JPH05297346A - Active matrix type liquid crystal display device - Google Patents

Active matrix type liquid crystal display device

Info

Publication number
JPH05297346A
JPH05297346A JP10319192A JP10319192A JPH05297346A JP H05297346 A JPH05297346 A JP H05297346A JP 10319192 A JP10319192 A JP 10319192A JP 10319192 A JP10319192 A JP 10319192A JP H05297346 A JPH05297346 A JP H05297346A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
shielding film
liquid crystal
active matrix
display device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10319192A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Ishiguro
謙一 石黒
Hirohisa Tanaka
広久 田仲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP10319192A priority Critical patent/JPH05297346A/en
Priority to US08/013,642 priority patent/US5459595A/en
Priority to TW082100821A priority patent/TW237525B/zh
Priority to KR1019930001675A priority patent/KR0145280B1/en
Priority to EP93300889A priority patent/EP0555100B1/en
Priority to DE69316399T priority patent/DE69316399T2/en
Publication of JPH05297346A publication Critical patent/JPH05297346A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce the influence of parasitic capacity upon display characteristics by connecting a light shield film, formed overlapping. a pixel electrode and an adjacent gate electric conductor, to the counter electrode of a counter substrate through the gate electric conductor. CONSTITUTION:A pixel positioned in the center is an (N-1)th pixel and the pixel above it is an (N)th pixel. The light shield film 10a which is formed overlapping with the (N)th pixel electrode 14 and the (N-1)th gate electric conductor 2 adjoining to the pixel electrode 14 is connected to the counter electrode on the counter substrate side thorugh the gate electric conductor 2. Consequently, part of the parasitic capacity generated between the pixel electrode 14 and light shield film 10a, and the pixel electrode 14 and gate electric conductor 2 as shown by hatching is connected in parallel to the capacity of liquid crystal and can be utilized as storage capacity. The extent of the influence of the parasitic capacity upon the display characteristics is represented as the ratio (parasitic capacity)/(capacity of liquid crystal + storage capacity + parasitic capacity) and the denominator of the expression becomes large, so the extent of the influence becomes small.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、アクティブマトリクス
型液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an active matrix type liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】薄型・低消費電力という特徴を有してい
る液晶表示装置は、CRT(cathoderay tube)に代わる
表示装置として注目を集めている。中でもスイッチング
素子に薄膜トランジスタ(以下TFTと略す)アレイを
用いたアクティブマトリクス駆動方式の液晶表示装置
は、液晶の応答速度が速く、表示品位が高いなどの利点
をもっている。特にアモルファスシリコン(以下a−S
iと略す)を用いたTFTは低温成膜が可能であるた
め、表示装置の大画面化、高精細化、低価格化が可能で
あるとみられ、近年その技術開発が盛んである。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display device having a feature of thinness and low power consumption has been attracting attention as a display device replacing a CRT (cathoderay tube). Among them, an active matrix drive type liquid crystal display device using a thin film transistor (hereinafter abbreviated as TFT) array as a switching element has advantages such as high response speed of liquid crystal and high display quality. Especially amorphous silicon (hereinafter a-S
Since a TFT using (abbreviated as i) can be formed at a low temperature, it is considered that it is possible to increase the screen size, the definition, and the cost of a display device, and in recent years, the technical development thereof has been active.

【0003】図12はTFT方式による従来の液晶表示
装置の一例を示す平面図である。図13は図12のA−
A’線による断面図であり、図14は図12のB−B’
線による断面図である。
FIG. 12 is a plan view showing an example of a conventional liquid crystal display device of the TFT type. FIG. 13 shows A- of FIG.
FIG. 14 is a cross-sectional view taken along line A ′, and FIG. 14 is BB ′ of FIG. 12.
It is sectional drawing by a line.

【0004】この表示装置は、画素電極114及びTF
T124がマトリクス状に形成されたアクティブマトリ
クス基板122に対向基板123が対向配設され、両基
板122と123との間に液晶層116が挟持された構
成となっている。
This display device includes a pixel electrode 114 and a TF.
The counter substrate 123 is disposed so as to face the active matrix substrate 122 in which T124 is formed in a matrix, and the liquid crystal layer 116 is sandwiched between the two substrates 122 and 123.

【0005】前記アクティブマトリクス基板122は、
最下層である絶縁基板としてのガラス基板101の上
に、横方向に長い走査線としてのゲート配線102が形
成されていると共に、ゲート配線102から分岐してT
FT124のゲート電極102aが形成されている。
The active matrix substrate 122 is
A gate wiring 102 as a scanning line that is long in the lateral direction is formed on a glass substrate 101 as an insulating substrate, which is the lowermost layer, and the gate wiring 102 branches off from the gate wiring 102.
The gate electrode 102a of the FT 124 is formed.

【0006】上記ゲート配線102及びゲート電極10
2aが形成されたガラス基板101上には、SiNx
被着して第1の絶縁膜103が形成され、更に第1の絶
縁膜103上に、ゲート電極102aの形成位置を覆う
ようにa−Si層104が積層され、その上にSiNx
からなる第2の絶縁膜105が形成されている。このよ
うな状態のガラス基板101の上には、金属を被着して
縦方向に信号線としてのソース配線107が形成されて
おり、このソース配線107から分岐してTFT124
のソース電極107aが形成されている。このソース電
極107aは、上記ゲート電極102aの左側部分と一
部が重なっている。ゲート電極102aの右側部分には
TFT124のドレイン電極兼遮光膜108が形成され
ている。このドレイン電極兼遮光膜108の右側部分は
ゲート配線102と一部重なるように形成されており、
その重なる部分は遮光膜を兼ねている。このドレイン電
極兼遮光膜108が重なるゲート配線102とは画素電
極114を挟んで隣接するゲート配線102側には、そ
のゲート配線102と一部重なるように遮光膜110が
形成されている。
The gate wiring 102 and the gate electrode 10
A first insulating film 103 is formed by depositing SiN x on the glass substrate 101 on which 2a has been formed. Further, on the first insulating film 103, a first insulating film 103 is formed so as to cover the formation position of the gate electrode 102a. -Si layer 104 is laminated, and SiN x is formed thereon.
A second insulating film 105 made of is formed. On the glass substrate 101 in such a state, a metal is deposited to form a source wiring 107 as a signal line in the vertical direction, and the TFT 124 branches off from the source wiring 107.
Source electrode 107a is formed. The source electrode 107a partially overlaps with the left side portion of the gate electrode 102a. The drain electrode / light-shielding film 108 of the TFT 124 is formed on the right side of the gate electrode 102a. The right side portion of the drain electrode / shading film 108 is formed so as to partially overlap the gate wiring 102,
The overlapping portion also serves as a light shielding film. A light shielding film 110 is formed on the side of the gate wiring 102 adjacent to the gate wiring 102 where the drain electrode / light shielding film 108 overlaps with the pixel electrode 114 interposed therebetween so as to partially overlap the gate wiring 102.

【0007】更に、この状態のガラス基板101の上に
は、部分的にコンタクト・ホール113を有する第3の
絶縁膜112がほぼ全面に形成されている。この第3の
絶縁膜112の上には、上記コンタクト・ホール113
を介してドレイン電極兼遮光膜108とコンタクトした
状態で、ITOを被着して画素電極114が形成され、
更にその上には配向膜115が形成されている。
Further, on the glass substrate 101 in this state, a third insulating film 112 partially having a contact hole 113 is formed almost all over the surface. The contact hole 113 is formed on the third insulating film 112.
The pixel electrode 114 is formed by depositing ITO in a state of being in contact with the drain electrode / light-shielding film 108 via
Further, an alignment film 115 is formed on it.

【0008】上記アクティブマトリクス基板122に対
向配設される対向基板123は、絶縁基板としてのガラ
ス基板121の上に、カラーフィルタ120が形成され
ており、その上全面に、透明導電性膜が対向電極118
として形成されている。更にその上には対向基板側配向
膜117が形成されている。上記カラーフィルタ120
は不必要な場合は形成を省略してもよい。
The counter substrate 123, which is disposed so as to face the active matrix substrate 122, has a color filter 120 formed on a glass substrate 121 as an insulating substrate, and a transparent conductive film faces the entire surface thereof. Electrode 118
Is formed as. Further, a counter substrate side alignment film 117 is formed thereon. The color filter 120
May be omitted if unnecessary.

【0009】このような構造のアクティブマトリクス型
液晶表示装置は以下の方法で作製される。
The active matrix type liquid crystal display device having such a structure is manufactured by the following method.

【0010】まずアクティブマトリクス基板122の作
製法を述べる。透明絶縁性基板101上に金属薄膜を被
着して、図示のようなパターンの走査線としてのゲート
配線102とゲート電極102aを形成する。
First, a method of manufacturing the active matrix substrate 122 will be described. A metal thin film is deposited on the transparent insulating substrate 101 to form a gate wiring 102 and a gate electrode 102a as scanning lines having a pattern as illustrated.

【0011】次に、第1の絶縁膜103となるSiNx
膜を全面にわたって被着させ、順次半導体層となるa−
Si層104、第2の絶縁膜105となるSiNx膜を
全面にわたって連続的に被着した後、上記第2の絶縁膜
105を図示のようにパターン化する。
Next, SiN x to be the first insulating film 103 is formed.
The film is deposited over the entire surface and becomes a semiconductor layer in sequence a-
After the Si layer 104 and the SiN x film to be the second insulating film 105 are continuously deposited over the entire surface, the second insulating film 105 is patterned as shown in the figure.

【0012】次に、金属薄膜を被着した後、図示のよう
なパターンの信号線としてのソース配線107とソース
電極107a、及びドレイン電極兼遮光膜108、遮光
膜109を形成する。但し、これらソース配線107な
どを形成する以前に、a−Si層104とオーミックコ
ンタクトを形成するためにPをドープしたa−Si層1
06を形成しておく。
Next, after depositing a metal thin film, a source wiring 107 and a source electrode 107a as signal lines having a pattern as shown in the figure, a light shielding film 108 also serving as a drain electrode, and a light shielding film 109 are formed. However, before forming the source wiring 107 and the like, the a-Si layer 1 doped with P for forming ohmic contact with the a-Si layer 104 is formed.
06 is formed.

【0013】次に、この状態の基板101上に、全面に
わたって絶縁膜を被着して第3の絶縁膜112とし、コ
ンタクト・ホール113を上記第3の絶縁膜112に形
成する。コンタクト・ホール113に重なるように第3
の絶縁膜112上に透明導電性膜を被着して画素電極1
14を形成し、更にこの状態の基板101上に、全面に
わたって配向膜115を塗布し、ラビング処理を行うこ
とで基板122が作製される。
Next, an insulating film is deposited over the entire surface of the substrate 101 in this state to form a third insulating film 112, and a contact hole 113 is formed in the third insulating film 112. Third so as to overlap the contact hole 113
A transparent conductive film is deposited on the insulating film 112 of the pixel electrode 1
14 is formed, the alignment film 115 is applied over the entire surface of the substrate 101 in this state, and a rubbing process is performed, so that the substrate 122 is manufactured.

【0014】一方、対向基板123は絶縁性基板121
上に、必要ならカラーフィルタ120を形成した後、透
明導電性膜を全面に被着して対向電極118とし、対向
基板側配向膜117を塗布しラビング処理を行う。
On the other hand, the counter substrate 123 is an insulating substrate 121.
After forming a color filter 120 if necessary, a transparent conductive film is deposited on the entire surface to form a counter electrode 118, a counter substrate side alignment film 117 is applied, and a rubbing process is performed.

【0015】その後、アクティブマトリクス基板122
と対向基板123を張り合わせて液晶層116に液晶を
注入する。これにより液晶表示装置が作製される。
After that, the active matrix substrate 122
Liquid crystal is injected into the liquid crystal layer 116 by sticking the counter substrate 123 to the counter substrate 123. As a result, a liquid crystal display device is manufactured.

【0016】この様に作製されたアクティブマトリクス
型液晶表示装置において、ゲート配線102に沿ってド
レイン電極兼遮光膜108と遮光膜110を設けている
のは以下の理由による。高精細化を図ると、隣接する画
素間隔が小さくなるため、走査線毎に画素電極に書き込
む信号の極性を反転させる1H駆動をしたときに、走査
線上で隣接する画素電極間に相互作用が生じて電界が乱
れる。そのため、液晶分子に乱れが生じ、ノーマリ・ホ
ワイトの時には、黒を表示する際に光漏れがおきてコン
トラストが低下する。このコントラストの低下を防ぐた
めに遮光膜を設けている。
In the active matrix type liquid crystal display device manufactured as described above, the reason why the drain electrode / light-shielding film 108 and the light-shielding film 110 are provided along the gate wiring 102 is as follows. When the resolution is increased, the interval between adjacent pixels becomes smaller. Therefore, when 1H driving is performed to invert the polarity of the signal written to the pixel electrode for each scanning line, an interaction occurs between the adjacent pixel electrodes on the scanning line. The electric field is disturbed. As a result, the liquid crystal molecules are disturbed, and in the case of normally white, light leakage occurs when displaying black and the contrast deteriorates. A light-shielding film is provided to prevent this reduction in contrast.

【0017】一方、遮光膜をアクティブマトリクス基板
上の信号線であるソース配線側に形成する方法もある
(M.Tumura et al.,"High-Resolution 10.3-in.-Diagona
l Multicolor TFT-LCD" SID 91 DIGEST,pp215-218) 。
この方法による場合は、確かに、信号線毎に画素電極に
書き込む信号の極性を反転させる1V反転駆動をしたと
きに、信号線上で発生する電界の乱れによる光漏れを遮
断するので、コントラストの低下は防げる。しかし、前
述のように1H反転駆動時には、走査線上で電界の乱れ
が生じて光漏れが発生するので、この方法ではコントラ
ストの低下を防ぐことができない。また、1V反転駆動
では対向基板側を駆動して画素に対する書き込みを助け
ることはできないので駆動用ICの負担が大きくなる。
On the other hand, there is also a method of forming a light shielding film on the source wiring side which is a signal line on the active matrix substrate.
(M.Tumura et al., "High-Resolution 10.3-in.-Diagona
l Multicolor TFT-LCD "SID 91 DIGEST, pp215-218).
In the case of this method, when the 1V inversion drive that inverts the polarity of the signal to be written in the pixel electrode for each signal line is surely performed, light leakage due to the disturbance of the electric field generated on the signal line is blocked, so that the contrast is deteriorated. Can be prevented. However, as described above, at the time of 1H inversion driving, the electric field is disturbed on the scanning line to cause light leakage. Therefore, this method cannot prevent the contrast from being lowered. Further, in the 1V inversion drive, it is not possible to drive the counter substrate side to assist writing in the pixel, so that the load on the drive IC becomes large.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図13及び
図14から解るように、従来の表示装置では、ドレイン
電極兼遮光膜108とゲート配線102との間、遮光膜
110とゲート配線102との間、或は画素電極114
とゲート配線102との間に寄生容量が発生するので表
示特性が劣化する。この寄生容量による表示特性への影
響の大きさは(寄生容量)/(液晶の容量+蓄積容量+
寄生容量)という比の値で表される。従来の表示装置で
は蓄積容量が存在しないので、寄生容量の表示特性への
影響は大きい。しかし、この問題を解決するために蓄積
容量を画素毎に取り付けようとすると、蓄積容量配線な
どを形成しなければいけないので開口率が低下する。更
に、開口率の低下を防ぐために蓄積容量配線を透明導電
体で形成すれば、工程が増えるので歩留りが低下すると
いう問題があった。
As can be seen from FIGS. 13 and 14, in the conventional display device, the light shielding film 110 and the gate wiring 102 are provided between the drain electrode / light shielding film 108 and the gate wiring 102. Or pixel electrode 114
Since a parasitic capacitance is generated between the gate wiring 102 and the gate wiring 102, display characteristics are deteriorated. The magnitude of the influence of this parasitic capacitance on the display characteristics is (parasitic capacitance) / (liquid crystal capacitance + storage capacitance +
It is expressed by the value of the ratio of (parasitic capacitance). Since the conventional display device has no storage capacitance, the parasitic capacitance has a large effect on the display characteristics. However, if an attempt is made to attach a storage capacitor to each pixel in order to solve this problem, the storage capacitor wiring and the like have to be formed, so that the aperture ratio decreases. Further, if the storage capacitor wiring is formed of a transparent conductor in order to prevent the reduction of the aperture ratio, there is a problem that the yield is reduced because the number of steps is increased.

【0019】本発明はこのような従来技術の課題を解決
するものであり、開口率を低下させず、かつ工程数の増
加による歩留りの低下を防止し得、しかも表示特性の向
上を可能にするアクティブマトリクス型液晶表示装置を
提供することを目的とする。
The present invention solves the problems of the prior art as described above, does not lower the aperture ratio, can prevent the yield from lowering due to the increase in the number of processes, and can improve the display characteristics. An object is to provide an active matrix liquid crystal display device.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明のアクティブマト
リクス型液晶表示装置は、光を透過する絶縁性基板また
は透明な絶縁性膜を被覆した透明な基板上に信号線と走
査線とが格子状を成すように縦横に配線され、隣合う信
号線と隣合う走査線とで囲まれた領域に画素電極が形成
されていると共に信号線に送られる信号を、該画素電極
へ伝えるスイッチング素子が該隣合う走査線のうち信号
線に送られる信号の送り方向下流側にある走査線でオン
オフ制御されるアクティブマトリクス基板に対し、間に
液晶を挟んで対向基板を対向配設されたアクティブマト
リクス型液晶表示装置であって、該アクティブマトリク
ス基板上において、該送り方向下流側の走査線と、該走
査線を挟み該画素電極に隣接する下流側画素電極との隙
間を覆うと共に該走査線及び下流側画素電極の該走査線
に沿った周縁部に重なる状態で、該走査線に電気的に接
続して金属からなる遮光膜が形成されており、該遮光膜
が下流側画素電極との重なり部を蓄積容量電極として使
用されると共に、対向基板の液晶側に形成された対向電
極に該走査線に介して電気的に接続されており、そのこ
とによって上記目的が達成される。
In the active matrix type liquid crystal display device of the present invention, signal lines and scanning lines are arranged in a grid pattern on an insulating substrate that transmits light or a transparent substrate coated with a transparent insulating film. A pixel electrode is formed in a region surrounded by adjacent signal lines and adjacent scanning lines, and a switching element for transmitting a signal sent to the signal line to the pixel electrode is formed. An active matrix liquid crystal in which a counter substrate is opposed to an active matrix substrate whose liquid crystal is sandwiched between the active matrix substrates which are on / off controlled by the scanning lines on the downstream side in the sending direction of the signal sent to the signal line among the adjacent scan lines. A display device, which covers, on the active matrix substrate, a gap between a scanning line on the downstream side in the feed direction and a downstream pixel electrode adjacent to the pixel electrode with the scanning line interposed therebetween. A light-shielding film made of metal is formed so as to be electrically connected to the scanning line in a state of overlapping with the scanning line and the peripheral portion of the downstream-side pixel electrode along the scanning line. The overlapping portion with is used as a storage capacitor electrode, and is electrically connected to the counter electrode formed on the liquid crystal side of the counter substrate via the scanning line, whereby the above object is achieved.

【0021】前記遮光膜の他に前記送り方向下流側の走
査線に沿い、その走査線を挟んだ上流側の画素電極の周
縁部に第2の遮光膜が前記スイッチング素子のドレイン
電極を兼ねて、又はドレイン電極とは分離して形成され
ていてもよい。
In addition to the light-shielding film, a second light-shielding film also serves as a drain electrode of the switching element along a scanning line on the downstream side in the feed direction and on a peripheral portion of an upstream pixel electrode sandwiching the scanning line. Alternatively, it may be formed separately from the drain electrode.

【0022】同一画素内に形成された前記遮光膜と前記
第2の遮光膜とが電気的に接続されていてもよい。
The light-shielding film and the second light-shielding film formed in the same pixel may be electrically connected.

【0023】前記遮光膜と前記第2の遮光膜とを接続す
る手段が、どちらか一方の遮光膜から延出した部分から
なっていてもよい。或は、該両遮光膜とは別の透明導電
性の接続片からなっていてもよい。
The means for connecting the light-shielding film and the second light-shielding film may be composed of a portion extending from either one of the light-shielding films. Alternatively, it may be composed of a transparent conductive connecting piece other than the both light-shielding films.

【0024】前記遮光膜が、同一の画素電極の周縁部で
あって、前記隣合う走査線で挟まれた信号線の近傍を通
り、該画素電極を挟む隣合う走査線の下流側の走査線に
沿った部分にまで延出形成されていてもよい。
The light-shielding film is a peripheral portion of the same pixel electrode, passes near the signal line sandwiched by the adjacent scan lines, and is a scan line downstream of the adjacent scan lines sandwiching the pixel electrode. It may be formed so as to extend to a portion along the line.

【0025】前記遮光膜及び/又は第2の遮光膜が信号
線と同じ材料で形成されていてもよい。
The light-shielding film and / or the second light-shielding film may be made of the same material as the signal line.

【0026】前記対向基板にも対向基板側遮光膜が形成
され、該対向基板側遮光膜が前記アクティブマトリクス
基板側の遮光膜と前記走査線との隙間及び/又はアクテ
ィブマトリクス基板側の第2の遮光膜と走査線との隙間
を覆い隠すように形成されていてもよい。
A counter substrate side light shielding film is also formed on the counter substrate, and the counter substrate side light shielding film is a gap between the light shielding film on the active matrix substrate side and the scanning line and / or a second film on the active matrix substrate side. It may be formed so as to cover the gap between the light shielding film and the scanning line.

【0027】[0027]

【作用】画素電極とそれに隣接するゲート配線とに重な
る状態で形成された遮光膜は、そのゲート配線を介して
対向基板側の対向電極に接続されている。このため、遮
光膜とゲート配線との間、画素電極とゲート配線との間
などで生じる寄生容量の一部が、液晶の容量と並列接続
され、蓄積容量として利用できる。そのため、前述した
寄生容量による表示特性への影響の大きさは、分母が大
きくなり、小さくなる。
The light-shielding film formed so as to overlap the pixel electrode and the gate wiring adjacent thereto is connected to the counter electrode on the counter substrate side via the gate wiring. Therefore, a part of the parasitic capacitance generated between the light shielding film and the gate wiring, between the pixel electrode and the gate wiring, and the like is connected in parallel to the capacitance of the liquid crystal and can be used as a storage capacitance. Therefore, the denominator becomes large and the magnitude of the influence of the parasitic capacitance on the display characteristics becomes small.

【0028】[0028]

【実施例】本発明の実施例について以下に説明する。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below.

【0029】<第1実施例>図1は本実施例のアクティ
ブマトリクス型液晶表示装置のアクティブマトリクス基
板を示す平面図であり、図2は図1のC−C’線による
断面図である。
<First Embodiment> FIG. 1 is a plan view showing an active matrix substrate of an active matrix type liquid crystal display device of this embodiment, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line CC 'of FIG.

【0030】このアクティブマトリクス型液晶表示装置
は、TFT24がマトリクス状に形成されたアクティブ
マトリクス基板に対向基板が対向配設され、両基板の間
に液晶層が挟持された構成となっている。
In this active matrix type liquid crystal display device, a counter substrate is arranged opposite to an active matrix substrate having TFTs 24 formed in a matrix, and a liquid crystal layer is sandwiched between both substrates.

【0031】このアクティブマトリクス基板は、最下層
である絶縁基板としてのガラス基板1の上に、横方向に
長い走査線としてのゲート配線2が形成されていると共
に、ゲート配線2から分岐してTFT24のゲート電極
2aが形成されている。
In this active matrix substrate, a gate wiring 2 as a scanning line which is long in the lateral direction is formed on a glass substrate 1 as an insulating substrate which is the lowermost layer, and a TFT 24 is branched from the gate wiring 2 to form a TFT 24. Gate electrode 2a is formed.

【0032】上記ゲート配線2及びゲート電極2aが形
成されたガラス基板1上には、SiNxを被着して第1
の絶縁膜3が形成され、更に第1の絶縁膜3上に、ゲー
ト電極2aの形成位置を覆うようにa−Si層が積層さ
れ、その上にSiNxを被着して第2の絶縁膜5が形成
されている。このような状態のガラス基板1の上には、
金属を被着して縦方向に信号線としてのソース配線7が
形成され、このソース配線7から分岐してTFT24の
ソース電極7aが形成されている。このソース電極7a
は、上記ゲート電極2aの左側部分と一部が重なってお
り、ゲート電極2aの右側部分にはTFT24のドレイ
ン電極9が形成されている。ドレイン電極9の更に右に
は遮光膜10bがゲート配線2と一部重なるように形成
されている。この遮光膜10bとはゲート配線2を挟ん
で反対側に、もう一つ遮光膜10aがゲート配線2と一
部重なるように形成されている。
The glass substrate 1 on which the gate wiring 2 and the gate electrode 2a are formed is coated with SiN x to form a first layer.
Is formed on the first insulating film 3, and an a-Si layer is further laminated on the first insulating film 3 so as to cover the formation position of the gate electrode 2a, and SiN x is deposited thereon to form the second insulating film. The film 5 is formed. On the glass substrate 1 in such a state,
A source wire 7 as a signal line is formed in the vertical direction by depositing metal, and a source electrode 7a of the TFT 24 is formed branching from the source wire 7. This source electrode 7a
Partially overlaps the left side portion of the gate electrode 2a, and the drain electrode 9 of the TFT 24 is formed on the right side portion of the gate electrode 2a. A light shielding film 10b is formed further to the right of the drain electrode 9 so as to partially overlap the gate wiring 2. Another light-shielding film 10a is formed on the opposite side of the light-shielding film 10b with the gate wiring 2 interposed therebetween so as to partially overlap the gate wiring 2.

【0033】更に、この状態のガラス基板1の上には、
部分的にコンタクト・ホール13を有する第3の絶縁膜
12がほぼ全面に形成されている。この第3の絶縁膜1
2の上には、上記コンタクト・ホール13を介してドレ
イン電極相当部分とコンタクトする状態に、ITOを被
着して画素電極14が形成され、更にその上には配向膜
が形成されている。
Further, on the glass substrate 1 in this state,
A third insulating film 12 partially having a contact hole 13 is formed on almost the entire surface. This third insulating film 1
A pixel electrode 14 is formed on the second electrode 2 by depositing ITO so as to contact the portion corresponding to the drain electrode through the contact hole 13, and an alignment film is further formed thereon.

【0034】上記アクティブマトリクス基板に対向配設
される対向基板は、従来例と同様の構造を有している。
The counter substrate arranged to face the active matrix substrate has the same structure as the conventional example.

【0035】次に、このような構造のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造方法について、図3を参照し
ながら述べる。
Next, a method of manufacturing the active matrix type liquid crystal display device having such a structure will be described with reference to FIG.

【0036】先ず、図3(a)に示すように、ガラス基
板1上にTa膜を、例えば3000オングストロームの
厚さで形成した後、パターニングしてゲート配線2及び
ゲート電極2aを形成する。
First, as shown in FIG. 3A, a Ta film is formed on the glass substrate 1 to have a thickness of, for example, 3000 Å, and then patterned to form the gate wiring 2 and the gate electrode 2a.

【0037】次に、前記ゲート配線2及びゲート電極2
aを施したガラス基板1上全面にわたって、スパッタリ
ングやプラズマCVD法により、第1の絶縁膜3となる
SiNx膜を、例えば3000オングストロームの厚さ
で被着させて、順次TFT24層となる、例えば300
オングストロームの厚さのa−Si層、第2の絶縁膜5
となる、例えば2000オングストロームの厚さのSi
x膜を全面にわたって連続的に被着した後、エッチン
グにより上記第2の絶縁膜5を図1(b)に示すような
パターンに形成する。ここで、上記第1の絶縁膜3を被
着させる前にゲート配線2及びゲート電極2aを陽極酸
化して絶縁膜を形成してもよいし、絶縁膜としてSiN
x以外の材料を使用してもよい。
Next, the gate wiring 2 and the gate electrode 2
A SiN x film to be the first insulating film 3 is deposited to a thickness of, for example, 3000 angstroms on the entire surface of the glass substrate 1 having been subjected to a by sputtering or a plasma CVD method to sequentially form TFT 24 layers, for example, 300
Angstrom thick a-Si layer, second insulating film 5
For example, Si having a thickness of 2000 angstroms
After the N x film is continuously deposited over the entire surface, the second insulating film 5 is formed into a pattern as shown in FIG. 1B by etching. Here, the gate wiring 2 and the gate electrode 2a may be anodized to form an insulating film before depositing the first insulating film 3, or SiN may be used as the insulating film.
Materials other than x may be used.

【0038】次に、プラズマCVD法によりPをドープ
したa−Siを、例えば500オングストロームの厚さ
で全体にわたって被着した後、パターニングによりa−
Si層を形成し、更に、スパッタリングによってMo層
を、例えば2000オングストロームの厚さで被着した
後、エッチングにより上記Mo層を図1(c)に示すよ
うにパターン化して、ソース配線7、ソース電極7a及
びドレイン電極9を形成する。
Next, P-doped a-Si is deposited over the entire surface by plasma CVD to a thickness of, for example, 500 angstrom, and then patterned by a-.
A Si layer is formed, and a Mo layer is deposited by sputtering to have a thickness of, for example, 2000 angstrom. Then, the Mo layer is patterned by etching as shown in FIG. The electrode 7a and the drain electrode 9 are formed.

【0039】次に、スパッタリングによってCr層を、
例えば1000オングストロームの厚さで被着した後、
エッチングにより上記Cr層を図1(c)に示すような
パターンにして、遮光膜10a及び10bを形成する。
Next, a Cr layer is formed by sputtering.
For example, after applying a thickness of 1000 Å,
By etching the Cr layer into a pattern as shown in FIG. 1C, the light shielding films 10a and 10b are formed.

【0040】最後に、例えば1μmの厚さの有機保護膜
を上記構造のガラス基板1上に全面に被着して第3の絶
縁膜12とし、コンタクト・ホール13を上記第3の絶
縁膜12にエッチングにより形成し、上記第3の絶縁膜
12上に、コンタクト・ホール13、遮光膜10a及び
10bに重なるように、例えば1000オングストロー
ムのITOをスッパタリングによって被着した後、エッ
チングにより画素電極14を形成すれば、本実施例のア
クティブマトリクス基板が得られる。
Finally, an organic protective film having a thickness of, for example, 1 μm is deposited on the entire surface of the glass substrate 1 having the above structure to form the third insulating film 12, and the contact hole 13 is used as the third insulating film 12. Is formed by etching on the third insulating film 12, and ITO of 1000 angstrom, for example, is deposited by sputtering on the third insulating film 12 so as to overlap the contact hole 13 and the light shielding films 10a and 10b, and then the pixel electrode 14 is formed by etching. By forming, the active matrix substrate of this embodiment is obtained.

【0041】ここで、第3の絶縁膜12となる有機保護
膜としては、日本合成ゴム製のJSS−7215などの
アクリル樹脂や、日立化成製のPIX−8803などの
ポリイミド膜、東レ製の5414などの感光性ポリイミ
ド膜などを用いることが出来る。又、有機膜以外には、
SiNx、SiO2などの無機膜を使用してもよい。
Here, as the organic protective film which becomes the third insulating film 12, an acrylic resin such as JSS-7215 manufactured by Japan Synthetic Rubber, a polyimide film such as PIX-8803 manufactured by Hitachi Chemical, or 5414 manufactured by Toray. A photosensitive polyimide film or the like can be used. In addition to the organic film,
An inorganic film such as SiN x or SiO 2 may be used.

【0042】尚、遮光膜10a及び10bはソース配線
7及びソース電極7aを形成するときにソース配線金属
を使用して形成することで、工程を簡略化することもで
きる。
The light-shielding films 10a and 10b can be simplified by forming the source wiring 7 and the source electrode 7a by using a source wiring metal.

【0043】対向基板は従来例と同様に作製し、その
後、アクティブマトリクス基板と対向基板を張り合わせ
て液晶層に液晶を注入する。これにより本実施例のアク
ティブマトリクス型液晶表示装置が作製される。
The counter substrate is manufactured in the same manner as in the conventional example, and then the active matrix substrate and the counter substrate are bonded to each other to inject liquid crystal into the liquid crystal layer. As a result, the active matrix type liquid crystal display device of this embodiment is manufactured.

【0044】尚、作製途中で、各ゲート配線2と対向基
板側の対向電極とを電気的に接続する。その接続構造と
しては、例えばかくゲート配線2の端部を一本の配線で
接続し、その配線の端部に設けた端子と、対向電極に設
けた端子とを、ワイヤにより接続する構成としている。
この他の構造をとることは任意である。
During the fabrication, each gate wiring 2 is electrically connected to the counter electrode on the counter substrate side. As the connection structure, for example, the end portion of the gate wiring 2 is connected by a single wiring, and the terminal provided at the end portion of the wiring and the terminal provided at the counter electrode are connected by a wire. ..
It is optional to take other structures.

【0045】従って、このように作製されたアクティブ
マトリクス型液晶表示装置においては、以下のような作
用を有する。ここで、図1の中央に位置する画素を(N
−1)番目、その上の画素をN番目のものとする。
Therefore, the active matrix type liquid crystal display device thus manufactured has the following actions. Here, the pixel located in the center of FIG.
The -1) th pixel and the pixel above it are the Nth pixel.

【0046】N番目の画素電極14とそれに隣接する
(N−1)番目のゲート配線2とに重なる状態で形成さ
れた遮光膜10aは、そのゲート配線2を介して対向基
板側の対向電極に接続されている。このため、図1に於
て斜線部分にあたる、画素電極14と遮光膜10aとの
間、画素電極14とゲート配線2との間などで生じる寄
生容量の一部が、液晶の容量と並列接続され、蓄積容量
として利用できる。そのため、前述した寄生容量による
表示特性への影響の大きさは、式の分母が大きくなるの
で、小さくなり、表示特性の向上を図れる。又、別途に
蓄積容量配線を形成する必要が無いので、開口率を低下
させることがなく、且つ工程数の増加に伴う歩留りの低
下を防止できる。
The light-shielding film 10a formed so as to overlap the N-th pixel electrode 14 and the (N-1) -th gate wiring 2 adjacent thereto is provided on the counter electrode on the counter substrate side via the gate wiring 2. It is connected. Therefore, a part of the parasitic capacitance generated between the pixel electrode 14 and the light-shielding film 10a, between the pixel electrode 14 and the gate wiring 2, which is the shaded portion in FIG. 1, is connected in parallel with the liquid crystal capacitance. , Available as storage capacity. Therefore, the magnitude of the influence of the above-mentioned parasitic capacitance on the display characteristics is small because the denominator of the equation is large, and the display characteristics can be improved. Further, since it is not necessary to separately form the storage capacitor wiring, it is possible to prevent the aperture ratio from being lowered and to prevent the yield from being lowered due to the increase in the number of steps.

【0047】<第2実施例>図4は本実施例のアクティ
ブマトリクス型液晶表示装置のアクティブマトリクス基
板を示す平面図であり、図5は図4のC−C’線による
断面図である。ここで、図4の中央に位置する画素を
(N−1)番目、その上の画素がN番目のものとする。
尚、第1の実施例と同じ働きをする部分には、図1と同
じ番号を附してある。
<Second Embodiment> FIG. 4 is a plan view showing an active matrix substrate of an active matrix type liquid crystal display device of this embodiment, and FIG. 5 is a sectional view taken along the line CC 'of FIG. Here, it is assumed that the pixel located in the center of FIG. 4 is the (N-1) th pixel and the pixel above it is the Nth pixel.
The parts having the same functions as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals as those in FIG.

【0048】本実施例のアクティブマトリクス型液晶表
示装置は、第1の実施例において別に設けたアクティブ
マトリクス基板のドレイン電極9と遮光膜10bとを、
一体化させたドレイン電極兼遮光膜8を備えており、そ
の他の構造は第1の実施例と同様である。製造方法につ
いても、第1の実施例において、Mo層をエッチングし
てドレイン電極9を形成する際に、図4に示すようなパ
ターンでドレイン電極兼遮光膜8を形成した後、Cr層
で遮光膜10を図示のパターンで形成すること以外は、
第1の実施例の製造方法と同様である。
In the active matrix type liquid crystal display device of this embodiment, the drain electrode 9 and the light shielding film 10b of the active matrix substrate which are separately provided in the first embodiment are provided.
It has an integrated drain electrode / light-shielding film 8, and the other structure is similar to that of the first embodiment. Regarding the manufacturing method, in the first embodiment, when the drain electrode 9 is formed by etching the Mo layer, the drain electrode / light-shielding film 8 is formed in a pattern as shown in FIG. Except that the film 10 is formed in the pattern shown.
This is similar to the manufacturing method of the first embodiment.

【0049】従って、このように作製されたアクティブ
マトリクス型液晶表示装置においては、以下のような作
用を有する。N番目の画素電極14とそれに隣接する
(N−1)番目のゲート配線2とに重なる状態で形成さ
れた遮光膜10は、そのゲート配線2を介して対向基板
側の対向電極に接続されている。このため、図4におい
て斜線部分に当たる、画素電極14と遮光膜10との
間、画素電極14とゲート配線2との間などで生じる寄
生容量の一部が、液晶の容量と並列接続され、蓄積容量
として利用でき、そのため、第1の実施例と同様の効果
が得られる。又、第1の実施例におけるドレイン電極9
と遮光膜10bとの間の隙間が無くなるようにドレイン
電極兼遮光膜8を形成しているので、光漏れによるコン
トラストの低下を更に防止できる。
Therefore, the active matrix type liquid crystal display device thus manufactured has the following actions. The light-shielding film 10 formed so as to overlap the Nth pixel electrode 14 and the (N-1) th gate wiring 2 adjacent thereto is connected to the counter electrode on the counter substrate side via the gate wiring 2. There is. Therefore, a part of the parasitic capacitance generated between the pixel electrode 14 and the light-shielding film 10, between the pixel electrode 14 and the gate wiring 2, which corresponds to the shaded portion in FIG. 4, is connected in parallel with the capacitance of the liquid crystal and accumulated. Since it can be used as a capacity, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. In addition, the drain electrode 9 in the first embodiment
Since the drain electrode / light-shielding film 8 is formed so as to eliminate the gap between the light-shielding film 10b and the light-shielding film 10b, it is possible to further prevent a decrease in contrast due to light leakage.

【0050】<第3実施例>図6は本実施例のアクティ
ブマトリクス型液晶表示装置のアクティブマトリクス基
板を示す平面図であり、図7は図6のC−C’線による
断面図である。ここで、図6の中央に位置する画素を
(N−1)番目、その上の画素がN番目のものとする。
尚、第2の実施例と同じ働きをする部分には、図4と同
じ番号を附してある。
<Third Embodiment> FIG. 6 is a plan view showing an active matrix substrate of an active matrix type liquid crystal display device of this embodiment, and FIG. 7 is a sectional view taken along the line CC 'of FIG. Here, it is assumed that the pixel located in the center of FIG. 6 is the (N-1) th pixel and the pixel above it is the Nth pixel.
The parts having the same functions as those of the second embodiment are given the same numbers as in FIG.

【0051】本実施例のアクティブマトリクス型液晶表
示装置は、第2の実施例に加えて、アクティブマトリク
ス基板のドレイン電極兼遮光膜8と遮光膜10とを接続
する透明導電性の接続片11を備えており、その他の構
造は第2の実施例と同様である。前記接続片11はドレ
イン電極配線として機能する。製造方法についても、第
2の実施例において、遮光膜10を形成した後に、スッ
パタリングによってITO層を1000オングストロー
ムの厚さで被着した後、エッチングにより、図6に示す
ようなパターンの接続片11を形成して、その上に第3
の絶縁膜12を形成すること以外は、第2の実施例の製
造方法と同様である。
In addition to the second embodiment, the active matrix type liquid crystal display device of the present embodiment has a transparent conductive connecting piece 11 for connecting the drain electrode / light shielding film 8 and the light shielding film 10 of the active matrix substrate. The other structure is the same as that of the second embodiment. The connection piece 11 functions as a drain electrode wiring. Regarding the manufacturing method as well, in the second embodiment, after forming the light-shielding film 10, an ITO layer is deposited by sputtering to a thickness of 1000 Å, and then etching is performed to form a connecting piece having a pattern as shown in FIG. 11 to form a third on it
The manufacturing method is the same as that of the second embodiment except that the insulating film 12 is formed.

【0052】従って、このように作製されたアクティブ
マトリクス型液晶表示装置においては、図6において斜
線部分に当たる、画素電極14とゲート配線2との間で
生じる寄生容量の一部が、液晶の容量と並列接続され、
蓄積容量として利用できる。又、遮光膜10がドレイン
電極兼遮光膜8を介して画素電極14と接続されている
ため、寄生容量が第1及び第2実施例に比べて小さくな
っている。従って、寄生容量を蓄積容量として利用して
いる部分は第1及び第2実施例より少ないが、寄生容量
の大きさ自体が小さいので、結果としては、表示品質の
よい画像が得られる。
Therefore, in the active matrix type liquid crystal display device manufactured as described above, a part of the parasitic capacitance generated between the pixel electrode 14 and the gate wiring 2 corresponding to the shaded portion in FIG. Connected in parallel,
It can be used as storage capacity. Further, since the light-shielding film 10 is connected to the pixel electrode 14 via the drain / light-shielding film 8, the parasitic capacitance is smaller than that in the first and second embodiments. Therefore, although the portion using the parasitic capacitance as the storage capacitance is smaller than that in the first and second embodiments, the size of the parasitic capacitance itself is small, and as a result, an image with good display quality can be obtained.

【0053】又、図8(a)、(b)の様に、ドレイン
電極兼遮光膜8と遮光膜10とを形成すると共にその一
方の遮光膜から延出した部分よってもう一方の遮光膜と
電気的に接続する構成としたり、或は、図8(c)の様
に、画素電極の周縁部分のうち両走査線を含んで3周縁
部分に、一体的に遮光膜を形成してもよい。この様にす
れば、製造工程も簡略化できる。
Further, as shown in FIGS. 8A and 8B, the drain electrode / light-shielding film 8 and the light-shielding film 10 are formed, and a portion extending from one light-shielding film serves as the other light-shielding film. It may be configured to be electrically connected, or as shown in FIG. 8C, a light-shielding film may be integrally formed on three peripheral portions of the peripheral portion of the pixel electrode including both scanning lines. .. By doing so, the manufacturing process can be simplified.

【0054】<第4実施例>図9は本実施例のアクティ
ブマトリクス型液晶表示装置を示す平面図であり、図1
0は図9のC−C’線による断面図である。尚、第2の
実施例と同じ働きをする部分には、図4と同じ番号を附
してある。
<Fourth Embodiment> FIG. 9 is a plan view showing an active matrix type liquid crystal display device of this embodiment.
Reference numeral 0 is a sectional view taken along the line CC ′ of FIG. 9. The parts having the same functions as those of the second embodiment are given the same numbers as in FIG.

【0055】このアクティブマトリクス型液晶表示装置
は、TFT24がマトリクス状に形成されたアクティブ
マトリクス基板22に対向基板23が対向配設され、両
基板22と23との間に液晶層16が挟持された構成と
なっている。
In this active matrix type liquid crystal display device, a counter substrate 23 is disposed so as to face an active matrix substrate 22 having TFTs 24 formed in a matrix, and a liquid crystal layer 16 is sandwiched between the two substrates 22 and 23. It is composed.

【0056】本実施例のアクティブマトリクス基板22
は、第2の実施例とほぼ同様の構造を有しているが、ド
レイン電極兼遮光膜8がゲート配線2との間に隙間があ
るように形成されているアクティブマトリクス基板であ
る。
Active matrix substrate 22 of this embodiment
Is an active matrix substrate which has a structure similar to that of the second embodiment, but in which the drain electrode / light-shielding film 8 is formed so as to have a gap with the gate wiring 2.

【0057】一方、アクティブマトリクス基板22に対
向配設される対向基板23は、絶縁基板としてのガラス
基板21の上に対向基板側遮光膜19を備えており、こ
の対向基板側遮光膜19は、前記隙間を覆い隠すように
形成されている。更に、カラーフィルタ20が前記アク
ティブマトリクス基板22の画素電極14に対向するよ
うに形成されており、その上には配向膜15が形成され
ている。上記カラーフィルタは不必要ならば形成を省略
してもよい。
On the other hand, the counter substrate 23 arranged to face the active matrix substrate 22 is provided with the counter substrate side light shielding film 19 on the glass substrate 21 as an insulating substrate. The counter substrate side light shielding film 19 is It is formed so as to cover the gap. Further, a color filter 20 is formed so as to face the pixel electrode 14 of the active matrix substrate 22, and an alignment film 15 is formed thereon. The color filter may be omitted if unnecessary.

【0058】次に、このような構造のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の製造方法につ述べる。
Next, a method of manufacturing the active matrix type liquid crystal display device having such a structure will be described.

【0059】アクティブマトリクス基板22について
は、第2の実施例と同様のものなので上述の通りであ
る。
The active matrix substrate 22 is the same as that of the second embodiment and is as described above.

【0060】対向基板23は、先ず、ガラス基板21上
に対向基板側遮光膜19を、図11に示すようなパター
ンに形成し、その上に対向電極18となるITOを全面
に被着した後、その上にポリイミドを全面に被着して対
向基板側配向膜17とし、上記配向膜17にラビング処
理を行う。又、必要ならば、画素電極14に対向する部
分にカラーフィルた20を形成する。
In the counter substrate 23, first, the counter substrate side light-shielding film 19 is formed on the glass substrate 21 in a pattern as shown in FIG. 11, and ITO serving as the counter electrode 18 is deposited on the entire surface thereof. Then, polyimide is deposited on the entire surface to form the counter substrate side alignment film 17, and the alignment film 17 is rubbed. Further, if necessary, a color-filled film 20 is formed in a portion facing the pixel electrode 14.

【0061】最後に、アクティブマトリクス基板22と
対向基板23とを貼り合わせて、両基板22と23の間
に液晶を注入して液晶層16を形成する。
Finally, the active matrix substrate 22 and the counter substrate 23 are bonded together, and liquid crystal is injected between the two substrates 22 and 23 to form the liquid crystal layer 16.

【0062】従って、このように作製されたアクティブ
マトリクス型表示装置においては、寄生容量を蓄積容量
として利用することによって得られる効果とは別に、走
査線としてのゲート配線からの光漏れを完全に遮断して
いることで、表示特性の向上効果を得ることが出来る。
Therefore, in the active matrix type display device thus manufactured, in addition to the effect obtained by using the parasitic capacitance as the storage capacitance, the light leakage from the gate wiring as the scanning line is completely blocked. By doing so, the effect of improving the display characteristics can be obtained.

【0063】本実施例においては、対向基板側遮光膜1
9をドレイン電極兼遮光膜8とゲート配線2との隙間を
遮断すべくを設けたが、例えば図9のa及びbで示すよ
うなドレイン電極2と遮光膜10との隙間を埋めるよう
に対向基板側遮光膜19を設けてもよい。
In the present embodiment, the counter substrate side light-shielding film 1
9 is provided so as to block the gap between the drain electrode / light-shielding film 8 and the gate wiring 2, but is opposed so as to fill the gap between the drain electrode 2 and the light-shielding film 10 as shown in a and b of FIG. 9, for example. The substrate-side light-shielding film 19 may be provided.

【0064】但し、いずれの実施例においても、アクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置の構造は上記実施例に限
られず、又、製造方法も上記実施例に限られるものでは
ない。
However, in any of the embodiments, the structure of the active matrix type liquid crystal display device is not limited to the above embodiments, and the manufacturing method is not limited to the above embodiments.

【0065】[0065]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のアクティブマトリクス型液晶装置によれば、開口率を
低下させず、かつ工程数の増加による歩留りの低下を防
止し得、しかも表示特性を向上させることが出来る。
As is apparent from the above description, according to the active matrix type liquid crystal device of the present invention, it is possible to prevent the yield ratio from being lowered due to the increase in the number of steps without lowering the aperture ratio, and the display characteristics. Can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1の実施例のアクティブマトリクス型液晶表
示装置のアクティブマトリクス基板を示す平面図であ
る。
FIG. 1 is a plan view showing an active matrix substrate of an active matrix type liquid crystal display device of a first embodiment.

【図2】図1のC−C’線による断面図でる。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line C-C ′ of FIG.

【図3】(a)〜(d)は図1のアクティブマトリクス
基板の製作工程を示す図である。
3A to 3D are views showing a manufacturing process of the active matrix substrate of FIG.

【図4】第2の実施例のアクティブマトリクス型液晶表
示装置のアクティブマトリクス基板を示す平面図であ
る。
FIG. 4 is a plan view showing an active matrix substrate of an active matrix liquid crystal display device of a second embodiment.

【図5】図4のC−C’線による断面図である。5 is a cross-sectional view taken along the line C-C ′ of FIG.

【図6】第3の実施例のアクティブマトリクス型液晶表
示装置のアクティブマトリクス基板を示す平面図であ
る。
FIG. 6 is a plan view showing an active matrix substrate of an active matrix type liquid crystal display device of a third embodiment.

【図7】図6のC−C’線による断面図である。7 is a cross-sectional view taken along the line C-C ′ of FIG.

【図8】第3の実施例のアクティブマトリクス型液晶表
示装置のアクティブマトリクス基板の応用例を示す平面
図である。
FIG. 8 is a plan view showing an application example of an active matrix substrate of an active matrix type liquid crystal display device of a third embodiment.

【図9】第4の実施例のアクティブマトリクス型液晶表
示装置を示す平面図である。
FIG. 9 is a plan view showing an active matrix liquid crystal display device of a fourth embodiment.

【図10】図9のC−C’線による断面図である。10 is a cross-sectional view taken along the line C-C ′ of FIG.

【図11】図9のアクティブマトリクス型液晶表示装置
の対向基板側にある遮光膜のパターンを示す図でる。
11 is a diagram showing a pattern of a light-shielding film on the counter substrate side of the active matrix liquid crystal display device of FIG.

【図12】TFT方式による従来のアクティブマトリク
ス型液晶表示装置の例を示す平面図である。
FIG. 12 is a plan view showing an example of a conventional active matrix type liquid crystal display device of a TFT system.

【図13】図12のA−A’線による断面図である。13 is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG.

【図14】図12のB−B’線による断面図である。14 is a cross-sectional view taken along the line B-B ′ of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 ゲート配線 2a ゲート電極 3 第1の絶縁膜 5 第2の絶縁膜 7 ソース配線 7a ソース電極 8 ドレイン電極兼遮光膜 9 ドレイン電極 10,10a、10b 遮光膜 11 ドレイン電極配線 12 第3の絶縁膜 13 コンタクト・ホール 14 画素電極 15 配向膜 16 液晶層 17 対向基板側配向膜 19 対向基板側遮光膜 18 対向電極 20 カラーフィルタ 21 ガラス基板 22 アクティブマトリクス基板 23 対向基板 24 TFT 1 Glass Substrate 2 Gate Wiring 2a Gate Electrode 3 First Insulating Film 5 Second Insulating Film 7 Source Wiring 7a Source Electrode 8 Drain Electrode / Light Shielding Film 9 Drain Electrodes 10, 10a, 10b Light Shielding Film 11 Drain Electrode Wiring 12 Third Insulating film 13 Contact hole 14 Pixel electrode 15 Alignment film 16 Liquid crystal layer 17 Counter substrate side alignment film 19 Counter substrate side light shielding film 18 Counter electrode 20 Color filter 21 Glass substrate 22 Active matrix substrate 23 Counter substrate 24 TFT

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光を透過する絶縁性基板または透明な絶
縁性膜を被覆した透明な基板上に信号線と走査線とが格
子状を成すように縦横に配線され、隣合う信号線と隣合
う走査線とで囲まれた領域に画素電極が形成されている
と共に信号線に送られる信号を、該画素電極へ伝えるス
イッチング素子が該隣合う走査線のうち信号線に送られ
る信号の送り方向下流側にある走査線でオンオフ制御さ
れるアクティブマトリクス基板に対し、間に液晶を挟ん
で対向基板を対向配設されたアクティブマトリクス型液
晶表示装置であって、 該アクティブマトリクス基板上において、該送り方向下
流側の走査線と、該走査線を挟み該画素電極に隣接する
下流側画素電極との隙間を覆うと共に該走査線及び下流
側画素電極の該走査線に沿った周縁部に重なる状態で、
該走査線に電気的に接続して金属からなる遮光膜が形成
されており、該遮光膜が下流側画素電極との重なり部を
蓄積容量電極として使用されると共に、対向基板の液晶
側に形成された対向電極に該走査線に介して電気的に接
続されているアクティブマトリクス型液晶表示装置。
1. A signal line and a scanning line are wired vertically and horizontally on an insulating substrate which transmits light or a transparent substrate coated with a transparent insulating film so as to form a grid pattern, and adjacent signal lines are adjacent to each other. A pixel electrode is formed in a region surrounded by matching scan lines, and a switching element that transmits a signal sent to the signal line to the pixel electrode is sent by a switching element that is sent to a signal line of the adjacent scan lines. An active matrix type liquid crystal display device in which a counter substrate is arranged to face an active matrix substrate which is on / off controlled by a scanning line on the downstream side with a liquid crystal interposed therebetween. A state in which the gap between the scanning line on the downstream side in the direction and the downstream pixel electrode adjacent to the pixel electrode sandwiching the scanning line is covered and overlapped with the peripheral edge of the scanning line and the downstream pixel electrode along the scanning line. ,
A light-shielding film made of metal is formed so as to be electrically connected to the scan line, and the light-shielding film is used on the liquid crystal side of the counter substrate while the overlapping portion with the downstream pixel electrode is used as a storage capacitor electrode. Active-matrix liquid crystal display device electrically connected to the opposite electrode formed through the scanning line.
【請求項2】 前記遮光膜の他に前記送り方向下流側の
走査線に沿い、その走査線を挟んだ上流側の画素電極の
周縁部に第2の遮光膜が前記スイッチング素子のドレイ
ン電極を兼ねて、又はドレイン電極とは分離して形成さ
れている請求項1に記載のアクティブマトリクス型液晶
表示装置。
2. In addition to the light-shielding film, a second light-shielding film is provided along a scanning line on the downstream side in the feeding direction, and a drain electrode of the switching element is provided on a peripheral portion of an upstream pixel electrode sandwiching the scanning line. The active matrix liquid crystal display device according to claim 1, which is also formed separately or separately from the drain electrode.
【請求項3】 同一画素内に形成された前記遮光膜と前
記第2の遮光膜とが電気的に接続されている請求項2に
記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置。
3. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 2, wherein the light-shielding film and the second light-shielding film formed in the same pixel are electrically connected.
【請求項4】 前記遮光膜と前記第2の遮光膜とを接続
する手段が、どちらか一方の遮光膜から延出した部分か
らなる請求項3に記載のアクティブマトリクス型液晶表
示装置。
4. The active matrix liquid crystal display device according to claim 3, wherein the means for connecting the light-shielding film and the second light-shielding film comprises a portion extending from one of the light-shielding films.
【請求項5】 前記遮光膜と前記第2の遮光膜とを接続
する手段が、該両遮光膜とは別の透明導電性の接続片か
らなる請求項3に記載のアクティブマトリクス型液晶表
示装置。
5. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 3, wherein the means for connecting the light-shielding film and the second light-shielding film comprises a transparent conductive connecting piece different from the both light-shielding films. ..
【請求項6】 前記遮光膜が、同一の画素電極の周縁部
であって、前記隣合う走査線で挟まれた信号線の近傍を
通り、該画素電極を挟む隣合う走査線の下流側の走査線
に沿った部分にまで延出形成されている請求項1に記載
のアクティブマトリクス型液晶表示装置。
6. The light-shielding film passes through a peripheral portion of the same pixel electrode, near a signal line sandwiched by the adjacent scanning lines, and on a downstream side of the adjacent scanning lines sandwiching the pixel electrode. The active matrix liquid crystal display device according to claim 1, wherein the active matrix liquid crystal display device is formed so as to extend to a portion along a scanning line.
【請求項7】 前記遮光膜及び/又は第2の遮光膜が信
号線と同じ材料で形成された請求項2乃至6のいずれか
一つに記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置。
7. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 2, wherein the light-shielding film and / or the second light-shielding film is formed of the same material as the signal line.
【請求項8】 前記対向基板にも対向基板側遮光膜が形
成され、該対向基板側遮光膜が前記アクティブマトリク
ス基板側の遮光膜と前記走査線との隙間及び/又はアク
ティブマトリクス基板側の第2の遮光膜と走査線との隙
間を覆い隠すように形成されている請求項1乃至7のい
ずれか一つに記載のアクティブマトリクス型液晶表示装
置。
8. A counter substrate-side light-shielding film is also formed on the counter substrate, and the counter-substrate-side light-shielding film has a gap between the light-shielding film on the active matrix substrate side and the scanning line and / or a first light-shielding film on the active matrix substrate side. 8. The active matrix liquid crystal display device according to claim 1, wherein the active matrix liquid crystal display device is formed so as to cover a gap between the light shielding film 2 and the scanning line.
JP10319192A 1992-02-07 1992-04-22 Active matrix type liquid crystal display device Pending JPH05297346A (en)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10319192A JPH05297346A (en) 1992-04-22 1992-04-22 Active matrix type liquid crystal display device
US08/013,642 US5459595A (en) 1992-02-07 1993-02-04 Active matrix liquid crystal display
TW082100821A TW237525B (en) 1992-02-07 1993-02-06
KR1019930001675A KR0145280B1 (en) 1992-02-07 1993-02-06 An active matrix liquid crystal display device
EP93300889A EP0555100B1 (en) 1992-02-07 1993-02-08 An active matrix liquid crystal display
DE69316399T DE69316399T2 (en) 1992-02-07 1993-02-08 Liquid crystal display with active matrix control

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10319192A JPH05297346A (en) 1992-04-22 1992-04-22 Active matrix type liquid crystal display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05297346A true JPH05297346A (en) 1993-11-12

Family

ID=14347631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10319192A Pending JPH05297346A (en) 1992-02-07 1992-04-22 Active matrix type liquid crystal display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05297346A (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5528395A (en) * 1992-12-30 1996-06-18 Goldstar Co., Ltd. Liquid crystal display having reference electrodes each formed to be overlapped with adjacent transparent electrodes
KR100255069B1 (en) * 1996-03-22 2000-05-01 가네꼬 히사시 Liquid crystal display apparatus having pixels of different orientation of liquid crystal
KR100267994B1 (en) * 1997-11-26 2000-10-16 구자홍 method for manufacturing of Liquid Crystal Display
US6400424B1 (en) 1998-06-30 2002-06-04 Hyundai Display Technology Inc. Thin film transistor-liquid crystal display having enhanced storage capacitance and method for manufacturing the same
KR100400627B1 (en) * 1999-03-18 2003-10-08 산요덴키가부시키가이샤 Active matrix type display apparatus
KR100530140B1 (en) * 2001-09-05 2005-11-21 가부시끼가이샤 도시바 Flat panel display
JP2011075844A (en) * 2009-09-30 2011-04-14 Hitachi Displays Ltd Liquid crystal display device
KR101327836B1 (en) * 2006-06-30 2013-11-11 엘지디스플레이 주식회사 Liquid Crystal Display Device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5528395A (en) * 1992-12-30 1996-06-18 Goldstar Co., Ltd. Liquid crystal display having reference electrodes each formed to be overlapped with adjacent transparent electrodes
KR100255069B1 (en) * 1996-03-22 2000-05-01 가네꼬 히사시 Liquid crystal display apparatus having pixels of different orientation of liquid crystal
KR100267994B1 (en) * 1997-11-26 2000-10-16 구자홍 method for manufacturing of Liquid Crystal Display
US6400424B1 (en) 1998-06-30 2002-06-04 Hyundai Display Technology Inc. Thin film transistor-liquid crystal display having enhanced storage capacitance and method for manufacturing the same
KR100400627B1 (en) * 1999-03-18 2003-10-08 산요덴키가부시키가이샤 Active matrix type display apparatus
KR100530140B1 (en) * 2001-09-05 2005-11-21 가부시끼가이샤 도시바 Flat panel display
KR101327836B1 (en) * 2006-06-30 2013-11-11 엘지디스플레이 주식회사 Liquid Crystal Display Device
JP2011075844A (en) * 2009-09-30 2011-04-14 Hitachi Displays Ltd Liquid crystal display device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6091466A (en) Liquid crystal display with dummy drain electrode and method of manufacturing same
KR0145280B1 (en) An active matrix liquid crystal display device
US6614500B2 (en) Liquid crystal display having a dummy source pad and method for manufacturing the same
US5771083A (en) Active matrix substrate and liquid crystal display device
US6262784B1 (en) Active matrix display devices having improved opening and contrast ratios and methods of forming same and a storage electrode line
US6567150B1 (en) Liquid crystal display and method of manufacturing the same
US5185601A (en) Active matrix liquid crystal display apparatus and method of producing the same
US7671931B2 (en) Liquid crystal display device and method of fabricating the same
JPH1010548A (en) Active matrix substrate and its production
US5426523A (en) Liquid crystal display having a light blocking film on stepped portions
JP3646999B2 (en) Transmission type liquid crystal display device
US9274390B2 (en) Liquid crystal display device and fabricating method thereof
JP2000330132A (en) Active matrix type display device
JP3394433B2 (en) Active matrix liquid crystal display
US7936424B2 (en) Liquid crystal display panel with light leakage prevention film and method for manufacturing the same
JP3127619B2 (en) Active matrix substrate
US20110084282A1 (en) Liquid crystal display device having light blocking line disposed on same layer as gate line
JPH05142570A (en) Active matrix substrate
JPH11242244A (en) Liquid crystal display device
JPH05297346A (en) Active matrix type liquid crystal display device
JPH10213812A (en) Active matrix type liquid crystal display device
JP3423380B2 (en) Liquid crystal display
JP2869238B2 (en) Active matrix type liquid crystal display
JPH0862629A (en) Liquid crystal display device
JP2798538B2 (en) Active matrix liquid crystal display

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19981008