JPH0532995U - Heating device - Google Patents
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- JPH0532995U JPH0532995U JP3494191U JP3494191U JPH0532995U JP H0532995 U JPH0532995 U JP H0532995U JP 3494191 U JP3494191 U JP 3494191U JP 3494191 U JP3494191 U JP 3494191U JP H0532995 U JPH0532995 U JP H0532995U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本考案は、クリーンルーム等のクリーンエア
雰囲気で使用される加熱装置に関し、ワークの搬送手段
からの発塵、および、加熱炉の輻射熱によるクリーンエ
アの温度上昇を低減することを目的とする。
【構成】 搬送路上の所定位置に配置されクリーンエア
流入孔の形成される加熱炉と、搬送路に沿ってリニアモ
ータにより走行され加熱炉の下方を通過する走行部と、
この走行部に一端を固定され走行部の加熱炉下方走行時
に加熱炉に形成される通過用溝から加熱炉内に他端を位
置される連結部と、この連結部の他端側に固定され加熱
すべきワークが配置される搬送部とから構成し、加熱炉
の上壁および側壁を囲んで、上面に複数のクリーンエア
流入孔が形成される遮熱カバーを配置し、この遮熱カバ
ーと上壁および側壁との間にクリーンエア流通空間を形
成して構成する。
(57) [Summary] [Object] The present invention relates to a heating device used in a clean air atmosphere in a clean room or the like, and reduces dust generation from a work transfer means and a rise in temperature of the clean air due to radiant heat of a heating furnace. The purpose is to A heating furnace disposed at a predetermined position on the transfer path and having a clean air inflow hole formed therein, and a traveling section that is traveled by a linear motor along the transfer path and passes below the heating furnace.
One end is fixed to this running part, and the other end of this connecting part is fixed to the connecting part whose other end is located in the heating furnace from the passage groove formed in the heating furnace when the running part travels below the heating furnace. A heat shield cover, which is composed of a transfer unit in which a work to be heated is arranged, surrounds the upper wall and the side wall of the heating furnace, and has a plurality of clean air inflow holes formed on the upper surface. A clean air circulation space is formed between the upper wall and the side wall.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、クリーンルーム等のクリーンエア雰囲気で使用される加熱装置に関 する。 The present invention relates to a heating device used in a clean air atmosphere such as a clean room.
【０００２】[0002]
一般に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ），集積回路等の電子部品は、部品に塵等 が付着するのを防止するために、クリーンルーム等のクリーンエア雰囲気で製造 されている。 そして、液晶ディスプレイの製造においては、ガラス基板作成プロセスにおけ る乾燥工程、パターン形成プロセスにおけるプリベーク工程，ポストベーク工程 ，乾燥ベーク工程、組立プロセスにおける焼成工程等に加熱装置が使用されてお り、これ等の工程も、クリーンルーム等のクリーンエア雰囲気で行われている。 Generally, electronic components such as liquid crystal displays (LCD) and integrated circuits are manufactured in a clean air atmosphere in a clean room or the like in order to prevent dust or the like from adhering to the components. In the manufacture of liquid crystal displays, a heating device is used in the drying process in the glass substrate manufacturing process, the pre-baking process in the pattern forming process, the post-baking process, the drying baking process, the baking process in the assembly process, etc. These steps are also performed in a clean air atmosphere in a clean room or the like.
【０００３】 一方、加熱装置に、加熱すべきワークを供給するために、メッシュベルト搬送 ，チェーンコンベア搬送，ウォーキングビーム搬送等の搬送方法が使用されてい る。On the other hand, in order to supply the work to be heated to the heating device, a transfer method such as a mesh belt transfer, a chain conveyor transfer, or a walking beam transfer is used.
【０００４】[0004]
しかしながら、このような従来の搬送方法を使用した加熱装置では、搬送手段 からの発塵が多く、所定のクリーン度を得ることが非常に困難になるという問題 があった。 すなわち、メッシュベルト搬送では、金属メッシュベルトあるいはテフロンメ ッシュベルトが使用されているが、金属メッシュベルトでは、金属同志が接触す るため発塵量が多く、一方、テフロンメッシュベルトでは、金属メッシュベルト より発塵量は少ないが、耐熱温度が低く使用温度として２００℃程度が限界であ るという問題があった。 However, in the heating device using such a conventional transportation method, there is a problem that it is very difficult to obtain a predetermined cleanliness due to a large amount of dust generated from the transportation means. That is, a metal mesh belt or a Teflon mesh belt is used in the mesh belt conveyance, but the metal mesh belt generates a large amount of dust because the metals are in contact with each other, while the Teflon mesh belt generates more dust than the metal mesh belt. Although the amount of dust was small, there was a problem that the heat resistant temperature was low and the operating temperature was limited to about 200 ° C.
【０００５】 また、チェーンコンベア搬送では、セラミックチェーン，金属チェーンあるい はプラスチックチェーンが使用されているが、セラミックチェーン，金属チェー ンでは、接触部からの発塵量が多く、一方、プラスチックチェーンでは、セラミ ックチェーン，金属チェーンより発塵量は少ないが、耐熱温度が低く使用範囲が 限られるという問題があった。Further, ceramic chains, metal chains, or plastic chains are used for transporting the chain conveyor, but in ceramic chains and metal chains, the amount of dust generated from the contact portion is large, while in plastic chains, Although it produces less dust than ceramic chains and metal chains, it has a problem that it has a low heat resistance temperature and a limited range of use.
【０００６】 さらに、ウォーキングビーム搬送では、他の搬送方法に比較して発塵量は少な いが、駆動部からの発塵と、移動時の搬送物からの発塵を避けることが困難であ るという問題があった。 一方、従来の加熱装置を、クリーンルーム等のクリーンエア雰囲気で使用する と、加熱炉の輻射熱によりクリーンエアの温度が上昇するという問題があった。Further, in the walking beam transportation, the amount of dust generated is smaller than that in other transportation methods, but it is difficult to avoid dust generated from the drive unit and dust generated from the transported object during movement. There was a problem that On the other hand, when the conventional heating device is used in a clean air atmosphere such as in a clean room, there is a problem that the temperature of the clean air rises due to the radiant heat of the heating furnace.
【０００７】 本考案は、上記のような問題を解決したもので、搬送手段からの発塵を従来よ り大幅に低減することができるとともに、加熱炉の輻射熱によるクリーンエアの 温度上昇を低減することのできる加熱装置を提供することを目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems, and it is possible to significantly reduce the dust generation from the conveying means as compared with the conventional one, and to reduce the temperature rise of the clean air due to the radiant heat of the heating furnace. It is an object of the present invention to provide a heating device that can do this.
【０００８】[0008]
本考案の加熱装置は、搬送路上の所定位置に配置されクリーンエア流入口の形 成される加熱炉と、前記搬送路に沿ってリニアモータにより走行され前記加熱炉 の下方を通過する走行部と、この走行部に一端を固定され走行部の加熱炉下方走 行時に加熱炉に形成される通過用溝から加熱炉内に他端を位置される連結部と、 この連結部の他端側に固定され加熱すべきワークが配置される搬送部とを有し、 前記加熱炉の上壁および側壁を囲んで、上面に複数のクリーンエア流入孔が形成 される遮熱カバーが配置され、この遮熱カバーと前記上壁および側壁との間にク リーンエア流通空間が形成されているものである。 The heating device of the present invention comprises a heating furnace having a clean air inlet formed at a predetermined position on a transfer path, and a traveling section which is driven by a linear motor along the transfer path and passes below the heating furnace. , One end of which is fixed to the running part and the other end of which is located inside the heating furnace from a passage groove formed in the heating furnace when the running part is running downward in the heating furnace, and the other end of the connecting part. A heat transfer cover having a plurality of clean air inflow holes formed on the upper surface of the heating furnace and surrounding the upper and side walls of the heating furnace. A clean air circulation space is formed between the heat cover and the upper wall and the side wall.
【０００９】[0009]
本考案の加熱装置では、搬送部にワークを配置した状態で、搬送路に沿って走 行部がリニアモータにより走行され、走行部が加熱炉の下方を通過する時に、連 結部が加熱炉の通過用溝を通過し、同時に、搬送部が加熱炉内を通過し、この通 過時に、ワークが加熱される。 In the heating device of the present invention, with the work placed in the transfer section, the traveling section is moved by the linear motor along the transfer path, and when the traveling section passes below the heating furnace, the connecting section is heated by the heating furnace. At the same time, the transfer section passes through the heating furnace, and at the same time, the work is heated.
【００１０】 一方、クリーンエアが、遮熱カバーのクリーンエア流入孔からクリーンエア流 通空間内に流入され、加熱炉の輻射熱がクリーンエアにより除去される。On the other hand, clean air is introduced into the clean air flow space from the clean air inflow hole of the heat shield cover, and the radiant heat of the heating furnace is removed by the clean air.
【００１１】[0011]
以下、本考案の詳細を図面に示す一実施例について説明する。 図１および図２は、本考案の加熱装置の一実施例を示すもので、図において符 号１１は、搬送路１３上の所定位置に配置される加熱炉を示している。 すなわち、この実施例では、搬送路１３は、図３に示すように、直線状に形成 されており、この搬送路１３上には、液晶ディスプレイの乾燥工程、ベーク工程 、焼成工程等のための複数の加熱炉１１が所定間隔を置いて配置されている。 The present invention will now be described in detail with reference to an embodiment shown in the drawings. 1 and 2 show an embodiment of the heating device of the present invention, in which the reference numeral 11 indicates a heating furnace arranged at a predetermined position on the conveyance path 13. That is, in this embodiment, the conveying path 13 is formed in a linear shape as shown in FIG. 3, and the conveying path 13 is used for a drying process, a baking process, a baking process, etc. of the liquid crystal display. A plurality of heating furnaces 11 are arranged at predetermined intervals.
【００１２】 また、加熱炉１１の上壁１５には、クリーンエア流入口１９が形成されている 。 搬送路１３上には、この搬送路１３に沿ってリニアモータ２１により走行され 、加熱炉１１の下方を通過する走行部２３が配置されている。 すなわち、この走行部２３は、図４に示すように、四角形状の筒状をした本体 部２５を有しており、本体部２５の両側には、ブラケット２７を介してフリーロ ーラ２９が回転自在に配置されている。A clean air inlet 19 is formed on the upper wall 15 of the heating furnace 11. On the transport path 13, there is disposed a traveling section 23 which is driven by the linear motor 21 along the transport path 13 and passes below the heating furnace 11. That is, as shown in FIG. 4, the traveling portion 23 has a rectangular tubular main body portion 25, and a free roller 29 is rotated via brackets 27 on both sides of the main body portion 25. Arranged freely.
【００１３】 このフリーローラ２９は、搬送路１３に沿って形成される案内レール３１上に 載置されている。 本体部２５の中央から下方に突出してブラケット３３が配置されており、この ブラケット３３の下端には、リニアモータ２１の二次側コイル３５が配置されて いる。The free roller 29 is placed on a guide rail 31 formed along the transport path 13. A bracket 33 is arranged so as to project downward from the center of the main body 25, and a secondary coil 35 of the linear motor 21 is arranged at the lower end of the bracket 33.
【００１４】 そして、搬送路１３の二次側コイル３５の下方には、搬送路１３に沿って、二 次側コイル３５と所定間隔を置いて、リニアモータ２１の一次側コイル３７が配 置されている。 そして、この実施例では、走行部２３の両側には、カバー部材３９，４１が配 置され、これ等のカバー部材３９，４１は、搬送路１３に沿って連続して形成さ れている。Below the secondary coil 35 of the transport path 13, a primary coil 37 of the linear motor 21 is arranged along the transport path 13 at a predetermined distance from the secondary coil 35. ing. In this embodiment, cover members 39 and 41 are arranged on both sides of the traveling portion 23, and these cover members 39 and 41 are formed continuously along the transport path 13.
【００１５】 一方、走行部２３の上面には、連結部４３の一端が固着されている。 この連結部４３は、走行部２３の加熱炉１１下方走行時に、加熱炉１１の底壁 ４５に形成される通過用溝４７から、加熱炉１１内に他端を位置するように突出 形成されている。 この連結部４３の上端には、加熱すべきワーク４９が配置される搬送部５１が 固定されている。On the other hand, one end of the connecting portion 43 is fixed to the upper surface of the traveling portion 23. The connecting portion 43 is formed so as to project from the passage groove 47 formed in the bottom wall 45 of the heating furnace 11 so that the other end is located inside the heating furnace 11 when the traveling portion 23 travels below the heating furnace 11. There is. At the upper end of the connecting portion 43, a transfer portion 51 on which a work 49 to be heated is placed is fixed.
【００１６】 なお、図１において符号５３は、加熱炉１１の底壁４５の通過用溝４７の下方 に配置される遮熱部材を示しており、この遮熱部材５３は、搬送路１３に沿って 連続して配置されている。 また、符号５５は、加熱炉１１内に配置されるヒーターを示しており、このヒ ーター５５には、赤外線加熱，マイクロ波加熱，誘導加熱等のクリーンヒータが 使用されている。In FIG. 1, reference numeral 53 indicates a heat shield member arranged below the passage groove 47 of the bottom wall 45 of the heating furnace 11, and the heat shield member 53 extends along the transport path 13. Are continuously arranged. Further, reference numeral 55 denotes a heater arranged in the heating furnace 11, and for this heater 55, a clean heater such as infrared heating, microwave heating, induction heating or the like is used.
【００１７】 そして、この実施例では、加熱炉１１の底壁４５の上下には、通過用溝４７お よびこの近傍のクリーンエアを排気する排気手段５７が配置されている。 すなわち、加熱炉１１の側壁５９の下部には、クリーンエア流入口１９から加 熱炉１１内に流入したクリーンエアを排出するための排気ダクト６１，６３が開 口されている。In this embodiment, a passage groove 47 and exhaust means 57 for exhausting clean air in the vicinity of the passage groove 47 are arranged above and below the bottom wall 45 of the heating furnace 11. That is, exhaust ducts 61 and 63 for discharging the clean air flowing into the heating furnace 11 from the clean air inlet 19 are opened at the lower part of the side wall 59 of the heating furnace 11.
【００１８】 また、図５に示すように、走行部２３の両側に配置されるカバー部材３９，４ １のうち、一側のカバー部材３９の上部には、加熱炉１１の下方に位置する部分 に、吸気溝６５が形成され、他側のカバー部材４１には、排気ダクト６７が開口 されている。 そして、さらに、カバー部材４１の下部には、吸気溝６９が形成されている。Further, as shown in FIG. 5, among the cover members 39 and 41 arranged on both sides of the traveling portion 23, a portion located below the heating furnace 11 is provided above the cover member 39 on one side. An air intake groove 65 is formed in the cover member 41 on the other side, and an exhaust duct 67 is opened in the cover member 41 on the other side. Further, an intake groove 69 is formed in the lower portion of the cover member 41.
【００１９】 一方、この実施例では、加熱炉１１の上壁１５の両側は、屋根状の傾斜面８７ とされている。 そして、加熱炉１１の上壁１５および側壁５９を、外側から所定間隔を置いて 囲んで、遮熱カバー８９が配置されている。 この遮熱カバー８９の上面には、多数のクリーンエア流入孔９１が形成されて おり、遮熱カバー８９と上壁１５および側壁５９との間に、クリーンエア流通空 間９３が形成されている。On the other hand, in this embodiment, both sides of the upper wall 15 of the heating furnace 11 are roof-like inclined surfaces 87. A heat shield cover 89 is arranged so as to surround the upper wall 15 and the side wall 59 of the heating furnace 11 with a predetermined distance from the outside. A large number of clean air inflow holes 91 are formed on the upper surface of the heat shield cover 89, and a clean air circulation space 93 is formed between the heat shield cover 89 and the upper wall 15 and the side wall 59. ..
【００２０】 そして、このクリーンエア流通空間９３の下端が、排気手段５７の排気ダクト ６１，６３に連通されている。 これ等の排気ダクト６１，６３および６７には、排気ダクト６１，６３および ６７内の空気を吸引し、外部に強制的に排出するための図示しない排気ファンが 、それぞれ配置されている。The lower end of the clean air circulation space 93 communicates with the exhaust ducts 61 and 63 of the exhaust means 57. In these exhaust ducts 61, 63 and 67, exhaust fans (not shown) for sucking the air in the exhaust ducts 61, 63 and 67 and forcibly discharging the air to the outside are arranged, respectively.
【００２１】 図６は、以上のような加熱装置が配置されるクリーンルーム７１を示すもので 、このクリーンルーム７１では、天井空間７３からフィルタ装置７５を通過した クリーンエアは、床側に向けて流れ、床部７７を通過した後、床下空間７９を通 り、側面空間８１からブロアー８３により吸引され、再循環される。 そして、フィルタ装置７５からダウンフローしたクリーンエアの一部は、加熱 炉１１のクリーンエア流入口１９から流入した後、加熱炉１１内を通過し、排気 ダクト６１，６３から外部に排出される。FIG. 6 shows a clean room 71 in which the above heating device is arranged. In this clean room 71, the clean air that has passed through the filter device 75 from the ceiling space 73 flows toward the floor side, After passing through the floor portion 77, it passes through the underfloor space 79, is sucked by the blower 83 from the side surface space 81, and is recirculated. Then, a part of the clean air that has flowed down from the filter device 75 flows through the clean air inlet 19 of the heating furnace 11, passes through the heating furnace 11, and is discharged to the outside from the exhaust ducts 61 and 63.
【００２２】 また、クリーンエアの一部は、カバー部材３９，４１に形成される吸気溝６５ ，６９から、走行部２３に流入され、排気ダクト６７から外部に排出される。 そして、さらに、クリーンエアの一部が、遮熱カバー８９のクリーンエア流入 孔９１からクリーンエア流通空間９３内に流入され、加熱炉１１の輻射熱がクリ ーンエアにより除去され、クリーンエアは、排気ダクト６１，６３から外部に排 出される。A part of the clean air flows into the running portion 23 from the intake grooves 65 and 69 formed in the cover members 39 and 41, and is discharged to the outside from the exhaust duct 67. Further, a part of the clean air is flown into the clean air flow space 93 from the clean air inflow hole 91 of the heat shield cover 89, the radiant heat of the heating furnace 11 is removed by the clean air, and the clean air is discharged through the exhaust duct. It is discharged from 61, 63 to the outside.
【００２３】 以上のように構成された加熱装置では、搬送部５１にワーク４９を配置した状 態で、搬送路１３に沿って走行部２３がリニアモータ２１により走行され、走行 部２３が加熱炉１１の下方を通過する時に、連結部４３が加熱炉１１の通過用溝 ４７を通過し、同時に、搬送部５１が加熱炉１１内を通過し、この通過時に、ヒ ーター５５によりワーク４９が加熱される。In the heating device configured as described above, the traveling unit 23 is caused to travel by the linear motor 21 along the transport path 13 with the work 49 arranged in the transport unit 51, and the traveling unit 23 is heated by the heating furnace. When passing below 11, the connecting part 43 passes through the passage groove 47 of the heating furnace 11, and at the same time, the transfer part 51 passes through the inside of the heating furnace 11, and at this time, the heater 55 heats the work 49. To be done.
【００２４】 しかして、以上のように構成された加熱装置では、装置を、搬送路１３上の所 定位置に配置されクリーンエア流入口１９の形成される加熱炉１１と、搬送路１ ３に沿ってリニアモータ２１により走行され加熱炉１１の下方を通過する走行部 ２３と、この走行部２３に一端を固定され走行部２３の加熱炉１１下方走行時に 加熱炉１１に形成される通過用溝４７から加熱炉１１内に他端を位置される連結 部４３と、この連結部４３の他端側に固定され加熱すべきワーク４９が配置され る搬送部５１とから構成し、さらに、加熱炉１１の上壁１５および側壁５９を囲 んで、上面に複数のクリーンエア流入孔９１が形成される遮熱カバー８９を配置 し、この遮熱カバー８９と上壁１５および側壁５９との間にクリーンエア流通空 間９３を形成したので、搬送手段からの発塵を従来より大幅に低減することがで きるとともに、加熱炉１１の輻射熱によるクリーンエアの温度上昇を低減するこ とが可能となる。Therefore, in the heating apparatus configured as described above, the apparatus is installed in the heating furnace 11 in which the clean air inlet 19 is formed at a predetermined position on the transfer path 13 and the transfer path 13. A traveling portion 23 that is driven by a linear motor 21 and passes below the heating furnace 11, and a passage groove formed in the heating furnace 11 when the traveling portion 23 travels below the heating furnace 11 and has one end fixed to the traveling portion 23. The connecting portion 43 has the other end located in the heating furnace 11 from 47, and the transporting portion 51 on which the work 49 to be heated is arranged and fixed to the other end of the connecting portion 43. A heat shield cover 89 having a plurality of clean air inflow holes 91 formed on the upper surface is arranged so as to surround the upper wall 15 and the side wall 59 of 11, and the clean wall is provided between the heat shield cover 89 and the upper wall 15 and the side wall 59. Air distribution space Since 93 is formed, it is possible to significantly reduce dust generation from the conveying means as compared with the related art, and it is possible to reduce the temperature rise of the clean air due to the radiant heat of the heating furnace 11.
【００２５】 すなわち、以上のように構成された加熱装置では、走行部２３を、搬送路１３ に沿ってリニアモータ２１により走行するようにしたので、従来のメッシュベル ト搬送，チェーンコンベア搬送，ウォーキングビーム搬送等の搬送方法に比較し て、搬送手段からの発塵を従来より大幅に低減することが可能となる。 そして、さらに、クリーンエアの一部が、遮熱カバー８９のクリーンエア流入 孔９１からクリーンエア流通空間９３内に流入され、加熱炉１１の輻射熱がクリ ーンエアにより除去され、クリーンエアが、排気ダクト６１，６３から外部に排 出されるため、加熱炉１１の輻射熱によるクリーンエアの温度上昇を有効に低減 することができる。That is, in the heating device configured as described above, since the traveling unit 23 is configured to travel along the transport path 13 by the linear motor 21, conventional mesh belt transport, chain conveyor transport, walking As compared with a transportation method such as beam transportation, it is possible to significantly reduce dust generation from the transportation means as compared with the conventional method. Further, a part of the clean air is flown into the clean air flow space 93 from the clean air inflow hole 91 of the heat shield cover 89, the radiant heat of the heating furnace 11 is removed by the clean air, and the clean air is exhausted to the exhaust duct. Since it is discharged to the outside from 61 and 63, the temperature rise of the clean air due to the radiant heat of the heating furnace 11 can be effectively reduced.
【００２６】 そして、これにより、リニアモータ２１の温度上昇を有効に抑制することが可 能となる。 なお、この実施例では、加熱炉１１の上壁１５に傾斜面８７を形成し、これに 沿って遮熱カバー８９を配置したので、ダウンフローしてくるクリーンエアが乱 流になることが防止され、発塵をより低減することが可能となる。Then, this makes it possible to effectively suppress the temperature rise of the linear motor 21. In this embodiment, since the inclined surface 87 is formed on the upper wall 15 of the heating furnace 11 and the heat shield cover 89 is arranged along the inclined surface 87, it is possible to prevent the downflowing clean air from becoming a turbulent flow. As a result, it is possible to further reduce dust generation.
【００２７】 また、以上のように構成された加熱装置では、通過用溝４７およびこの近傍の クリーンエアを排気する排気手段５７を配置したので、加熱炉１１からの熱が通 過用溝４７を介して走行部２３側に伝達されることを有効に阻止することができ 、リニアモータ２１の温度上昇を抑制することが可能となり、同時に、走行部２ ３側で発生した塵の加熱炉１１側への侵入を確実に防止することが可能となる。Further, in the heating device configured as described above, since the passage groove 47 and the exhaust means 57 for exhausting the clean air in the vicinity thereof are arranged, the heat from the heating furnace 11 passes through the passage groove 47. It is possible to effectively prevent the transmission to the traveling unit 23 side via the traveling unit 23 side, and it is possible to suppress the temperature rise of the linear motor 21, and at the same time, the dust heating furnace 11 side of the traveling unit 23 side is generated. It is possible to reliably prevent the invasion into the.
【００２８】 さらに、以上のように構成された加熱装置では、加熱炉１１にクリーンエア流 入口１９を形成したので、加熱炉１１内のワーク４９領域には、常にクリーンエ アが送風され、ワーク４９に塵が付着することを確実に防止することが可能とな る。 また、以上述べた実施例では、排気ダクト６３，６７をクリーンルーム７１の 外部に開口したので、ワーク４９を加熱することによりガスが発生した時にも、 クリーンルーム７１内の汚染を確実に防止することが可能となる。Further, in the heating device configured as described above, since the clean air inlet 19 is formed in the heating furnace 11, the clean air is constantly blown to the work 49 area in the heating furnace 11, and the work 49 is blown. It is possible to reliably prevent dust from adhering to the. Further, in the above-described embodiment, since the exhaust ducts 63 and 67 are opened to the outside of the clean room 71, it is possible to reliably prevent contamination in the clean room 71 even when gas is generated by heating the work 49. It will be possible.
【００２９】 なお、以上述べた実施例において、加熱炉１１内の温度が高い時には、吸気溝 ６５から冷却したクリーンエアを供給するようにしても良い。 また、以上述べた実施例において、ワーク４９を加熱することによりガスが発 生しない時には、排気ダクト６３，６７をクリーンルーム７１内に開口するよう にしても良い。In the embodiment described above, when the temperature inside the heating furnace 11 is high, the clean air cooled may be supplied from the intake groove 65. Further, in the embodiment described above, the exhaust ducts 63 and 67 may be opened in the clean room 71 when the gas is not generated by heating the work 49.
【００３０】 なお、以上述べた実施例では、リニアモータ２１を地上一次方式で配置した例 について説明したが、本考案はかかる実施例に限定されるものではなく、例えば 、地上二次方式等の方法で配置しても良いことは勿論である。 また、以上述べた実施例では、クリーンルーム７１内に加熱装置を配置した例 について説明したが、本考案はかかる実施例に限定されるものではなく、例えば 、部分的にクリーン雰囲気とされる場所に加熱炉等を配置した加熱装置にも適用 できることは勿論である。In the embodiment described above, the linear motor 21 is arranged in the ground primary system, but the present invention is not limited to this embodiment. Of course, they may be arranged by a method. Further, in the above-described embodiment, an example in which the heating device is arranged in the clean room 71 has been described, but the present invention is not limited to such an embodiment, and for example, in a place where a clean atmosphere is partially provided. Of course, it can be applied to a heating device having a heating furnace or the like.
【００３１】 さらに、以上述べた実施例では、加熱炉１１の上壁１５に傾斜面８７を形成し 、クリーンエアが乱流になることを防止した例について説明したが、本考案はか かる実施例に限定されるものではなく、例えば、半円状等にしても良いことは勿 論である。Further, in the above-described embodiment, an example in which the inclined surface 87 is formed on the upper wall 15 of the heating furnace 11 to prevent the clean air from becoming a turbulent flow has been described. Of course, the shape is not limited to the example, and it is needless to say that the shape may be, for example, a semicircle.
【００３２】[0032]
以上述べたように、本考案の加熱装置では、走行部を、搬送路に沿ってリニア モータにより走行するようにしたので、搬送手段からの発塵を従来より大幅に低 減することができる。 また、クリーンエアが、遮熱カバーのクリーンエア流入孔からクリーンエア流 通空間内に流入され、加熱炉の輻射熱がクリーンエアにより除去されるため、加 熱炉の輻射熱によるクリーンエアの温度上昇を低減することができるという利点 がある。 As described above, in the heating device of the present invention, the traveling portion is caused to travel along the conveying path by the linear motor, so that the dust generated from the conveying means can be significantly reduced as compared with the conventional case. In addition, clean air flows from the clean air inflow hole of the heat shield cover into the clean air flow space, and the radiant heat of the heating furnace is removed by the clean air, so the temperature rise of the clean air due to the radiant heat of the heating furnace. There is an advantage that it can be reduced.
【図１】本考案の加熱装置の一実施例を示す横断面図で
ある。1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a heating device of the present invention.
【図２】図１の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of FIG.
【図３】図１の搬送路および加熱炉を概略的に示す説明
図である。FIG. 3 is an explanatory view schematically showing the transport path and the heating furnace of FIG.
【図４】図１の走行部を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a traveling unit of FIG. 1.
【図５】図１の加熱炉下方のカバー部材を示す斜視図で
ある。5 is a perspective view showing a cover member below the heating furnace in FIG. 1. FIG.
【図６】図１の加熱装置が配置されるクリーンルームを
示す断面図である。6 is a cross-sectional view showing a clean room in which the heating device of FIG. 1 is arranged.
１１ 加熱炉 １３ 搬送路 １５ 上壁 １９ クリーンエア流入口 ２１ リニアモータ ２３ 走行部 ４３ 連結部 ４７ 通過用溝 ４９ ワーク ５１ 搬送部 ５９ 側壁 ８９ 遮熱カバー ９１ クリーンエア流入孔 ９３ クリーンエア流通空間 11 Heating Furnace 13 Conveying Path 15 Upper Wall 19 Clean Air Inlet 21 Linear Motor 23 Traveling Section 43 Connecting Section 47 Passing Groove 49 Work 51 Conveying Section 59 Side Wall 89 Heat Shield Cover 91 Clean Air Inflow Hole 93 Clean Air Distribution Space
Claims (1)
エア流入口の形成される加熱炉と、前記搬送路に沿って
リニアモータにより走行され前記加熱炉の下方を通過す
る走行部と、この走行部に一端を固定され走行部の加熱
炉下方走行時に加熱炉に形成される通過用溝から加熱炉
内に他端を位置される連結部と、この連結部の他端側に
固定され加熱すべきワークが配置される搬送部とを有
し、前記加熱炉の上壁および側壁を囲んで、上面に複数
のクリーンエア流入孔が形成される遮熱カバーが配置さ
れ、この遮熱カバーと前記上壁および側壁との間にクリ
ーンエア流通空間が形成されていることを特徴とする加
熱装置。1. A heating furnace having a clean air inflow port formed at a predetermined position on a transfer path, a running section which is driven by a linear motor along the transfer path and passes below the heating furnace, and the running section. One end of the connecting part is fixed to the other end of the connecting part, and the other end of the connecting part is located inside the heating furnace from the passage groove formed in the heating furnace when the traveling part travels below the heating furnace. A heat transfer cover in which a plurality of clean air inflow holes are formed on the upper surface of the heating furnace is provided. A heating device, characterized in that a clean air circulation space is formed between the upper wall and the side wall.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3494191U JPH0532995U (en) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | Heating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3494191U JPH0532995U (en) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | Heating device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0532995U true JPH0532995U (en) | 1993-04-30 |
Family
ID=12428204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3494191U Pending JPH0532995U (en) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | Heating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0532995U (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010037091A (en) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | Conveying device |
| JP2013124810A (en) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Fuji Xerox Co Ltd | Burning device and method of manufacturing endless belt |
| JP2017005121A (en) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | Wafer transport system |
-
1991
- 1991-05-17 JP JP3494191U patent/JPH0532995U/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010037091A (en) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | Conveying device |
| JP2013124810A (en) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Fuji Xerox Co Ltd | Burning device and method of manufacturing endless belt |
| JP2017005121A (en) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | Wafer transport system |
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