JPH05318528A - Apparatus and method for sealing injection-molded product - Google Patents

Apparatus and method for sealing injection-molded product

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JPH05318528A
JPH05318528A JP16012992A JP16012992A JPH05318528A JP H05318528 A JPH05318528 A JP H05318528A JP 16012992 A JP16012992 A JP 16012992A JP 16012992 A JP16012992 A JP 16012992A JP H05318528 A JPH05318528 A JP H05318528A
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cavity
vacuum pump
injection
injected
molded product
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Toshiharu Yamauchi
俊治 山内
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/26Moulds
    • B29C45/34Moulds having venting means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
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    • B29C45/14Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
    • B29C45/14639Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
    • B29C45/14655Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame

Abstract

PURPOSE:To obtain an apparatus characterized by that stage replacement is easy at the time of the replacement of a mold, a vacuum exhaust time is shortened, the reliability of a molded product or that of the apparatus itself is enhanced, piping work is easy and the number of piping parts is reduced. CONSTITUTION:Molds 1, 2 and piping 44 using a flexible hose are made automatically detachable by air cylinders 35, 37 and upper and lower valves 37, 43 are provided in the vicinity of the molds and a vacuum gauge 52 and an oil mist trap 55 are provided. These vacuum machineries are covered with a cover 57 and the exhaustion of the air in the cover 57 and the exhaustion of a vacuum pump 30 are simultaneously performed by a fan 56 to discharge air to a factory duct.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は半導体装置を樹脂封止
するための射出成形品の封止装置及び封止方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sealing device and a sealing method for an injection molded product for sealing a semiconductor device with a resin.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は従来の半導体装置の樹脂封止装置
を示す断面図であり、図において、1は上金型(以下、
上型と記す)、2は上記上型1と一対の下金型(以下、
下型と記す)、3は上型1を搭載固定する上プラテン、
4は下型2を搭載固定し上下方向に摺動して上,下金型
1,2を加圧,型締する移動プラテンである。また5は
半導体素子が載置及び電気的に配線されたリードフレー
ム(以下リードフレームと記す)、6は樹脂封止材料で
ある円柱形の樹脂タブレット(以下タブレットと記
す)、7は上型1に形成され、パッケージ成形するため
の上キャビティ、8は下型2に形成された下キャビテ
ィ、9は溶融した樹脂を上,下キャビティ7,8に供給
するランナ・ゲート、10は下型2に設けられ、タブレ
ット6を収納するポット、11は溶融樹脂を射出注入す
るためのプランジャ、12はプランジャ11に設けら
れ、下型2とプランジャ11とを密閉シールするテフロ
ンリングである。
2. Description of the Related Art FIG. 4 is a cross-sectional view showing a conventional resin sealing device for a semiconductor device. In FIG.
The upper mold 1 and a pair of lower molds (hereinafter, referred to as an upper mold) 2
3) is an upper platen for mounting and fixing the upper mold 1,
Reference numeral 4 denotes a moving platen for mounting and fixing the lower mold 2, sliding in the vertical direction, and pressing and clamping the lower molds 1 and 2. Further, 5 is a lead frame (hereinafter referred to as a lead frame) on which a semiconductor element is mounted and electrically wired, 6 is a cylindrical resin tablet (hereinafter referred to as a tablet) which is a resin sealing material, and 7 is an upper mold 1 Upper cavity for forming a package, 8 is a lower cavity formed in the lower mold 2, 9 is a runner gate for supplying molten resin to the upper and lower cavities 7, 8, and 10 is a lower mold 2. A pot is provided for accommodating the tablet 6, a reference numeral 11 is a plunger for injecting and injecting a molten resin, and a reference numeral 12 is a Teflon ring provided on the plunger 11 for hermetically sealing the lower mold 2 and the plunger 11.

【0003】さらに13は封止後の上パッケージを離型
する上型エジェクタピン、14は上記上型エジェクタピ
ン13を取りつける上型エジェクタプレート、15は上
記上型エジェクタプレート14を動作させるバネA、1
6は封止後の下パッケージを離型する下型エジェクタピ
ン、17は下型エジェクタピン16を取りつける下型エ
ジェクタプレート、18は上記下型エジェクタプレート
17を動作させるバネBである。また19は上型1に設
けられ、上キャビティ7からの空気を逃し、成形時のボ
イドの発生を防止するための上型エアベント、20は下
型2に設けられ、下キャビティ8からの空気を逃し、成
形時のボイドの発生を防止するための下型エアベント、
21は上,下金型1,2のパーティング面(接触面)か
らのエア漏れを防止するテフロンシール、22は下型エ
ジェクタ空内からのアエ漏れを防止するシールA、23
は上型1に取付られる継手A、24は上記継手A23と
上型1との接続面からのエア漏れを防止するOリングA
である。さらに25は配管A、26は配管B、27は配
管C、28は配管Dであり、各々Oリングとクランパと
からなる配管クランプ29により密閉接続されている。
30は金型内の空気を真空引きする油回転真空ポンプ
(以下真空ポンプと記す)、31は真空引きのON/O
FFの切換をするための真空バルブ、32は真空ポンプ
30の排気口である。
Further, 13 is an upper die ejector pin for releasing the upper package after sealing, 14 is an upper die ejector plate to which the upper die ejector pin 13 is attached, 15 is a spring A for operating the upper die ejector plate 14, 1
Reference numeral 6 is a lower die ejector pin for releasing the lower package after sealing, 17 is a lower die ejector plate for attaching the lower die ejector pin 16, and 18 is a spring B for operating the lower die ejector plate 17. Further, 19 is provided in the upper mold 1, an upper mold air vent for releasing air from the upper cavity 7 and preventing generation of voids at the time of molding, and 20 is provided in the lower mold 2 to remove air from the lower cavity 8. Lower mold air vent to prevent escape and generation of voids during molding,
Reference numeral 21 is a Teflon seal for preventing air leakage from the parting surfaces (contact surfaces) of the upper and lower molds 1 and 2, 22 is a seal A, 23 for preventing air leakage from the inside of the lower ejector.
Is a joint A attached to the upper mold 1, and 24 is an O-ring A for preventing air leakage from the connecting surface between the joint A23 and the upper mold 1.
Is. Further, 25 is a pipe A, 26 is a pipe B, 27 is a pipe C, and 28 is a pipe D, which are hermetically connected by a pipe clamp 29 including an O-ring and a clamper.
Reference numeral 30 is an oil rotary vacuum pump (hereinafter referred to as a vacuum pump) that evacuates the air in the mold, and 31 is ON / O for vacuum evacuation.
A vacuum valve for switching the FF, and 32 is an exhaust port of the vacuum pump 30.

【0004】次に動作について説明する。まず約180
℃に加熱,保温された上型1と下型2とが型開きした状
態でリードフレーム5とタブレット6が下型2へ供給装
置(図示せず)により載置される。次いで移動プラテン
4が上昇し、上型1と下型2とが型締,加圧される。型
締完了後、真空バルブ31が開放され配管D28,C2
7,B26,A25,継手A23を介して上下エジェク
タ室、さらに上下エアベント19,20を介して上下キ
ャビティ7,8,ランナ・ゲート9,ポット10内の空
気が吸引され高真空状態となる。このときテフロンシー
ル21,シールA22,テフロンリング12,Oリング
A24,及び配管接続部のOリングは真空もれを防止し
て気密を保っている。上,下型1,2内の空気は真空ポ
ンプ30の排気口32により排気され、一定時間(ここ
では10秒間)真空引き(排気)された後、プランジャ
11が上昇し、溶融したタブレット6をランナ・ゲート
9を介して上,下キャビティ7,8に射出,注入してパ
ッケージ成形を行う。そして溶融樹脂を硬化させるため
一定時間(ここでは60秒間)キュアした後、真空バル
ブ31を遮断(閉鎖)し、さらにプランジャ11による
溶融樹脂の射出を停止し、移動プラテン4が下降する
(金型内は高真空状態のまま)と同時に上型エジャクタ
ピン13が下降して型開き及び上型パッケージの離型が
行われる。移動プラテン4、即ち下型2はさらに下降を
続け下降端で下型エジェクタプレート17が突き上げロ
ッド(図示せず)により突き上げられることにより、下
型エジェクタピン16が上昇し下型パッケージの離型が
行われる。型開き及び離型が完了した後、排出装置(図
示せず)により、下型2から成形品が搬送され、1サイ
クルが完了する。なおここで真空ポンプ30は常時運転
状態で真空引きし続けた状態である。
Next, the operation will be described. First about 180
The lead frame 5 and the tablet 6 are placed on the lower mold 2 by a supply device (not shown) in a state where the upper mold 1 and the lower mold 2 which are heated and kept at a temperature of ℃ are opened. Then, the movable platen 4 is raised, and the upper die 1 and the lower die 2 are clamped and pressed. After the mold clamping is completed, the vacuum valve 31 is opened and the pipes D28, C2
Air in the upper and lower ejector chambers via B7, B26, A25, and the joint A23, and in the upper and lower cavities 7, 8, the runner gate 9, and the pot 10 via the upper and lower air vents 19 and 20 is in a high vacuum state. At this time, the Teflon seal 21, the seal A22, the Teflon ring 12, the O-ring A24, and the O-ring of the pipe connecting portion are kept airtight by preventing vacuum leakage. The air in the upper and lower molds 1 and 2 is exhausted by the exhaust port 32 of the vacuum pump 30 and, after being evacuated (exhausted) for a fixed time (here, 10 seconds), the plunger 11 is lifted and the melted tablet 6 is removed. The upper and lower cavities 7 and 8 are injected and injected through the runner gate 9 to perform package molding. Then, after curing for a fixed time (here, 60 seconds) to cure the molten resin, the vacuum valve 31 is shut off (closed), the injection of the molten resin by the plunger 11 is stopped, and the moving platen 4 descends (die). At the same time, the upper die ejector pin 13 is lowered to open the die and release the upper die package. The moving platen 4, that is, the lower die 2 continues to descend, and the lower die ejector plate 17 is pushed up by the pushing rod (not shown) at the lower end, so that the lower die ejector pin 16 rises and the lower die package is released. Done. After the mold opening and the mold releasing are completed, the discharge device (not shown) conveys the molded product from the lower mold 2, and one cycle is completed. Here, the vacuum pump 30 is in a state in which the vacuum pump 30 is constantly operating and continuously evacuated.

【0005】ところで、特開昭62−273742号公
報には、上,下金型にそれぞれ連通路を設け、キャビテ
ィに樹脂を射出注入する前に各連通路から同時に真空引
きを行い、またキュア終了後にキャビティに外気を吸入
させて型開きするトランスファー形成装置が示されてお
り、該公報に示された装置を用いることで、真空引き時
間を短縮するとともに型開をスムーズに行うことができ
る。
By the way, in Japanese Patent Laid-Open No. 62-273742, upper and lower molds are provided with communicating passages respectively, and vacuum is simultaneously drawn from each communicating passage before resin is injected into the cavity, and curing is completed. A transfer forming device is disclosed in which the mold is opened by sucking outside air into the cavity later. By using the device disclosed in the publication, the vacuum drawing time can be shortened and the mold can be opened smoothly.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の射出成形品の封
止装置及び封止方法は以上のように構成されているの
で、以下に示すような多くの問題点があった。 (1) 金型交換の際、配管の着脱が必要となり段取時間が
長くなる。 (2) キャビティ内に溶融樹脂を射出注入する前に真空バ
ルブから金型に至るまでの間の配管内の空気を排気しな
ければならず金型内を真空にするまでの排気時間が長
い。 (3) 真空ポンプ自身の故障の判別が不可能であり、シー
ル部等からの真空漏れ発生の検出が不可能で不良品を生
産してしまう危険を伴う。 (4) 金型内の高温空気や真空ボンプ自身の油煙が直接室
内に排気され、クリーンルーム内の汚染の原因となる。 (5) 高真空時に異常等によりポンプが停止した際、油や
油煙が配管系を介して金型内に混入してしまう。 (6) 多数の配管接続部よりの真空漏れ防止のため各箇所
にOリング等を設けなければならず、配管系が複雑で配
管作業か煩雑である。
Since the conventional apparatus and method for sealing an injection-molded article are constructed as described above, there are many problems as described below. (1) When exchanging the mold, it is necessary to attach and detach the pipes, which increases the setup time. (2) Before injecting the molten resin into the cavity, the air in the pipe between the vacuum valve and the mold must be exhausted, and the evacuation time for vacuuming the mold is long. (3) It is impossible to determine the failure of the vacuum pump itself, and it is impossible to detect the occurrence of vacuum leakage from the seal part, etc., and there is a risk of producing defective products. (4) The hot air in the mold and oil smoke from the vacuum pump itself are exhausted directly into the room, which causes pollution in the clean room. (5) When the pump is stopped due to an abnormality during high vacuum, oil and oil smoke enter the mold via the piping system. (6) In order to prevent vacuum leakage from many pipe connections, O-rings and the like must be provided at each location, and the piping system is complicated and the piping work is complicated.

【0007】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、以下のことを達成することがで
きる射出成形品の封止装置及び封止方法を提供すること
を目的とする。 (1) 金型交換の段取時間を短縮する。 (2) 金型内を真空にするまでの排気時間を短縮する。 (3) 真空ポンプ自身の真空度を検出する。 (4) 真空ポンプよりの油煙や高温空気の室内排気の防止
ができる。 (5) 真空ホンプ異常等により運転停止の際、油や油煙の
逆流が防止できる。 (6) 配管作業が簡素で部品点数の削減を図る。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an apparatus and a method for sealing an injection-molded article capable of achieving the following. .. (1) Reduce the setup time for die replacement. (2) Shorten the evacuation time until the inside of the mold is evacuated. (3) Detect the degree of vacuum of the vacuum pump itself. (4) It is possible to prevent oil smoke and high temperature air from being exhausted indoors from the vacuum pump. (5) It is possible to prevent backflow of oil or oil smoke when the operation is stopped due to an abnormal vacuum hoop. (6) The piping work is simple and the number of parts is reduced.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明にかかる射出成
形品の封止装置は、配管と金型との接続部に自動脱着機
構を設けたものである。また、金型近傍に、配管先端の
開閉状態を制御する開閉バルブを設けたものである。ま
た、真空ポンプの真空度を検出する真空ゲージを設けた
ものである。また、真空ポンプの排気側にオイルミスト
トラップを設けたものである。また、真空ポンプ周辺を
カバーで覆うとともに、排気ファンを設け、前記カバー
内の空気を上記真空ポンプの排気とともにダクトに強制
排気するようにしたものである。さらに、真空ポンプと
配管との間に主バルブを設けるとともに、主バルブと真
空ポンプとの間に非常リークバルブを設けたものであ
る。
A device for sealing an injection-molded article according to the present invention is provided with an automatic attachment / detachment mechanism at a connecting portion between a pipe and a mold. Further, an opening / closing valve for controlling the opening / closing state of the pipe tip is provided near the die. Further, a vacuum gauge for detecting the degree of vacuum of the vacuum pump is provided. Further, an oil mist trap is provided on the exhaust side of the vacuum pump. Further, the periphery of the vacuum pump is covered with a cover, and an exhaust fan is provided so that the air in the cover is forcibly exhausted to a duct together with the exhaust of the vacuum pump. Further, a main valve is provided between the vacuum pump and the piping, and an emergency leak valve is provided between the main valve and the vacuum pump.

【0009】また、この発明に係る射出成形品の封止方
法は、溶融樹脂を射出注入前に予め配管内を真空引きし
た状態とするようにしたものである。また、キャビティ
内に溶融樹脂を射出注入した後の、前記キャビティの真
空引きが行われていない期間において真空ポンプの駆動
能力を測定するようにしたものである。
Further, the method for sealing an injection-molded product according to the present invention is such that the inside of the pipe is evacuated before injection of the molten resin. Further, after the molten resin is injected and injected into the cavity, the driving ability of the vacuum pump is measured during the period when the cavity is not evacuated.

【0010】[0010]

【作用】この発明においては、金型と配管との接続部を
エアシリンダ等で可動させることにより自動的に着脱で
き、金型交換(品種変更)時の段取時間が短縮される。
また、金型近傍に設けた開閉バルブを用いて溶融樹脂を
射出注入前に予め配管内を真空引きした状態とすること
で、排気容積が縮減され排気時間が短縮される。
According to the present invention, the connecting portion between the die and the pipe can be automatically attached / detached by moving it with an air cylinder or the like, and the setup time at the time of die exchange (product type change) can be shortened.
Further, by using the on-off valve provided in the vicinity of the mold to evacuate the inside of the pipe in advance before injecting the molten resin, the exhaust volume is reduced and the exhaust time is shortened.

【0011】また、真空ポンプ側に設けた真空ゲージに
より真空ポンプ自身の真空度が検出でき、真空ポンプの
異常や金型や配管系よりの真空漏れ判別ができる。ま
た、真空ポンプ側に主バルブと非常リーグバルブを設け
たことにより、非常時に真空ポンプと配管系を遮断し、
ポンプ側を大気開放することができ、油や油煙の配管や
金型内への逆流が防止される。
Further, the degree of vacuum of the vacuum pump itself can be detected by the vacuum gauge provided on the side of the vacuum pump, and the abnormality of the vacuum pump and the vacuum leak from the mold and the piping system can be discriminated. Also, by providing the main valve and the emergency league valve on the vacuum pump side, the vacuum pump and the piping system are shut off in an emergency,
The pump side can be opened to the atmosphere, preventing backflow of oil and oil smoke into the piping and mold.

【0012】また、真空ポンプ周辺にカバーを設けたの
で、ファンによりカバー内気及び真空ポンプよりの排気
が強制的に工場ダクトへ排気される。さらに、配管系に
フレキシブルホースを用いることにより、配管部品が削
減され、配管作業も容易となる。
Further, since the cover is provided around the vacuum pump, the air inside the cover and the exhaust from the vacuum pump are forcibly exhausted to the factory duct by the fan. Further, by using a flexible hose for the piping system, the number of piping parts is reduced and the piping work is facilitated.

【0013】[0013]

【実施例】以下この発明の一実施例による射出成形品の
封止装置を図1に基づいて説明する。図4と同一符号は
同一または相当部分を示し、33は上プラテン3内を摺
動可能な継手B、34は上型1に設けられ、継手B33
により押圧シールするOリングB、35は上プラテン3
に固定された上型エアシリンダであり、接続プレートA
36により継手B33に連結されている。37は配管ク
ランプ29により継手B33に気密接続された無励磁閉
鎖型の上型排気真空バルブ(以下上型バルブと記す)で
ある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An injection molded product sealing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. The same reference numerals as those in FIG. 4 denote the same or corresponding parts, 33 is a joint B slidable in the upper platen 3, 34 is provided in the upper mold 1, and a joint B33.
O-rings B and 35 that are pressed and sealed by the upper platen 3
Is an upper air cylinder fixed to the connection plate A
36 is connected to the joint B33. Reference numeral 37 denotes a non-excitation closed type upper exhaust vacuum valve (hereinafter referred to as an upper valve) which is airtightly connected to the joint B33 by a pipe clamp 29.

【0014】また38は下型2に密閉固定された下型排
気口、39は移動プラテン4内を摺動可能な継手C、4
0は継手C39に設けられ、下型排気口38に押圧シー
ルするOリングC、41は移動プラテン4に固定された
下型エアシリンダであり、接続プレートB42により継
手C39と連結されている。43は配管クランプ29に
より継手C39に気密接続され、無励磁閉鎖型の下型排
気真空バルブ(以下、下型バツブと記す)である。
Further, 38 is a lower die exhaust port which is hermetically fixed to the lower die 2, 39 is a joint C, 4 which is slidable in the movable platen 4.
Reference numeral 0 denotes an O-ring C provided at the joint C39, and an O-ring C for pressure-sealing the lower die exhaust port 38, 41 denotes a lower air cylinder fixed to the movable platen 4, and is connected to the joint C39 by a connection plate B42. Reference numeral 43 denotes a non-excitation closed type lower die exhaust vacuum valve (hereinafter referred to as lower die valve) which is airtightly connected to the joint C39 by the pipe clamp 29.

【0015】さらに、44はその一端側が配管クランプ
29を介して上型バルブ37に接続され、その他端側が
下型バルブ43に配管クランプ29を介して接続された
継手D45に接続されたフレキシブルホースA、46は
継手D45とフィルタA47とを接続するフレキシブル
ホースBである。
Further, 44 is a flexible hose A whose one end is connected to the upper mold valve 37 via the pipe clamp 29, and the other end is connected to a joint D45 which is connected to the lower mold valve 43 via the pipe clamp 29. , 46 are flexible hoses B connecting the joint D45 and the filter A47.

【0016】また、48は上記フィルタA47後段に設
けられた無励磁閉鎖型のメイン真空バルブ(以下メイン
バルブと記す)、49はフィルタA47とメイン真空バ
ルブ48との間に設けられた無励磁開放型のリーグバル
ブ、50はメイン真空バルブ48後段に設けられた無励
磁開放型の非常リークバルブであり、51,52は各々
リーグバルブ49,非常リークバルブ50前段に設けら
れた真空度計であるメインゲージ,チェックゲージであ
る。さらに非常リークバルブ50後段にはメカニカルブ
ースタポンプ53を介して真空ホンプ30が設けられ、
該真空ポンプ30はメカニカルブースタポンプ53によ
りその排気速度が増強される。なお54は真空ポンプ3
0の吸気口に設けられたフィルタBである。また55は
真空ポンプ30の排気口より排出される油を除却するオ
イルミストラップ、56はファンであり、上記48〜5
6の構成部材が真空ポンプ30の周辺機器を覆うカバー
57によって覆われた構成となっている。なお、ここで
は図番46以降の機器は配線記号で示されているものと
する。
Further, 48 is a non-excitation closed type main vacuum valve (hereinafter referred to as a main valve) provided in the latter stage of the filter A 47, and 49 is a non-excitation opening provided between the filter A 47 and the main vacuum valve 48. Type league valve, 50 is a non-excitation open type emergency leak valve provided in the latter stage of the main vacuum valve 48, and 51 and 52 are vacuum meters provided in the preceding stages of the league valve 49 and the emergency leak valve 50, respectively. Main gauge and check gauge. Further, a vacuum hoop 30 is provided at a stage subsequent to the emergency leak valve 50 via a mechanical booster pump 53,
The pumping speed of the vacuum pump 30 is enhanced by a mechanical booster pump 53. 54 is a vacuum pump 3
It is a filter B provided at the intake port of 0. Further, 55 is an oil mistrap for removing the oil discharged from the exhaust port of the vacuum pump 30, and 56 is a fan.
The component 6 is covered with a cover 57 that covers the peripheral equipment of the vacuum pump 30. Here, it is assumed that the devices after the drawing number 46 are indicated by wiring symbols.

【0017】次に動作について説明する。図2におい
て、サイクル開始点であるタイミングT0 では真空ポン
プ30及びメカニカルブースタポンプ54は従来同様に
常時運転状態となっており、メインバルブ48は開放さ
れ、リークバルブ49及び非常リークバルブ50は閉鎖
状態となっており、さらに上,下型バルブ37,43は
閉鎖状態とされている。従ってこの状態ではポンプ30
から上,下型バルブ37,43までの間、即ち配管部分
(44,45,46)が高真空状態となっている。上記
状態にて従来装置と同様、リードフレーム5とタブレッ
ト6とが下型2へ載置される。
Next, the operation will be described. In FIG. 2, the vacuum pump 30 and the mechanical booster pump 54 are constantly operating as in the conventional case at the timing T0 which is the cycle start point, the main valve 48 is opened, and the leak valve 49 and the emergency leak valve 50 are closed. In addition, the upper and lower mold valves 37 and 43 are closed. Therefore, in this state, the pump 30
To the upper and lower mold valves 37, 43, that is, the piping portions (44, 45, 46) are in a high vacuum state. In the above state, the lead frame 5 and the tablet 6 are placed on the lower mold 2 as in the conventional device.

【0018】次いで移動プラテン4が上昇し、上,下金
型1,2が接触しはじめ、加圧力が3トン(加圧力検出
手段は図示せず)以上になると(タイミングT1 )上,
下金型密着と判断し、上型バルブ37及び下型バルブ4
3を開放する。上,下バルブ37,43が開放されると
上型1内は継手B33を介して、また下型2内は継手C
39,下型排気口38を介して各々真空引きされる。
Then, the movable platen 4 rises, the upper and lower molds 1 and 2 start contacting each other, and when the pressing force exceeds 3 tons (pressing force detecting means is not shown) (timing T1),
It is determined that the lower mold is in contact with the upper mold valve 37 and the lower mold valve 4.
Open 3. When the upper and lower valves 37 and 43 are opened, the inside of the upper die 1 is through the joint B33, and the inside of the lower die 2 is the joint C.
39 and the lower die exhaust port 38 are evacuated.

【0019】そしてメインゲージ51にて測定される真
空度が1Torr以下になると(タイミングT3 )、金
型内が許容真空度となった(成形可条件)として、タイ
ミングT2 における充分な加圧力(ここでは80トン)
の有無とともに確認された後、プランジャ11が上昇
し、タブレット6がランナ・ゲート9を介して上,下キ
ャビティ7,8に射出され、リードフレーム5が樹脂封
止される。ここで金型内の真空引き時間t(タイミング
T1 ないしタイミングT3 の期間)が一定時間(ここで
は5秒)を越えた場合には、許容プリヒート時間(熱硬
性樹脂であるタブレット6が溶融し、さらに硬化してし
まい成形できなくなるのまでの時間を示し、ここでは2
0秒)になるまで真空引きを続行し、それまでに1To
rr以下になればサイクルを続行し、その後、何らかの
異常かあるとみなして警報を発する。一方、真空引き時
間tが上記許容プリヒート時間(20秒)を越えたとき
には、成形不可,真空系異常としてサイクルを停止し警
報を発する。
When the degree of vacuum measured by the main gauge 51 becomes 1 Torr or less (timing T3), it is determined that the inside of the mold has an allowable degree of vacuum (molding condition), and sufficient pressure at timing T2 (here Then 80 tons)
After the confirmation, the plunger 11 rises, the tablet 6 is injected into the upper and lower cavities 7 and 8 through the runner gate 9, and the lead frame 5 is resin-sealed. Here, when the vacuum evacuation time t in the mold (the period from timing T1 to timing T3) exceeds a certain time (here, 5 seconds), the allowable preheating time (tablet 6 which is a thermosetting resin is melted, It shows the time until it hardens further and cannot be molded.
Continue evacuation until 0 seconds), and by that time 1To
If it becomes rr or less, the cycle is continued, and thereafter, it is considered that there is some abnormality and an alarm is issued. On the other hand, when the evacuation time t exceeds the permissible preheat time (20 seconds), the cycle is stopped and an alarm is issued because molding is not possible and the vacuum system is abnormal.

【0020】射出完了(タイミングT4 )後、溶融樹脂
を硬化させるためキュア(60秒)に入ると同時に図示
しないタイマが働き、T時間(20(秒)<T<60
(秒))経過(タイミングT5 )すると、既に射出も完
了して真空引きの必要もなくなるため、メインバルブ4
8を閉鎖した後、次いでリークバルブ49を開放して型
開き前に金型1,2内及び各配管44,46内の高真空
状態を破壊して大気を導入する。
After the injection is completed (timing T4), a cure timer (60 seconds) is started to cure the molten resin, and at the same time, a timer (not shown) is activated to set T time (20 (seconds) <T <60.
(Seconds)) Elapsed (timing T5), the injection has already been completed and the vacuuming is no longer necessary, so the main valve 4
After closing 8, the leak valve 49 is opened to break the high vacuum state in the molds 1 and 2 and each of the pipes 44 and 46 before opening the mold to introduce the atmosphere.

【0021】金型1,2内及び各配管内が760Tor
r即ち大気圧となったことをメインゲージ51で検出し
た後(タイミングT6 )、上,下バルブ37,43を閉
鎖し、次いでリークバルブ49を閉鎖、さらにメインバ
ルブ48を開放して、再びポンプ53,30から上,下
バルブ37,43までの間の配管部分を高真空状態とし
て次サイクルでの金型内の真空引きに備える。
760 Tor in the molds 1 and 2 and each pipe
After the main gauge 51 detects that r, that is, atmospheric pressure (timing T6), the upper and lower valves 37 and 43 are closed, the leak valve 49 is then closed, the main valve 48 is opened, and the pump is pumped again. The piping portion from 53, 30 to the upper and lower valves 37, 43 is put in a high vacuum state to prepare for vacuum drawing in the mold in the next cycle.

【0022】メインバルブ48が閉鎖されている間に、
チェックゲージ52で真空度を検出し、ポンプ53,3
0の能力(ここでは0.001Torr以下)をチェッ
クし、異常(0.001Torrを越える)の場合は警
報を発する。キュアが完了すると型開きをして成形品を
取出して、1サイクルが完了し次サイクルが繰り返され
ていく。
While the main valve 48 is closed,
Check gauge 52 detects the degree of vacuum and pumps 53, 3
The ability of 0 (here, 0.001 Torr or less) is checked, and if it is abnormal (exceeds 0.001 Torr), an alarm is issued. When the curing is completed, the mold is opened, the molded product is taken out, one cycle is completed, and the next cycle is repeated.

【0023】ところで、サイクル運転中に何らかの異常
が発生し電源が切られると、図3に示すように直ちにメ
インバルブ48は閉鎖,リーグバルブ49は開放,非常
リークバルブ50は開放,上,下バルブ37,43は閉
鎖される。このときポンプ53,30の電源も切られ当
然運転停止となる。この動作によりポンプ53,30
と、配管系及び金型とを融離してポンプ53,30側を
大気開放してポンプ53,54より配管及び金型への
油,油煙の逆流を防止している。
By the way, if any abnormality occurs during the cycle operation and the power is turned off, the main valve 48 is immediately closed, the league valve 49 is opened, the emergency leak valve 50 is opened, and the upper and lower valves are opened as shown in FIG. 37 and 43 are closed. At this time, the power supplies of the pumps 53 and 30 are also turned off and the operation is naturally stopped. By this operation, the pumps 53, 30
And the piping system and the mold are melted to open the sides of the pumps 53 and 30 to the atmosphere to prevent the backflow of oil and oil smoke from the pumps 53 and 54 to the piping and the mold.

【0024】また真空ポンプ30の排気側に設置された
オイルミストラップ55により真空ポンプ30から排出
される油煙の外部への放出が防止されており、さらにこ
れらの真空機器はカバー57により覆われているためポ
ンプ30,53より放出される塵埃や油煙の外部への放
出を防止するとともに、カバー57に設けられたファン
56により強制的に排気と併せて工場ダクトへ排出され
る。
Further, the oil mistrap 55 provided on the exhaust side of the vacuum pump 30 prevents the oil smoke discharged from the vacuum pump 30 from being discharged to the outside, and these vacuum devices are covered by a cover 57. Therefore, the dust and oil smoke emitted from the pumps 30, 53 are prevented from being emitted to the outside, and the fan 56 provided in the cover 57 compulsorily discharges them together with the exhaust to the factory duct.

【0025】また金型内で発生した樹脂バリは配管系を
介してポンプ30,53側へ運ばれようとするが、配管
経路に設けられたフィルタA47と真空ポンプ30の吸
気口に設けられたフィルタB54により除去され、真空
ポンプ30への侵入を防止している。
Further, the resin burr generated in the mold tends to be carried to the pumps 30, 53 side through the piping system, but it is provided at the filter A47 provided in the piping path and the intake port of the vacuum pump 30. It is removed by the filter B54 to prevent it from entering the vacuum pump 30.

【0026】さらに品種切換などのため上型1,下型2
とを交換する場合は、金型交換スイッチ(図示せず)を
押すことにより常時下端にある上型エアシリンダ35は
上昇し、また常時上端にある下形エアシリンダ41は下
降して上,下金型1,2と配管系とは継手B33,継手
C39とを境に自動的に切り離される。そして金型交換
(図示せず)後、再度スイッチを押すことにより上型エ
アシリンダ35が下降して接続プレートA36,継手B
33を介して上型1と配管が接続され、また下型エアシ
リンダ41が上昇して接続プレートB42,継手C39
を介して下型2と配管が接続される。このとき上型1と
継手B33との接続面はOリングB34で、また下型2
(下型排気口38)と継手C39との接続面はOリング
C40で各々密閉シールされ、さらに上下エアシリンダ
35,41は常時エア圧を継手B33,継手C39に印
加してOリングB34,C40を押圧することにより真
空漏れを防止している。
Further, the upper mold 1 and the lower mold 2 for changing the type of product.
When exchanging with, the upper die air cylinder 35 always at the lower end is raised by pressing a die exchange switch (not shown), and the lower air cylinder 41 always at the upper end is lowered to move up and down. The molds 1 and 2 and the piping system are automatically separated at the joint B33 and the joint C39. Then, after the mold is replaced (not shown), the upper mold air cylinder 35 is lowered by pressing the switch again, and the connection plate A36 and the joint B are connected.
The upper mold 1 is connected to the pipe through 33, and the lower mold air cylinder 41 is raised to connect the connecting plate B42 and the joint C39.
The lower mold 2 and the pipe are connected via. At this time, the connecting surface between the upper mold 1 and the joint B33 is the O-ring B34, and the lower mold 2
The connection surface between the (lower die exhaust port 38) and the joint C39 is hermetically sealed with an O-ring C40, and the upper and lower air cylinders 35 and 41 constantly apply air pressure to the joint B33 and the joint C39 to provide O-rings B34 and C40. The vacuum leak is prevented by pressing.

【0027】このように本実施例によれば、上,下金型
1,2とフレキシブルホース44とをエアシリンダ3
5,41にて可動させて自動脱着可能としたから、金型
交換時の段取時間が短縮される。また上,下金型1,2
とフレキシブルホース44との間に真空バルブ37,4
3を設け、タブレットを射出注入前に予め配管内を真空
引きした状態にするようにしから、排気容積が縮減さ
れ、排気時間が短縮される。またメインバルブ48閉鎖
時にチェックゲージ52でポンプ53,54の真空度を
チェックするようにしたので、ポンプ自体の能力を測定
することができる。また、何らかの原因により電源が遮
断されてもメインバルブ48が閉鎖,非常リークバルブ
50が開放されて真空ポンプ30と配管系(46,44
等)とを遮断し、かつポンプ30側を大気開放すること
ができ、油や油煙の、配管系や金型1,2内への逆流が
防止される。
As described above, according to this embodiment, the upper and lower molds 1 and 2 and the flexible hose 44 are connected to the air cylinder 3.
Since it can be moved by 5, 41 and automatically detached, the setup time at the time of die replacement can be shortened. Also, upper and lower molds 1, 2
Between the vacuum hose 44 and the flexible hose 44
3 is provided so that the inside of the pipe is evacuated before injection and injection, the exhaust volume is reduced and the exhaust time is shortened. Further, since the vacuum degree of the pumps 53 and 54 is checked by the check gauge 52 when the main valve 48 is closed, the capacity of the pump itself can be measured. Further, even if the power is cut off for some reason, the main valve 48 is closed and the emergency leak valve 50 is opened, so that the vacuum pump 30 and the piping system (46, 44) are opened.
Etc.), and the pump 30 side can be opened to the atmosphere, so that backflow of oil and oil smoke into the piping system and the molds 1 and 2 is prevented.

【0028】また、真空ポンプ30周辺をカバー57で
覆い、カバー57内及び真空ポンプ30からの排気をフ
ァン56により強制的に工場ダクトに排気するようにし
たので、油煙や高温空気によるクリーンルーム内の汚染
を防止することできる。また、配管系にフレキシブルホ
ース44,46を用いることで、配管部品数を削減され
配管作業も容易なものとなる。
Further, since the periphery of the vacuum pump 30 is covered with the cover 57 and the exhaust from the cover 57 and the vacuum pump 30 is forcibly exhausted to the factory duct by the fan 56, the inside of the clean room due to oil smoke and high temperature air It is possible to prevent pollution. Further, by using the flexible hoses 44 and 46 in the piping system, the number of piping parts can be reduced and the piping work can be facilitated.

【0029】なお上記実施例では、油回転真空ポンプ3
0やメカニカルボブースタポンプ53を用いて真空引き
するものを示したが、ターボ分子ポンプやスクロールホ
ンプなど他の真空排気装置を用いてもよい。また上記実
施例では、金型と配管部の自動着脱機構にエアシリンダ
を用いたものを示したが、モータや他のアクチェータで
あってもよく上記実施例と同様の効果を奏する。
In the above embodiment, the oil rotary vacuum pump 3 is used.
No. 0 and a mechanical vacuum booster pump 53 are used to evacuate, but other vacuum exhaust devices such as a turbo molecular pump or a scroll hoop may be used. Further, although the air cylinder is used for the automatic attachment / detachment mechanism of the mold and the pipe portion in the above-mentioned embodiment, a motor or other actuator may be used and the same effect as that in the above-mentioned embodiment is obtained.

【0030】また上記実施例では、金型との間に継手B
33,C39とを介して上,下バルブ37,43を設け
たが、直接金型1,2に上,下バルブを接続したり他の
部品を介して接続するようにしてもよい。また上記実施
例では、上,下金型1,2各々に真空バルブ37,43
を設けて真空引きするように構成したが、いずれか一方
の金型に真空バルブを設けるようにしてもよく、上記実
施例と同様の効果を奏する。
In the above embodiment, the joint B is formed between the mold and the mold.
Although the upper and lower valves 37 and 43 are provided via 33 and C39, the upper and lower valves may be directly connected to the molds 1 and 2 or may be connected via other parts. Further, in the above embodiment, the vacuum valves 37 and 43 are provided on the upper and lower molds 1 and 2, respectively.
However, the vacuum valve may be provided in either one of the molds, and the same effect as that of the above embodiment can be obtained.

【0031】さらに上記実施例では、各金型と配管との
接合部にOリングを用いてシールするようにしたものを
示したが、ゴムパッキンや他のシール材であってよく、
またはシール材を使用しないもの(この場合密閉度は落
ちることになるが)であってもよく、上記実施例と同様
の効果を奏する。
Further, in the above embodiment, the O-ring is used to seal the joint between each mold and the pipe, but a rubber packing or other sealing material may be used.
Alternatively, a sealant may not be used (in this case, the hermeticity will be lowered), and the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、金型
と配管系を自動着脱するように構成したので、金型交換
時の段取時間が大幅に短縮され、また金型近傍に配管先
端の開閉状態を制御する開閉バルブを設け、溶融樹脂を
射出注入前に予め配管内を真空引きした状態とするよう
にしたので、排気容積が縮減され排気時間が短くなり生
産性の高い装置が得られるとうい効果がある。
As described above, according to the present invention, since the mold and the piping system are automatically attached and detached, the setup time at the time of exchanging the mold is significantly shortened, and the mold is kept near the mold. An on-off valve was installed to control the open / closed state of the pipe tip, and the inside of the pipe was evacuated before injection of molten resin, so the exhaust volume was reduced and the exhaust time was shortened. It has a good effect.

【0033】また、真空ゲージを設けて真空ポンプの性
能を測定したり、フィルタを設けてオイルミストをトラ
ップしたり、また非常時に真空ポンプ側を大気開放する
ととに配管側と遮断するようにしたので、装置の信頼性
を向上させることができるという効果がある。
Further, a vacuum gauge is provided to measure the performance of the vacuum pump, a filter is provided to trap the oil mist, and the vacuum pump side is shut off from the piping side when the atmosphere is opened to the atmosphere in an emergency. Therefore, there is an effect that the reliability of the device can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例による射出整形品の封止装
置を示す正面断面図。
FIG. 1 is a front sectional view showing a sealing device for an injection-molded article according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記封止装置の主要部の動作タイミングチャー
ト図。
FIG. 2 is an operation timing chart of a main part of the sealing device.

【図3】上記封止装置の非常時のバルブ開閉タイミング
チャート図。
FIG. 3 is a timing chart of a valve opening / closing timing of the sealing device in an emergency.

【図4】従来の射出整形品の封止装置を示す正面断面
図。
FIG. 4 is a front sectional view showing a conventional sealing device for injection molded products.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 上型 2 下型 3 上プラテン 4 移動プラテン 5 リードフレーム 6 タブレット 7 上キャビティ 8 下キャビティ 9 ランナ・ゲート 10 ポット 11 プランジャ 12 テフロンリング 13 上型エジェクタピン 14 上型エジェクタプレート 15 バネA 16 下型エジェクタピン 17 下型エジェクタプレート 18 バネB 19 上型エアベント 20 下型エアベント 21 テフロンシール 22 シールA 23 継手A 24 OリングA 25 配管A 26 配管B 27 配管C 28 配管D 29 配管クランプ 30 真空ポンプ 31 真空バルブ 32 排気口 33 継手B 35 上型エアシリンダ 36 接続プレートA 37 上型バルブ 38 下型排気口 39 継手C 40 OリングC 41 下型アエシリンダ 42 接続プレートB 43 下型バルブ 44 フレキシブルホースA 45 継手D 46 フレキシブルホースB 47 フィルタA 48 メインバルブ 49 リークバルブ 50 非常リークバルブ 51 メインゲージ 52 チェックゲージ 53 メカニカルブースタポンプ 54 フィルタB 55 オイルミストラップ 56 ファン 57 カバー 1 Upper Die 2 Lower Die 3 Upper Platen 4 Moving Platen 5 Lead Frame 6 Tablet 7 Upper Cavity 8 Lower Cavity 9 Runner Gate 10 Pot 11 Plunger 12 Teflon Ring 13 Upper Die Ejector Pin 14 Upper Die Ejector Plate 15 Spring A 16 Lower Die Ejector pin 17 Lower ejector plate 18 Spring B 19 Upper air vent 20 Lower air vent 21 Teflon seal 22 Seal A 23 Joint A 24 O-ring A 25 Piping A 26 Piping B 27 Piping C 28 Piping D 29 Piping clamp 30 Vacuum pump 31 Vacuum valve 32 Exhaust port 33 Joint B 35 Upper air cylinder 36 Connection plate A 37 Upper mold valve 38 Lower mold exhaust port 39 Joint C 40 O-ring C 41 Lower mold air cylinder 42 Connection plate B 43 Lower mold valve 44 F Flexible hose A 45 Joint D 46 Flexible hose B 47 Filter A 48 Main valve 49 Leak valve 50 Emergency leak valve 51 Main gauge 52 Check gauge 53 Mechanical booster pump 54 Filter B 55 Oil mistrap 56 Fan 57 Cover

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被成形品を収納するキャビティを有する
上下一対の金型と、上記キャビティ内を真空引きする真
空ポンプとを備え、真空状態のキャビティ内に溶融樹脂
を射出注入して上記被成形品を樹脂封止する射出成形品
の封止装置において、 上記一対の金型にそれぞれ形成された排気口と上記真空
ポンプとを接続する配管と、 該配管の上記金型への脱着を自動的に行う自動脱着機構
とを備えたことを特徴とする射出成形品の封止装置。
1. A pair of upper and lower molds having a cavity for accommodating an article to be molded, and a vacuum pump for vacuuming the inside of the cavity, wherein a molten resin is injected and injected into the cavity in a vacuum state to form the object to be molded. In an injection-molded product sealing device for sealing a product with a resin, a pipe for connecting an exhaust port formed in each of the pair of molds to the vacuum pump, and the attachment / detachment of the pipe to / from the mold are automatically performed. An apparatus for sealing an injection-molded product, comprising:
【請求項2】 請求項1記載の射出成形品の封止装置に
おいて、 上記配管にフレキシブルホースを用いたことを特徴とす
る射出成形品の封止装置。
2. The device for sealing an injection molded product according to claim 1, wherein a flexible hose is used for the pipe.
【請求項3】 被成形品を収納するキャビティを有する
上下一対の金型と、上記キャビティ内を真空引きする真
空ポンプとを備え、真空状態のキャビティ内に溶融樹脂
を射出注入して上記被成形品を樹脂封止する射出成形品
の封止装置において、 上記一対の金型にそれぞれ形成された排気口と上記真空
ポンプとを接続する配管と、 上記配管と上記金型の排気口との接続部に設けられ、上
記配管先端の開閉状態を制御する開閉バルブとを備えた
ことを特徴とする射出成形品の封止装置。
3. A pair of upper and lower molds having a cavity for accommodating an article to be molded, and a vacuum pump for vacuuming the inside of the cavity, wherein a molten resin is injected and injected into the cavity in a vacuum state to form the object to be molded. In an injection-molded product sealing device for sealing a product with a resin, a pipe connecting an exhaust port formed in each of the pair of molds and the vacuum pump, and a connection between the pipe and an exhaust port of the mold. And an opening / closing valve for controlling the open / closed state of the pipe tip, the apparatus for sealing an injection-molded product.
【請求項4】 被成形品を収納するキャビティを有する
上下一対の金型と、上記キャビティ内を真空引きする真
空ポンプとを備え、真空状態のキャビティ内に溶融樹脂
を射出注入して上記被成形品を樹脂封止する射出成形品
の封止装置において、 上記真空ポンプの排気側にオイルミストトラップを設け
たことを特徴とする射出成形品の封止装置。
4. A pair of upper and lower molds having a cavity for accommodating an article to be molded, and a vacuum pump for evacuating the inside of the cavity, wherein a molten resin is injected and injected into the cavity in a vacuum state to form the object to be molded. An injection-molded product sealing device for sealing a product with a resin, wherein an oil mist trap is provided on the exhaust side of the vacuum pump.
【請求項5】 被成形品を収納するキャビティを有する
上下一対の金型と、上記キャビティ内を真空引きする真
空ポンプとを備え、真空状態のキャビティ内に溶融樹脂
を射出注入して上記被成形品を樹脂封止する射出成形品
の封止装置において、 上記真空ポンプ周辺をカバーで覆うとともに、排気ファ
ンを設け、前記カバー内の空気を上記真空ポンプの排気
とともにダクトに強制排気するように構成したことを特
徴とする射出成形品の封止装置。
5. A pair of upper and lower molds having a cavity for accommodating an article to be molded, and a vacuum pump for vacuuming the inside of the cavity are provided, and the molten resin is injected and injected into the cavity in a vacuum state to form the object to be molded. In an injection molding product sealing device for sealing products with a resin, a structure is provided in which the periphery of the vacuum pump is covered with a cover, an exhaust fan is provided, and the air in the cover is forcibly discharged to a duct together with the exhaust of the vacuum pump. An apparatus for sealing an injection-molded product characterized by the above.
【請求項6】 被成形品を収納するキャビティを有する
上下一対の金型と、上記キャビティ内を真空引きする真
空ポンプとを備え、真空状態のキャビティ内に溶融樹脂
を射出注入して上記被成形品を樹脂封止する射出成形品
の封止装置において、 上記真空ポンプの真空度を検出する真空ゲージを設けた
ことを特徴とする射出成形品の封止装置。
6. A pair of upper and lower molds having a cavity for accommodating an article to be molded, and a vacuum pump for vacuuming the inside of the cavity, wherein a molten resin is injected and injected into the cavity in a vacuum state to form the object to be molded. An injection-molded product sealing device for sealing a product with a resin, comprising a vacuum gauge for detecting the degree of vacuum of the vacuum pump.
【請求項7】 被成形品を収納するキャビティを有する
上下一対の金型と、該金型と配管を介して接続され、上
記キャビティ内を真空引きする真空ポンプとを備え、真
空状態のキャビティ内に溶融樹脂を射出注入して上記被
成形品を樹脂封止する射出成形品の封止装置において、 上記真空ポンプと配管との間に設けられた主バルブと、 該主バルブと上記真空ポンプとの間に設けられた非常リ
ークバルブとを備えたことを特徴とする射出成形品の封
止装置。
7. A cavity in a vacuum state, comprising: a pair of upper and lower molds having a cavity for accommodating a molding target; and a vacuum pump connected to the molds through a pipe for vacuuming the inside of the cavity. A main valve provided between the vacuum pump and a pipe, comprising: a main valve provided between the vacuum pump and a pipe; And an emergency leak valve provided between the two.
【請求項8】 上下一対の金型を型締した後、真空引き
された金型内のキャビティ内に溶融樹脂を出射注入して
被成形品を樹脂封止し、その後上記金型を型開きして樹
脂封止した射出成形品を取り出す射出成形品の封止方法
において、 上記溶融樹脂を射出注入前に予め上記配管内を真空引き
した状態とするようにしたことを特徴とする射出成形品
の封止方法。
8. After clamping a pair of upper and lower molds, a molten resin is injected and injected into a cavity inside the vacuumed mold to seal a molded product, and then the mold is opened. In the method of sealing an injection-molded product that takes out a resin-sealed injection-molded product, the inside of the pipe is evacuated in advance before the injection of the molten resin. Sealing method.
【請求項9】 上下一対の金型を型締した後、真空引き
された金型内のキャビティ内に溶融樹脂を出射注入して
被成形品を樹脂封止し、その後上記金型を型開きして樹
脂封止した射出成形品を取り出す射出成形品の封止方法
において、 上記キャビティ内に溶融樹脂を射出注入した後の、前記
キャビティの真空引きが行われていない期間において真
空ポンプの駆動能力を測定する工程を含むことを特徴と
する射出成形品の封止方法。
9. After clamping a pair of upper and lower molds, a molten resin is injected and injected into a cavity inside the vacuumed mold to seal the molded product with a resin, and then the mold is opened. In the method for sealing an injection-molded product that takes out a resin-sealed injection-molded product, the driving capability of the vacuum pump during the period when the cavity is not evacuated after the molten resin is injected and injected into the cavity. A method of encapsulating an injection-molded product, the method including measuring a value of
【請求項10】 上下一対の金型を型締した後、真空引
きされた金型内のキャビティ内に溶融樹脂を出射注入し
て被成形品を樹脂封止し、その後上記金型を型開きして
樹脂封止した射出成形品を取り出す射出成形品の封止方
法において、 上記真空ポンプの異常発生時に、真空ポンプを大気開放
するとともに、真空ポンプと上記配管との接続を遮断す
ることを特徴とする射出成形品の封止方法。
10. After clamping a pair of upper and lower molds, a molten resin is injected and injected into a cavity inside the vacuumed mold to seal the molded product, and then the mold is opened. In a method for sealing an injection molded product, in which a resin-sealed injection molded product is taken out, when the abnormality of the vacuum pump occurs, the vacuum pump is opened to the atmosphere and the connection between the vacuum pump and the pipe is cut off. A method for sealing an injection molded product.
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