JPH05302977A - 距離測定装置 - Google Patents

距離測定装置

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JPH05302977A
JPH05302977A JP4131720A JP13172092A JPH05302977A JP H05302977 A JPH05302977 A JP H05302977A JP 4131720 A JP4131720 A JP 4131720A JP 13172092 A JP13172092 A JP 13172092A JP H05302977 A JPH05302977 A JP H05302977A
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JP
Japan
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signal
frequency
light
distance measuring
distance
Prior art date
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Pending
Application number
JP4131720A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadahisa Oishi
忠尚 大石
Koichi Matsumoto
弘一 松本
Katsuo Seta
勝男 瀬田
Ichiro Fujima
一郎 藤間
Michiaki Saito
道明 斉藤
Hisashi Yoshida
久 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 分解能が高く、漏れ電界による雑音を除去で
きる距離測定装置を提供する。 【構成】 マッハツェンダ−型光導波路強度変調器2の
変調周波数に対する高調波成分の光信号を発生させるた
めの直流バイアス電源5を備え、高調波成分の光信号を
距離測定用信号光として使用する。また、変調周波数の
高調波成分と僅かに異なる周波数の局部発振信号を発振
器9から発生させて、ヘテロダイン検波を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、建設、土木、都市工
学、大型鉄鋼及び地震予知等に使用するのに好適な高分
解能距離測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、光導波路変調器を利用した距離測
定装置では、変調周波数と同一の周波数の光信号を距離
測定用信号光として使用している。
【0003】また、変調電界の周波数と光信号の周波数
とが同一である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の技術にお
いては、光導波路変調器の変調周波数と同一の周波数の
光信号を距離測定用信号光として使用しているため、光
導波路変調器の変調帯域により距離測定分解能が制限さ
れ、変調器の応答速度以下の変調信号による距離測定分
解能しか得ることができなかった。
【0005】また、ヘテロダイン検波を行う際に、変調
電界の周波数と光信号の周波数とが同一であるため、変
調電界の電源及び伝送線から発生する漏れ電場による雑
音により検波される信号に歪を与え、しばしば距離測定
差要因となることがあった。
【0006】本発明の目的は、分解能の高い距離測定装
置を提供することにある。
【0007】本発明の他の目的は、漏れ電界による雑音
を除去できる距離測定装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の距離測定装置
は、マッハツェンダ−型光導波路強度変調器の変調周波
数に対する高調波成分の光信号を発生させる高調波発生
手段(例えば、実施例の直流バイアス電源5)を備え、
高調波成分の光信号を距離測定用信号光として使用する
ことを特徴とする。
【0009】また、本発明の距離測定装置は、距離測定
用信号光を検出する光検出手段(例えば、実施例の光検
出器8)と、変調周波数の高調波成分と僅かに異なる周
波数の局部発振信号を発生する局部発振器(例えば、実
施例の局部発振器9)と、光検出手段の出力信号と局部
発信号とを混合する周波数ミキサ(例えば、実施例の周
波数ミキサ10)とをさらに備え、ヘテロダイン検波法
を使用して距離を測定することを特徴とする。
【0010】高調波発生手段は、マッハツェンダ−型光
導波路強度変調器に直流バイアスをかけるバイアス印加
手段を有することが好ましい。
【0011】高調波発生手段は、マッハツェンダ−型光
導波路強度変調器の2分岐した光路の光路長差によりバ
イアス点を与えることにより高調波成分の光信号を発生
させてもよい。
【0012】高調波発生手段は、マッハツェンダ−型光
導波路強度変調器を強い変調電界により駆動する駆動手
段を有し、強い変調電界により高調波成分の光信号を発
生させてもよい。
【0013】
【作用】本発明の距離測定装置においては、変調周波数
のn次高調波成分(nは正の整数)の光信号を使用して
距離を測定するので、距離測定分解能をn倍することが
できる。
【0014】また、変調周波数の高調波成分と僅かに異
なる周波数の局部発振信号を使用してヘテロダイン検波
を行うので、変調電界の電源及び伝送線から発生する漏
れ電場による雑音を除去できる。
【0015】
【実施例】図1は、本発明の距離測定装置の一実施例を
示す。光源1から出射されたビ−ム光は、マッハツェン
ダー型光導波路強度変調器2に入力される。変調器2
は、結合回路3からの電気信号により入力光を変調する
ように構成されている。結合回路3には、信号発生器4
から周波数fの信号が供給されるとともに、直流バイア
ス電源5からバイアス電圧が供給される。この実施例で
は、高調波成分の変調光が得られるように、電源5を利
用して、信号発生器4から供給される信号にバンアス電
圧を含んだ信号が、結合回路3から出力される。変調器
2は、入力されたビーム光を、結合回路3から供給され
る周波数4fの信号で変調し、周波数4fの成分を有す
る距離測定用信号光を出射する。
【0016】マッハツェンダ−型光導波路強度変調器2
から出力された距離測定用信号光は、ビ−ムスプリッタ
6を透過した後、目的物体に配置された反射器7により
反射され、再びビ−ムスプリッタ6へ戻る。戻り光の一
部はビ−ムスプリッタ6により反射され、光電変換素子
からなる光検出器8により電気信号に変換される。
【0017】光検出器8から出力される電気信号の周波
数は、4fであり、局部発振器9から出力される電気信
号の周波数は、(4f+Δf)であり、光検出器8の出
力信号より僅かに高くなっている。光検出器8の出力信
号と局部発振器9の出力信号は、周波数ミキサ10によ
って混合される。周波数ミキサ10は、測定距離の位相
情報を有する周波数Δfの信号を、距離測定信号として
位相計11に出力する。
【0018】一方、信号発生器4から出力された周波数
fの信号は、周波数逓倍器12によって4倍の周波数に
逓倍される。周波数逓倍器12から出力される周波数4
fの信号は、局部発振器9から出力される周波数(4f
+Δf)の信号と、参照用周波数ミキサ13で混合され
る。参照用周波数ミキサ13は、周波数Δfの信号を参
照信号として位相計11に出力する。位相計11は、周
波数ミキサ10から供給される距離測定信号と参照用周
波数ミキサ13から供給される参照信号との位相差を求
めることにより目標物体までの距離を求める。
【0019】上記実施例においては、高調波成分を発生
させるために、直流バイアス源5を使用しているが、マ
ッハツェンダ−型光導波路強度変調器の2分岐した光路
の光路長差によりバイアス点を与えることにより高調波
成分の光信号を発生させてもよく、あるいは、マッハツ
ェンダ−型光導波路強度変調器を強い変調電界により駆
動することにより、高調波成分の光信号を発生させても
よい。
【0020】
【発明の効果】以上の様に、本発明によれば、変調周波
数の高調波成分の光信号を使用して距離を測定するよう
にしたので、距離測定分解能を高めることができる。
【0021】また、変調周波数の高調波成分と僅かに異
なる周波数の局部発振信号を使用してヘテロダイン検波
を行うようにしたので、変調電界の電源及び伝送線から
発生する漏れ電場による雑音を除去できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の距離測定装置の一実施例の構成を示す
ブロック図である。
【符号の説明】
2 マッハツェンダ−型光導波路強度変調器 3 結合回路 4 信号発生器 5 直流バイアス電源 8 光検出器 9 局部発振器 10 周波数ミキサ 11 位相計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 弘一 茨城県つくば市梅園1丁目1番4 工業技 術院計量研究所内 (72)発明者 瀬田 勝男 茨城県つくば市梅園1丁目1番4 工業技 術院計量研究所内 (72)発明者 藤間 一郎 茨城県つくば市梅園1丁目1番4 工業技 術院計量研究所内 (72)発明者 斉藤 道明 神奈川県横浜市栄区長尾台町471番地 株 式会社ニコン横浜製作所内 (72)発明者 吉田 久 神奈川県横浜市栄区長尾台町471番地 株 式会社ニコン横浜製作所内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マッハツェンダ−型光導波路強度変調器
    の変調周波数に対する高調波成分の光信号を発生させる
    高調波発生手段を備え、前記高調波成分の光信号を距離
    測定用信号光として使用することを特徴とする距離測定
    装置。
  2. 【請求項2】 前記距離測定用信号光を検出する光検出
    手段と、前記変調周波数の高調波成分と僅かに異なる周
    波数の局部発振信号を発生する局部発振器と、前記光検
    出手段の出力信号と前記局部発信号とを混合する周波数
    ミキサとをさらに備え、ヘテロダイン検波法を使用して
    距離を測定することを特徴とする請求項1記載の距離測
    定装置。
  3. 【請求項3】 前記高調波発生手段が、前記マッハツェ
    ンダ−型光導波路強度変調器に直流バイアスをかけるバ
    イアス印加手段を有することを特徴とする請求項1また
    は請求項2記載の距離測定装置。
  4. 【請求項4】 前記高調波発生手段が、前記マッハツェ
    ンダ−型光導波路強度変調器の2分岐した光路の光路長
    差によりバイアス点を与えることにより前記高調波成分
    の光信号を発生させることを特徴とする請求項1または
    請求項2記載の距離測定装置。
  5. 【請求項5】 前記高調波発生手段が、前記マッハツェ
    ンダ−型光導波路強度変調器を強い変調電界により駆動
    する駆動手段を有することを特徴とする請求項1または
    請求項2記載の距離測定装置。
JP4131720A 1992-04-24 1992-04-24 距離測定装置 Pending JPH05302977A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007155660A (ja) * 2005-12-08 2007-06-21 Sokkia Co Ltd 光波距離計
JPWO2021084710A1 (ja) * 2019-10-31 2021-05-06
JP2021156823A (ja) * 2020-03-30 2021-10-07 沖電気工業株式会社 測距計

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007155660A (ja) * 2005-12-08 2007-06-21 Sokkia Co Ltd 光波距離計
JPWO2021084710A1 (ja) * 2019-10-31 2021-05-06
WO2021084710A1 (ja) * 2019-10-31 2021-05-06 日本電気株式会社 LiDAR装置、LiDARシステム及びLiDARによる測定方法
JP2021156823A (ja) * 2020-03-30 2021-10-07 沖電気工業株式会社 測距計

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