えた太陽電池、特に光吸収層としてCdTeを備えた
太陽電池の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、炭酸ガスによる地球温暖化、オゾ
ン層による大気破壊等、地球環境問題がクローズアップ
される中、新エネルギー開発、とりわけ太陽電池の実用
化に対する期待はますます大きくなってきている。しか
しながら、太陽電池の早期実用化のためにはまだまだ解
決しなければならない課題が多々残っている。とくに太
陽電池の変換効率の向上と低コスト化は避けて通れない
重要な課題である。
【0003】そのような中で、CdS/CdTe太陽電
池は、光吸収層として最適な禁制帯幅に近い1.4eV
のCdTeを用いており、また使用する材料も安価なこ
とから、低コスト高効率太陽電池の本命の1つとして大
いに期待されている。
【0004】CdS/CdTe太陽電池の作製法には、
種々の方法が知られているが、低コスト化が図れ、大面
積化、量産化が容易な方法として印刷・焼結法がある。
【0005】印刷・焼結法は使用する装置も安価であ
り、すでにこの方法で製造された太陽電池は電卓用とし
て広く使用されている。
【0006】以下に、すでに特許出願番号特願昭63−
332865号に記載した従来の印刷・焼結法によるC
dS/CdTe太陽電池の製造法について説明する。
【0007】太陽電池の構成はガラス/CdS/CdT
e/カーボン電極であり、各膜は以下の方法で形成され
る。 (1)CdS膜の形成 粒径2〜3μmの高純度(5N)CdS粉末に12w%
のCdCl2粉と適当量のプロピレングリコールを加
え、混練することによりCdSペーストを作製する。次
にこのペーストをほうけい酸ガラス基板上に印刷する。
これを120℃で1時間乾燥後、アルミナ製焼成ケース
に入れ、小さな孔が多数あいている焼成用蓋をかぶせ
て、窒素雰囲気のベルト炉で690℃で90分間焼成す
る。 (2)CdTe膜の形成 Cd粉末(5N)とTe粉末(6N)を等モル量ずつ加
え、水とともにボールミルで1μm以下の粒径になるま
で粉砕する。乾燥後この微粉末に、適量のCdCl2
加え、プロピレングリコールを粘結剤として混練し、ペ
ーストを作製する。次にペーストをCdS膜上にスクリ
ーン印刷し、120℃で1時間乾燥後、CdS膜と同様
に所定容器を用いて600℃〜700℃で1時間焼成
し、CdTe焼結膜を得た。 (3)カーボン電極 CdTeの電極には、Cuを微量に添加したカーボンペ
ーストを用いる。CdTe膜上に印刷後、120℃で1
時間乾燥し、微量の酸素を含む空気中で450℃で熱処
理を行い形成する。微量のCuはCdTeとの接触面を
+−CdTe膜とし、良好なオーミック接触を可能に
した。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の技
術では、得られたCdS膜の抵抗が大きいため、直列抵
抗が大きく、太陽電池性能パラメータのひとつである曲
線因子(FF)が低く、高効率な太陽電池が得られなか
った。
【0009】本発明はこのような課題を解決するもの
で、CdS膜の膜抵抗を従来に比較して大幅に小さくす
ることができ、高効率な太陽電池が容易に得られる製造
方法を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】これらの課題を解決する
ため本発明は、精力的な検討の結果、ガラス基板上にC
dS膜を形成し、次に順次CdS膜上にCdTe膜を積
層したあとに、水素を含む雰囲気中のベルト焼成炉で熱
処理を行うことで、CdS膜の抵抗が大幅に減少するこ
とを見出したものである。
【0011】
【作用】本発明では水素を含むベルト焼成炉雰囲気下で
CdS膜を熱処理をすることにより、太陽電池の直列抵
抗成分の主要因であったCdS膜の抵抗が低下し、FF
が改善できて、高効率な太陽電池が開発できたものであ
る。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【0013】CdS膜は、前述したとまったく同様の方
法で作製した。プロセス中でCdS膜の熱処理を行う時
期としては、CdS膜形成後、CdS膜上にCdTe膜
を形成した後、さらにCdTe膜上にカーボン電極を形
成した後の3つの時期が考えられる。そこでこれらの時
期に熱処理工程を導入し、太陽電池を作製して、従来の
熱処理を行わずに作製した太陽電池と性能の比較を行っ
た。その結果を(表1)に示す。熱処理は水素を40%
含む窒素ガス中、450℃で30分間行った。
【0014】
【表1】
【0015】(表1)より明らかなように、CdS膜形
成後、及びCdTe膜形成後に熱処理を行なった場合
に、従来と比較してFFが増加して変換効率が向上する
ことがわかった。特にCdTe膜形成後の場合に最もそ
の効果が顕著に現れている。またカーボン電極形成後の
場合には逆にFFが大きく低下し、開放電圧及び短絡電
流も低下している。これは熱処理によりCdTeとカー
ボン電極の接触抵抗が増加したものと考えられる。
【0016】上記結果よりCdTe膜形成後の場合に最
もその効果が顕著に現れており、更に詳細にベルト焼成
炉での条件出しを実施した。
【0017】まず、焼成温度について、太陽電池の性能
及びCdS膜の面抵抗を調べた。その結果を図1に示
す。図より、焼成温度が400℃未満ではCdS膜の面
抵抗の減少効果が少なく、性能改善効果が少ない、40
0℃以上でCdS膜の面抵抗の減少効果が発揮し、性能
改善効果があり、特に太陽電池のFFが改善されること
が分かった。また500℃以上ではCdS膜の面抵抗が
大幅に減少するが、開放電圧及び短絡電流が減少し、性
能改善効果が少なくなっている。
【0018】次に、焼成雰囲気について、太陽電池の性
能及びCdS膜の面抵抗を調べた。その結果を図2に示
す。図より、水素濃度が20%未満ではCdS膜の面抵
抗の減少効果が少なく、性能改善効果が少ない、20%
以上でCdS膜の面抵抗の減少効果が発揮し、性能改善
効果があり、特に太陽電池のFFが改善されることが分
かった。また50%以上ではCdS膜の面抵抗が大幅に
減少するが、前記同様に開放電圧及び短絡電流が減少
し、効果が少なくなっている。
【0019】つまり、太陽電池の効率改善のためにはC
dTe膜形成後にベルト焼成炉で水素処理を実施し、そ
の条件としては焼成温度が400〜500℃の範囲内
で、かつ水素濃度が20〜50%の範囲内であれば、太
陽電池の性能を改善することができることが判明した。
【0020】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、窓層とし
てCdS膜を備えた太陽電池において、CdTe膜形成
後に水素を含む雰囲気下のベルト焼成炉で熱処理を行う
ことにより、CdS膜の抵抗を大幅に減少させ、太陽電
池の性能の1要素であるFF(直列抵抗の減少)を改善
して、大幅に性能を向上させることができた。
【0021】特にCdS膜上にCdTeを形成した後に
ベルト焼成炉で、焼成温度400〜500℃、水素濃度
20〜50%の範囲内で熱処理を行うことにより、太陽
電池の変換効率は飛躍的に改善できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例における焼成温度と、太陽電池
の変換効率及びCdS膜の面抵抗の変化を示す相関図
【図2】本発明の実施例における焼成雰囲気の(水素濃
度)と太陽電池の変換効率及びCdS膜の面抵抗の変化
を示す相関図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 室園 幹夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】窓層としてCdS膜、光吸収層としてCd
    Te膜を順次積層した太陽電池において、CdTe膜形
    成後に水素を含む雰囲気下のベルト焼成炉で熱処理を行
    うことを特徴とする太陽電池の製造方法。
  2. 【請求項2】水素を含む雰囲気下のベルト焼成炉の温度
    範囲が、400〜500℃であることを特徴とする請求
    項1記載の太陽電池の製造方法。
  3. 【請求項3】水素を含む雰囲気下のベルト焼成炉の水素
    濃度範囲が、20〜50%であることを特徴とする請求
    項1記載の太陽電池の製造方法。
JP4150323A 1992-06-10 1992-06-10 太陽電池の製造方法 Pending JPH05343720A (ja)

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