JPH05338073A - Laminated film - Google Patents

Laminated film

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JPH05338073A
JPH05338073A JP14595192A JP14595192A JPH05338073A JP H05338073 A JPH05338073 A JP H05338073A JP 14595192 A JP14595192 A JP 14595192A JP 14595192 A JP14595192 A JP 14595192A JP H05338073 A JPH05338073 A JP H05338073A
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aluminum
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polymer resin
aluminum oxide
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逸夫 永井
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Abstract

PURPOSE:To improve a transparency, gas barrier properties, a practicability by taking such means as to laminate a polymer resin film on a transparent gas barrier film provided with an aluminum oxide film and specify the whole film thickness and aluminum metal component content of the aluminum oxide film, respectively. CONSTITUTION:On a transparent gas barrier film provided with an alunimum oxide film provided on at least one surface of a polymer resin film substrate, at least one polymer resin film layer is laminated. At this time, the whole film thickness of the aluminum oxide film is determined to be not less than 6nm. At least one incompletely oxidized film layer incorporating an aluminum metal component is provided only in the aluminum oxide film. The content of the aluminum metal component in the whole aluminum oxide film is determined to be within a range of 0.5-10%.nm. At the time of production, the polymer resin film 3 is supplied to a cooling drum 2 disposed above a vapor source 1, and an oxide film is vapor deposited on the film through an opening of a barrier plate 4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ガスバリア性と透明性
に優れた積層フィルムに関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a laminated film having excellent gas barrier properties and transparency.

【0002】[0002]

【従来の技術】食品や薬品を長期間保存するためには、
腐敗や変質を促進する外気からの酸素や水蒸気の侵入を
遮断する効果を持った、いわゆるガスバリア性に優れた
包装を行なう必要がある。この目的に使用されるガスバ
リア性に優れたフィルム包装材料に、近年特に内容物の
状態を確認できる透明性が要求される傾向が強くなって
いる。
2. Description of the Related Art In order to preserve foods and drugs for a long period of time,
It is necessary to carry out packaging having excellent so-called gas barrier properties, which has an effect of blocking the invasion of oxygen and water vapor from the outside air that promotes decay and deterioration. In recent years, there has been an increasing tendency in particular for film packaging materials having excellent gas barrier properties, which are used for this purpose, to be required to have transparency so that the state of the contents can be confirmed.

【0003】金属酸化物を高分子フィルム基材上に形成
したものがガスバリア性と透明性に優れていることは従
来よりよく知られている。これらの中で特に酸化珪素を
高分子樹脂フィルム上に形成したものが特公昭53−1
2953号公報により、酸化アルミニウムを高分子樹脂
フィルム上に形成したものが特公昭62−179935
号公報により知られている。
It is well known in the art that a metal oxide formed on a polymer film substrate has excellent gas barrier properties and transparency. Among these, particularly those in which silicon oxide is formed on a polymer resin film are disclosed in JP-B-53-1.
Japanese Patent Publication No. 62-179935 discloses that aluminum oxide is formed on a polymer resin film according to Japanese Patent No. 2953.
It is known from the publication.

【0004】ところで酸化珪素薄膜は、例えば独LEY
BOLD社のT.G.KrugらがBarrier P
ack Conference(London, Ma
y21 and 22, 1990)で発表したもの
や、雑誌「コンバーテック」1990.6 30〜36
ページ(海保恵亮氏著)にあるように、高いガスバリア
性(酸素透過率2cc/m2 ・day以下、水蒸気透過
率2g/m2 ・day以下)を確保するためには50n
m程度の膜厚が必要とされる。さらに完全酸化膜のSi
2 という組成ではガスバリア性が発現しないために酸
素が欠損した組成すなわち、SiOX (X <2.0)と
いう組成の薄膜が形成される。従って透明ではあるが、
短波長側での吸収が大きくなり蒸着膜に黄色い着色があ
り、中に食品を入れた場合、変質の状況が分かりにく
い、あるいは変質していないにもかかわらず変質してい
るように見えるといった問題がある。また膜厚が大きい
ために薄い基材のフィルムを用いた場合、カールしやす
く、このためにハンドリング性が悪くなり乱暴に扱うと
蒸着膜にクラック(割れ)が入りガスバリア性が低下す
るという問題もある。
By the way, the silicon oxide thin film is, for example, German LEY.
B.T. G. Krug et al. Are Barrier P
ack Conference (London, Ma
y21 and 22, 1990) and the magazine "Convertec" 1990.6 30-36.
As shown in the page (by Keisuke Kaiho), 50n is required to secure high gas barrier properties (oxygen permeability 2 cc / m 2 · day or less, water vapor permeability 2 g / m 2 · day or less).
A film thickness of about m is required. In addition, a complete oxide film of Si
Since the composition of O 2 does not exhibit the gas barrier property, a thin film having a composition of oxygen deficiency, that is, a composition of SiO x (X <2.0) is formed. So it's transparent,
Absorption on the short wavelength side becomes large and the vapor deposition film has a yellow coloration, and when food is put inside, it is difficult to understand the state of alteration, or it seems that alteration is occurring even if it is not altered. There is. In addition, when a thin base film is used due to its large thickness, curling is likely to occur, which causes poor handling properties, and if handled roughly, cracks will occur in the vapor deposition film and gas barrier properties will deteriorate. is there.

【0005】一方アルミニウムの酸化膜は無色透明で、
ある程度のガスバリア性を発現することができる。しか
し雑誌「ジャパンフードサイエンス」1990.12
58〜63ページ(渡邊英男氏著)にあるように酸化珪
素薄膜並のガスバリア性を発現することは不可能であっ
た。また同様のアルミニウムの酸化膜の応用として、特
開昭62−220330号公報に、電子材料の包装材料
として、アルミニウムの金属成分が1から15重量%含
有されたアルミニウムの不完全酸化膜を高分子樹脂フィ
ルム基材上に形成し、制電性とガスバリア性を備えたフ
ィルムが開示されている。しかし膜全体に最低で1重量
%のアルミニウム金属が存在することで、光線透過率が
かなり低下することが述べられており、透明性の点で問
題があった。また、該フィルムは、制電性(すなわち導
電性)を有するために、マイクロ波の透過率が低く、包
装材料として使用し内容物を包装したまま電子レンジで
加熱する場合に、加熱できないという問題があった。
On the other hand, the aluminum oxide film is colorless and transparent,
A gas barrier property can be exhibited to some extent. However, the magazine “Japan Food Science” 1990.12
As described on pages 58 to 63 (written by Hideo Watanabe), it was impossible to develop a gas barrier property comparable to that of a silicon oxide thin film. As a similar application of an aluminum oxide film, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-220330 discloses a polymer for an incomplete aluminum oxide film containing 1 to 15% by weight of a metal component of aluminum as a packaging material for electronic materials. A film formed on a resin film substrate and having antistatic property and gas barrier property is disclosed. However, it is described that the light transmittance is considerably reduced by the presence of at least 1% by weight of aluminum metal in the entire film, and there is a problem in transparency. Further, since the film has antistatic property (that is, conductivity), it has a low microwave transmittance and cannot be heated when used as a packaging material and heated in a microwave oven while packaging the contents. was there.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のような
問題点を解決することを目的とする。すなわち本発明
は、透明性が高く、ガスバリア性に優れ、かつ従来の透
明ガスバリア性フィルムがもっていた着色や電子レンジ
加熱性といった欠点を解消したフィルムを提供すること
を目的とするものである。さらに本発明は、耐屈曲性、
耐ボイル性など透明ガスバリア性フィルムの実用上重要
な特性を顕著に向上させたフィルムを提供することを目
的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above problems. That is, it is an object of the present invention to provide a film having high transparency and excellent gas barrier properties, and in which the drawbacks of the conventional transparent gas barrier film such as coloring and microwave oven heating property are eliminated. Furthermore, the present invention is flex resistance,
It is an object of the present invention to provide a film in which the practically important properties of a transparent gas barrier film such as boil resistance are remarkably improved.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、高分子樹脂フ
ィルム基材の少なくとも片面にアルミニウム酸化膜が形
成されてなる透明ガスバリア性フィルムに、少なくとも
1層の高分子樹脂フィルムが積層されてなる積層フィル
ムであって、該アルミニウム酸化膜の全膜厚が6nm以
上であり、かつアルミニウムの金属成分が含有されてな
る不完全酸化層が該アルミニウム酸化膜の内部にのみ少
なくとも1層存在し、該アルミニウム酸化膜全体中のア
ルミニウム金属成分含有量が0.5%・nm〜10%・
nmの範囲であることを特徴とする積層フィルムであ
る。
According to the present invention, at least one polymer resin film is laminated on a transparent gas barrier film having an aluminum oxide film formed on at least one surface of a polymer resin film substrate. A laminated film, wherein the total thickness of the aluminum oxide film is 6 nm or more, and at least one incomplete oxide layer containing a metal component of aluminum is present only inside the aluminum oxide film, The content of aluminum metal component in the entire aluminum oxide film is 0.5% ・ nm to 10% ・
It is a laminated film having a range of nm.

【0008】本発明に用いる透明ガスバリア性フィルム
の高分子樹脂フィルム基材の材質は、特に限定されない
が代表的なものとして、ポリエチレン、ポリプロピレン
などのポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、
ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−2、6−
ナフタレートなどのポリエステル、ナイロン6、ナイロ
ン12などのポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビ
ニリデン、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポリスチレ
ン、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリル、ポリス
ルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレン
サルファイド、芳香族ポリアミド、ポリイミド、ポリア
ミドイミド、セルロース、酢酸セルロースなどおよび、
これらの共重合体や、他の有機物との共重合体などを例
示することができる。透明性、ガスバリア性などの点
で、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル、
ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンが
好ましく、ポリエチレンテレフタレート系がより好まし
い。
The material of the polymer resin film base material of the transparent gas barrier film used in the present invention is not particularly limited, but typical ones include polyolefins such as polyethylene and polypropylene, polyethylene terephthalate,
Polybutylene terephthalate, polyethylene-2,6-
Polyester such as naphthalate, polyamide such as nylon 6 and nylon 12, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, ethylene vinyl acetate copolymer, polystyrene, polycarbonate, polyacrylonitrile, polysulfone, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, aromatic polyamide, polyimide , Polyamideimide, cellulose, cellulose acetate, etc.,
Examples thereof include these copolymers and copolymers with other organic substances. In terms of transparency and gas barrier properties, polyester such as polyethylene terephthalate,
Polyolefins such as polyethylene and polypropylene are preferable, and polyethylene terephthalate type is more preferable.

【0009】これらの高分子樹脂フィルムは熱可塑性樹
脂の場合、未延伸、一軸延伸、二軸延伸のいずれでもよ
いが、寸法安定性や機械特性およびガスバリア性の安定
性の点から二軸延伸されたものが好ましい。また該高分
子樹脂フィルム基材内には食品衛生上問題にならなけれ
ば公知の添加剤、例えば帯電防止剤、酸化防止剤、滑
剤、着色防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、着色剤などが
添加されていてもよい。
In the case of a thermoplastic resin, these polymer resin films may be unstretched, uniaxially stretched or biaxially stretched, but are biaxially stretched from the viewpoint of dimensional stability, mechanical properties and gas barrier stability. Those that are preferred. In the polymer resin film substrate, known additives such as antistatic agents, antioxidants, lubricants, anti-coloring agents, ultraviolet absorbers, plasticizers, colorants, etc. may be used if they do not cause food hygiene problems. It may be added.

【0010】高分子樹脂フィルムは透明であることが好
ましく、光線透過率が好ましくは40%以上、より好ま
しくは60%以上、さらに好ましくは80%以上であ
る。また蒸着に先立ち、フィルム上に公知の表面処理、
例えばコロナ放電処理、グロー放電処理やコーティング
によるアンカーコート処理が施されてもよい。
The polymer resin film is preferably transparent and has a light transmittance of preferably 40% or more, more preferably 60% or more, still more preferably 80% or more. In addition, prior to vapor deposition, known surface treatment on the film,
For example, corona discharge treatment, glow discharge treatment, or anchor coating treatment by coating may be performed.

【0011】さらに本発明に用いる高分子樹脂フィルム
のアルミニウム酸化膜を形成する表面は平滑であること
が好ましい。中心線平均荒さで0.5μm以下が好まし
く、より好ましくは0.2μm以下、さらに好ましくは
0.05μm以下である。この理由としてフィルム表面
上に大きな突起が存在すると、ガスバリア性蒸着膜が均
一に形成されないためである。
Further, the surface of the polymer resin film used in the present invention for forming the aluminum oxide film is preferably smooth. The center line average roughness is preferably 0.5 μm or less, more preferably 0.2 μm or less, still more preferably 0.05 μm or less. The reason for this is that if there are large protrusions on the film surface, the gas barrier vapor deposition film will not be formed uniformly.

【0012】本発明に用いる高分子樹脂フィルムの厚み
は特に限定されるものではないが、包装材料として5μ
m〜500μmの範囲が好ましい。
The thickness of the polymer resin film used in the present invention is not particularly limited, but is 5 μm as a packaging material.
The range of m to 500 μm is preferable.

【0013】本発明の積層フィルムにおいて、高分子樹
脂フィルム基材上に形成されるアルミニウムの酸化膜の
全膜厚は6nm以上である必要がある。全膜厚が6nm
未満であるとガスバリア性が満足できない。またアルミ
ニウムの酸化膜の全膜厚は50nm未満であることが好
ましい。全膜厚が大きいとカールが発生しやすく、加工
時にガスバリア性が急激に低下するなどの問題が起こり
うる場合がある。生産性の点からも全膜厚は小さい方が
好ましく、より好ましくは全膜厚は30nm未満であ
る。
In the laminated film of the present invention, the total thickness of the aluminum oxide film formed on the polymer resin film substrate must be 6 nm or more. Total film thickness is 6 nm
If it is less than this, the gas barrier property cannot be satisfied. The total thickness of the aluminum oxide film is preferably less than 50 nm. If the total film thickness is large, curling is likely to occur, which may cause problems such as a sharp decrease in gas barrier property during processing. From the viewpoint of productivity, the total film thickness is preferably small, and more preferably the total film thickness is less than 30 nm.

【0014】本発明の積層フィルムにおいては、アルミ
ニウムの金属成分が含有されてなる不完全酸化層が該ア
ルミニウム酸化膜の内部にのみ少なくとも1層存在す
る。該金属成分を含む不完全酸化層がアルミニウム酸化
膜の内部に存在せず、アルミニウム酸化膜全体が完全酸
化膜で構成されたものでは優れたガスバリア性を得るこ
とは困難である。一方、アルミニウム酸化膜全体に金属
成分が認められる、すなわち層全体が不完全酸化膜から
なるものにおいては、光線透過率が低いものとなり好ま
しくない。
In the laminated film of the present invention, at least one incompletely oxidized layer containing the metal component of aluminum is present only inside the aluminum oxide film. It is difficult to obtain an excellent gas barrier property if the incompletely oxidized layer containing the metal component does not exist inside the aluminum oxide film and the entire aluminum oxide film is composed of the complete oxide film. On the other hand, when a metal component is found in the entire aluminum oxide film, that is, when the entire layer is composed of an incomplete oxide film, the light transmittance becomes low, which is not preferable.

【0015】ここで、アルミニウム酸化膜中のアルミニ
ウムの金属成分含有の有無および程度は、表面感度の非
常に高い分析手法であるX線光電子分光法(以下XPS
と言うことがある。)分析によるAl2pスペクトルに
よって判別することができる。すなわち、該スペクトル
が酸化されたアルミニウムによるピーク(Al(II
I))以外に金属成分の存在を示すAl(0)ピークを
有するとき、アルミニウムの金属成分が含有されている
ことが分かる。また、アルミニウム酸化膜の内部にのみ
アルミニウムの金属成分が含有されていることを確認す
るには、該XPS分析をアルミニウム酸化膜の表面から
行なうだけでなく、アルミニウム酸化膜を表面から少し
ずつイオンエッチングしながらXPS分析を行い、アル
ミニウム酸化膜の深さ方向に沿ったAl2pスペクトル
の変化(以下デプスプロファイルと言う。)を追う必要
がある。すなわち、「アルミニウム酸化膜の内部にのみ
アルミニウムの金属成分が含有されている」とは、表面
からのXPS分析ではAl(0)ピークが認められず、
デプスプロファイルの途中でAl(0)ピークが認めら
れ、高分子樹脂フィルム基材との界面近傍では再びAl
(0)ピークが認められなくなることを意味する。
Here, the presence or absence and the degree of the aluminum metal component contained in the aluminum oxide film are X-ray photoelectron spectroscopy (hereinafter referred to as XPS) which is an analysis method having a very high surface sensitivity.
I have to say. ) It can be identified by the Al2p spectrum by analysis. That is, the peak (Al (II
It can be seen that a metal component of aluminum is contained when it has an Al (0) peak indicating the presence of a metal component other than I)). Further, in order to confirm that the aluminum metal component is contained only in the aluminum oxide film, the XPS analysis is performed not only from the surface of the aluminum oxide film, but also the aluminum oxide film is gradually ion-etched from the surface. However, it is necessary to perform XPS analysis and follow the change in the Al2p spectrum (hereinafter referred to as depth profile) along the depth direction of the aluminum oxide film. That is, "the aluminum metal component is contained only inside the aluminum oxide film" means that the Al (0) peak is not recognized in the XPS analysis from the surface,
An Al (0) peak was observed in the middle of the depth profile, and Al near the interface with the polymer resin film substrate
(0) means that no peak is observed.

【0016】アルミニウム酸化膜の内部のアルミニウム
の金属成分の含有量は、以下の定義により特定される。
すなわち、XPS分析によるAl2pスペクトルのデプ
スプロファイルをとった場合、アルミニウム酸化膜表面
と高分子樹脂フィルム基材との界面は上述のようにAl
(III)のみで完全酸化膜であることを示すが、内部
にAl(III)のスペクトル以外にAl(0)の金属
成分の存在を示すスペクトルが得られる。表面からの深
さd(nm単位)におけるスペクトルのピーク分割を行
ない、Al(III)とAl(0)のピーク面積をそれ
ぞれに帰属するアルミニウム原子の相対数に換算した値
を各々N3 (d)、N0 (d)とし、その深さにおける
アルミニウムの金属成分の存在割合M(d)(単位%)
を100×N0 (d)/(N3 (d)+N0 (d))
(単位%)で定義する。横軸に表面からの深さd(nm
単位)、縦軸にその深さでのアルミニウムの金属成分の
存在割合M(d)(%単位)を取ったグラフを描く。こ
こでM(d)の深さd方向の積分(d=0からd=アル
ミニウム酸化膜の全厚み)を取ると%・nmの単位を持
つ値が得られる。この値はアルミニウム酸化膜中に存在
するアルミニウム金属量に対応し、アルミニウム金属成
分含有量(%・nm)と定義する。本発明の積層フィル
ムにおいては、アルミニウム金属成分含有量の値は0.
5%・nm〜10%・nmである必要がある。0.5%
・nm未満ではガスバリア性能が不十分であり、10%
・nmを越えると光線透過率が下がり、またボイル処理
した後のガスバリア性が急激に低下する。さらに高いガ
スバリア性を得るためには1%・nm〜10%・nmが
より好ましい。
The content of the metal component of aluminum inside the aluminum oxide film is specified by the following definition.
That is, when the depth profile of the Al2p spectrum by the XPS analysis is taken, the interface between the aluminum oxide film surface and the polymer resin film substrate is Al as described above.
Although only (III) indicates a complete oxide film, a spectrum showing the presence of a metal component of Al (0) is obtained in addition to the spectrum of Al (III) inside. The spectrum was divided into peaks at a depth d (nm unit) from the surface, and the peak areas of Al (III) and Al (0) were converted into the relative numbers of the aluminum atoms belonging to each, and the values were respectively converted into N 3 (d ), N 0 (d), and the existence ratio M (d) of the metal component of aluminum in the depth (unit:%)
100 × N 0 (d) / (N 3 (d) + N 0 (d))
It is defined by (unit%). Depth d (nm) from the surface on the horizontal axis
A unit), and a vertical axis is a graph in which the abundance ratio M (d) (% unit) of the metal component of aluminum at the depth is plotted. Here, if the integration of M (d) in the depth d direction (d = 0 to d = total thickness of aluminum oxide film) is taken, a value having a unit of% .nm is obtained. This value corresponds to the amount of aluminum metal present in the aluminum oxide film and is defined as the aluminum metal component content (% · nm). In the laminated film of the present invention, the value of the aluminum metal component content is 0.
It must be 5% · nm to 10% · nm. 0.5%
・ If it is less than nm, the gas barrier performance is insufficient and it is 10%.
・ If it exceeds nm, the light transmittance is lowered, and the gas barrier property after boil treatment is drastically lowered. In order to obtain a higher gas barrier property, 1% · nm to 10% · nm is more preferable.

【0017】本発明の積層フィルムのアルミニウム酸化
膜の内部には少なくとも1層のアルミニウムの金属成分
を含有する層が存在するが、該層は2層以上存在しても
よい。該層の層数は、横軸に表面からの深さd(nm単
位)、縦軸にその深さでのアルミニウムの金属成分の存
在割合M(d)(%単位)を取ったグラフにおいてM
(d)の分布の形によって判断することができる。
Although at least one layer containing a metal component of aluminum is present inside the aluminum oxide film of the laminated film of the present invention, two or more layers may be present. The number of layers is M in a graph in which the horizontal axis represents the depth d (nm unit) from the surface and the vertical axis represents the abundance ratio M (d) (% unit) of the aluminum metal component at that depth.
It can be judged by the shape of the distribution of (d).

【0018】本発明に用いる透明ガスバリア性フィルム
は、酸素透過率が2cc/m2 ・day以下(より好ま
しくは1cc/m2 ・day以下)、かつ水蒸気透過率
が2g/m2 ・day以下(より好ましくは1g/m2
・day以下)であることが好ましい。
The transparent gas barrier film used in the present invention has an oxygen transmission rate of 2 cc / m 2 · day or less (more preferably 1 cc / m 2 · day or less) and a water vapor transmission rate of 2 g / m 2 · day or less ( More preferably 1 g / m 2
・ Day or less) is preferable.

【0019】本発明の積層フィルムは、上述の透明ガス
バリア性フィルムに少なくとも1層の高分子樹脂フィル
ムを積層してなる。積層する高分子樹脂フィルムの材質
は、特に限定されないが代表的なものとして、ポリエチ
レン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポ
リエチレン−2、6−ナフタレートなどのポリエステ
ル、ナイロン6、ナイロン12などのポリアミド、ポリ
塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、エチレン酢酸ビニル
共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリアク
リロニトリル、ポリスルフォン、ポリフェニレンオキサ
イド、ポリフェニレンサルファイド、芳香族ポリアミ
ド、ポリイミド、ポリアミドイミド、セルロース、酢酸
セルロースなどおよび、これらの共重合体や、他の有機
物との共重合体などを例示することができる。透明性、
耐屈曲性、耐熱性、耐ピンホール性などの点で、ポリエ
チレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリエチレ
ン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ナイロン6
などのポリアミドが好ましい。
The laminated film of the present invention is formed by laminating at least one polymer resin film on the above transparent gas barrier film. The material of the polymer resin film to be laminated is not particularly limited, but typical ones include polyolefins such as polyethylene and polypropylene, polyesters such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, nylon 6, nylon 12 and nylon 12. Such as polyamide, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, ethylene vinyl acetate copolymer, polystyrene, polycarbonate, polyacrylonitrile, polysulfone, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, aromatic polyamide, polyimide, polyamideimide, cellulose, cellulose acetate and the like and Examples thereof include copolymers thereof and copolymers with other organic substances. transparency,
Polyester such as polyethylene terephthalate, polyolefin such as polyethylene and polypropylene, nylon 6 in terms of bending resistance, heat resistance and pinhole resistance.
Polyamides such as

【0020】これらの高分子樹脂フィルムは熱可塑性樹
脂の場合、未延伸、一軸延伸、二軸延伸のいずれでもよ
いが、耐屈曲性、耐熱性の点からは二軸延伸されたもの
が好ましく、一方ヒートシール性の点では、未延伸のも
のが好ましい。また該高分子樹脂フィルム内には食品衛
生上問題にならなければ公知の添加剤、例えば帯電防止
剤、酸化防止剤、滑剤、着色防止剤、紫外線吸収剤、可
塑剤、着色剤などが添加されていてもよい。
In the case of a thermoplastic resin, these polymer resin films may be unstretched, uniaxially stretched or biaxially stretched, but from the viewpoint of flex resistance and heat resistance, biaxially stretched films are preferable, On the other hand, from the viewpoint of heat sealability, an unstretched material is preferable. In the polymer resin film, known additives such as antistatic agents, antioxidants, lubricants, anti-coloring agents, ultraviolet absorbers, plasticizers, colorants, etc. are added to the polymer resin film if they do not pose a problem in food hygiene. May be.

【0021】該高分子樹脂フィルムは透明であることが
好ましく、光線透過率が好ましくは40%以上、より好
ましくは60%以上、さらに好ましくは80%以上であ
る。
The polymer resin film is preferably transparent and has a light transmittance of preferably 40% or more, more preferably 60% or more, still more preferably 80% or more.

【0022】本発明の積層フィルムは、550nmの波
長における全光線透過率が40%以上(より好ましくは
60%以上さらに好ましくは80%以上)、酸素透過率
が2cc/m2 ・day以下(より好ましくは1cc/
2 ・day以下)、かつ水蒸気透過率が2g/m2
day以下(より好ましくは1g/m2 ・day以下)
とすることが好ましい。かかる特性は、アルミニウム酸
化膜の全膜厚が6nm以上であり、かつアルミニウム酸
化膜の内部にのみアルミニウムの金属成分が含有された
不完全酸化層が少なくとも1層存在し、かつ該アルミニ
ウム酸化膜全体中のアルミニウム金属成分含有量が0.
5%・nm〜10%・nmの範囲であるようにするほか
に、アルミニウム酸化膜の高分子樹脂フィルム基材およ
び積層する高分子樹脂フィルムの材質、厚さ、光線透過
率を適宜選択することにより達成することができる。た
だし、積層フィルムとしてのガスバリア性は、主として
アルミニウム酸化膜によって発現するので、アルミニウ
ム酸化膜の高分子樹脂フィルム基材および積層する高分
子樹脂フィルムとしてガスバリア性のフィルムを用いる
必要はない。
The laminated film of the present invention has a total light transmittance of 40% or more (more preferably 60% or more, further preferably 80% or more) at a wavelength of 550 nm, and an oxygen transmittance of 2 cc / m 2 · day or less (more Preferably 1 cc /
m 2 · day or less), and a water vapor transmission rate of 2 g / m 2 ·
day or less (more preferably 1 g / m 2 · day or less)
It is preferable that Such a characteristic is that the total thickness of the aluminum oxide film is 6 nm or more, at least one incomplete oxide layer containing the metal component of aluminum is present only inside the aluminum oxide film, and the entire aluminum oxide film is present. The content of aluminum metal component in the steel is 0.
In addition to the range of 5% · nm to 10% · nm, the material, thickness, and light transmittance of the polymer resin film base material of the aluminum oxide film and the polymer resin film to be laminated should be appropriately selected. Can be achieved by However, since the gas barrier property of the laminated film is mainly expressed by the aluminum oxide film, it is not necessary to use the gas barrier film as the polymer resin film substrate of the aluminum oxide film and the polymer resin film to be laminated.

【0023】高分子樹脂フィルムは、上述の透明ガスバ
リア性フィルムの少なくとも片側に少なくとも1層設け
れば良く、設ける側、層数に特に制約はないが、耐ボイ
ル性、耐レトルト性の点からは、該高分子樹脂フィルム
は透明ガスバリア性フィルムの表面に形成されているア
ルミニウム酸化膜を覆うように設けるのが好ましい。こ
のような構成とした場合、該積層フィルムを沸騰水中で
30分ボイル処理した後の全光線透過率及び酸素透過率
が各々40%以上(より好ましくは60%以上さらに好
ましくは80%以上)及び2cc/m2 ・day以下
(より好ましくは1cc/m2 ・day以下)とするこ
とが好ましい。
The polymer resin film may be provided in at least one layer on at least one side of the above-mentioned transparent gas barrier film, and there is no particular limitation on the side on which it is provided and the number of layers, but from the viewpoint of boil resistance and retort resistance. The polymer resin film is preferably provided so as to cover the aluminum oxide film formed on the surface of the transparent gas barrier film. In the case of such a constitution, the total light transmittance and the oxygen transmittance after boiling the laminated film for 30 minutes in boiling water are 40% or more (more preferably 60% or more and further preferably 80% or more) and it is preferable to 2cc / m 2 · day or less (more preferably 1cc / m 2 · day or less).

【0024】本発明の積層フィルムの少なくとも片側の
最外層がヒートシール性のフィルムで構成されているこ
とが好ましい。ここでヒートシール性とは、フィルム同
士を重ね合わせて加熱しながら押圧することで互いに接
着しあうことを言う。
At least one outermost layer of the laminated film of the present invention is preferably composed of a heat-sealable film. Here, the heat-sealing property means that the films are superposed and pressed with each other while being heated to adhere to each other.

【0025】このようなヒートシール性を発現する高分
子樹脂フィルム(以下シーラントフィルムということが
ある。)の組成としては、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン、エチレン・プロピレン共重合体、エチレン・酢酸ビ
ニル共重合体、エチレン・メタクリル酸共重合体、エチ
レン・アクリル酸共重合体、オレフィン系アイオノマ
ー、共重合ポリエステルなどを例示することができる。
シーラントフィルム中には、ブロッキング防止剤、スリ
ップ剤などの添加物を通常添加される程度の濃度で含む
ことができる。
The composition of the polymer resin film exhibiting such heat sealability (hereinafter sometimes referred to as sealant film) is polyethylene, polypropylene, ethylene / propylene copolymer, ethylene / vinyl acetate copolymer, Examples thereof include ethylene / methacrylic acid copolymers, ethylene / acrylic acid copolymers, olefinic ionomers, and copolyesters.
The sealant film may contain additives such as an antiblocking agent and a slip agent at a concentration such that they are usually added.

【0026】本発明の積層フィルムの表面または積層層
間には、高分子樹脂フィルム以外の印刷層、接着剤など
のコーティング層が設けられていてもよい。ただし、ア
ルミニウム箔、金属アルミニウム蒸着など不透明な層が
全面を覆い、透明性が損なわれるような構成は、本発明
の目的に馴染まない。また印刷層など部分的に不透明な
層が形成されている場合は、上述の全光線透過率は透明
な部分で測定するものとする。
A printing layer other than the polymer resin film and a coating layer such as an adhesive may be provided on the surface of the laminated film of the present invention or between the laminated layers. However, a configuration in which an opaque layer such as aluminum foil or metal aluminum vapor deposition covers the entire surface and impairs transparency is not suitable for the purpose of the present invention. When a partially opaque layer such as a printing layer is formed, the total light transmittance described above is measured at the transparent portion.

【0027】次に、本発明の積層フィルムを製造する方
法について述べる。
Next, a method for producing the laminated film of the present invention will be described.

【0028】本発明におけるアルミニウムの酸化膜を形
成するための方法は、酸素雰囲気下での反応性蒸着によ
る。酸素雰囲気とは酸素ガス単独あるいは酸素ガスを不
活性ガスで希釈したものを真空蒸着機中に必要量導入し
たものをいう。不活性ガスとはArやHeなどの希ガス
ならびに窒素ガスおよびこれらの混合ガスを指す。反応
性蒸着とはこういった酸素雰囲気下でアルミニウムを蒸
発源から蒸発させ、高分子樹脂フィルム基材近傍で酸化
反応を起こさせ、アルミニウムの酸化物を高分子樹脂フ
ィルム基材上に形成する手法である。このための蒸発源
としては抵抗加熱方式のボート形式や、輻射あるいは高
周波加熱によるルツボ形式や、電子ビーム加熱による方
式などがあるが、特に限定されない。
The method for forming an aluminum oxide film in the present invention is by reactive vapor deposition in an oxygen atmosphere. The oxygen atmosphere means an oxygen gas alone or an oxygen gas diluted with an inert gas and introduced into a vacuum vapor deposition machine in a required amount. The inert gas refers to a rare gas such as Ar or He, a nitrogen gas, or a mixed gas thereof. What is reactive vapor deposition? A method of evaporating aluminum from an evaporation source in such an oxygen atmosphere and causing an oxidation reaction near the polymer resin film base material to form aluminum oxide on the polymer resin film base material. Is. The evaporation source for this purpose includes, but is not particularly limited to, a resistance heating type boat type, a crucible type using radiation or high frequency heating, and an electron beam heating type.

【0029】本発明の構成のアルミニウムの酸化膜を形
成するためには高分子樹脂フィルム基材上に蒸着される
アルミニウム蒸気のビーム強度と高分子樹脂フィルム基
材近傍の酸素分圧の関係が重要である。
In order to form the aluminum oxide film having the constitution of the present invention, the relationship between the beam intensity of aluminum vapor deposited on the polymer resin film substrate and the oxygen partial pressure in the vicinity of the polymer resin film substrate is important. Is.

【0030】図1にフィルム状の基材上に連続的に蒸着
を行なう場合の蒸発源とフィルムの位置関係の一般的な
ものを示す。蒸発源1の上方に配置された冷却ドラム2
を回転させ、高分子樹脂フィルム3をこのドラムに供給
する形をとる。一般に蒸発源からのアルミニウム蒸気の
ビーム強度の最も強い蒸発源の直上を中心に開口部を持
つ防着板4が設けられ、この開口部から高分子樹脂フィ
ルム基材上に蒸着が行なわれる。ここで開口部を大きく
とった場合の開口部位置5、6、7を考えた場合、6が
最もアルミニウム蒸気のビーム強度が強く、5、7は弱
い。
FIG. 1 shows a general positional relationship between an evaporation source and a film when vapor deposition is continuously carried out on a film-shaped substrate. Cooling drum 2 arranged above evaporation source 1
Is rotated to supply the polymer resin film 3 to this drum. Generally, an adhesion-preventing plate 4 having an opening is provided directly above the evaporation source having the highest beam intensity of aluminum vapor from the evaporation source, and vapor deposition is performed on the polymer resin film substrate from this opening. When considering the opening positions 5, 6, and 7 when the opening is large, 6 has the highest beam intensity of aluminum vapor, and 5 and 7 have the weakest.

【0031】ここに防着板4より上の空間にのみ、該空
間内で均一でかつ5および7の近傍のアルミニウム蒸気
のビーム強度に対してはアルミニウムを完全に酸化でき
るが6の近傍のアルミニウム蒸気のビーム強度に対して
はアルミニウムを十分には酸化できない程度の酸素分圧
を与えた場合、5および7の近傍すなわち蒸着初期およ
び蒸着最後に酸素が十分供給された完全酸化層が形成さ
れ、6の中心部では酸素が不十分な不完全酸化層が形成
される。図2はこの場合の位置5、6、7のアルミ蒸気
強度と酸素分圧の関係を説明するものである。一般に知
られているように蒸発源の法線方向からの角度θ方向の
蒸気の強度はcosn θに比例(n は一般に2〜4の
値)するためアルミニウム蒸気強度は図2に示すような
分布を取る。
Here, only in the space above the deposition-inhibitory plate 4, aluminum can be completely oxidized with respect to the beam intensity of the aluminum vapor in the space which is uniform and in the vicinity of 5 and 7, but in the vicinity of 6 When an oxygen partial pressure that does not sufficiently oxidize aluminum is applied to the beam intensity of the vapor, a fully oxidized layer in which oxygen is sufficiently supplied is formed in the vicinity of 5 and 7, that is, at the beginning of vapor deposition and at the end of vapor deposition. In the central part of 6, an incomplete oxide layer with insufficient oxygen is formed. FIG. 2 illustrates the relationship between the aluminum vapor strength at positions 5, 6, and 7 and the oxygen partial pressure in this case. As is generally known, the vapor intensity in the direction of the angle θ from the normal to the evaporation source is proportional to cos n θ (n is generally a value of 2 to 4), so the aluminum vapor intensity is as shown in FIG. Take the distribution.

【0032】防着板4より下の空間も含めて全体に均一
な酸素分圧を与える方法、すなわち防着板上下の部分に
均等に酸素雰囲気が導入される場合では、本発明のよう
な構成を有するアルミニウム酸化膜を得ることが極めて
困難となる。この理由は以下のとおりである。すなわち
上述のように防着板上の蒸着部分の酸素分圧を目的とす
る値にしようとすると、蒸発源部分の酸素分圧が同時に
上昇し、蒸発源のアルミニウム溶融体表面に酸化皮膜が
形成されやすくなる。アルミニウム溶融体表面に酸化皮
膜が形成されるとアルミニウムの蒸発速度が急激に減少
する。このためアルミニウム蒸気強度が全体的に減少し
て、形成される膜の酸化の程度が大きくなる。また同時
にアルミニウム蒸発速度が減少することによりアルミニ
ウムの酸化膜形成で消費される酸素が減少し酸素分圧が
上昇することも酸化の程度を大きくする原因である。こ
の結果として内部にアルミニウム金属成分を含有した層
を有するアルミニウム酸化膜を安定して形成することが
困難となる。
In the method of applying a uniform oxygen partial pressure to the entire space including the space below the deposition-inhibitory plate 4, that is, in the case where an oxygen atmosphere is uniformly introduced into the upper and lower portions of the deposition-inhibitory plate, the structure of the present invention is used. It becomes extremely difficult to obtain an aluminum oxide film having The reason for this is as follows. That is, as described above, when the oxygen partial pressure of the vapor deposition portion on the deposition preventive plate is made to be a target value, the oxygen partial pressure of the evaporation source portion simultaneously rises, and an oxide film is formed on the surface of the aluminum melt of the evaporation source. It is easy to be done. When an oxide film is formed on the surface of the aluminum melt, the evaporation rate of aluminum sharply decreases. Therefore, the aluminum vapor strength is reduced as a whole, and the degree of oxidation of the formed film is increased. At the same time, a decrease in the evaporation rate of aluminum causes a decrease in oxygen consumed in the formation of an aluminum oxide film and an increase in the oxygen partial pressure. As a result, it becomes difficult to stably form an aluminum oxide film having a layer containing an aluminum metal component inside.

【0033】図3に示すように開口部位置10近傍より
酸化雰囲気を入れた場合は図4に示すように5、6、7
の方向に酸素分圧が下がるため、酸素が不十分な層が形
成される位置は7の側にシフトする。従って比較的表面
に近いところに金属成分が含有された層が形成される。
また、5、7近傍の両方から酸素雰囲気を導入した場合
も中心部に金属を含有した層が形成されることは容易に
推定できる。
When an oxidizing atmosphere is introduced from the vicinity of the opening position 10 as shown in FIG. 3, 5, 6, 7 as shown in FIG.
Since the oxygen partial pressure decreases in the direction of, the position where the oxygen-deficient layer is formed shifts to the 7 side. Therefore, a layer containing a metal component is formed relatively near the surface.
Further, it can be easily estimated that a layer containing a metal is formed in the center even when the oxygen atmosphere is introduced from both the vicinity of 5 and 7.

【0034】いずれにせよ、本発明の透明ガスバリア性
フィルムを得るためには酸素雰囲気を蒸着部分近く(高
分子樹脂フィルム基材近傍)に導入することが肝要であ
る。また図3の様に酸素が消費される領域を囲むこと
は、上述のアルミニウム蒸気のビーム強度と酸素分圧の
関係を正確に制御し、また酸素を効率よく利用し、必要
以上に排気ポンプに負荷をかけないためにも重要であ
る。
In any case, in order to obtain the transparent gas barrier film of the present invention, it is essential to introduce an oxygen atmosphere near the vapor deposition portion (near the polymer resin film substrate). Surrounding the region where oxygen is consumed as shown in FIG. 3 accurately controls the relationship between the beam intensity of the aluminum vapor and the oxygen partial pressure described above, efficiently uses oxygen, and uses it in an exhaust pump more than necessary. It is also important not to load.

【0035】なお、従来公知の特開昭62−22033
0号公報においてアルミニウムの酸化膜に金属アルミニ
ウムが1から15重量%含まれたものは、蒸着表面のX
PS分析でアルミニウムの金属成分が1重量%以上認め
られることから、少なくとも表面に金属成分が認められ
ない本発明の構成とは本質的に異なる。
Incidentally, the conventionally known Japanese Patent Laid-Open No. 62-22033.
In Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 0-163, an aluminum oxide film containing 1 to 15% by weight of metallic aluminum is X on the vapor deposition surface.
Since 1% by weight or more of the metal component of aluminum is recognized by PS analysis, it is essentially different from the constitution of the present invention in which at least the metal component is not recognized on the surface.

【0036】こうして得られた高分子樹脂フィルム基材
の少なくとも片面にアルミニウム酸化膜が形成された透
明ガスバリア性フィルムに、少なくとも1層の高分子樹
脂フィルムを積層する手段としては、既知の任意の方法
が適用できる。たとえば、予め形成された高分子樹脂
フィルムを接着剤を介して張り合わせる方法(ドライラ
ミネート)、高分子樹脂を溶融押出機で溶融し、フィ
ルムの表面に溶融した高分子樹脂をフィルム状に押し出
して被覆する方法(エクストルージョンラミネート)な
どが適用できる。ドライラミネート、エクストルージョ
ンラミネートのいずれの場合でも、ラミネートもしくは
接着剤の塗布に先だって、積層される表面に積層後の付
着強度を増すためにアンカーコート層を設けることもで
きる。
As a means for laminating at least one layer of the polymer resin film on the transparent gas barrier film having the aluminum oxide film formed on at least one surface of the polymer resin film substrate thus obtained, any known method can be used. Can be applied. For example, a method of laminating a pre-formed polymer resin film with an adhesive (dry lamination), melting the polymer resin with a melt extruder, and extruding the melted polymer resin into a film shape. A coating method (extrusion lamination) or the like can be applied. In either case of dry laminating or extrusion laminating, an anchor coat layer can be provided on the surface to be laminated in order to increase the adhesive strength after laminating, prior to laminating or applying an adhesive.

【0037】フィルムに2層以上の高分子樹脂フィルム
を積層する場合は、上述の方法を複数回繰り返したり、
組み合わせたりして形成することもできるし、予め形成
した2層以上からなる積層フィルムとフィルムを張り合
わせて形成することもできる。
When two or more layers of polymer resin film are laminated on the film, the above method may be repeated a plurality of times,
They can be formed by combining them, or can be formed by laminating a film formed in advance with a laminated film composed of two or more layers.

【0038】[0038]

【特性の測定方法および効果の評価方法】本発明の特性
値は以下の測定法による。
[Characteristic Measuring Method and Effect Evaluation Method] The characteristic values of the present invention are determined by the following measuring methods.

【0039】(1)全膜厚 透過型電子顕微鏡による断面観察で校正した蛍光X線分
光法によるアルミニウムのピーク強度で全膜厚を決定し
た。蛍光X線分光はセイコー電子製SEA2001によ
り行なった。これら蛍光X線分光を行なったサンプルの
いくつかを透過型電子顕微鏡(日本電子製 JEM−1
200EX)により、超薄切片法により蒸着膜の断面を
切り出し観察し、蛍光X線のアルミニウムのピークの強
度と、実際の膜厚がよい比例関係にあることを確認し
た。
(1) Total film thickness The total film thickness was determined by the peak intensity of aluminum by fluorescent X-ray spectroscopy calibrated by cross-sectional observation with a transmission electron microscope. X-ray fluorescence spectroscopy was performed with SEA2001 manufactured by Seiko Denshi. Some of the samples subjected to the fluorescent X-ray spectroscopy were taken with a transmission electron microscope (JEM-1 manufactured by JEOL Ltd.).
The cross section of the vapor-deposited film was cut out and observed by the ultra-thin section method with 200 EX), and it was confirmed that the aluminum peak intensity of the fluorescent X-ray and the actual film thickness are in a good proportional relationship.

【0040】(2)アルミニウム金属成分含有量 X線光電子分光装置(SSI社 SSX−100)を用
い、X線源AlKα、X線出力10kV−10mA、光
電子の脱出角度をサンプル表面の法線に対して55度の
角度で測定した。デプスプロファイル測定のためのエッ
チングはArイオンを用い、加速電圧3kV、試料電流
10.3μAで行なった。含有量の計算方法は既に述べ
たとおりである。
(2) Content of aluminum metal component Using an X-ray photoelectron spectroscope (SSX-100 manufactured by SSI), an X-ray source AlKα, an X-ray output of 10 kV-10 mA, and an escape angle of photoelectrons with respect to a normal line of the sample surface. Was measured at an angle of 55 degrees. Etching for depth profile measurement was performed using Ar ions at an acceleration voltage of 3 kV and a sample current of 10.3 μA. The calculation method of the content is as described above.

【0041】(3)水蒸気透過率 水蒸気透過率測定装置(ハネウェル(株)製、W82
5)を用いて40℃、100%RHの条件で測定した。
(3) Water Vapor Transmission Rate Water vapor transmission rate measuring device (W82, manufactured by Honeywell Co., Ltd.)
5) was used under the conditions of 40 ° C. and 100% RH.

【0042】(4)酸素透過率 ASTM D−3985に準じて、酸素透過率測定装置
(モダンコントロール社製、OX−TRAN100)を
用いて20℃、0%RHの条件で測定した。
(4) Oxygen permeability According to ASTM D-3985, the oxygen permeability was measured under the conditions of 20 ° C. and 0% RH by using an oxygen permeability measuring device (OX-TRAN100 manufactured by Modern Control Co.).

【0043】(5)全光線透過率 分光光度計(日立製作所(株)、自記分光光度計323
型)により550nmでの全光線透過率を測定した。
(5) Total light transmittance Spectrophotometer (Hitachi, Ltd., autograph spectrophotometer 323)
Type) to measure the total light transmittance at 550 nm.

【0044】[0044]

【実施例】本発明を実施例により説明する。EXAMPLES The present invention will be described with reference to examples.

【0045】実施例1〜5、比較例1〜2 図3に示した蒸着部分の構成でサンプルを作成した。蒸
発源は電子ビーム加熱による方式であり、アルミナ製ル
ツボに99.99%のアルミニウム金属を装填して蒸着
した。フィルムは東レ(株)製ポリエチレンテレフタレ
ート(以下PETという。)フィルム“ルミラー”P6
0(12μm)を用いた。ロール状で巻き出しロールか
ら冷却ドラム上に送膜し蒸発源直上で蒸着が行なわれ
る。酸素雰囲気として100%酸素を巻き出し側から導
入した。冷却ドラムは冷水により約20℃に冷却した。
蒸着の手順は以下のとおりである。フィルムおよび蒸着
用アルミニウムを連続蒸着機にセットし、真空排気を行
なう。到達圧力5×10−4Torr以下になったらフ
ィルムを走行させ、電子ビーム蒸発源に電力を投入しア
ルミニウムの蒸着を開始する。インラインの光線透過率
計および抵抗率計を用いて、目的とする蒸着速度になる
ように蒸発源の電力を調整した後、酸素ガスをマスフロ
ーコントローラを通して導入する。フィルム走行速度を
低速(例えば1m/min)にし、酸素を導入するにし
たがってインラインでモニタしている光線透過率が上が
ってくることを確認し、あらかじめ定めた光線透過率に
なるように酸素導入量を調整する。フィルム走行速度を
上げて目的とする全膜厚になるようにし、透明ガスバリ
ア性フィルムを作製した。これらのサンプルはすべてX
PS分析のデプスプロファイルによりアルミニウム酸化
膜の表面とPETフィルムとの界面では完全酸化膜が形
成されていることを確認した。
Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 2 Samples were prepared with the structure of the vapor deposition portion shown in FIG. The evaporation source is a system by electron beam heating, and 99.99% aluminum metal was loaded into an alumina crucible for vapor deposition. The film is a polyethylene terephthalate (hereinafter referred to as PET) film "Lumirror" P6 manufactured by Toray Industries, Inc.
0 (12 μm) was used. The film is fed from the unwinding roll in the form of a roll onto the cooling drum, and vapor deposition is performed directly above the evaporation source. As the oxygen atmosphere, 100% oxygen was introduced from the unwinding side. The cooling drum was cooled to about 20 ° C. with cold water.
The vapor deposition procedure is as follows. The film and aluminum for vapor deposition are set in a continuous vapor deposition machine, and vacuum exhaust is performed. When the ultimate pressure becomes 5 × 10 −4 Torr or less, the film is run, and electric power is applied to the electron beam evaporation source to start aluminum vapor deposition. An in-line light transmittance meter and a resistivity meter are used to adjust the electric power of the evaporation source so as to obtain a target evaporation rate, and then oxygen gas is introduced through a mass flow controller. Set the film traveling speed to a low speed (for example, 1 m / min) and confirm that the light transmittance monitored in-line increases as oxygen is introduced. Adjust. A transparent gas barrier film was produced by increasing the film traveling speed so as to obtain a desired total thickness. All these samples are X
It was confirmed from the depth profile of PS analysis that a complete oxide film was formed at the interface between the surface of the aluminum oxide film and the PET film.

【0046】このようにして得られた透明ガスバリア性
フィルムと未延伸のポリプロピレンフィルムを以下の方
法で張り合わせた。用いたポリプロピレン(PP)フィ
ルムは東レ合成フィルム(株)製“トレファンNO”の
50μm厚である。PPフィルム上にタイプ10のメタ
バーを用いて、ポリエステル系接着剤東洋モートン製
“アドコート AD−578A”10gと“アドコート
AD−578B”1.4gと酢酸エチル:酢酸ブチル
(1:1)23.7gの混合溶液をコーティングし、オ
ーブン中80℃で1分乾燥させる。透明ガスバリア性フ
ィルムの蒸着面とPPフィルムコーティング面を合わ
せ、ロール温度80℃、線圧13N/cm、1m/mi
nでドライラミネートを行なって複合フィルムを得た。
The transparent gas barrier film thus obtained and an unstretched polypropylene film were laminated by the following method. The polypropylene (PP) film used is "Trephan NO" manufactured by Toray Synthetic Film Co., Ltd. and has a thickness of 50 μm. Using a type 10 meta bar on a PP film, polyester adhesive "Adcoat AD-578A" 10 g and "Adcoat AD-578B" 1.4 g and ethyl acetate: butyl acetate (1: 1) 23.7 g manufactured by Toyo Morton Co., Ltd. Coating solution and dried in an oven at 80 ° C. for 1 minute. The vapor deposition surface of the transparent gas barrier film and the PP film coating surface are aligned, and the roll temperature is 80 ° C. and the linear pressure is 13 N / cm, 1 m / mi.
Dry lamination was performed with n to obtain a composite film.

【0047】表1にこのように作成した複合フィルムの
実施例1〜5と比較例1〜2の初期および沸騰水中で3
0分ボイル処理した後のガスバリア性と、原反PETフ
ィルムの特性をまとめた。
In Table 1, the composite films thus prepared were tested in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 2 in the initial and in boiling water.
The gas barrier properties after boil treatment for 0 minutes and the characteristics of the original PET film were summarized.

【0048】[0048]

【表1】 実施例、比較例ともに全光線透過率は高いが、全膜厚が
6nm以下であるとラミネート後もボイル後もガスバリ
ア性が十分ではない。なおこれら積層フィルムは未延伸
PPフィルム同士を合わせて150℃1秒間のヒートシ
ールで接着できる。
[Table 1] Although the total light transmittance is high in both Examples and Comparative Examples, if the total film thickness is 6 nm or less, the gas barrier property is not sufficient both after lamination and after boiling. In addition, these laminated films can be bonded together by heat-sealing unstretched PP films together at 150 ° C. for 1 second.

【0049】実施例6〜10、比較例3〜7 表2にアルミニウムの金属成分含有量を変えた場合の実
施例と比較例を示す。同様にいずれのサンプルもXPS
分析のデプスプロファイルによりアルミニウム酸化膜の
表面は完全酸化膜である。
Examples 6 to 10 and Comparative Examples 3 to 7 Table 2 shows Examples and Comparative Examples when the content of the metal component of aluminum was changed. Similarly, all samples are XPS
Due to the depth profile of the analysis, the surface of the aluminum oxide film is a complete oxide film.

【0050】[0050]

【表2】 XPS分析でアルミニウム金属の存在する層のアルミニ
ウム金属含有量が極めて小さい場合あるいは、アルミニ
ウム金属が全く認められない場合、全膜厚の大小にかか
わらず全光線透過率は非常に高く透明であるが、ガスバ
リア性は十分ではない。また比較例6、7で示すように
全膜厚の大小にかかわらず、アルミニウム金属含有量が
10%・nmを越えると、ラミネート後のガスバリア性
は良好であるが全光線透過率が急激に下がり、褐色の着
色が顕著になり好ましくない。またアルミニウム金属含
有量が大きいとボイル後にガスバリア性が急激に低下す
る。これはアルミニウム金属含有量が多いとボイルによ
り金属が水酸化物化してカサ高になり蒸着膜の構造を乱
すためと考えられる。
[Table 2] When the content of aluminum metal in the layer containing aluminum metal is extremely small in XPS analysis or when no aluminum metal is observed, the total light transmittance is very high and transparent regardless of the size of the total film thickness. The gas barrier property is not sufficient. Further, as shown in Comparative Examples 6 and 7, when the aluminum metal content exceeds 10% · nm, the gas barrier property after lamination is good but the total light transmittance sharply decreases regardless of the total film thickness. However, brown coloring becomes remarkable, which is not preferable. Further, if the aluminum metal content is large, the gas barrier property is rapidly lowered after boiling. It is considered that this is because when the aluminum metal content is high, the metal becomes hydroxide due to boiling and becomes bulky and disturbs the structure of the deposited film.

【0051】実施例11、12 蒸着面にポリエチレンを押し出し温度320℃で、30
μmの厚みをアンカーコートなしでエクストルージョン
ラミネートした。この積層フィルムを実施例11とす
る。さらに蒸着面と反対側に前述と同じ方法で東レ合成
フィルム製20μm厚ナイロンフィルムをドライラミネ
ートして実施例12とした。結果を表3に示す。
Examples 11 and 12 Polyethylene was extruded on the vapor deposition surface at a temperature of 320 ° C. for 30 hours.
Extrusion lamination with a thickness of μm was performed without anchor coating. This laminated film is referred to as Example 11. Further, a 20 μm thick nylon film manufactured by Toray Synthetic Film was dry laminated on the side opposite to the vapor deposition surface in the same manner as described above to obtain Example 12. The results are shown in Table 3.

【0052】[0052]

【表3】 [Table 3]

【0053】[0053]

【発明の効果】本発明の積層フィルムは、以上のような
構成としたため、光線透過率が高く、かつ酸素および水
蒸気に対するガスバリア性が高いという特長を持つ。ま
た、黄色味を帯びた着色もなく、実用上十分な加工適性
を有する。また、酸化アルミニウム膜を高分子樹脂フィ
ルム層で覆った積層フィルムは、レトルトやボイルなど
の処理によってガスバリア性が変化しにくい他、物理的
な摩擦、酸・アルカリとの接触などによってもガスバリ
ア性が変化しにくいという特長がある。
EFFECTS OF THE INVENTION The laminated film of the present invention has the features of high light transmittance and high gas barrier property against oxygen and water vapor due to the above constitution. In addition, there is no yellowish coloring, and it has practically sufficient processing suitability. In addition, the laminated film in which the aluminum oxide film is covered with the polymer resin film layer does not easily change the gas barrier property due to treatment such as retort or boil, and also has the gas barrier property due to physical friction, contact with acid or alkali, etc. It has the characteristic of being difficult to change.

【0054】本発明の積層フィルムは、長期保存が必要
な食品や薬品の包装材料として広く用いることができ
る。たとえば、食品をレトルトやボイルによる殺菌を行
なって長期保存できるいわゆるレトルトパウチやスタン
ディングパウチといった包装形態にも適用したり、厚手
の積層フィルムを用いてガスバリア性を有する透明な箱
状の容器とすることもできる。
The laminated film of the present invention can be widely used as a packaging material for foods and medicines that need to be stored for a long period of time. For example, it can be applied to packaging forms such as so-called retort pouches and standing pouches that can be stored for a long time by sterilizing food with a retort or boil, or use a thick laminated film to form a transparent box-shaped container having gas barrier properties. You can also

【0055】本発明の積層フィルムは、光線透過率が高
いために、内容物の状態を確認したいという要求に対応
できる。また本発明の積層フィルムはマイクロ波の透過
率が高いために、包装状態でそのまま電子レンジにかけ
て内容物を調理するといった要求にも応えることができ
る。
Since the laminated film of the present invention has a high light transmittance, it can meet the demand for confirming the state of the contents. Further, since the laminated film of the present invention has a high microwave transmittance, it can meet the demand that the contents are cooked in a microwave oven as it is in a packaged state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】フィルム状基材上に蒸着を行なう連続蒸着機の
蒸着部分の概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of a vapor deposition portion of a continuous vapor deposition machine that performs vapor deposition on a film-shaped substrate.

【図2】図1の場合のアルミ蒸気強度と酸素分圧の関係
を示す。
FIG. 2 shows the relationship between aluminum vapor strength and oxygen partial pressure in the case of FIG.

【図3】図1と同様フィルム状基材上に蒸着を行なう連
続蒸着機の蒸着部分であるが、反応性蒸着を行なうため
のガス導入をフィルム巻き出し側から行なう場合の概略
図である。
FIG. 3 is a vapor deposition part of a continuous vapor deposition machine for performing vapor deposition on a film-shaped substrate as in FIG. 1, but is a schematic diagram in the case where gas introduction for reactive vapor deposition is performed from the film unwinding side.

【図4】図3の場合のアルミ蒸気強度と酸素分圧の関係
を示す。
FIG. 4 shows the relationship between aluminum vapor strength and oxygen partial pressure in the case of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:蒸発源 2:冷却ドラム 3:フィルム 4:防着板 5:蒸着位置 6:同上 7:同上 8:ドラム回転方向 9:アルミニウム蒸気 10:酸素導入経路 11:蒸着部分を囲った場合の防着板 1: Evaporation source 2: Cooling drum 3: Film 4: Adhesion prevention plate 5: Evaporation position 6: Same as above 7: Same as above 8: Drum rotation direction 9: Aluminum vapor 10: Oxygen introduction route 11: Prevention when enclosing the evaporation portion Plate

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 高分子樹脂フィルム基材の少なくとも片
面にアルミニウム酸化膜が形成されてなる透明ガスバリ
ア性フィルムに、少なくとも1層の高分子樹脂フィルム
が積層されてなる積層フィルムであって、該アルミニウ
ム酸化膜の全膜厚が6nm以上であり、かつアルミニウ
ムの金属成分が含有されてなる不完全酸化層が該アルミ
ニウム酸化膜の内部にのみ少なくとも1層存在し、該ア
ルミニウム酸化膜全体中のアルミニウム金属成分含有量
が0.5%・nm〜10%・nmの範囲であることを特
徴とする積層フィルム。
1. A laminated film in which at least one layer of a polymer resin film is laminated on a transparent gas barrier film having an aluminum oxide film formed on at least one surface of a polymer resin film substrate, said aluminum film comprising: The total thickness of the oxide film is 6 nm or more, and at least one incomplete oxide layer containing a metal component of aluminum is present only inside the aluminum oxide film. A laminated film having a component content in a range of 0.5% · nm to 10% · nm.
【請求項2】 550nmの波長における全光線透過率
が40%以上であり、かつ酸素透過率が2cc/m2
day以下で、かつ水蒸気透過率が2g/m2・day
以下であることを特徴とする請求項1記載の積層フィル
ム。
2. The total light transmittance at a wavelength of 550 nm is 40% or more and the oxygen transmittance is 2 cc / m 2 ·.
Water vapor permeability of 2g / m 2 · day or less
The laminated film according to claim 1, wherein:
【請求項3】 沸騰水中で30分ボイル処理した後の全
光線透過率及び酸素透過率が各々40%以上及び2cc
/m2 ・day以下であることを特徴とする請求項1ま
たは請求項2記載の積層フィルム。
3. The total light transmittance and the oxygen transmittance after boiling treatment for 30 minutes in boiling water are 40% or more and 2 cc, respectively.
/ M < 2 > * day or less, The laminated film of Claim 1 or Claim 2 characterized by the above-mentioned.
【請求項4】 積層フィルムの少なくとも片側の最外層
がヒートシール性のフィルムで構成されてなることを特
徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の積層フ
ィルム。
4. The laminated film according to claim 1, wherein at least one outermost layer of the laminated film is composed of a heat-sealing film.
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