JPH05340497A - 防振装置 - Google Patents
防振装置Info
- Publication number
- JPH05340497A JPH05340497A JP4150242A JP15024292A JPH05340497A JP H05340497 A JPH05340497 A JP H05340497A JP 4150242 A JP4150242 A JP 4150242A JP 15024292 A JP15024292 A JP 15024292A JP H05340497 A JPH05340497 A JP H05340497A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- vibration
- vacuum pump
- vibration isolating
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 配管内部を真空に排気した場合でも、防振特
性が変化せず、しかも自由な寸法で低コストな防振装置
を提供する。 【構成】 振動発生源となる真空ポンプと前記真空ポン
プにより排気される真空室とを結合する配管路中にベロ
ーズ１２を有する防振装置であって、前記ベローズ１２
の溝へＯリング１３をはめ込んで、配管内部を真空に排
気した場合でも、全長の変化量が小さくなるようにして
いる。
性が変化せず、しかも自由な寸法で低コストな防振装置
を提供する。 【構成】 振動発生源となる真空ポンプと前記真空ポン
プにより排気される真空室とを結合する配管路中にベロ
ーズ１２を有する防振装置であって、前記ベローズ１２
の溝へＯリング１３をはめ込んで、配管内部を真空に排
気した場合でも、全長の変化量が小さくなるようにして
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空ポンプとこの真空
ポンプにより排気される真空室とを結合する配管装置の
少くとも一部に使用される防振装置に関するものであ
り、例えば電子顕微鏡等の荷電粒子を利用した装置に好
適である。
ポンプにより排気される真空室とを結合する配管装置の
少くとも一部に使用される防振装置に関するものであ
り、例えば電子顕微鏡等の荷電粒子を利用した装置に好
適である。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空ポンプにより排気される真空
室と真空ポンプとを直接、あるいは、強度の十分ある配
管を介して接続しとりつけた場合には、真空ポンプの振
動が直接真空室に伝わってしまう。そこで、ベローズ単
体もしくは図４に示す様なベローズ外周にゴムダンパー
を取り付けた防振装置を配管の一部に使用する場合があ
った。図４において部材４１ａ、４１ｂはこの防振装置
を配管等にとりつけるためのフランジであり、ベローズ
４２の両端に溶接され、真空シールが行えるようになっ
ている。ダンパーゴム４３はベローズ外周にまかれ、フ
ランジ間隔を制限するとともに、振動を伝えにくくする
効果も持たせる構成となっていた。
室と真空ポンプとを直接、あるいは、強度の十分ある配
管を介して接続しとりつけた場合には、真空ポンプの振
動が直接真空室に伝わってしまう。そこで、ベローズ単
体もしくは図４に示す様なベローズ外周にゴムダンパー
を取り付けた防振装置を配管の一部に使用する場合があ
った。図４において部材４１ａ、４１ｂはこの防振装置
を配管等にとりつけるためのフランジであり、ベローズ
４２の両端に溶接され、真空シールが行えるようになっ
ている。ダンパーゴム４３はベローズ外周にまかれ、フ
ランジ間隔を制限するとともに、振動を伝えにくくする
効果も持たせる構成となっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】上記の如き図４に示
した従来の技術においては、ダンパーゴム４３は成形品
であり、フランジ４１ａ、４１ｂの間隔を自由に設定使
用とすると、その度に新規設計となるため、通常の使用
においては、フランジ４１ａ、４１ｂの間隔および配管
径は一定として考えざるをえなかったため、自由度の高
い設計が出来ず、取付け部の寸法によっては、使用出来
ないという問題点があった。
した従来の技術においては、ダンパーゴム４３は成形品
であり、フランジ４１ａ、４１ｂの間隔を自由に設定使
用とすると、その度に新規設計となるため、通常の使用
においては、フランジ４１ａ、４１ｂの間隔および配管
径は一定として考えざるをえなかったため、自由度の高
い設計が出来ず、取付け部の寸法によっては、使用出来
ないという問題点があった。
【０００４】また、防振を目的として、ベローズ単体で
用いた場合には、内部を真空に排気すると、外圧により
全長が短くなり、防振効果がうすれるばかりでなく、ベ
ローズ下部にとりつけられた真空ポンプ等の機器の位置
変化が大きく、付属部品等の固定に困難であるという不
都合があった。そこで本発明では、従来からある防振装
置と同等の性能を有することはもとより、自由な寸法で
しかも低コストな防振装置を得ることを目的とする。
用いた場合には、内部を真空に排気すると、外圧により
全長が短くなり、防振効果がうすれるばかりでなく、ベ
ローズ下部にとりつけられた真空ポンプ等の機器の位置
変化が大きく、付属部品等の固定に困難であるという不
都合があった。そこで本発明では、従来からある防振装
置と同等の性能を有することはもとより、自由な寸法で
しかも低コストな防振装置を得ることを目的とする。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】上記問題点の解決のた
めに本発明は、振動発生源となる真空ポンプと前記真空
ポンプにより排気される真空室とを結合する配管路中に
ベローズを有する防振装置において、前記ベローズの溝
へＯリングをはめこんだことを特徴とする防振装置であ
る。
めに本発明は、振動発生源となる真空ポンプと前記真空
ポンプにより排気される真空室とを結合する配管路中に
ベローズを有する防振装置において、前記ベローズの溝
へＯリングをはめこんだことを特徴とする防振装置であ
る。
【０００６】
【作用】本発明では、ベローズの溝にＯリングが挿入さ
れているため、配管内部を真空に排気した場合でも、全
長の変化量が小さいため、防振特性の変化、ベローズ下
部にとりつけられた部材の位置変化を生じるという不都
合はない。ここで使用されるＯリングの材質を振動減衰
率の高いフッ素ゴムを使用すると、さらに効果は大きく
なる。
れているため、配管内部を真空に排気した場合でも、全
長の変化量が小さいため、防振特性の変化、ベローズ下
部にとりつけられた部材の位置変化を生じるという不都
合はない。ここで使用されるＯリングの材質を振動減衰
率の高いフッ素ゴムを使用すると、さらに効果は大きく
なる。
【０００７】さらに、構成部材のすべてを既成部品から
構成することができるため、部材の入手が容易であり、
各部材の寸法についても制約条件がなくなり、使用部位
にそくした寸法形状の防振装置を構成できるので、従来
の如き防振の必要な配管部の寸法形状を一定にしなけれ
ばならないという不都合はない。
構成することができるため、部材の入手が容易であり、
各部材の寸法についても制約条件がなくなり、使用部位
にそくした寸法形状の防振装置を構成できるので、従来
の如き防振の必要な配管部の寸法形状を一定にしなけれ
ばならないという不都合はない。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例の防振装置を示す断
面図である。フランジ１１ａ、１１ｂは、図４のフラン
ジ４１ａ、４１ｂと同じものであって、配管等にビスを
用いて固定される。フランジ１１ａ、１１ｂの間は筒状
のベローズ１２で接続されている。ベローズ１２の両端
は、フランジ１１ａ、１１ｂに溶接され、真空シールが
行なえるようになっている。ベローズ１２の各溝にはベ
ローズ１２の溝がつぶれないようにＯリング１３が嵌入
されている。Ｏリング１３はベローズの各溝が図３のよ
うにつぶれることがないように、ベローズ内径ｌ2 より
も大きな径を有する。具体的には、ベローズ外形ｌ1 と
ベローズ内径ｌ 2 の和の１／２、すなわち、（ｌ1 ＋ｌ
2 ）／２にＯリング１３の中心位置の径ｌ3 がほぼ一致
するようにＯリング１３の大きさを選択するのが好まし
い。また、ベローズの溝の深さ（ｌ1 −ｌ2 ）／２がＯ
リング１３の横断面の径の倍以上ある場合には、ベロー
ズの溝の中に、径の異なるＯリングを複数入れて片寄り
を防いでもよい。
面図である。フランジ１１ａ、１１ｂは、図４のフラン
ジ４１ａ、４１ｂと同じものであって、配管等にビスを
用いて固定される。フランジ１１ａ、１１ｂの間は筒状
のベローズ１２で接続されている。ベローズ１２の両端
は、フランジ１１ａ、１１ｂに溶接され、真空シールが
行なえるようになっている。ベローズ１２の各溝にはベ
ローズ１２の溝がつぶれないようにＯリング１３が嵌入
されている。Ｏリング１３はベローズの各溝が図３のよ
うにつぶれることがないように、ベローズ内径ｌ2 より
も大きな径を有する。具体的には、ベローズ外形ｌ1 と
ベローズ内径ｌ 2 の和の１／２、すなわち、（ｌ1 ＋ｌ
2 ）／２にＯリング１３の中心位置の径ｌ3 がほぼ一致
するようにＯリング１３の大きさを選択するのが好まし
い。また、ベローズの溝の深さ（ｌ1 −ｌ2 ）／２がＯ
リング１３の横断面の径の倍以上ある場合には、ベロー
ズの溝の中に、径の異なるＯリングを複数入れて片寄り
を防いでもよい。
【０００９】図２は図１の防振装置を配管の一部として
利用した実施例であり、真空室の形成される電子顕微鏡
２に取りつけられた配管部２１に、本発明による防振装
置１が取りつけられている。さらに防振装置１の下部に
は防振装置１に吊り下げられる形で、真空ポンプ３が取
りつけられている。このような装置の動作においては、
真空ポンプ３が振動源となりそこで発生した振動が配管
系を介して、電子顕微鏡へ伝わり、電子顕微鏡が振動す
ることにより、観察している画像がゆれるため、きちん
とした観察が出来なくなることが知られている。
利用した実施例であり、真空室の形成される電子顕微鏡
２に取りつけられた配管部２１に、本発明による防振装
置１が取りつけられている。さらに防振装置１の下部に
は防振装置１に吊り下げられる形で、真空ポンプ３が取
りつけられている。このような装置の動作においては、
真空ポンプ３が振動源となりそこで発生した振動が配管
系を介して、電子顕微鏡へ伝わり、電子顕微鏡が振動す
ることにより、観察している画像がゆれるため、きちん
とした観察が出来なくなることが知られている。
【００１０】しかし、この配管の一部に本発明の防振装
置１を取りつけることにより、配管系をつたわる振動を
１／１０〜１／２０に減少させることが可能であり、最
終的に影響のでる電子顕微鏡への影響も少なくなる。ま
た、防振効果をあげる必要がある場合には、ベローズ部
の長さを必要なだけ伸ばし、Ｏリングの個数を増やすこ
とにより必要な防振特性を得ることができる。また、ベ
ローズの肉圧を薄くすることによっても、防振効果を上
げることが可能である。
置１を取りつけることにより、配管系をつたわる振動を
１／１０〜１／２０に減少させることが可能であり、最
終的に影響のでる電子顕微鏡への影響も少なくなる。ま
た、防振効果をあげる必要がある場合には、ベローズ部
の長さを必要なだけ伸ばし、Ｏリングの個数を増やすこ
とにより必要な防振特性を得ることができる。また、ベ
ローズの肉圧を薄くすることによっても、防振効果を上
げることが可能である。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来か
らある防振ベローズと同等の防振特性を得られるばかり
でなく、必要な防振特性にあわせての設計を行う際に、
既成部品の組合せを行うだけで良い。さらに、ベローズ
のバネ性とＯリングのダンピングを利用することによ
り、流体の脈動を軽減する効果も期待できる。
らある防振ベローズと同等の防振特性を得られるばかり
でなく、必要な防振特性にあわせての設計を行う際に、
既成部品の組合せを行うだけで良い。さらに、ベローズ
のバネ性とＯリングのダンピングを利用することによ
り、流体の脈動を軽減する効果も期待できる。
【図１】本発明の一実施例の断面図を示す図である。
【図２】本発明の防振装置の使用状態を示す図である。
【図３】従来の防振装置であるベローズ単体で使用した
場合の内部を真空排気した場合の変形した形状を示す断
面図である。
場合の内部を真空排気した場合の変形した形状を示す断
面図である。
【図４】従来のゴムダンパーが付属した装置の断面図で
ある。
ある。
１ 防振装置 ２ 電子顕微鏡 ３ 真空ポンプ １１ 取りつけ用フランジ １２ ベローズ １３ Ｏリング ２１ 電子顕微鏡配管 ４１ 取りつけ用フランジ ４２ ベローズ ４３ 防振ゴム
Claims (3)
- 【請求項１】 振動発生源となる真空ポンプと前記真空
ポンプにより排気される真空室とを結合する配管路中に
ベローズを有する防振装置において、前記ベローズの溝
へＯリングをはめこんだことを特徴とする防振装置。 - 【請求項２】 第１項記載の防振装置において、前記ベ
ローズが成形ベローズであることを特徴とする防振装
置。 - 【請求項３】 前記第１項、第２項に記載された防振装
置において、前記Ｏリングの材質がフッ素ゴムであるこ
とを特徴とする防振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4150242A JPH05340497A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 防振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4150242A JPH05340497A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 防振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05340497A true JPH05340497A (ja) | 1993-12-21 |
Family
ID=15492674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4150242A Pending JPH05340497A (ja) | 1992-06-10 | 1992-06-10 | 防振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05340497A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7879149B2 (en) | 2003-03-11 | 2011-02-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Vacuum processing apparatus |
| JP2018507365A (ja) * | 2015-02-23 | 2018-03-15 | マン・ディーゼル・アンド・ターボ・エスイー | コンペンセータ |
| JP2018071210A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 範多機械株式会社 | 汚泥吸引車 |
| CN114165669A (zh) * | 2020-09-11 | 2022-03-11 | 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 | 用于连接具有振动隔离的分析系统的联接器 |
-
1992
- 1992-06-10 JP JP4150242A patent/JPH05340497A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7879149B2 (en) | 2003-03-11 | 2011-02-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Vacuum processing apparatus |
| JP2018507365A (ja) * | 2015-02-23 | 2018-03-15 | マン・ディーゼル・アンド・ターボ・エスイー | コンペンセータ |
| US10533483B2 (en) | 2015-02-23 | 2020-01-14 | Man Energy Solutions Se | Compensator |
| JP2018071210A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 範多機械株式会社 | 汚泥吸引車 |
| CN114165669A (zh) * | 2020-09-11 | 2022-03-11 | 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 | 用于连接具有振动隔离的分析系统的联接器 |
| CN114165669B (zh) * | 2020-09-11 | 2024-04-02 | 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 | 用于连接具有振动隔离的分析系统的联接器 |
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