JPH05296848A - 放射温度計 - Google Patents

放射温度計

Info

Publication number
JPH05296848A
JPH05296848A JP10462492A JP10462492A JPH05296848A JP H05296848 A JPH05296848 A JP H05296848A JP 10462492 A JP10462492 A JP 10462492A JP 10462492 A JP10462492 A JP 10462492A JP H05296848 A JPH05296848 A JP H05296848A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
radiation thermometer
ratio
photodetectors
signal processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10462492A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomotaka Marui
智敬 丸井
Akira Torao
彰 虎尾
Miki Ootsuki
未来 大月
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kawasaki Steel Corp filed Critical Kawasaki Steel Corp
Priority to JP10462492A priority Critical patent/JPH05296848A/ja
Publication of JPH05296848A publication Critical patent/JPH05296848A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡素な方法で温度計測を行う。 【構成】 この放射温度計は、筐体101内に光検出器
104a,b及び信号処理部105を有し、また、測定
対象からの光を光検出器104a,bへ導く光学系とし
てレンズ102,ビームスプリッタ(ハーフミラー)1
03を有する。光検出器104a,bは、互いに異なっ
た波長特性をもつ同じ実効波長λ0 の検出器である。信
号処理部105は、光検出器104a,bの検出出力R
A ,RB からそれらの比rを算出し、予め設定されたパ
ラメータXA ,XB とその比から測定対象の温度Tを求
めるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定対象からの放射光
から表面温度を測定する放射温度計測技術に関する。
【0002】
【従来の技術】温度を測定するための技術は様々なもの
があるが、そのうち放射温度計測技術は非接触で物体の
表面を測定するもので、放射温度計として実用化されて
いる。放射温度計にはその光電変換素子にシリコン,ゲ
ルマニウム,PbS(硫化鉛)などが用いられる(これ
らはそれぞれ異なった波長に感度中心を持つ)。そし
て、放射温度計では、その光電変換素子又は光学系に光
学フィルタを挿入して複数の波長帯で測定対象の輻射エ
ネルギーを観測し、輻射エネルギー値をもとに温度に変
換して出力する。このような放射温度計には、単一の波
長で測定する「単色放射温度計」、2波長で測定する
「2波長式放射温度計(2色放射温度計)」、さらに多
くの波長を用いた「多波長式放射温度計(多色放射温度
計)」がある。
【0003】測定対象からの輻射エネルギーは、測定対
象の放射率によって異なったものになるため、放射温度
計で温度を測定する際には測定対象の放射率εの値が必
要となる。単色放射温度計では、放射率εを予め測定し
ておき、その放射率εを用いて温度を測定している。2
波長式放射温度計では、2波長での放射率εの比を予め
測定して設定しておくか、近接した2波長では放射率ε
が等しいと仮定して温度測定を行う。しかし、放射率ε
は測定対象の状態によって変化するものであり、特に、
測定対象の放射率εが時間的に変化する場合、温度測定
誤差は大きいものになる。例えば、測定対象がその表面
において酸化進行中又は合金化進行中の金属の場合であ
る。
【0004】2波長式放射温度計、多波長式放射温度計
では、この問題を解決するために様々な提案がなされて
いる。例えば、「特公平3−4855」、「特開平2−
85730」、「特開平2−238333」、「J.L.ga
rdner,T.P.Jones and R.Davis,"A six-wavelength radi
ation pyrometer",High Temp-High pressure,vol.13,N
o.5,p.459-466(1981)」などがある。これらにおいて
は、実験による測定データから得た実験式または分光放
射率の理論式を用いて、一種の検量線を作るか、また
は、関係式(実験式、理論式)を満たすような分光放射
率の組み合わせ解を検索決定する、という方法で放射率
εを動的に補正している。このようにして得た放射率ε
にてより正確な温度測定を行うようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前述の提案において
は、放射率εに係る組み合わせ解を求める際、放射率ε
の実際値に対して小さな誤差を持つ初期値を与え繰り返
し計算を行って解を決定する、という演算が行われる。
この演算が放射温度計の精度を決定することになる。そ
のため、高精度の放射温度計を構成するには、良い精度
の関係式(実験式、理論式)を必要とする。特に関係式
として実験式を用いる場合、実験式を決めるための実験
に多くの時間と手間が掛かることになる。また、組み合
わせ解を求めるためのソフトウエア,ハードウェアが必
要であり、特に、繰り返し計算は時間の掛かるものであ
るため、応答性を上げるには高速のものが要求される。
また、前述したように放射率εが時間的に変化する場
合、繰り返し計算が必ず放射率εの実際値に収束すると
いう保証はない。このように、前述の提案においては、
放射率εに係る組み合わせ解を求めることに起因する問
題がある。
【0006】本発明は、前述の問題点に鑑み、放射率ε
に依存しない簡素な方法によって放射温度計測を行う方
法,装置を提供することをその目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の放射温度計は、測定対象からの光を略等し
い実効波長にて異なった波長特性で検出する第1の手段
と、異なった波長特性での光の検出出力からそれらの比
を算出し、その比から測定対象の温度を求める第2の手
段とを備えたことを特徴とする。
【0008】第1の手段は、略等しい実効波長で異なっ
た波長特性を有する光検出器を含んで構成されているこ
とを特徴としても良い。また、第1の手段は、略等しい
実効波長であるが異なった波長特性をもつ複数のフィル
タと、フィルタを透過する測定対象からの光を検出する
検出器とを含んで構成されていることを特徴としても良
い。
【0009】第2の手段は、その比と測定対象の温度と
の関係式に基づいてその比から測定対象の温度を求める
ことを特徴としても良い。また、第2の手段は、予め決
められたその比と測定対象の温度との相関を用いてその
比から測定対象の温度を求めることを特徴としても良
い。
【0010】
【作用】本発明の放射温度計では、測定対象からの光が
略等しい実効波長にて異なった波長特性でそれぞれ第1
の手段で検出される。そして、それらの検出出力からそ
れらの比が算出される。その比と測定対象の温度とは近
似的に一定の関係式で示される相関を有しており、測定
対象の温度で変化する放射率に依存しない関係となって
いる。その関係式若しくは相関を利用して測定対象の温
度が第2の手段で求められる。
【0011】上記の異なった波長特性の検出出力は、略
等しい実効波長で異なった波長特性を有する光検出器で
得ることが可能である。また、異なった波長特性をもつ
フィルタを透過した測定対象からの光を検出することで
も得ることが可能である。
【0012】
【実施例】本発明の実施例を図面を参照して説明する。
図1には、本発明の一実施例に係る放射温度計の全体構
成が示されている。本発明の放射温度計は、図示しない
測定対象からの光を異なった波長特性(但し、それらの
実効波長λ0 は略等しい)にてで検出し、それら異なっ
た波長特性での光の検出出力からそれらの比から測定対
象の温度を求める、という方法で放射温度計測を行うも
のである。
【0013】この図1の放射温度計は、筐体101内に
光検出器104a,b及び信号処理部105を有し、ま
た、測定対象からの光を光検出器104a,bへ導く光
学系としてレンズ102,ビームスプリッタ(ハーフミ
ラー)103を有する。
【0014】光検出器104a,bは、図2に示すよう
に、互いに異なった波長特性をもつ同じ実効波長λ0
検出器である。図2の曲線Aは光検出器104aの波長
特性即ち応答関数φ(λ)−波長λの関係を示し、曲線
Bは光検出器104bの応答関数φ(λ)−波長λの関
係を示している。光検出器104a,bは、例えば、前
述した光電変換素子及び波長特性の異なる光学フィルタ
を用いて構成される。
【0015】信号処理部105は、光検出器104a,
bの検出出力RA ,RB からそれらの比rを算出し、そ
の比から測定対象の温度Tを求めるもので、そのプロセ
スの一例が図3に示されている。図3のプロセスは、比
rと温度Tの関係式から温度Tを求めるもので、外部か
らの入力により予め設定されたパラメータXA ,XB
比rとを用いた演算にて温度Tを求める。このプロセス
の構成及び比rと温度Tの関係式については後述する。
信号処理部105は、いわゆるワンチップマイコンで構
成されており、A/Dコンバータ内蔵タイプのものを用
いるとより小型なものになる。
【0016】レンズ102は測定対象からの光を集光
し、ハーフミラー103は集光された光を光検出器10
4a,bへ与えるもので、放射温度計の所定の方向にあ
るものを測定対象としている。
【0017】つぎに、比rと温度Tの関係について説明
する。
【0018】入射光が所定の分布を持つ場合、光検出器
(光電変換素子+光学フィルタ)の応答R(検出出力)
は、波長λ近傍において、光検出器の応答関数φ
(λ),実効波長λ0 及び入射光の分光光強度(輻射入
力i(λ))を用いて次の式(1)で示されることが知
られている。
【0019】
【数1】
【0020】また、実効波長λ0 は次の式(1)で示さ
れることが知られている。
【0021】
【数2】
【0022】検出出力Rの2次の近似を得るために応答
関数φ(λ)の波長λ0 まわりの0次モーメントM0
1次モーメントM1 ,2次モーメントM2 を式(3a)
〜(3c)に定義する。ここで、1次モーメントM1
上記式(2)から「0」である。
【0023】
【数3】
【0024】輻射入力i(λ)についてテーラー展開
し、2次の近似までとればつぎの式(4)で示される。
【0025】
【数4】
【0026】式(1)を式(2)〜(4)を用いて書き
直せば、検出出力Rはつぎの式(5)で示される。
【0027】
【数5】
【0028】これらの式(1)〜(5)で示される関係
は、例えば、文献「O.Norton(Mississipi State Uni
v.),"An Analysis of Error in Two color Pyrometry",
AIAA/ASME 5thjoint mThermophysics and Heart Transf
er Conf.AIAA90-1715(1990)」に示され、知られている
関係である。
【0029】さて、図1の放射温度計においては、光検
出器104a,bの検出出力RA ,RB は式(5)から
つぎの式(6a),(6b)で示される。
【0030】
【数6】
【0031】これより、検出出力RA ,RB の比rと温
度Tの関係はつぎの式(7)で示される。
【0032】
【数7】
【0033】この式(7)のままでも温度Tを求めるこ
とは可能であるが、つぎの式(8)で演算することで信
号処理部105での処理をより簡素なものとなる(式
(8)において添字A,Bはそれぞれ検出出力RA ,R
B に対応するものであることを示す)。
【0034】
【数8】
【0035】検出出力RA についてのモーメントM0A
2Aは、式(3a),(3c)を用いて光検出器104
aの波長特性(図2の曲線A即ち応答関数φ(λ))か
ら得られる。また、検出出力RB についてのモーメント
0B,M2Bも、式(3a),(3c)を用いて光検出器
104bの波長特性(図2の曲線B)から得られる定数
である。実効波長λ0 も光検出器104aの波長特性か
ら決まるため、パラメータXA ,XB は光検出器104
a,bによって決まる一定の値である(式(10a),
(10b))。
【0036】信号処理部105は、検出出力RA ,RB
から比rを演算するブロック105a,比rとパラメー
タXA ,XB とから式9を用いて内部パラメータZを求
めるブロック105b,内部パラメータZから温度Tを
求めるブロック105cとで構成される(図3)。パラ
メータXA ,XB の設定については、その値をそのまま
入力しても、モーメントM0A,M2A,M0B,M2B及び波
長λ0 を入力することでも設定される。後者の場合は、
式(10a),(10b)の演算によりパラメータ
A ,XB の設定が行われる。
【0037】つぎに、図1の放射温度計の動作について
説明する。
【0038】まず、モーメントM0A,M2A,M0B,M2B
及び波長λ0 について、例えば、表1の値を設定してお
くか、又は、表1に対応するパラメータXA ,XB を設
定しておく。
【0039】
【表1】
【0040】放射温度計を測定対象の方に向け、測定対
象からの光を放射温度計内部に入射させる。測定対象か
らの光は、レンズ102にて集光され、ハーフミラー1
03で分岐されてそれぞれ光検出器104a,bで検出
される。光検出器104a,bの検出出力RA ,R
B は、信号処理部105へ入力され、それらの比rが算
出される。信号処理部105では、式(9),(8)の
演算がなされ、比rから内部パラメータZが求められて
温度Tが求められ、この温度Tが外部に出力される。セ
氏400〜1000度において、比rと温度Tは図4の
ような関係になる。
【0041】この放射温度計では、式(9),(8)の
ような放射率εに依存しない演算で温度Tを求めてい
る。そのため、前述の従来例のように繰り返し計算を行
う必要がないので、信号処理部105の応答が早い。ま
た、式(9),(8)のような簡単な演算であるため、
その処理は小さなハードウェアで実現することができ、
信号処理部105は、簡素なものになる。この放射温度
計は、リアルタイムの温度計測を行うことが要求される
システムに好適であり、また、簡素なものであるため、
開発期間が短く、低い製造コストで製作することができ
る。
【0042】つぎに、第2の実施例について説明する。
【0043】前述の実施例は、信号処理部105を式
(9),(8)の演算を行うものとした場合について説
明したが、信号処理部105を比rから温度Tへの変換
テーブルを持つ構成にしても良い。図5は、この場合の
信号処理部105の構成を示したものである。この信号
処理部105は、ブロック105b,cにかえて変換テ
ーブル105dとしたものである。変換テーブル105
dは、前述の表1に対応するものとする場合は、図4の
相関を与えておく。この場合の動作は、式(9),
(8)の演算にかえて、変換テーブルで比rから対応す
る温度Tを検索して求める点が異なるがそのほかについ
てはほぼ同様である。
【0044】比rと温度Tの関係が簡単なものである場
合、変換テーブル105dも簡単なものになる。そのた
め、比rから対応する温度Tを検索する時間が短いもの
になる。温度Tの精度は変換テーブル105dの大きさ
に比例し、高精度を要求されると大きな変換テーブル1
05dが必要になる。
【0045】つぎに、第3の実施例について説明する。
【0046】前述の実施例は、複数の光検出器を用いた
例を示したが、1つの検出器をもちいても実現可能であ
る。図6は、この場合の構成を示したものである。
【0047】この図6の放射温度計は、光検出器104
a,bにかえて光検出器108の一つとし、フィルタモ
ジュール107で光検出器108への光の分光分布を変
えている点に特徴を有する。フィルタモジュール107
は、2種のフィルタ107a,bを有し、モータMによ
り回転するようになっている。端部にはセンサ(フォト
カプラ)106が設けられ、このセンサ106は、どの
フィルタが光検出器108の位置にあるかを検出し、信
号処理部115へ出力する。
【0048】光検出器108は、図8のような特性を持
ち、フィルタ107a,bの特性(図9)とあわせた総
合特性は前述の実施例と同等の特性(図2)としてい
る。信号処理部115は、図3または図6に示した温度
Tを求めるプロセスに加えて、センサ106からの信号
によりどのフィルタが光検出器108の位置にきている
かで光検出器108の検出出力が前述の検出出力RA
B に対応するかを判別する。またモータMの回転の制
御も行う。
【0049】この放射温度計の動作においては、信号処
理部115の制御によりモータMにより回転し、フィル
タ107a,bが切り替えられる。光検出器108とフ
ィルタ107a,bとあわせた総合特性が変化し、光検
出器108からは、フィルタ107aが光検出器108
の位置にあるのがフィルタ107aであると検出出力R
A が、フィルタ107bであると検出出力RB が出力さ
れる。信号処理部115では、センサ106からの信号
により検出出力RA ,RB に対応するかを判別され、比
rが求められる。これより後は前述の実施例と同様にし
て温度Tが求められる。
【0050】この放射温度計は、光検出器が1つである
ため光学系が簡素化し、光検出器1008からシーケン
シャルに信号処理部115に出力されるため配線を若干
簡単しうる点はあるが、処理速度が若干遅くなるという
欠点もある。このほかについては、前述の実施例と同様
である。
【0051】本発明は前述の実施例に限らず様々な変形
が可能である。
【0052】例えば、第1実施例において信号処理部は
パラメータXA ,XB を設定しておくようにして温度T
を求めたが、検出出力RA ,RB を入力するごとにモー
メントM0A,M2A,M0B,M2B及び波長λ0 を用いて温
度Tを求めるようにしてもよい。
【0053】また、光検出器を2つのもの、或いは、フ
ィルタモジュールが2種のフィルタを持つものに付いて
示したが複数であっても良い。
【0054】さらに、信号処理部での演算又は変換テー
ブルは、理論式によるものを示したが、実験式、実験デ
ータなどによるものでも良い。
【0055】
【発明の効果】以上の通り本発明の放射温度計によれ
ば、実効波長での異なった波長特性の検出出力の比から
測定対象の温度を求めており、それらの関係は放射率の
変化に依存しないため、放射率の変化の補正などをする
のが不要になって簡素な構成で測定対象の温度を得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る放射温度計の全体
構成図。
【図2】光検出器の特性図。
【図3】信号処理部のプロセスの一例を示す図。
【図4】比と温度の関係を示す図。
【図5】第2実施例に係る信号処理部のプロセスの一例
を示す図。
【図6】本発明の第3の実施例に係る放射温度計の全体
構成図。
【図7】フィルタモジュールの構成図。
【図8】第3の実施例に係る光検出器の特性図。
【図9】フィルタモジュールのフィルタの特性図。
【符号の説明】
104a,b,108…光検出器、105…信号処理
部、107a,b…フィルタ、RA ,RB …検出出力、
T…温度

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定対象からの光を、略等しい実効波長
    にて異なった波長特性で検出する第1の手段と、 前記異なった波長特性での前記光の検出出力からそれら
    の比を算出し、前記比から前記測定対象の温度を求める
    第2の手段とを備えたことを特徴とする放射温度計。
  2. 【請求項2】 前記第1の手段は、略等しい実効波長で
    異なった波長特性を有する光検出器を含んで構成されて
    いることを特徴とする請求項1記載の放射温度計。
  3. 【請求項3】 前記第1の手段は、 略等しい実効波長であるが異なった波長特性をもつ複数
    のフィルタと、 前記フィルタを透過する測定対象からの光を検出する検
    出器とを含んで構成されていることを特徴とする請求項
    1記載の放射温度計。
  4. 【請求項4】 前記第2の手段は、前記比と前記測定対
    象の温度との関係式に基づいて前記比から前記測定対象
    の温度を求めることを特徴とする請求項1記載の放射温
    度計。
  5. 【請求項5】 前記第2の手段は、予め決められた前記
    比と前記測定対象の温度との相関を用いて前記比から前
    記測定対象の温度を求めることを特徴とする請求項1記
    載の放射温度計。
JP10462492A 1992-04-23 1992-04-23 放射温度計 Pending JPH05296848A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10462492A JPH05296848A (ja) 1992-04-23 1992-04-23 放射温度計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10462492A JPH05296848A (ja) 1992-04-23 1992-04-23 放射温度計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05296848A true JPH05296848A (ja) 1993-11-12

Family

ID=14385600

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10462492A Pending JPH05296848A (ja) 1992-04-23 1992-04-23 放射温度計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05296848A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008185482A (ja) * 2007-01-30 2008-08-14 Hamamatsu Photonics Kk 温度計測装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008185482A (ja) * 2007-01-30 2008-08-14 Hamamatsu Photonics Kk 温度計測装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4845647A (en) Method and apparatus for determining temperature in a blackbody radiation sensing system
US4750139A (en) Blackbody radiation sensing optical fiber thermometer system
US6050722A (en) Non-contact passive temperature measuring system and method of operation using micro-mechanical sensors
CA1158887A (en) Surface temperature measuring apparatus for object within furnace
US3777568A (en) D. c. electronic apparatus for ir radiation temperature measurement
EP0483394A1 (en) Method and apparatus to simultaneously measure emissivities and thermodynamic temperature of remote objects
US5772323A (en) Temperature determining device and process
EP0300529A1 (en) Temperature measurement
US6016190A (en) Method and apparatus for true temperature determination
GB2414796A (en) Optical wavelength determination using multiple measurable features
US6379038B1 (en) Temperature determining device and process
US5690429A (en) Method and apparatus for emissivity independent self-calibrating of a multiwavelength pyrometer
RU2083961C1 (ru) Способ измерения температуры и коэффициента излучения поверхности
JPH05296848A (ja) 放射温度計
JPH0464417B2 (ja)
JPH0235322A (ja) 放射体温計
JP2003214956A (ja) 温度測定方法、温度測定装置、半導体装置の製造方法、及び記憶媒体
JPH0676922B2 (ja) 放射温度測定装置
JPH10104084A (ja) 多色温度計
JPS61175534A (ja) 放射率測定装置
Norkus et al. Pyroelectric multispectral detectors and their applications
JPS6138806B2 (ja)
JPH06137953A (ja) 赤外線センサによる温度測定方法及び装置並びに放射率測定方法及び装置
JPH06347330A (ja) 赤外線センサによる温度測定方法及び装置
JP2004219114A (ja) 多色赤外線撮像装置及びデータ処理方法