JPH05325869A - イオン注入装置 - Google Patents
イオン注入装置Info
- Publication number
- JPH05325869A JPH05325869A JP13032192A JP13032192A JPH05325869A JP H05325869 A JPH05325869 A JP H05325869A JP 13032192 A JP13032192 A JP 13032192A JP 13032192 A JP13032192 A JP 13032192A JP H05325869 A JPH05325869 A JP H05325869A
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- JP
- Japan
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- ion
- chamber
- high voltage
- counter
- extraction electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】イオン注入装置のチャンバー内部の汚れを定量
的にモニターする。 【構成】装置チャンバー内が汚れてくると、高電圧がか
かっているイオンソース１と引出電極２間で放電する回
数が増えてくる為、放電時に高電圧電源３を流れる電流
が急に増加した回数をカウントできる回路を有してい
る。
的にモニターする。 【構成】装置チャンバー内が汚れてくると、高電圧がか
かっているイオンソース１と引出電極２間で放電する回
数が増えてくる為、放電時に高電圧電源３を流れる電流
が急に増加した回数をカウントできる回路を有してい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はイオン注入装置に関し、
特に清掃時期を決定する為の装置監視機構に関する。
特に清掃時期を決定する為の装置監視機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のイオン注入装置では、装置チャン
バー内部の汚れの程度は定量的に把握されていない。そ
の為、汚れによる異常放電によるトラブル防止や故障防
止の為の清掃は、定期的に実施されている。
バー内部の汚れの程度は定量的に把握されていない。そ
の為、汚れによる異常放電によるトラブル防止や故障防
止の為の清掃は、定期的に実施されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のイオン
注入装置には、汚れ等による放電の回数をカウントする
機能を有していなかった為、装置使用によるチャンバー
内部の汚れを定量的にモニターする方法がなかった。そ
の為、装置使用状態やトラブルによって違ってくる装置
内部の汚れ具合に対して、清掃時期としては、汚れ具合
に関係なく定期的に実施するか、目視による人の判断に
たよるしかなかった。
注入装置には、汚れ等による放電の回数をカウントする
機能を有していなかった為、装置使用によるチャンバー
内部の汚れを定量的にモニターする方法がなかった。そ
の為、装置使用状態やトラブルによって違ってくる装置
内部の汚れ具合に対して、清掃時期としては、汚れ具合
に関係なく定期的に実施するか、目視による人の判断に
たよるしかなかった。
【０００４】このため、効率的な清掃タイミングが得ら
れず、汚れによる大きな放電での装置故障やむだな清掃
を実施するというような問題点があった。また、汚れに
よる注入エネルギーの不安定性から、注入されるイオン
量がばらつき、半導体装置の歩留を低下させるという問
題点もあった。
れず、汚れによる大きな放電での装置故障やむだな清掃
を実施するというような問題点があった。また、汚れに
よる注入エネルギーの不安定性から、注入されるイオン
量がばらつき、半導体装置の歩留を低下させるという問
題点もあった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のイオン注入装置
は、イオン注入用の不純物イオンを形成するイオンソー
スと、形成されたイオンを引出す引出電極とを有するイ
オン注入装置において、汚れによる放電の発生回数をカ
ウントするための放電数カウント回路を前記イオンソー
スと前記引出電極間に設けたものである。
は、イオン注入用の不純物イオンを形成するイオンソー
スと、形成されたイオンを引出す引出電極とを有するイ
オン注入装置において、汚れによる放電の発生回数をカ
ウントするための放電数カウント回路を前記イオンソー
スと前記引出電極間に設けたものである。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例のブロック図である。
る。図１は本発明の一実施例のブロック図である。
【０００７】イオン注入装置は高真空中にてイオンソー
ス１においてイオンを生成し、引出電極２によりイオン
ビーム７を引き出す構造となっているが、装置使用状況
により、イオンソース１周辺及び引出電極２周辺が汚
れ、高電圧がかかっているイオンソース１と引出電極２
間で放電が起こる。この放電時に高電圧電源３に流れる
電流を常時モニターするための回路をアンプ６，コンパ
レータ５を使用して設け、ある設定値、例えば５０ｍＡ
以上の電流が流れた回数をカウンター４によりカウント
し、その回数により清掃時期を管理する。
ス１においてイオンを生成し、引出電極２によりイオン
ビーム７を引き出す構造となっているが、装置使用状況
により、イオンソース１周辺及び引出電極２周辺が汚
れ、高電圧がかかっているイオンソース１と引出電極２
間で放電が起こる。この放電時に高電圧電源３に流れる
電流を常時モニターするための回路をアンプ６，コンパ
レータ５を使用して設け、ある設定値、例えば５０ｍＡ
以上の電流が流れた回数をカウンター４によりカウント
し、その回数により清掃時期を管理する。
【０００８】例えば１回のイオン注入操作中に５回以上
の放電が発生した場合、装置内を清掃する事に定めるこ
とにより、装置の故障や半導体装置の歩留りの低下を防
ぐことができる。
の放電が発生した場合、装置内を清掃する事に定めるこ
とにより、装置の故障や半導体装置の歩留りの低下を防
ぐことができる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、放電回数
カウンターにて装置内部の汚れを定量的にモニターする
ことが可能であるようにしたので、装置チャンバー内部
の汚れの清掃時期を、今まで人の感覚による判断及び使
用状態に関係ない定期的なタイミングで定めていたもの
を合理化し、汚れによる清掃をタイムリーに実施するこ
とができるようになった。これにより、異常放電に起因
する装置の故障の低減及び半導体装置の歩留りの向上が
可能になるという効果がある。
カウンターにて装置内部の汚れを定量的にモニターする
ことが可能であるようにしたので、装置チャンバー内部
の汚れの清掃時期を、今まで人の感覚による判断及び使
用状態に関係ない定期的なタイミングで定めていたもの
を合理化し、汚れによる清掃をタイムリーに実施するこ
とができるようになった。これにより、異常放電に起因
する装置の故障の低減及び半導体装置の歩留りの向上が
可能になるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例のブロック図。
１ イオンソース ２ 引出電極 ３ 高電圧電源 ４ カウンター ５ コンパレータ ６ アンプ ７ イオンビーム
Claims (1)
- 【請求項１】 イオン注入用の不純物イオンを形成する
イオンソースと、形成されたイオンを引出す引出電極と
を有するイオン注入装置において、汚れによる放電の発
生回数をカウントするための放電数カウント回路を前記
イオンソースと前記引出電極間に設けたことを特徴とす
るイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13032192A JP2833923B2 (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | イオン注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13032192A JP2833923B2 (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | イオン注入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05325869A true JPH05325869A (ja) | 1993-12-10 |
| JP2833923B2 JP2833923B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=15031544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13032192A Expired - Fee Related JP2833923B2 (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | イオン注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833923B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2935673A1 (de) * | 1978-09-04 | 1980-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | Selbstloeschender schalter |
-
1992
- 1992-05-22 JP JP13032192A patent/JP2833923B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2935673A1 (de) * | 1978-09-04 | 1980-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | Selbstloeschender schalter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2833923B2 (ja) | 1998-12-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980908 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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