JPH05333297A - 光導波路デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光変調器，光スイッチ等の光導波路デバイス
に関し、電極の導通・絶縁検査に際して、信号電極或い
はアース電極に傷が付く恐れがなく、また歩留りが低下
することのないことを目的とする。 【構成】 近接する一対の平行光導波路2-1,2-2 を大形
基板１Ｌのマトリックス状に区画したそれぞれの区画の
表面側に設け、一方の平行光導波路2-1 の直上の直線部
及び直線部の両端部の屈曲した一対の脚部からなる信号
電極５と、他方の平行光導波路2-2 の上部を含む角形の
アース電極６とを、それぞれの区画の表面に形成し、そ
の後分離切断して構成される光導波路デバイスにおい
て、信号電極５のそれぞれの脚部が延伸され、切断ライ
ンを越えた箇所に設けた角片状の検査用電極55と、アー
ス電極６の一部が突出して、切断ラインを越えた箇所に
設けた角片状のアース側検査用電極65とを、大形基板１
Ｌの状態で備えた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光変調器，光スイッ
チ，フィルタ等の光導波路デバイスに関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は従来の光導波路デバイス（マッハ
ツェンダ型変調器）の図で、(A) は分離切断前の平面
図、(B) は分離切断後の平面図である。

【０００３】図４において、１Ｌは、電気光学結晶より
なる角形の大形基板である。大形基板１Ｌを直交するＸ
ーＸライン，ＹーＹラインによってマトリックス状に区
画され、区画したそれぞれの基板１の表面にチタンを所
望に拡散して、一方のＹーＹライン側に、ＸーＸライン
に平行する入力側光導波路３を設け、入力側光導波路３
を、近接して（間隔は約10μm ) 平行配置した一対の平
行光導波路2-1 と平行光導波路2-2 とに分岐し、この一
対の平行光導波路2-1,2-2 の他方の端末を集合してＸー
Ｘラインに平行する出力側光導波路４としている。

【０００４】そして、基板１の表面にSiO₂膜等のバッフ
ァ層を形成した後に、一方の平行光導波路2-1 の直上に
形成される直線部と、直線部の両端部をそれぞれ直角に
屈曲してＸーＸラインに達する長さの一対の脚部と、か
らなるＵ形の信号電極５を設けている。

【０００５】また、信号電極５の内側に、他方の平行光
導波路2-2 の直上からＸーＸラインに達する幅の角形の
アース電極６を設けている。上述の信号電極５及びアー
ス電極６は、フォトリソグラフィ手段により形成された
もので、金等を蒸着した下地金属膜の表面に、金等の良
導電性金属をめっきしたものである。

【０００６】なお、大形基板１Ｌの材料は電気光学効果
の大きいニオブ酸リチウム(LiNbO₃)等を使用するもので
あるが、電気光学効果に方向性がある。したがって、平
行光導波路は、電気光学効果が大きい方向を選択して形
成している。

【０００７】光変調器は上述のように構成されているの
で、入力側光導波路３から光信号を伝送させると、信号
電極５とアース電極６間に電圧を印加しない状態で、出
力側光導波路４の出力がオンとなる。

【０００８】また、信号電極５とアース電極６間に所定
の電圧を印加させると、平行光導波路の電気光学効果で
屈折率が変化し、平行光導波路2-1,2-2 を伝搬する光信
号の位相が波長／２だけずれるので、出力側光導波路４
の出力がオフとなる。即ち光変調器として機能する。

【０００９】ところで、信号電極５の幅は非常に小さく
（約10μm)、且つ信号電極５とアース電極６との間隙も
また非常に小さい。したがって、信号電極５の導通、及
び信号電極５とアース電極６間の絶縁を保証することが
要求されている。

【００１０】このために従来は、図４の(B) に図示した
ように、信号電極５のそれぞれの脚部の5A,5B にテスタ
の接触針を当接して、信号電極５の導通検査を実施し、
また信号電極５の脚部の5Aとアース電極６のＸーＸライ
ンよりの点6Aに、テスタの接触針を当接して信号電極５
とアース電極６の絶縁検査を実施している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、信号電
極及びアース電極は金等のめっき層であるので非常に柔
らかい。したがって、テスタの接触針を押しつけると傷
がついて、電界の供給に障害を与えたり、或いは接触針
がずれて信号電極とアース電極とが短絡等し、歩留りが
低下するという問題点があった。

【００１２】本発明はこのような点に鑑みて創作された
もので、電極の検査に際して、信号電極或いはアース電
極に傷が付く恐れがなく、また歩留りが低下することの
ない、光導波路デバイスを提供することを目的としてい
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、図１に図示したように、大形基板１Ｌを
マトリックス状に区画し、近接する一対の平行光導波路
2-1,2-2 を区画されたそれぞれの基板１の表面側に設
け、一方の平行光導波路2-1 の直上の直線部及び直線部
の両端部がそれぞれ直角に屈曲した一対の脚部からなる
信号電極５と、他方の平行光導波路2-2 の上部を含む角
形のアース電極６とを、それぞれの基板１の表面に形成
し、その後大形基板１Ｌを複数の該基板１に分離切断し
て構成される光導波路デバイスにおいて、信号電極５の
それぞれの脚部が延伸され、切断ラインを越えた箇所に
設けた角片状の検査用電極55と、アース電極６の一部が
突出して、切断ラインを越えた箇所に設けた角片状のア
ース側検査用電極65とを、大形基板１Ｌの状態で備えた
構成とする。

【００１４】また、図２に例示したように、それぞれの
基板１内の切断ラインに沿った箇所に配設した、アース
側検査用電極65と一対の検査用電極55と、それぞれの検
査用電極55と信号電極５の脚部間を接続する切断ライン
の外側に設けた導体パターン51、及びアース側検査用電
極65とアース電極６間を接続する切断ラインの外側に設
けた導体パターン61とを、大形基板１Ｌの状態で備えた
構成とする。

【００１５】或いはまた、図３に例示したように、信号
電極５, アース電極６, 検査用電極55, 及びアース側検
査用電極65は、下地金属膜40の表面に良導電性金属をめ
っきしたものであり、切断ライン部分は下地金属膜40の
みが形成された構成とする。

【００１６】

【作用】本発明によれば、検査用電極及びアース電極は
いずれも、信号電極及びアース電極とは別の位置に設け
てある。したがって検査時にテスタ等の接触針を押し付
けてその部分に傷がついても、電界の供給に障害を及ぼ
すことがない。

【００１７】また、接触針がずれても信号電極とアース
電極とが短絡等することがない。一方、検査後大形基板
を個々の光導波路デバイス切断分離することで、検査用
電極と信号電極、アース側検査用電極とアース電極はそ
れぞれ電気的に分離される。

【００１８】したがって、電界供給用の電極形状が所定
の形状に保持され、高帯域用の光導波路デバイスに適用
して帯域が変化する恐れがない。また、切断ライン部分
を下地金属膜のみとすることで、個々の光導波路デバイ
スに分離切断する際にめっき層が切断されない。

【００１９】即ち、切断時にめっき層が剥離する恐れが
ないので、信号電極及びアース電極が損傷することがな
くて、電界の供給に障害を及ぼすことがない。

【００２０】

【実施例】以下図を参照しながら、本発明を具体的に説
明する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示
す。

【００２１】図１は本発明の実施例の図で、(A) は分離
切断前の平面図、(B) は分離切断後の平面図、図２は本
発明の他の実施例の図で、(A) は分離切断前の平面図、
(B)は分離切断後の平面図であり、図３は本発明のさら
に他の実施例の図である。

【００２２】図１において、電気光学結晶（ニオブ酸リ
チウム）よりなる角形の大形基板１Ｌを直交するＸーＸ
ライン，ＹーＹラインによってマトリックス状に区画
し、区画したそれぞれの基板１の表面にチタンを所望に
拡散して、一方のＹーＹライン側に、ＸーＸラインに平
行する入力側光導波路３を設け、入力側光導波路３を、
近接して（間隔は約10μm ) 平行配置した一対の平行光
導波路2-1 と平行光導波路2-2 とに分岐し、この一対の
平行光導波路2-1,2-2 の他方の端末を集合してＸーＸラ
インに平行する出力側光導波路４としている。

【００２３】基板１の表面にSiO₂膜等のバッファ層を形
成した後に、一方の平行光導波路2-1 の直上に形成され
る直線部と、直線部の両端部をそれぞれ直角に屈曲して
ＸーＸラインに達する長さの一対の脚部と、からなるＵ
形の信号電極５を設けるとともに、信号電極５のそれぞ
れの脚部を延伸して、ＸーＸライン切断ラインを越えた
箇所に、一辺が約 300μm の角片状の検査用電極55をそ
れぞれ設けている。

【００２４】一方、信号電極５の内側に、他方の平行光
導波路2-2 の直上からＸーＸラインに達する幅の角形の
アース電極６を設けるとともに、アース電極６の一部を
突出させて、ＸーＸラインを越えた箇所に一辺が約 300
μm の角片状のアース側検査用電極65を設けている。

【００２５】上述の信号電極５, 検査用電極55, アース
電極６及びアース側検査用電極65は、金等を蒸着した下
地金属膜の表面に、金等の良導電性金属をめっきしたも
のである。

【００２６】本発明においては、信号電極の導通検査及
び信号電極とアース電極間の絶縁検査は、大形基板１Ｌ
を個々の基板１に分離切断する前に実施するものであ
る。即ち、一対の検査用電極55のそれぞれにテスタの接
触針を当接して、信号電極５の導通検査を実施する。

【００２７】また、検査用電極55とアース側検査用電極
65のそれぞれに、テスタの接触針を当接して信号電極５
とアース電極６間の絶縁検査を実施する。検査後に、Ｘ
ーＸライン及びＹーＹラインで大形基板１Ｌを切断（切
断される幅は約 100μm ) して、個々の基板１に分離し
て光導波路デバイスとする。

【００２８】上述のように、ＸーＸラインで切断するこ
とで、検査用電極55と信号電極５、アース側検査用電極
65とアース電極６は、それぞれ電気的に分離される。し
たがって、電界供給用の電極形状が所定の形状に保持さ
れ、高帯域用の光導波路デバイスに適用して帯域が変化
する恐れがない。

【００２９】なお、検査時にテスタ等の接触針を押し付
けて、検査用電極55及びアース側検査用電極65に傷がつ
いても、光導波路デバイスの稼働時の電界の供給に、障
害を及ぼすことがないことは勿論である。

【００３０】図２には光スイッチの光導波路デバイスで
ある。図２において電気光学結晶（ニオブ酸リチウム）
よりなる角形の大形基板１Ｌを直交するＸーＸライン，
ＹーＹラインによってマトリックス状に区画し、区画し
たそれぞれの基板１の表面にチタンを所望に拡散して、
一方のＹーＹライン側に、ＸーＸラインに平行する一対
の入力側光導波路3-1,3-2 を設け、一方の入力側光導波
路3-1 を逆台形に屈折して平行光導波路2-1 としその先
端を入力側光導波路3-1 と同一線上の出力側光導波路4-
1 としている。

【００３１】他方の入力側光導波路3-2 を、台形に屈折
して平行光導波路2-2 としその先端を入力側光導波路3-
2 と同一線上の出力側光導波路4-2 としている。この一
対の平行光導波路2-1,2-2 は所望に近接配置されたもの
であり、その結合長は所定の長さである。

【００３２】基板１の表面にSiO₂膜等のバッファ層を形
成した後に、一方の平行光導波路2-1 の直上に形成され
る直線部と、直線部の両端部をそれぞれ直角に屈曲して
ＸーＸラインに達する長さの一対の脚部とからなるＵ形
の信号電極５を設けている。

【００３３】そして、脚部の先端から 300μm 程離れた
その基板１内のＸーＸラインに沿った箇所に、一辺が約
300μm の角片状の検査用電極55をそれぞれ設け、それ
ぞれの検査用電極55と信号電極５のそれぞれの脚部の先
端部とを、ＸーＸラインの外側に設けた導体パターン51
で接続している。

【００３４】一方、信号電極５の内側に、他方の平行光
導波路2-2 の直上からＸーＸラインに達する幅の角形の
アース電極６を設けている。一方の検査用電極55の横で
100μm 程離れた箇所に、一辺が約 300μm の角片状の
アース側検査用電極65を設け、アース側検査用電極65と
アース電極６とを、ＸーＸラインの外側に設けたＸーＸ
ラインに平行する導体パターン61で接続している。

【００３５】上述の信号電極５, 検査用電極55, アース
電極６, アース側検査用電極65, 導体パターン51及び導
体パターン61は、金等を蒸着した下地金属膜の表面に、
金等の良導電性金属をめっきしたものである。

【００３６】そして、一対の検査用電極55のそれぞれに
テスタの接触針を当接して、信号電極５の導通検査を実
施し、検査用電極55とアース側検査用電極65のそれぞれ
に、テスタの接触針を当接して信号電極５とアース電極
６間の絶縁検査を実施する。

【００３７】そして、図２の(B) に図示したように、Ｘ
ーＸライン及びＹーＹラインで大形基板１Ｌを切断（切
断領域Ｐの幅は約 100μm ) して、個々の基板１に分離
して光導波路デバイスとしている。

【００３８】上述の光スイッチは、入力側光導波路3-1
からの伝搬光は、信号電極５とアース電極６間に電圧を
印加しない状態で、出力側光導波路4-２に出力され、信
号電極５とアース電極６間に所定の電圧を印加させる
と、出力側光導波路4-1 から出力する。

【００３９】図３に示す光導波路デバイスが図２のもき
異なる点は、信号電極５, アース電極６, 検査用電極5
5, 及びアース側検査用電極65の大部分は、下地金属膜4
0の表面に良導電性金属をめっきしたものであるが、Ｘ
ーＸラインに沿った部分及び導体パターン51，導体パタ
ーン61は、下地金属膜40のみが形成されたものであるこ
とである。

【００４０】上述のようにすることで、個々の光導波路
デバイスに分離切断する際に、めっき層部分が切断され
ないので、めっきが剥離することがない。即ち、切断時
に信号電極及びアース電極が損傷しなくて、電界の供給
に障害を及ぼすことがないという利点を有する。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、光変調
器，光スイッチ等の信号電極に通ずる検査用電極と、ア
ース電極に通ずるアース側検査用電極を、大形基板の状
態で設け、大形基板を個々の光導波路デバイスに分離切
断することで、検査用電極が信号電極から、アース側検
査用電極がアース電極から、それぞれ分離するようにし
た光導波路デバイスであって、信号電極の導通検査、信
号電極とアース電極間の絶縁検査時に、信号電極及びア
ース電極に損傷する恐れがなく、光導波路デバイスの稼
働時に電界の供給に障害を及ぼすことがないという優れ
た効果を有する。。

【００４２】また、電界供給用の電極形状が所定の形状
に保持され、高帯域用の光導波路デバイスに適用して帯
域が変化する恐れがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例の図で (A) は分離切断前の平面図 (B) は分離切断後の平面図

【図２】 本発明の他の実施例の図で (A) は分離切断前の平面図 (B) は分離切断後の平面図

【図３】 本発明のさらに他の実施例の図

【図４】 従来例の図で (A) は分離切断前の平面図 (B) は分離切断後の平面図

【符号の説明】

１Ｌ 大形基板 １ 基板 2-1,2-2 平行光導波路 ３,3-1,3-2 入力側光導波路 ４,4-1,4-2 出力側光導波路 ５ 信号電極 ６ アース電極 40 下地金属膜 55 検査用電極 65 アース側検査用電極

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 大形基板(1L)をマトリックス状に区画
   し、近接する一対の平行光導波路(2-1,2-2) を区画され
   たそれぞれの基板(1) の表面側に設け、一方の該平行光
   導波路(2-1) の直上の直線部及び該直線部の両端部がそ
   れぞれ直角に屈曲した一対の脚部からなる信号電極(5)
   と、他方の該平行光導波路(2-2) の上部を含む角形のア
   ース電極(6) とを、それぞれの該基板(1) の表面に形成
   し、その後該大形基板(1L)を複数の該基板(1) に分離切
   断して構成される光導波路デバイスにおいて、 該信号電極(5) のそれぞれの脚部が延伸され、切断ライ
   ンを越えた箇所に設けた角片状の検査用電極(55)と、 該アース電極(6) の一部が突出して、切断ラインを越え
   た箇所に設けた角片状のアース側検査用電極(65)とを、 該大形基板(1L)の状態で備えたことを特徴とする光導波
   路デバイス。
2. 【請求項２】 大形基板(1L)をマトリックス状に区画
   し、近接する一対の平行光導波路(2-1,2-2) を区画され
   たそれぞれの基板(1) の表面側に設け、一方の該平行光
   導波路(2-1) の直上の直線部及び該直線部の両端部がそ
   れぞれ直角に屈曲した一対の脚部からなる信号電極(5)
   と、他方の該平行光導波路(2-2) の上部を含む角形のア
   ース電極(6) とを、それぞれの該基板(1) の表面に形成
   し、その後該大形基板(1L)を複数の該基板(1) に分離切
   断して構成される光導波路デバイスにおいて、 それぞれの該基板(1) 内の切断ラインに沿った箇所に配
   設した、アース側検査用電極(65)と一対の検査用電極(5
   5)と、 それぞれの該検査用電極(55)と該信号電極(5) の脚部間
   を接続する該切断ラインの外側に設けた導体パターン(5
   1)、及び該アース側検査用電極(65)と該アース電極(6)
   間を接続する該切断ラインの外側に設けた導体パターン
   (61)とを、 該大形基板(1L)の状態で備えたことを特徴とする光導波
   路デバイス。
3. 【請求項３】 信号電極(5),アース電極(6),検査用電極
   (55)及びアース側検査用電極(65)は、それぞれ下地金属
   膜(40)の表面に良導電性金属をめっきしたものであり、 切断ライン部分は該下地金属膜(40)のみが形成されたも
   のであることを特徴とする請求項１または請求項２記載
   の光導波路デバイス。