JPH05312929A - Magnetic-flux measuring apparatus using digital superconducting quantum interferrometer - Google Patents

Magnetic-flux measuring apparatus using digital superconducting quantum interferrometer

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JPH05312929A
JPH05312929A JP12298692A JP12298692A JPH05312929A JP H05312929 A JPH05312929 A JP H05312929A JP 12298692 A JP12298692 A JP 12298692A JP 12298692 A JP12298692 A JP 12298692A JP H05312929 A JPH05312929 A JP H05312929A
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JP
Japan
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magnetic flux
circuit
superconducting quantum
digital
generation frequency
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Withdrawn
Application number
JP12298692A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takao Goto
隆男 後藤
Yoshiyasu Nakajima
善康 中嶋
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To adjust the apparatus in the obtimum state by judging magnetic traps, the presence or absence of a feedback lock and the counting errors in a counter circuit with regard to a magnetic-flux measuring apparatus using a digital superconducting quantum interferometer (SQUID), which is used in the high-sensitivity measurement of minute magnetic flux. CONSTITUTION:A pulse-generating-frequency measuring circuit 5, which measures the positive or negative pulse generating frequency P outputted from a digital SQUID 1 in response to a bias current 1b, is provided. A judging circuit 6 judges the trapped state of the magnetic flux in the digital SQUID 1, the presence or absence of a feedback lock and the counting errors in a counter circuit 4 based on the measured frequency P from the pulse-generating frequency measuring circuit 5. A control circuit 7 performs the adjustment based on the result of the judgment of the judging circuit 6. There circuits 6 and 7 are further provided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、微小磁束の高感度測定
に用いられるディジタル超伝導量子干渉計(SQUI
D)を用いた磁束計測装置に関する。近年、生体などか
ら発生する微小磁界の測定に超伝導量子干渉計(以下
「SQUID」という;Superconducting QUantum Inte
rference Devices)を利用した高感度な磁束計が利用さ
れている。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a digital superconducting quantum interferometer (SQUI) used for highly sensitive measurement of minute magnetic flux.
The magnetic flux measuring device using D). In recent years, superconducting quantum interferometers (hereinafter referred to as "SQUIDs") have been used to measure minute magnetic fields generated by living organisms.
A high-sensitivity magnetometer is used.

【0002】特に、脳及び心臓の磁界分布を測定するこ
とによって磁界を発生させている電流源の推定が可能で
あり、これは診断上、非常に有意義な情報を提供すると
共に生体内の神経活動の解明に役立つことが指摘されて
いる。このようなSQUIDを用いた磁束計は、従来、
微妙な調整が必要なアナログ回路によって駆動されてい
る。また、磁界分布の測定を1チャンネルのSQUID
磁束計を使用し、各部位ごとの時系列データを順番に測
定している。しかし、1チャネルのSQUID磁束計で
は、測定に時間がかかり被験者が疲労してしまい、また
異なる場所の磁界を同時に測定できないため高い精度で
電流源の推定ができない等の問題点がある。
In particular, it is possible to estimate the current source generating a magnetic field by measuring the magnetic field distribution in the brain and heart, which provides very meaningful information for diagnosis and neural activity in the living body. It has been pointed out that it is useful for elucidating. A magnetometer using such a SQUID is conventionally
It is driven by an analog circuit that requires subtle adjustments. In addition, the measurement of the magnetic field distribution can be performed by SQUID of one channel.
Using a magnetometer, time series data for each part is measured in sequence. However, in the one-channel SQUID magnetometer, there are problems that the measurement takes time and the subject is fatigued, and the magnetic fields at different locations cannot be measured simultaneously, so that the current source cannot be estimated with high accuracy.

【0003】このためSQUIDを複数個並べ、同時に
各部位の磁界を測定できるマルチチャンネルSQUID
磁束計が用いられつつある。しかしながら、マルチチャ
ンネルとしたことにより調整の煩雑さはチャンネル数だ
け増加してしまう。そこで、調整の容易なマルチチャン
ネルSQUID磁束計が必要とされている。
For this reason, a multi-channel SQUID capable of arranging a plurality of SQUIDs and simultaneously measuring the magnetic fields of respective parts
Flux meters are being used. However, since the number of channels is increased, the complexity of adjustment increases by the number of channels. Therefore, there is a need for a multi-channel SQUID magnetometer that is easy to adjust.

【0004】[0004]

【従来の技術】従来、被測定磁界に応じたパルス出力の
得られるディジタルSQUIDとしては、2接合量子干
渉素子からなるSQUIDを交流バイアスしてパルス出
力する図6に示すSQUID(特願昭62−12546
9号)を用いた磁束計や、アナログ動作するDC SQ
UIDの電圧出力を、超伝導コンパレータもしくは1ビ
ットA/D変換器に加え、パルス出力を得る磁束計(D.
Drung,Cryogenics,vol.26,pp623-627,1986)が知られて
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a digital SQUID capable of obtaining a pulse output according to a magnetic field to be measured, an SQUID composed of a two-junction quantum interference device is AC biased to output a pulse as shown in FIG. 12546
No. 9) magnetometer and DC SQ that operates in analog
A magnetometer (D.D.) that obtains a pulse output by adding the UID voltage output to a superconducting comparator or 1-bit A / D converter.
Drung, Cryogenics, vol.26, pp623-627, 1986) are known.

【0005】図6のディジタルSQUIDにおいて、1
はジョセフソン接合11,12を1個以上含むSQUI
D、2はフィードバック回路であり、SQUID1から
の正パルスと負パルスの差に比例したパルス出力を得る
ための書き込みゲート12と超伝導インダクタンス13
を備えた超伝導フィードバック回路2から構成されてい
る。
In the digital SQUID of FIG. 6, 1
Is an SQUI containing one or more Josephson junctions 11 and 12
D and 2 are feedback circuits, which are a write gate 12 and a superconducting inductance 13 for obtaining a pulse output proportional to the difference between the positive pulse and the negative pulse from the SQUID 1.
It is composed of a superconducting feedback circuit 2 provided with.

【0006】3はSQUID1に交流バイアス電流(I
b)を供給するためのパルス発生器、17は予め測定さ
れたSQUID1の最適バイアス電流Iboを記憶して
おくレジスタ、18はレジスタ17のディジタル値をア
ナログ量に変換するDAコンバータ、19は掛算器であ
りDAコンバータ18の出力に応じてバイアス電流Ib
の振幅値をコントロールする。
3 is an AC bias current (I
b) a pulse generator for supplying the signal, 17 a register for storing the pre-measured optimum bias current Ibo of SQUID 1, 18 a DA converter for converting the digital value of the register 17 into an analog quantity, 19 a multiplier And the bias current Ib according to the output of the DA converter 18
Control the amplitude value of.

【0007】16は外部磁束を拾うピックアップコイ
ル、17はピックアップコイル16で拾った磁束をSQ
UID1に伝える入力コイル、15はフィードバックコ
イルであり、超伝導フィードバック回路2の出力に比例
した磁束を発生させてSQUID1に磁界結合し、フィ
ードバック動作を可能にする。また、4はカウンタ回路
であり、コンパレータ20とアップダウンカウンタ21
を備える。コンパレータ20はフィードバックのかかっ
たSQUID1からの正パルスと負パルスの混合した出
力パルス列から、正パルスのみと負パルスのみの2つの
出力パルス列を得るものである。
Reference numeral 16 is a pickup coil for picking up an external magnetic flux, and 17 is SQ for the magnetic flux picked up by the pickup coil 16.
An input coil 15 for transmitting to the UID1 is a feedback coil, which generates a magnetic flux proportional to the output of the superconducting feedback circuit 2 and magnetically couples to the SQUID1 to enable a feedback operation. Further, 4 is a counter circuit, which includes a comparator 20 and an up / down counter 21.
Equipped with. The comparator 20 obtains two output pulse trains of only the positive pulse and only the negative pulse from the output pulse train of the mixed positive and negative pulses from the SQUID 1 to which the feedback is applied.

【0008】アップダウンカウンタ21は、コンパレー
タ20からの正パルスでアップカウント、負パルスでダ
ウンカウントを行い、フィードバックのかかったSQU
ID1の出力パルス列に基づき入力磁束Φiに比例した
ディジタル出力(ビット数はカウンタのビット数で決ま
る)を得る。 SQUID1に対する交流バイアス電流
Ibは、予め最適値Iboを測定して見い出しておき、
この最適値Iboとなるようにレジスタ17に値を設定
しておけば、調整は1回で済む。
The up-down counter 21 counts up with a positive pulse from the comparator 20 and down-counts with a negative pulse, and feeds back SQU.
A digital output (the number of bits is determined by the number of bits of the counter) proportional to the input magnetic flux Φi is obtained based on the output pulse train of ID1. For the AC bias current Ib for SQUID1, the optimum value Ibo is measured and found in advance,
If the value is set in the register 17 so as to be the optimum value Ibo, the adjustment only needs to be performed once.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のディジタルSQUIDを用いた磁束測定装置
にあっては、例えばSQUID1のジョセフソン接合1
1,12にトラップ磁束が鎖交していると、SQUID
1に流す交流バイアス電流の臨界電流値Iboが変化
し、予め測定された最適値とはならず、トラップ磁束を
外す必要がある。
However, in the magnetic flux measuring device using such a conventional digital SQUID, for example, the Josephson junction 1 of SQUID1 is used.
If the trap magnetic flux is linked to 1 and 12, SQUID
The critical current value Ibo of the AC bias current flowing in 1 changes, and it does not become the optimum value measured in advance, and it is necessary to remove the trap magnetic flux.

【0010】このトラップ磁束による影響を詳細に説明
すると次のようになる。図7(a)は、ディジタルSQ
UIDの磁束Φとバイアス電流Ibによる動作特性を示
したもので、磁束トラップのないΦ=0の状態では、両
極性の交流バイアス電流Ibの振幅値が正負で対称の±
Iboとなるように設定されており、このときの図7
(c)に示す交流バイアス電流の振幅に同期した図7
(d)の正パルスと負パルスの発生頻度は完全に一致
し、ゼロ点状態にある。
The effect of the trap magnetic flux will be described in detail below. FIG. 7A shows a digital SQ.
It shows the operating characteristics by the magnetic flux Φ of the UID and the bias current Ib, and in the state of Φ = 0 without a magnetic flux trap, the amplitude value of the alternating bias current Ib of both polarities is positive and negative ± symmetrical.
It is set to be Ibo, and FIG.
FIG. 7 synchronized with the amplitude of the AC bias current shown in (c).
The occurrence frequencies of the positive pulse and the negative pulse in (d) are completely the same and are in the zero point state.

【0011】これに対しディジタルSQUIDに磁束ト
ラップがあると、図7(b)の実線の特性に示すように
トラップ磁束分だけ横軸上でシフトし、磁束Φ=0での
正パルスと負パルスの発生頻度が一致しなくなり、検出
誤差をもつことになる。更に詳細に説明すると、ディジ
タルSQUIDの動作特性はノイズによりボケており、
交流バイアス電流の振幅に対し完全にパルス状出力が得
られるというものではなく、パルスの発生は図8に示す
ように、ある確率で決まる。
On the other hand, when the digital SQUID has a magnetic flux trap, as shown in the characteristic of the solid line in FIG. 7B, the trap magnetic flux shifts on the horizontal axis, and the positive pulse and the negative pulse when the magnetic flux Φ = 0. The frequency of occurrence of does not match, resulting in a detection error. More specifically, the operation characteristics of the digital SQUID are blurred due to noise,
A pulsed output is not completely obtained with respect to the amplitude of the AC bias current, and the generation of pulses is determined with a certain probability as shown in FIG.

【0012】従って、Φ=0でバイアス電流振幅値が対
称になるように設定しておくことで、正パルスと負パル
スの発生頻度、即ち確率を同一に保つことができる。し
かし、磁束トラップによりこの対称性が崩れると、正パ
ルスと負パルスの発生頻度が異なり、両者の差として被
測定磁束に応じた計数値に誤差を生ずることになる。ま
た、超伝導フィードバック回路2の書込ゲート13等に
磁束トラップが発生していると、フィードバックロック
がかからず、トラップ磁束を外さなければならない。
Therefore, by setting the bias current amplitude values to be symmetric when Φ = 0, it is possible to keep the occurrence frequency of the positive pulse and the negative pulse, that is, the probability the same. However, if this symmetry is broken by the magnetic flux trap, the frequency of generation of the positive pulse and the frequency of the negative pulse are different, and an error occurs in the count value according to the measured magnetic flux as the difference between the two. Further, if a magnetic flux trap is generated in the write gate 13 of the superconducting feedback circuit 2 or the like, feedback lock is not applied and the trap magnetic flux must be removed.

【0013】図9はディジタルSQUIDにおけるフィ
ードバック特性を示したもので、磁束トラップで動作特
性の斜線部に示す範囲内でシフトした場合には、フィー
ドバックが効いて実線の対称特性にロックさせることが
できる。しかし、磁束トラップによりフィードバック可
能領域を超えて破線のようにシフトした場合には、フィ
ードハックがかからず、実線の対称特性にロックできず
に測定誤差を生ずる。
FIG. 9 shows the feedback characteristic in the digital SQUID. When the magnetic flux trap is shifted within the range shown by the shaded portion of the operating characteristic, the feedback is effective and it can be locked to the symmetrical characteristic of the solid line. .. However, when the magnetic flux is trapped and shifts beyond the feedback possible area as shown by the broken line, the feed hack does not occur and the symmetrical characteristic of the solid line cannot be locked, resulting in a measurement error.

【0014】このような磁束トラップの発生に対し従来
のディジタルSUQIDにあっては、フィードバックロ
ックをシンクロスコープ等で信号波形をみることでしか
確認できず、点検調整時には確認を行っているが、通常
の使用時には確認することができず、フィードバックロ
ックの有無は判らない状態にある。更にフィードバック
ロックがかかった場合においても、カウンタ回路4に設
けたコンパレータ20の温度ドリフト等によって、正パ
ルスまたは負パルスが正しく再現されず、アップダウン
カウンタ21においてカウントミスが生じる可能性があ
るが、この点に関しても従来は何の対策も施されていな
いという問題点があった。
In the conventional digital SUQID against the occurrence of such a magnetic flux trap, the feedback lock can be confirmed only by observing the signal waveform with a synchroscope or the like, which is confirmed at the time of inspection and adjustment. It is not possible to confirm when using, and the presence or absence of feedback lock is unknown. Even if the feedback lock is applied, the positive pulse or the negative pulse may not be reproduced correctly due to the temperature drift of the comparator 20 provided in the counter circuit 4, and a counting error may occur in the up-down counter 21. Regarding this point, there has been a problem that no measures have been taken conventionally.

【0015】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたもので、磁気トラップ、フィードバックロッ
クの有無、及びカウンタ回路のカウントミスを判定して
最適状態に調整できるようにしたディジタルSUQUI
Dを用いた磁束生息装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above conventional problems, and a digital SUQUI capable of adjusting to an optimum state by judging the presence or absence of a magnetic trap, a feedback lock, and a count error in a counter circuit.
An object is to provide a magnetic flux habitat device using D.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】第1図は本発明の原理説
明図である。まず本発明は、被測定磁界Φiに応じた磁
束入力を受けて交流バイアス電流Ibに応じたパルス状
の出力を生ずるディジタルSQUID(ディジタル超伝
導量子干渉計)1と、ディジタルSUQID1の出力特
性を線形化するフィードバック回路(2)と、前記ディ
ジタルSUQID1に所定周波数で所定振幅の交流バイ
アス電流Ibを供給するバイアス電流源3と、ディジタ
ルSUQID1のフィードバック回路2を介して得られ
たパルス信号を計数して出力するカウンタ回路4とを備
えたディジタルSUQIDを用いた磁束計測装置を対象
とする。
FIG. 1 is a diagram for explaining the principle of the present invention. First, according to the present invention, the output characteristics of a digital SUQUID (digital superconducting quantum interferometer) 1 and a digital SUQID 1 that receive a magnetic flux input according to a magnetic field to be measured Φi and generate a pulsed output according to an AC bias current Ib are linear. A feedback circuit (2) for converting the digital SUQID1 into a bias current source 3 for supplying an AC bias current Ib having a predetermined amplitude and a predetermined amplitude to the digital SUQID1; and counting pulse signals obtained through the feedback circuit 2 of the digital SUQID1. A magnetic flux measuring device using a digital SUQID provided with an output counter circuit 4 is targeted.

【0017】このような磁束計測装置につき本発明にあ
っては、ディジタルSUQID1からバイアス電流Ib
に応じて出力されるパルスの発生頻度Pを測定するパル
ス発生頻度測定回路5と、パルス発生頻度測定回路5の
測定頻度(P)に基づいて、ディジタルSUQID1の
磁束トラップ状態、フィードバックロックの有無、及び
カウンタ回路4でのカウントミスを判定する判定回路6
と、判定回路6の判定結果に基づいた対応処理を行う制
御回路7とを設けたことを特徴する。
According to the present invention for such a magnetic flux measuring device, the bias current Ib is calculated from the digital SUQID1.
Pulse generation frequency measuring circuit 5 for measuring the generation frequency P of the pulse output according to the pulse generation frequency, and the magnetic flux trap state of the digital SUQID 1 based on the measurement frequency (P) of the pulse generation frequency measuring circuit 5 and the presence or absence of feedback lock, And a judgment circuit 6 for judging a count error in the counter circuit 4.
And a control circuit 7 that performs a corresponding process based on the determination result of the determination circuit 6.

【0018】ここで、ディジタルSUQID1は両極性
の交流バイアス電流Ibにより正パルスと負パルスを出
力し、パルス発生頻度測定回路5は正パルス用カウンタ
8と負パルス用カウンタ9とを備えており、判定回路6
は交流バイアス電流Ibの所定の振幅調整状態において
パルス発生頻度測定回路5で得られた正パルス発生頻度
(P+)と負パルス発生頻度(P−)を比較することに
よって、ディジタルSUQID1の磁束トラップ状態、
フィードバックロックの有無、及びカウンタ回路4での
カウントミスを判定することを特徴とする。
Here, the digital SUQID 1 outputs a positive pulse and a negative pulse by the alternating bias current Ib of both polarities, and the pulse generation frequency measuring circuit 5 is provided with a positive pulse counter 8 and a negative pulse counter 9. Judgment circuit 6
Is a magnetic flux trap state of the digital SUQID1 by comparing the positive pulse generation frequency (P +) and the negative pulse generation frequency (P-) obtained by the pulse generation frequency measuring circuit 5 in a predetermined amplitude adjustment state of the AC bias current Ib. ,
It is characterized in that the presence / absence of feedback lock and the count error in the counter circuit 4 are determined.

【0019】更に、パルス発生頻度測定回路5は、バイ
アス電流源3の交流周波数に同期した出力パルスを計数
するカウンタ30を備え、カウンタ30の計数値がパル
ス発生頻度の測定に使用する規定の総パルス数Nに達し
た時に、正パルス用カウンタ8及び負パルス用カウンタ
9をリセットし、リセット直前のカウンタ計数値C+,
C−と総パルス数Nからパルス発生頻度P+,P−を P+=C+/N , P−=C−/N として求める。
Further, the pulse generation frequency measuring circuit 5 is provided with a counter 30 for counting the output pulses synchronized with the AC frequency of the bias current source 3, and the count value of the counter 30 is a specified total number used for measuring the pulse generation frequency. When the number of pulses N is reached, the positive pulse counter 8 and the negative pulse counter 9 are reset, and the counter count value C +,
From C- and the total number of pulses N, the pulse generation frequencies P + and P- are calculated as P + = C + / N and P- = C- / N.

【0020】具体的には、制御回路7はバイアス電流源
3からの交流バイアス電流Ibの振幅値を予め測定され
たディジタルSUQID1の臨界電流値Iboよりも小
さい振幅に調整し、この振幅調整状態で判定回路6は正
パルス発生頻度(P+)と負パルス発生頻度(P−)の
いずれか一方が高くなった場合にディジタルSUQID
1に磁束トラップが発生していることを判定し、この判
定結果に基づき制御回路7はディジタルSUQID1の
近傍に設けたヒータ10,11に磁束トラップをキャン
セルするための電流を流す。
Specifically, the control circuit 7 adjusts the amplitude value of the AC bias current Ib from the bias current source 3 to an amplitude smaller than the critical current value Ibo of the digital SUQID1 measured in advance, and in this amplitude adjustment state. The determination circuit 6 uses the digital SUQID when the positive pulse occurrence frequency (P +) or the negative pulse occurrence frequency (P-) becomes high.
It is determined that a magnetic flux trap has occurred in the control circuit 1 and the control circuit 7 supplies a current for canceling the magnetic flux trap to the heaters 10 and 11 provided in the vicinity of the digital SUQID 1 based on the determination result.

【0021】また制御回路7はバイアス電流源3からの
交流バイアス電流Ibの振幅値を予め測定されたディジ
タルSUQID1の臨界電流値Ibo付近の振幅に調整
し、この振幅調整状態で判定回路6は正パルス発生頻度
(P+)と負パルス発生頻度(P−)とが一致していな
い場合にフィードバックロックがかかっていないと判定
し、この判定結果に基づき制御回路7はディジタルSU
QID1の近傍に設けたヒータ10,11に対してフィ
ードバックロックをかけるために電流を流す。
Further, the control circuit 7 adjusts the amplitude value of the AC bias current Ib from the bias current source 3 to an amplitude near the critical current value Ibo of the digital SUQID1 measured in advance, and in this amplitude adjustment state, the judgment circuit 6 is positive. When the pulse generation frequency (P +) and the negative pulse generation frequency (P-) do not match, it is determined that the feedback lock is not applied, and the control circuit 7 determines the digital SU based on the determination result.
A current is applied to the heaters 10 and 11 provided in the vicinity of QID1 in order to perform feedback lock.

【0022】更に、制御回路7は、磁束トラップの又は
フィードバックロックかかっていない状態をキャンセル
する電流をヒータ10,11に流す操作を複数回繰り返
してもパルス発生頻度が元の状態と変わらない場合は、
回復不能と判定して装置を停止させる。更にまた、制御
回路7によるフィードバックロックの確認及び磁束トラ
ップのキャンセルを行った後、パルス発生頻度測定回路
5は正パルス発生頻度(P+)と負パルス発生頻度(P
−)を一定周期毎に測定し、正パルス発生頻度の平均値
(Pa+)が負パルス発生頻度の平均値(Pa−)より
も大きくなる場合は、正パルスのカウントミスが生じて
いると判定し、カウンタ回路4内の計数値を減らす。
Further, if the control circuit 7 repeats the operation of supplying the current for canceling the state of the magnetic flux trap or the state where the feedback lock is not applied to the heaters 10 and 11 a plurality of times, the pulse generation frequency does not change from the original state. ,
Stops the device when it judges that it is not recoverable. Furthermore, after confirming the feedback lock and canceling the magnetic flux trap by the control circuit 7, the pulse generation frequency measurement circuit 5 outputs the positive pulse generation frequency (P +) and the negative pulse generation frequency (P +).
-) Is measured at regular intervals, and if the average value of positive pulse occurrence frequencies (Pa +) is larger than the average value of negative pulse occurrence frequencies (Pa-), it is determined that a positive pulse count error has occurred. Then, the count value in the counter circuit 4 is decreased.

【0023】逆に負パルス発生頻度の平均値(Pa−)
が正パルス発生頻度の平均値(P+)よりも大きくなる
場合は、負パルスのカウントミスが生じていると判定
し、カウンタ回路4の計数値を増やす。
On the contrary, the average value of negative pulse occurrence frequency (Pa-)
Is larger than the average value (P +) of the positive pulse generation frequencies, it is determined that a negative pulse count error has occurred, and the count value of the counter circuit 4 is increased.

【0024】[0024]

【作用】このような構成を備えた本発明のディジタルS
QUIDを用い磁束計測装置によれば、交流バイアス電
流Ibの振幅値を最適値Iboに向けて徐々に上げなが
ら、正パルス発生頻度(+P)と負パルス発生頻度(P
−)を測定して比較し、その結果を元にディジタルSQ
UID及び回路系の異常を検知し、ヒータ加熱によりS
QUIDのイニシャルスタートを強制的に施すことにな
る。
The digital S of the present invention having such a structure
According to the magnetic flux measuring device using the QUID, the positive pulse generation frequency (+ P) and the negative pulse generation frequency (P) are gradually increased while gradually increasing the amplitude value of the AC bias current Ib toward the optimum value Ibo.
-) Is measured and compared, and based on the result, digital SQ
UID and circuit system abnormalities are detected and S is heated by the heater.
The initial start of the QUID will be forced.

【0025】例えば、予め測定されたディジタルSQU
IDの臨界電流値Iboよりも小さいバイアス電流の振
幅において、正パルスまたは負パルスの発生頻度が高く
なることにより、ディジタルSQUIDに磁束トラップ
が発生していると判定し、ディジタルSQUIDに対し
て磁束トラップをキャンセルするための電流を流してヒ
ータにより加熱する。
For example, a digital SQUA measured in advance
When the amplitude of the bias current is smaller than the critical current value Ibo of the ID, the frequency of occurrence of the positive pulse or the negative pulse is high, so that it is determined that the magnetic flux trap is generated in the digital SQUID, and the magnetic flux trap is generated for the digital SQUID. The heater is heated by passing an electric current for canceling.

【0026】また予め測定されたディジタルSQUID
の臨界電流値Ibo付近の調整状態で、正パルスの発生
頻度と負パルスの発生頻度を測定し、両者が一致してい
ない場合は、フィードバックロックがかかっていないと
判定し、磁束トラップをキャンセルするための電流を流
してヒータで加熱する。更に、ディジタルSQUIDに
対しフィードバックロックの確認及び磁束トラップのキ
ャンセルを行った後、正パルスの発生頻度と負パルスの
発生頻度を一定周期毎に測定し、正パルスの発生頻度の
平均値が負パルスの発生頻度の平均値よりも大きくなる
場合は、正パルスのカウントミスが生じていると判定
し、アップダウンカウンタのカウンタ値を減らし、逆に
負パルスの発生頻度の平均値が、正パルスの発生頻度の
平均値よりも大きくなる場合は、負パルスのカウントミ
スが生じていると判定し、カウンタ値を増やす。
Pre-measured digital SQUID
The positive pulse generation frequency and the negative pulse generation frequency are measured in the adjustment state near the critical current value Ibo of 1., and when the two do not match, it is determined that the feedback lock is not applied, and the magnetic flux trap is canceled. A current is supplied to heat with a heater. After confirming the feedback lock and canceling the magnetic flux trap for the digital SQUID, the positive pulse occurrence frequency and the negative pulse occurrence frequency are measured at regular intervals, and the average value of the positive pulse occurrence frequencies is the negative pulse. If it is larger than the average value of the occurrence frequency of the positive pulse, it is determined that a positive pulse count error has occurred, the counter value of the up-down counter is decreased, and conversely, the average value of the negative pulse occurrence frequency is If the occurrence frequency is larger than the average value, it is determined that a negative pulse counting error has occurred, and the counter value is increased.

【0027】このような処理によりディジタルSQUI
Dの磁束トラップ、フィードバックロックの有無、及び
フィードバック回路2内のカウンタのカウントミスを判
定し、SQUID及び回路系の異常の回復と補正を行
い、常に最適な動作状態を作り出すことができる。
By such processing, the digital SQUI
The magnetic flux trap of D, the presence / absence of feedback lock, and the count error of the counter in the feedback circuit 2 are determined, and the SQUID and the abnormality of the circuit system are recovered and corrected, so that the optimum operating state can always be created.

【0028】[0028]

【実施例】図2は本発明の基本的な実施例を示した実施
例構成図である。図2において、ディジタルSQUID
1は2接合量子干渉素子として2つのジョセフソン接合
12を備える。ディジタルSQUID1に対しては入力
コイル17が設けられる。入力コイル17に対してはピ
ックアップコイル16が直列に接続され、ピックアップ
コイル16で拾った被測定磁束ΦiをディジタルSQU
ID1に伝える。
2 is a block diagram of an embodiment showing a basic embodiment of the present invention. In FIG. 2, the digital SQUID
1 includes two Josephson junctions 12 as a two-junction quantum interference device. An input coil 17 is provided for the digital SQUID 1. The pickup coil 16 is connected in series to the input coil 17, and the measured magnetic flux Φi picked up by the pickup coil 16 is digital SQUA.
Tell ID1.

【0029】またディジタルSQUID1に対してはフ
ィードバックコイル15が設けられている。フィードバ
ックコイル15は超伝導フィードバック回路2に接続さ
れ、超伝導フィードバック回路2には書込ゲート13と
超伝導インダクタンス14が設けられる。ディジタルS
QUID1に両極性の交流バイアス電流を供給するバイ
アス電流源としてパルス発生器3が設けられている。パ
ルス発生器3の出力は掛算器19に入力される。掛算器
19にはDAコンバータ18の出力も入力されており、
DAコンバータ18の出力値とパルス発生器3の交流バ
イアス電流とを掛け合わせることでディジタルSQUI
D1に抵抗R1を介して流す交流バイアス電流Ibの振
幅値を調整可能としている。
A feedback coil 15 is provided for the digital SQUID 1. The feedback coil 15 is connected to the superconducting feedback circuit 2, and the superconducting feedback circuit 2 is provided with a write gate 13 and a superconducting inductance 14. Digital S
A pulse generator 3 is provided as a bias current source for supplying a bipolar AC bias current to the QUID 1. The output of the pulse generator 3 is input to the multiplier 19. The output of the DA converter 18 is also input to the multiplier 19,
By multiplying the output value of the DA converter 18 and the AC bias current of the pulse generator 3, the digital SQUI
The amplitude value of the AC bias current Ib flowing through D1 via the resistor R1 can be adjusted.

【0030】定常動作状態において、DAコンバータ1
8は予め測定されたディジタルSQUID1に対する最
適バイアス電流(臨海電流値)Iboを得るためのデー
タ設定を受けてアナログ出力を生じている。ディジタル
SQUID1に対する交流バイアス電流の供給により発
生した正パルスと負パルスの混合パルス出力はコンパレ
ータ20に与えられ、正パルスと負パルスに分離され、
アップダウンカウンタ21に供給される。アップダウン
カウンタ21はコンパレータ20で分離された正パルス
でアップカウントを行い、負パルスでダウンカウントを
行う。このアップダウンカウンタ21の係数値がピック
アップコイル16で拾った被測定磁束Φiに比例した計
数値となる。
In the steady operation state, the DA converter 1
Reference numeral 8 receives the data setting for obtaining the optimum bias current (critical current value) Ibo for the digital SQUID 1 measured in advance and produces an analog output. The mixed pulse output of the positive pulse and the negative pulse generated by the supply of the AC bias current to the digital SQUID 1 is given to the comparator 20 and separated into the positive pulse and the negative pulse,
It is supplied to the up / down counter 21. The up / down counter 21 counts up with a positive pulse separated by the comparator 20, and counts down with a negative pulse. The coefficient value of the up / down counter 21 becomes a count value proportional to the measured magnetic flux Φi picked up by the pickup coil 16.

【0031】このようなディジタルSQUID1に対す
る回路系に加えて、電源を投入して装置を起動したとき
に磁束トラップの発生、フィードバックロックの有無、
及びフィードバックロックが有効に掛かった状態でのカ
ウンタミスを判定して対応策を講ずるため、パルス発生
頻度測定回路5,判定回路6及び制御回路7を設けてい
る。
In addition to the circuit system for the digital SQUID 1, the generation of magnetic flux traps and the presence / absence of feedback lock when the power is turned on to start the apparatus,
Also, in order to determine a counter mistake in a state where the feedback lock is effectively applied and take a countermeasure, a pulse generation frequency measuring circuit 5, a determining circuit 6 and a control circuit 7 are provided.

【0032】パルス発生頻度測定回路5にはコンパレー
タ20より出力された正パルスを計数する正パルス用カ
ウンタ8とコンパレータ20より出力された負パルスを
計数する負パルス用カウンタ9が設けられる。正パルス
用カウンタ8及び負パルス用カウンタ9は交流バイアス
電流の周波数に依存したディジタルSQUID1からの
パルス発生確率1を与えるパルス総数Nに対応した一定
周期ごとにリセットされ、その都度、リセット直前の計
数値を判定回路6に出力している。
The pulse generation frequency measuring circuit 5 is provided with a positive pulse counter 8 for counting the positive pulses output from the comparator 20 and a negative pulse counter 9 for counting the negative pulses output from the comparator 20. The positive pulse counter 8 and the negative pulse counter 9 are reset at regular intervals corresponding to the total number N of pulses that gives a pulse generation probability 1 from the digital SQUID 1 depending on the frequency of the AC bias current. The numerical value is output to the determination circuit 6.

【0033】判定回路6はパルス発生頻度1のパルス総
数Nによって正パルス用カウンタ8の計数値を割って正
パルス発生頻度P+を求め、同じく総パルス数Nで負パ
ルス用カウンタ9の計数値を割って負パルス発生頻度P
−を求め、この正パルス発生頻度P+と負パルス発生頻
度P−に基づいて 磁気トラップの判定、 フィードバックロックの有無、 フィードバックロックが掛かった状態でのカウンタ回
路4に設けたアップダウンカウンタ21のカウントミ
ス、の判定を行う。
The determination circuit 6 divides the count value of the positive pulse counter 8 by the total number N of pulses having a pulse generation frequency of 1 to obtain the positive pulse generation frequency P +, and also the count value of the negative pulse counter 9 with the total pulse number N. Divide negative pulse frequency P
Based on the positive pulse generation frequency P + and the negative pulse generation frequency P-, magnetic trap determination, presence / absence of feedback lock, and counting of the up / down counter 21 provided in the counter circuit 4 with feedback lock applied Make a mistake.

【0034】制御回路7は判定回路6による前記〜
の判定結果に基づきディジタルSQUID1及びその回
路系に対応策を講ずる制御を行う。また制御回路7はD
Aコンバータ18に対するデータを調整することで掛算
器19によるディジタルSQUID1に対する交流バイ
アス電流Ibの振幅値を制御する。この交流バイアス電
流Ibの振幅値の制御は予め測定された交流バイアス電
流Ibの最適値Iboが判っていることから、装置の電
源を投入した直後の校正処理にあっては、交流バイアス
電流Ibを最適値Iboに向けて徐々に増加させながら
パルス発生頻度測定回路5で求めた正パルス及び負パル
スのカウンタ計数値に基づく正パルス発生頻度P+と負
パルス発生頻度P−の関係を判定回路6で判定し、まず
磁束トラップの有無を判定する。
The control circuit 7 uses the judgment circuit 6 to
Based on the determination result of 1., control is performed to take countermeasures for the digital SQUID 1 and its circuit system. Further, the control circuit 7 is D
The amplitude value of the AC bias current Ib for the digital SQUID 1 by the multiplier 19 is controlled by adjusting the data for the A converter 18. Since the optimum value Ibo of the AC bias current Ib measured in advance is known in the control of the amplitude value of the AC bias current Ib, the AC bias current Ib is set in the calibration process immediately after the power of the apparatus is turned on. The determination circuit 6 determines the relationship between the positive pulse generation frequency P + and the negative pulse generation frequency P- based on the positive pulse and negative pulse counter count values obtained by the pulse generation frequency measurement circuit 5 while gradually increasing toward the optimum value Ibo. First, the presence or absence of the magnetic flux trap is determined.

【0035】この磁束トラップの判定は交流バイアス電
流最適値Ibよりも小さい交流バイアス電流の振幅おい
て、正パルス発生頻度P+と負パルス発生頻度P−のい
ずれか一方が高くなっていることで、ディジタルSQU
IDに磁束トラップが発生していると判定する。このよ
うな判定回路6による磁束トラップの判定結果が出る
と、制御回路7はフィードバック回路2に設けた書込ゲ
ート13の近傍に設けているヒータ10及びディジタル
SQUID1の近傍に設けているヒータ11に対しヒー
タドライブ回路22を駆動して電流を流し、ヒータ1
0,11のオン,オフによりフィードバック回路2及び
ディジタルSQUIDを一時的に加熱する。
The determination of the magnetic flux trap is that either one of the positive pulse generation frequency P + and the negative pulse generation frequency P- is high at the amplitude of the AC bias current smaller than the AC bias current optimum value Ib. Digital SQU
It is determined that the ID has a magnetic flux trap. When the determination result of the magnetic flux trap by the determination circuit 6 is obtained, the control circuit 7 controls the heater 10 provided near the write gate 13 provided in the feedback circuit 2 and the heater 11 provided near the digital SQUID 1. On the other hand, the heater drive circuit 22 is driven to pass an electric current, and the heater 1
The feedback circuit 2 and the digital SQUID are temporarily heated by turning 0 and 11 on and off.

【0036】このヒータ10,11によるフィードバッ
ク回路2及びディジタルSQUID1の一時的な加熱
は、両者を装置起動前の初期状態に戻し、再び起動状態
とする温度的なイニシャルリセットを掛けるものであ
る。即ち、実際の装置にあっては、ディジタルSQUI
D1,入力コイル17,ピックアップコイル16,フィ
ードバックコイル15,フィードバック回路2は液体ヘ
リウム容器の中に入れられて冷却状態で使用されてい
る。このため、ヒータ10,11により一時的に加熱す
ることは冷却開始前の状態にディジタルSQUID及び
フィードバック回路2を戻すことを意味し、一度オンし
たヒータ10,11を再びオフに戻すことで元の冷却状
態に戻し、最初の冷却スタートで発生した磁束トラップ
を調整的に解除するようにしている。
The temporary heating of the feedback circuit 2 and the digital SQUID 1 by the heaters 10 and 11 restores both of them to the initial state before starting the apparatus, and carries out a temperature initial reset to bring them into the starting state again. That is, in an actual device, the digital SQUI
The D1, the input coil 17, the pickup coil 16, the feedback coil 15, and the feedback circuit 2 are put in a liquid helium container and used in a cooled state. Therefore, temporarily heating with the heaters 10 and 11 means returning the digital SQUID and the feedback circuit 2 to the state before the start of cooling, and by returning the heaters 10 and 11 that have been turned on once again to the original state, It returns to the cooling state and adjustably releases the magnetic flux trap generated at the first cooling start.

【0037】これは装置起動時における磁束トラップの
発生はたまたまトラップの対象となる磁束がディジタル
SQUID1及びフィードバック回路2に作用していた
タイミングで動作状態となったために起きており、トラ
ップ対象となる磁束がないタイミングであれば磁束トラ
ップは起きないことから、ヒータ10,11のオンオフ
によるイニシャルスタートをリトライすることで磁束ト
ラップを解消する。
This is because the generation of the magnetic flux trap at the time of starting the apparatus happens because the magnetic flux to be trapped is activated at the timing when it acts on the digital SQUID 1 and the feedback circuit 2. Since there is no magnetic flux trap if there is no timing, the magnetic flux trap is eliminated by retrying the initial start by turning on / off the heaters 10 and 11.

【0038】次に判定回路6におけるフィードバックロ
ックの有無は磁束トラップがない状態もしくは磁束トラ
ップを解消した後に交流バイアス電流Ibを最適値Ib
oの振幅値に調整した状態で測定した正パルス発生頻度
P+と負パルス発生頻度P−が一致していればフィード
バックロックが掛かっていると判定し、一致していない
場合にはフィードバックロックが掛かっていないと判定
する。
Next, the presence or absence of feedback lock in the determination circuit 6 determines whether the AC bias current Ib is the optimum value Ib after the magnetic flux trap is eliminated or after the magnetic flux trap is eliminated.
If the positive pulse occurrence frequency P + and the negative pulse occurrence frequency P- measured with the amplitude value adjusted to o match, it is determined that the feedback lock is applied. If they do not match, the feedback lock is applied. Determine not.

【0039】判定回路6でフィードバックロックが掛か
っていないと判定した場合には、制御回路7は磁束トラ
ップを判定した場合と同様、ヒータドライブ回路22の
駆動によりヒータ10,11をオンオフして電流を流
し、ディジタルSQUID1及びフィードバック回路2
を一時的に加熱してイニシャルスタートを行ってフィー
ドバックロックが掛かった状態を作り出す。
When the determination circuit 6 determines that the feedback lock is not applied, the control circuit 7 drives the heater drive circuit 22 to turn on / off the heaters 10 and 11 to turn on the current, as in the case of determining the magnetic flux trap. Sink, digital SQUID 1 and feedback circuit 2
Is heated temporarily to perform an initial start and create a state where feedback lock is applied.

【0040】更に、判定回路6によるアップダウンカウ
ンタ21のカウントミスは磁束トラップの解消及びフィ
ードバックロックの判定が行われた後に、一定周期で正
パルス発生頻度P+と負パルス発生頻度P−を測定する
と共に、予め定めた所定回数の測定結果が得られるごと
に正パルス作成頻度の平均値Pa+と負パルス発生頻度
の平均値Pa−を求める。
Further, the count error of the up / down counter 21 caused by the determination circuit 6 is to measure the positive pulse generation frequency P + and the negative pulse generation frequency P- in a constant cycle after the magnetic flux trap is eliminated and the feedback lock is determined. At the same time, the average value Pa + of the positive pulse generation frequency and the average value Pa− of the negative pulse generation frequency are obtained each time a predetermined number of measurement results are obtained.

【0041】このようにして求めた正パルス発生頻度の
平均値Pa+と負パルス発生頻度の平均値Pa−を比較
し、 正パルス発生頻度の平均値Pa+が負パルス発生頻度
の平均値Pa−より大きい場合は正パルスのカウントミ
ス発生; 逆にパルス発生頻度の平均値Pa−が正パルス発生頻
度の平均値Pa+より大きい場合は負パルスのカウント
ミスが発生;と判定する。そして、正パルスのカウント
ミスを判定した場合には制御回路7はアップダウンカウ
ンタ21に対し予め定めた補正値ΔCを引いて減らすこ
とで修正し、また負パルスのカウントミスを判定した場
合にはアップダウンカウンタ21のカウンタ値に所定の
補正値ΔCを加えて増やすことで補正する。
The average value Pa + of the positive pulse generation frequency and the average value Pa− of the negative pulse generation frequency thus obtained are compared, and the average value Pa + of the positive pulse generation frequency is calculated from the average value Pa− of the negative pulse generation frequency. If the average value Pa− of the positive pulse generation frequency is larger than the average value Pa + of the positive pulse generation frequency, a negative pulse count error occurs. When the positive pulse counting error is determined, the control circuit 7 corrects the up-down counter 21 by subtracting a predetermined correction value ΔC to reduce the correction value. When the negative pulse counting error is determined, the control circuit 7 corrects. Correction is performed by adding a predetermined correction value ΔC to the counter value of the up / down counter 21 and increasing the count value.

【0042】具体的には、アップダウンカウンタ21は
所定の測定周期毎にリセットされていることから、リセ
ット後に正パルスまたは負パルスのカウントミスの判定
結果に応じた補正値+ΔCまたは−ΔCをプリロードし
てカウンタ動作を行えばよい。図3は図2の基本的な実
施例に示した判定回路6及び制御回路7をCPUで実現
したより具体的な実施例構成図である。
Specifically, since the up-down counter 21 is reset at every predetermined measurement cycle, the reset value + ΔC or −ΔC corresponding to the determination result of the positive pulse or negative pulse count error is preloaded after the reset. Then, the counter operation may be performed. FIG. 3 is a block diagram of a more specific embodiment in which the judgment circuit 6 and the control circuit 7 shown in the basic embodiment of FIG. 2 are realized by a CPU.

【0043】図3において、図2の判定回路6及び制御
回路7はCPU27のプログラム制御により実現される
判定部6a及び制御部7aとしての機能により実現され
る。CPU27に対しては内部バス26を介してI/O
装置25が接続されている。I/O装置25には正パル
ス用カウンタ8の計数値がラッチ回路23を介して入力
され、また負パルス用カウンタ9の計数値がラッチ回路
24を介して入力されている。
In FIG. 3, the judgment circuit 6 and the control circuit 7 of FIG. 2 are realized by the functions of the judgment unit 6a and the control unit 7a realized by the program control of the CPU 27. I / O to the CPU 27 via the internal bus 26
The device 25 is connected. The count value of the positive pulse counter 8 is input to the I / O device 25 via the latch circuit 23, and the count value of the negative pulse counter 9 is input to the I / O device 25 via the latch circuit 24.

【0044】また、交流バイアス電流の振幅値を決める
DAコンバータ18に対する設定データはラッチ回路2
8を介して与えられる。更に、ヒータ10,11を駆動
するヒータドライブ回路22に対する駆動はDAコンバ
ータ29を介して行われ、ヒータ10,11に流す電流
値をDAコンバータ29に対する設定データにより調整
することができる。
The setting data for the DA converter 18 which determines the amplitude value of the AC bias current is the latch circuit 2.
Given through 8. Further, the heater drive circuit 22 that drives the heaters 10 and 11 is driven via the DA converter 29, and the value of the current flowing through the heaters 10 and 11 can be adjusted by the setting data for the DA converter 29.

【0045】パルス発生頻度測定回路5に設けている正
パルス用カウンタ8と負パルス用カウンタ9のリセット
はカウンタ30により行われる。カウンタ30はパルス
発生器3から発生する交流バイアス電流の周波数に同期
したパルス出力を計数し、発生頻度1を与える所定のパ
ルス数、即ち総パルス数Nを計数すると、正パルス用カ
ウンタ8及び負パルス用カウンタ9にリセットをかけ
る。
The counter 30 resets the positive pulse counter 8 and the negative pulse counter 9 provided in the pulse generation frequency measuring circuit 5. The counter 30 counts the pulse output synchronized with the frequency of the AC bias current generated from the pulse generator 3 and counts a predetermined number of pulses giving a generation frequency of 1, that is, the total number of pulses N. The pulse counter 9 is reset.

【0046】このため、正パルス用カウンタ8と負パル
ス用カウンタ9の計数値はディジタルSQUID1が交
流バイアス電流の全ての正の半サイクルと全ての負の半
サイクルに同期してパルス出力を生じた場合のカウンタ
計数値がNとなる毎にリセットされ、実際にはパルス発
生頻度は1以下であることから総パルス数N以下の値を
計数するようになる。
Therefore, as for the count values of the positive pulse counter 8 and the negative pulse counter 9, the digital SQUID 1 produces pulse outputs in synchronization with all positive half cycles and all negative half cycles of the AC bias current. In this case, the counter is reset every time the count value reaches N, and since the pulse generation frequency is actually 1 or less, a value of the total pulse number N or less is counted.

【0047】更に、I/O装置25からはカウンタ回路
4に設けたアップダウンカウンタ21に対しカウントミ
スを補正するための補正値のロードができるようにして
いる。尚、ディジタルSQUID1のフィードバック回
路2に設けた書込ゲート13はディジタルSQUID1
と同様、ジョセフソン接合12を2つ備えている。
Further, the I / O device 25 can load the up / down counter 21 provided in the counter circuit 4 with a correction value for correcting a count error. The write gate 13 provided in the feedback circuit 2 for the digital SQUID 1 is the digital SQUID 1
Similarly to the above, two Josephson junctions 12 are provided.

【0048】図4は図3の実施例に示したCPU27に
よる装置の電源投入直後における校正処理を示したフロ
ーチャートである。図4において、装置の電源を投入し
て動作状態になると、ステップS1でディジタルSQU
IDに対する交流バイアス電流Ibを予め定めた一定値
ΔIbだけ増加させる。尚、交流バイアス電流Ibの初
期値はIb=0としている。
FIG. 4 is a flow chart showing a calibration process by the CPU 27 shown in the embodiment of FIG. 3 immediately after power-on of the apparatus. In FIG. 4, when the power of the apparatus is turned on and the apparatus is in the operating state, in step S1, the digital SQUA
The AC bias current Ib for ID is increased by a predetermined constant value ΔIb. The initial value of the AC bias current Ib is Ib = 0.

【0049】続いてステップS2で、この時の交流バイ
アス電流Ibの調整状態で測定した正パルス発生頻度P
+と負パルス発生頻度P−を取り込み、ステップS3で
両者が一致するか否か判定する。両者が一致すれば磁束
トラップは発生していないことからステップS4に進
み、更に交流バイアス電流を増加し、ステップS5で交
流バイアス電流Ibが最適値Iboに達するまで電流増
加を行う。
Then, in step S2, the positive pulse generation frequency P measured in the adjustment state of the AC bias current Ib at this time
The + and the negative pulse occurrence frequency P- are fetched, and it is determined in step S3 whether or not they match. If they match, the magnetic flux trap has not occurred, so the process proceeds to step S4, the AC bias current is further increased, and the current is increased until the AC bias current Ib reaches the optimum value Ibo in step S5.

【0050】ステップS5で交流バイアス電流が最適値
Iboに達すると再びステップS6に進み、交流バイア
ス電流の最適値Iboの振幅状態で正パルス発生頻度P
+と負パルス発生頻度P−を取り込み、ステップS7で
両者が一致しているか否か判定する。これは、フィード
バックロックの有無を判定している。ステップS7で両
者が一致すればフィードバックロックが掛かっていると
判定してステップS8に進み、現在校正対象としている
nチャネルのバイアス設定を終了する。
When the AC bias current reaches the optimum value Ibo in step S5, the process proceeds to step S6 again, and the positive pulse generation frequency P is generated in the amplitude state of the optimum value Ibo of the AC bias current.
The + and the negative pulse occurrence frequency P- are fetched, and it is determined in step S7 whether or not they match. This determines the presence or absence of feedback lock. If they match in step S7, it is determined that the feedback lock is applied, and the process proceeds to step S8 to end the bias setting of the n channel that is currently the calibration target.

【0051】続いてステップS9でチャネル番号を1つ
インクリメントし、ステップS10で最終チャネルか否
か判別し、最終チャネルに達するまでステップS1〜S
10の処理を繰り返し、最終チャネルであればステップ
S11に進み、全チャネルのバイアス設定を終了し、通
常の生体磁気の計測動作に入る。一方、ステップS3に
おける交流バイアス電流Ibが最適値Iboより小さい
状態で正パルス発生頻度P+と負パルス発生頻度P−が
一致していない場合には磁束トラップが発生しているも
のと判定し、ステップS12に進んでディジタルSQU
ID1及びフィードバック回路2に設けているヒータ1
0,11をオン,オフし、強制的にイニシャルリセット
を行って磁束トラップの解消を図る。
Subsequently, the channel number is incremented by 1 in step S9, it is determined in step S10 whether or not the channel is the final channel, and steps S1 to S are executed until the final channel is reached.
The process of 10 is repeated. If it is the final channel, the process proceeds to step S11, the bias setting of all channels is completed, and the normal biomagnetic measurement operation is started. On the other hand, if the positive pulse generation frequency P + and the negative pulse generation frequency P- do not match in the state where the AC bias current Ib in step S3 is smaller than the optimum value Ibo, it is determined that the magnetic flux trap is generated, and the step Go to S12 and digital SQU
Heater 1 provided in ID1 and feedback circuit 2
0 and 11 are turned on and off, and an initial reset is forcibly performed to eliminate the magnetic flux trap.

【0052】続いてステップS13でヒータオン、オフ
後の正パルス発生頻度P+と負パルス発生頻度P−を取
り込んでステップS14で比較し、一致していれば磁束
トラップは解消できたものと判定してステップS4以降
の処理を行う。ステップS14で両者が一致しなかった
場合にはステップS15で予め定めたM回のリトライを
行ったか否か判定し、ステップS12〜S14における
ヒータオン,オフによる強制リセットと強制リセット後
の正負パルス発生頻度の一致判定を繰り返す。
Subsequently, in step S13, the positive pulse generation frequency P + after the heater is turned on and off and the negative pulse generation frequency P- are fetched and compared in step S14. If they match, it is determined that the magnetic flux trap has been eliminated. The processing after step S4 is performed. If they do not match each other in step S14, it is determined in step S15 whether or not a predetermined number of retries have been performed, and the positive / negative pulse generation frequency after the forced reset by the heater on / off in steps S12 to S14. The matching judgment of is repeated.

【0053】この磁束トラップ解消処理をM回リトライ
しても正負パルス発生頻度が一致しない場合には、ステ
ップS16で磁束トラップの開始ができないことから現
在のnチャネルのバイアス設定は不能とし、ステップS
13でアラーム出力を行った後、ステップS18でシス
テム停止を行う。また、ステップS7において交流バイ
アス電流を最適値Iboに設定した状態で正パルス発生
頻度P+と負パルス発生頻度P−が一致しなかった場合
にはフィードバックロックが掛かっていないと判定し、
磁束トラップの判定時と同様、ステップS12に進んで
ヒータオン、オフによるフィードバックロックが掛かっ
た状態の回復措置を行う。
If the positive and negative pulse generation frequencies do not match even after retrying the magnetic flux trap elimination processing M times, the current n channel bias cannot be set because the magnetic flux trap cannot be started in step S16.
After outputting an alarm in 13, the system is stopped in step S18. If the positive pulse generation frequency P + and the negative pulse generation frequency P- do not match in the state where the AC bias current is set to the optimum value Ibo in step S7, it is determined that the feedback lock is not applied,
Similar to the case of the magnetic flux trap determination, the process proceeds to step S12, and the recovery measure for the state in which the feedback lock is applied by turning the heater on and off is performed.

【0054】このようなフィードバックロックが掛かっ
た状態への回復措置をM回リトライしても正負パルス発
生頻度が一致しない場合には、フィードバックロック不
能と判定し、ステップS18でシステム停止を行うこと
になる。図5は図4に示した磁気トラップ解消及びフィ
ードバックロック状態の回復の校正処理が終了した装置
の運用状態において行うカウントミスの判定と補正処理
を示したフローチャートである。
If the positive and negative pulse generation frequencies do not match even after M times of retrying the recovery measures to the state in which the feedback lock is applied, it is determined that the feedback lock is impossible, and the system is stopped in step S18. Become. FIG. 5 is a flow chart showing the counting error determination and correction processing performed in the operating state of the apparatus in which the calibration processing for eliminating the magnetic trap and recovering the feedback lock state shown in FIG. 4 has been completed.

【0055】図5にあっては、まずステップS1で正パ
ルス発生頻度P+と負パルス発生頻度P−を取り込み、
メモリあるいはレジスタに保持した後、ステップS2で
所定の補正周期に達したか否か判定する。ステップS2
で所定の補正周期に達したことが判定されるとステップ
S3に進み、1つの補正周期で得られた複数の正及び負
パルス発生頻度P+,P−から平均発生頻度Pa+,P
a−を算出する。
In FIG. 5, first, in step S1, the positive pulse generation frequency P + and the negative pulse generation frequency P- are fetched,
After holding in the memory or the register, it is determined in step S2 whether or not a predetermined correction cycle has been reached. Step S2
When it is determined that the predetermined correction cycle has been reached in step S3, the process proceeds to step S3, and from the plurality of positive and negative pulse generation frequencies P +, P- obtained in one correction cycle, the average generation frequency Pa +, P- is generated.
Calculate a-.

【0056】続いてステップS4で算出した正及び負パ
ルスの平均発生頻度Pa+とPa−を比較し、正パルス
平均発生頻度Paが負パルス平均発生頻度Pa−より大
きければ正パルスのカウントミスと判定し、ステップS
5でアップダウンカウンタのリセット直後のイニシャル
ロードで補正値−ΔCをセットすることでカウンタ計数
値CをC=C−ΔCと減らす。
Subsequently, the average occurrence frequency Pa + of the positive and negative pulses calculated in step S4 is compared with Pa-, and if the positive pulse average occurrence frequency Pa is larger than the negative pulse average occurrence frequency Pa-, it is determined that the positive pulse is missed. Then step S
At 5, the counter count value C is reduced to C = C−ΔC by setting the correction value −ΔC by the initial load immediately after the reset of the up / down counter.

【0057】一方、ステップS4でパルスの平均発生頻
度Pa−が正パルスの平均発生頻度Pa+より大きい場
合には負パルスのカウントミスが生じているものと判定
し、ステップS6でアップダウンカウンタ21のリセッ
ト直後のプリセットロードで+ΔCをセットする。これ
によって、アップダウンカウンタ21はカウンタ計数値
C=C+ΔCとして負パルスのカウントミスを補正す
る。
On the other hand, if the average pulse generation frequency Pa- is larger than the positive pulse average generation frequency Pa + in step S4, it is determined that a negative pulse count error has occurred, and in step S6, the up-down counter 21 counts. Set + ΔC with preset load immediately after reset. As a result, the up / down counter 21 corrects the count error of the negative pulse by setting the counter count value C = C + ΔC.

【0058】更にステップS4で正パルス及び負パルス
の平均発生頻度が一致していれば当然にカウントミスは
ないことから補正は行わない。尚、図5のカウントミス
の判定及び補正処理にあっては、一定の補正周期ごとに
求めた複数のパルス発生頻度の単純平均を算出して比較
しているが、パルス発生頻度を取り込むごとに過去の所
定数のパルス発生頻度の平均値を求める移動平均計算を
行い、パルス発生頻度の取り込みごとにカウントミスを
判定してカウンタ補正を行ってもよく、これにより補正
精度を更に高めることができる。
Further, if the average occurrence frequency of the positive pulse and the negative pulse coincide with each other in step S4, it is natural that there is no counting error, so no correction is performed. In the count error determination and correction process of FIG. 5, a simple average of a plurality of pulse generation frequencies calculated for each fixed correction cycle is calculated and compared. It is also possible to perform a moving average calculation for obtaining an average value of a predetermined number of pulse generation frequencies in the past, and perform a counter correction by determining a count error each time the pulse generation frequency is captured, which can further improve the correction accuracy. ..

【0059】また、アップダウンカウンタ21のカウン
トミスは装置の温度変化の影響によることから、装置の
電源投入直後の温度の不安定な状態では短い周期でカウ
ントミスの判定と補正処理を行い、時間の経過に伴って
温度状態が安定することから補正周期を長くするように
してもよい。
Since the count error of the up / down counter 21 is due to the influence of the temperature change of the device, the count error determination and correction processing are performed in a short cycle in a temperature unstable state immediately after the power supply of the device is turned on, and the time is counted. Since the temperature state stabilizes with the passage of, the correction cycle may be lengthened.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上説明してきたように本発明によれ
ば、ディジタルSQUIDからの正パルス及び負パルス
の発生頻度に基づいて磁束トラップの発生,フィードバ
ックの有無、及び被測定磁束に対応したカウンタ計数値
のカウントミスを判定して磁気トラップの解消、フィー
ドバックロック状態への回復、カウントミスの補正がで
き、複数チャネルを持つマルチチャネルSQUIDであ
っても人為的な調整をほとんど必要としないシステム構
成とすることができ、ディジタルSQUIDを用いた磁
束計測装置の性能向上に大きく寄与する。
As described above, according to the present invention, the counter meter corresponding to the generation of the magnetic flux trap, the presence / absence of the feedback, and the measured magnetic flux based on the generation frequency of the positive pulse and the negative pulse from the digital SQUID. A system configuration that can determine the numerical count error, eliminate the magnetic trap, recover the feedback lock state, correct the count error, and requires almost no artificial adjustment even for a multi-channel SQUID with multiple channels. This can greatly improve the performance of the magnetic flux measuring device using the digital SQUID.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の原理説明図FIG. 1 is an explanatory diagram of the principle of the present invention.

【図2】本発明の基本的な実施例構成図FIG. 2 is a configuration diagram of a basic embodiment of the present invention.

【図3】本発明の具体的な実施例構成図FIG. 3 is a configuration diagram of a specific embodiment of the present invention.

【図4】本発明による磁束トラップの判定と解消処理及
びフィーバックロックの有無の判定と回復処理を示した
フローチャート
FIG. 4 is a flowchart showing a magnetic flux trap determination and cancellation process, a feedback lock presence / absence determination, and a recovery process according to the present invention.

【図5】本発明によるカウントミスの判定と補正処理を
示したフローチャート
FIG. 5 is a flowchart showing a count mistake determination and correction process according to the present invention.

【図6】従来のディジタルSQUIDの説明図FIG. 6 is an explanatory diagram of a conventional digital SQUID.

【図7】ディジタルSQUIDの動作特性図[Fig. 7] Operating characteristic diagram of digital SQUID

【図8】ディジタルSQUIDのバイアス電流に対する
パルス発生確率の特性図
FIG. 8 is a characteristic diagram of pulse generation probability with respect to bias current of digital SQUID.

【図9】ディジタルSQUIDのフィードバック特性を
示した特性図
FIG. 9 is a characteristic diagram showing feedback characteristics of a digital SQUID.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:ディジタルSQUID(ディジタル超伝導量子干渉
計) 2:フィードバック回路(超伝導フィードバック回路) 3:バイアス電流源(パルス発生器) 4:カウンタ回路 5:パルス頻度測定回路 6:判定回路 6a:判定部 7:制御回路 7a:制御部 8:正パルス用カウンタ 9:負パルス用カウンタ 10,11:ヒータ 12:ジョセフソン接合 13:書込ゲート 14:超伝導インダクタンス 15:フィードバックコイル 16:ピックアップコイル 17:入力コイル 18,29:DAコンバータ 19:掛算器 20:コンパレータ 21:アップダウンカウンタ 22:ヒータドライブ回路 23,24,28:ラッチ回路 25:I/O装置 26:内部バス 27:CPU 30:カウンタ
1: Digital SQUID (digital superconducting quantum interferometer) 2: Feedback circuit (superconducting feedback circuit) 3: Bias current source (pulse generator) 4: Counter circuit 5: Pulse frequency measuring circuit 6: Judgment circuit 6a: Judgment unit 7: Control circuit 7a: Control part 8: Positive pulse counter 9: Negative pulse counter 10, 11: Heater 12: Josephson junction 13: Write gate 14: Superconducting inductance 15: Feedback coil 16: Pickup coil 17: Input coil 18, 29: DA converter 19: Multiplier 20: Comparator 21: Up / down counter 22: Heater drive circuit 23, 24, 28: Latch circuit 25: I / O device 26: Internal bus 27: CPU 30: Counter

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被測定磁界(Φi)に応じた磁束入力を受
けて交流バイアス電流に応じたパルス状の出力を生ずる
ディジタル超伝導量子干渉計(1)と、該ディジタル超
伝導量子干渉計(1)の出力特性を線形化するフィード
バック回路(2)と、前記ディジタル超伝導量子干渉計
(1)に所定周波数で所定振幅の交流バイアス電流(I
b)を供給するバイアス電流源(3)と、前記ディジタ
ル超伝導量子干渉計(1)の前記フィードバック回路
(2)を介して得られたパルス信号を計数して出力する
カウンタ回路(4)とを備えたディジタル超伝導量子干
渉計を用いた磁束計測装置に於いて、 前記ディジタル超伝導量子干渉計(1)から前記バイア
ス電流(Ib)に応じて出力されるパルスの発生頻度
(P)を測定するパルス発生頻度測定回路(5)と、 該パルス発生頻度測定回路(5)の測定頻度(P)に基
づいて、前記ディジタル超伝導量子干渉計(1)の磁束
トラップ状態、フィードバックロックの有無、及び前記
カウンタ回路(4)でのカウントミスを判定する判定回
路(6)と、 該判定回路(6)の判定結果に基づいた対応処理を行う
制御回路(7)と、を備えたことを特徴するディジタル
超伝導量子干渉計を用いた磁束計測装置。
1. A digital superconducting quantum interferometer (1) which receives a magnetic flux input corresponding to a magnetic field to be measured (Φi) and produces a pulsed output corresponding to an alternating bias current, and the digital superconducting quantum interferometer ( A feedback circuit (2) for linearizing the output characteristic of (1) and an AC bias current (I) of a predetermined amplitude at a predetermined frequency in the digital superconducting quantum interferometer (1).
a bias current source (3) for supplying b), and a counter circuit (4) for counting and outputting pulse signals obtained via the feedback circuit (2) of the digital superconducting quantum interferometer (1). In a magnetic flux measuring device using a digital superconducting quantum interferometer, the generation frequency (P) of pulses output from the digital superconducting quantum interferometer (1) according to the bias current (Ib) is A pulse generation frequency measuring circuit (5) to be measured, and based on the measurement frequency (P) of the pulse generation frequency measuring circuit (5), the magnetic flux trap state of the digital superconducting quantum interferometer (1) and the presence or absence of feedback lock. And a determination circuit (6) for determining a count error in the counter circuit (4), and a control circuit (7) for performing a corresponding process based on the determination result of the determination circuit (6). Flux measurement apparatus using a digital superconducting quantum interferometer, characterized in that.
【請求項2】請求項1記載のディジタル超伝導量子干渉
計を用いた磁束計測装置に於いて、前記ディジタル超伝
導量子干渉計(1)は両極性の交流バイアス電流(I
b)に応じて正パルスと負パルスを出力し、前記パルス
発生頻度測定回路(5)は正パルス用カウンタ(8)と
負パルス用カウンタ(9)とを備えており、前記判定回
路(6)は特定の交流バイアス電流(Ib)の振幅調整
状態で前記パルス発生頻度測定回路(5)で得られた正
パルス発生頻度(P+)と負パルス発生頻度(P−)を
比較することによって、前記ディジタル超伝導量子干渉
計(1)の磁束トラップ状態、フィードバックロックの
有無、及び前記カウンタ回路(4)でのカウントミスを
判定することを特徴とするディジタル超伝導量子干渉計
を用いた磁束計測装置。
2. A magnetic flux measuring apparatus using a digital superconducting quantum interferometer according to claim 1, wherein the digital superconducting quantum interferometer (1) is a bipolar alternating current bias current (I).
The pulse generation frequency measuring circuit (5) includes a positive pulse counter (8) and a negative pulse counter (9), and outputs the positive pulse and the negative pulse in accordance with the determination circuit (6). ) Compares the positive pulse generation frequency (P +) and the negative pulse generation frequency (P-) obtained by the pulse generation frequency measurement circuit (5) in a state where the amplitude of a specific AC bias current (Ib) is adjusted, Magnetic flux measurement using a digital superconducting quantum interferometer, characterized by determining a magnetic flux trapping state of the digital superconducting quantum interferometer (1), presence / absence of feedback lock, and counting error in the counter circuit (4). apparatus.
【請求項3】請求項2記載のディジタル超伝導量子干渉
計を用いた磁束計測装置に於いて、前記パルス発生頻度
測定回路(5)は、前記バイアス電流源(3)の交流周
波数に同期した出力パルスを計数するカウンタ(3)を
備え、該カウンタ(30)の計数値がパルス発生頻度の
測定に使用する規定の総パルス数に達した時に、前記正
パルス用カウンタ(8)及び負パルス用カウンタ(9)
をリセットし、該リセット直前のカウンタ計数値と総パ
ルス数からパルス発生頻度(P+,P−)を求めること
を特徴とするディジタル超伝導量子干渉計を用いた磁束
計測装置。
3. A magnetic flux measuring device using a digital superconducting quantum interferometer according to claim 2, wherein the pulse generation frequency measuring circuit (5) is synchronized with the AC frequency of the bias current source (3). A counter (3) for counting output pulses, the positive pulse counter (8) and the negative pulse when the count value of the counter (30) reaches a prescribed total number of pulses used for measuring the pulse generation frequency. Counter (9)
And a pulse generation frequency (P +, P-) is calculated from the counter count value immediately before the reset and the total number of pulses. A magnetic flux measuring apparatus using a digital superconducting quantum interferometer.
【請求項4】請求項1記載のディジタル超伝導量子干渉
計を用いた磁束計測装置に於いて、 前記制御回路(7)は前記バイアス電流源(3)からの
交流バイアス電流(Ib)の振幅値を予め測定されたデ
ィジタル超伝導量子干渉計(1)の臨界電流値(Ib
o)よりも小さい振幅に調整し、該振幅調整状態で前記
判定回路(6)は正パルス発生頻度(P+)と負パルス
発生頻度(P−)のいずれか一方が高くなった場合に前
記ディジタル超伝導量子干渉計(1)に磁束トラップが
発生していることを判定し、該判定結果に基づき前記制
御回路(7)はディジタル超伝導量子干渉計(1)の近
傍に設けたヒータ(10,11)に磁束トラップをキャ
ンセルするための電流を流すことを特徴とするディジタ
ル超伝導量子干渉計を用いた磁束計測装置。
4. A magnetic flux measuring device using a digital superconducting quantum interferometer according to claim 1, wherein the control circuit (7) has an amplitude of an alternating bias current (Ib) from the bias current source (3). The critical current value (Ib) of the digital superconducting quantum interferometer (1) whose value is measured in advance
The amplitude is adjusted to be smaller than that of o), and in the amplitude adjustment state, the determination circuit (6) outputs the digital signal when one of the positive pulse generation frequency (P +) and the negative pulse generation frequency (P-) becomes high. It is determined that a magnetic flux trap is generated in the superconducting quantum interferometer (1), and the control circuit (7) determines the heater (10) provided near the digital superconducting quantum interferometer (1) based on the determination result. , 11), a magnetic flux measuring apparatus using a digital superconducting quantum interferometer, wherein a current for canceling a magnetic flux trap is passed.
【請求項5】請求項1記載のディジタル超伝導量子干渉
計を用いた磁束計測装置に於いて、 前記制御回路(7)は前記バイアス電流源(3)からの
交流バイアス電流(Ib)の振幅値を予め測定されたデ
ィジタル超伝導量子干渉計(1)の臨界電流値(Ib
o)付近の振幅に調整し、該振幅調整状態で前記判定回
路(6)は正パルス発生頻度(P+)と負パルス発生頻
度(P−)とが一致していない場合にフィードバックロ
ックがかかっていないと判定し、該判定結果に基づき前
記制御回路(7)はディジタル超伝導量子干渉計(1)
の近傍に設けたヒータ(10,11)に対してフィード
バックロックをかけるために電流を流すことを特徴とす
るディジタル超伝導量子干渉計を用いた磁束計測装置。
5. A magnetic flux measuring apparatus using a digital superconducting quantum interferometer according to claim 1, wherein the control circuit (7) has an amplitude of an alternating bias current (Ib) from the bias current source (3). The critical current value (Ib) of the digital superconducting quantum interferometer (1) whose value is measured in advance
o) Amplitude is adjusted to the vicinity, and in the amplitude adjustment state, the determination circuit (6) is in feedback lock when the positive pulse occurrence frequency (P +) and the negative pulse occurrence frequency (P-) do not match. It is determined that there is not, and the control circuit (7) determines the digital superconducting quantum interferometer (1) based on the determination result.
A magnetic flux measuring device using a digital superconducting quantum interferometer, characterized in that an electric current is caused to flow in order to apply a feedback lock to the heaters (10, 11) provided in the vicinity of.
【請求項6】請求項4,5記載のディジタル超伝導量子
干渉計を用いた磁束計測装置に於いて、前記制御回路
(7)は、磁束トラップの又はフィードバックロックか
かっていない状態をキャンセルする電流をヒータ(1
0,11)に流す操作を複数回繰り返してもパルス発生
頻度が元の状態と変わらない場合は、装置を停止させる
ことを特徴とするディジタル超伝導量子干渉計を用いた
磁束計測装置。
6. A magnetic flux measuring device using a digital superconducting quantum interferometer according to claim 4, wherein said control circuit (7) is a current for canceling a state in which a magnetic flux trap or a feedback lock is not applied. The heater (1
(0, 11) A magnetic flux measurement apparatus using a digital superconducting quantum interferometer, which is characterized in that the apparatus is stopped when the pulse generation frequency does not change from the original state even if the operation is repeated a plurality of times.
【請求項7】請求項4,5項記載のディジタル超伝導量
子干渉計を用いた磁束計測装置に於いて、前記制御回路
(7)によるフィードバックロックの確認及び磁束トラ
ップのキャンセルを行った後、前記パルス発生頻度測定
回路(5)は正パルス発生頻度(P+)と負パルス発生
頻度(P−)を一定周期毎に測定し、正パルス発生頻度
の平均値(Pa+)が負パルス発生頻度の平均値(Pa
−)よりも大きくなる場合は、正パルスのカウントミス
が生じていると判定して前記カウンタ回路(4)内の計
数値を減らし、逆に負パルス発生頻度の平均値(Pa
−)が正パルス発生頻度の平均値(P+)よりも大きく
なる場合は、負パルスのカウントミスが生じていると判
定して前記カウンタ回路(4)の計数値を増やすことを
特徴とするディジタル超伝導量子干渉計を用いた磁束計
測装置。
7. A magnetic flux measuring device using a digital superconducting quantum interferometer according to claim 4, wherein after confirmation of feedback lock and cancellation of magnetic flux trap by the control circuit (7), The pulse generation frequency measuring circuit (5) measures the positive pulse generation frequency (P +) and the negative pulse generation frequency (P-) at regular intervals, and the average value (Pa +) of the positive pulse generation frequency is the negative pulse generation frequency. Average value (Pa
If it is larger than −, it is determined that a positive pulse count error has occurred, the count value in the counter circuit (4) is decreased, and conversely, the average value of negative pulse occurrence frequencies (Pa
(-) Is larger than the average value (P +) of the positive pulse generation frequency, it is determined that a negative pulse count error has occurred, and the count value of the counter circuit (4) is increased. Magnetic flux measurement device using a superconducting quantum interferometer.
JP12298692A 1992-05-15 1992-05-15 Magnetic-flux measuring apparatus using digital superconducting quantum interferrometer Withdrawn JPH05312929A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000077237A (en) * 1999-05-13 2000-12-26 오카야마 노리오 Magnetic field bias adjusting device for SQUID modulation drive circuit achieving easy adjustment
JP2007017248A (en) * 2005-07-07 2007-01-25 Yokogawa Electric Corp Squid sensor device

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