JPH05296706A - 形状計測センサ - Google Patents
形状計測センサInfo
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- JPH05296706A JPH05296706A JP4956792A JP4956792A JPH05296706A JP H05296706 A JPH05296706 A JP H05296706A JP 4956792 A JP4956792 A JP 4956792A JP 4956792 A JP4956792 A JP 4956792A JP H05296706 A JPH05296706 A JP H05296706A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、簡単な構成により、検出素子の高
密度化を図りつつ、検出精度の高い形状計測センサを提
供することを目的とする。 【構成】 導電性を有する弾性体１と、分極方向を対向
させて前記弾性体１の表裏へ形成した一対の圧電体３，
５と、このような一対の圧電体を複数形成した圧電体群
と、弾性体を共通電極としてそれぞれの一対の圧電体の
一方の圧電体出力から他方の圧電体出力を減算する減算
手段７とを備えて構成した。
密度化を図りつつ、検出精度の高い形状計測センサを提
供することを目的とする。 【構成】 導電性を有する弾性体１と、分極方向を対向
させて前記弾性体１の表裏へ形成した一対の圧電体３，
５と、このような一対の圧電体を複数形成した圧電体群
と、弾性体を共通電極としてそれぞれの一対の圧電体の
一方の圧電体出力から他方の圧電体出力を減算する減算
手段７とを備えて構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はシート等の変形した物体
の形状を計測するために用いられる形状計測センサに関
するものである。
の形状を計測するために用いられる形状計測センサに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年においては、圧電体や歪ゲージ等の
検出素子を用いた種々のセンサが開発されている。
検出素子を用いた種々のセンサが開発されている。
【０００３】特開平３−２６６８号公報には圧電型加速
度センサが示されている。この圧電型加速度センサは、
台座の感知軸に垂直な測定面に膜状圧電体を固着し、こ
の膜状圧電体上に荷重体を固着して構成される。また、
圧電型加速度センサは上記膜状圧電体を複数枚の積層構
造にして出力レベルを増大することにより、検出精度の
向上を図るようにしている。
度センサが示されている。この圧電型加速度センサは、
台座の感知軸に垂直な測定面に膜状圧電体を固着し、こ
の膜状圧電体上に荷重体を固着して構成される。また、
圧電型加速度センサは上記膜状圧電体を複数枚の積層構
造にして出力レベルを増大することにより、検出精度の
向上を図るようにしている。
【０００４】また、図１０は歪ゲージを用いた従来の形
状計測センサ１０１の外観斜視図であり、図１１はその
回路図である。テープ状の弾性金属板１０３の表面へ金
属製の歪ゲージ１０５，１０７，１０９を張り付けると
共に、裏面へ歪ゲージ１１１，１１３，１１５を張り付
けている。このような形状計測センサ１０１を例えば、
シートの上に配置しておき、シートへ着座したときの弾
性金属板１０３の変形を歪ゲージで検出することによ
り、シートの形状を測定することができる。
状計測センサ１０１の外観斜視図であり、図１１はその
回路図である。テープ状の弾性金属板１０３の表面へ金
属製の歪ゲージ１０５，１０７，１０９を張り付けると
共に、裏面へ歪ゲージ１１１，１１３，１１５を張り付
けている。このような形状計測センサ１０１を例えば、
シートの上に配置しておき、シートへ着座したときの弾
性金属板１０３の変形を歪ゲージで検出することによ
り、シートの形状を測定することができる。
【０００５】ところで、金属製の歪ゲージを検出素子と
して用いた場合は、歪ゲージ１個当たりの検出出力が小
さいので、形状計測センサ１０１の検出精度の向上を図
るためには、図１１に示すように複数の歪ゲージと抵抗
Ｒを用いてブリッジ回路を構成することにより、形状計
測センサ１０１の出力レベルの増大を図る必要があっ
た。
して用いた場合は、歪ゲージ１個当たりの検出出力が小
さいので、形状計測センサ１０１の検出精度の向上を図
るためには、図１１に示すように複数の歪ゲージと抵抗
Ｒを用いてブリッジ回路を構成することにより、形状計
測センサ１０１の出力レベルの増大を図る必要があっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の形状計測センサにあっては、上記ブリッジ回
路用の抵抗Ｒ及び電源線を各歪ゲージの近傍へ組み付け
なければならず、回路構成が複雑化し、検出素子の高密
度化が図れないという問題点を有していた。
うな従来の形状計測センサにあっては、上記ブリッジ回
路用の抵抗Ｒ及び電源線を各歪ゲージの近傍へ組み付け
なければならず、回路構成が複雑化し、検出素子の高密
度化が図れないという問題点を有していた。
【０００７】本発明は上記課題に鑑みてなされたもの
で、簡単な構成により、検出素子の高密度化を図りつ
つ、検出精度の高い形状計測センサを提供することを目
的とする。
で、簡単な構成により、検出素子の高密度化を図りつ
つ、検出精度の高い形状計測センサを提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る形状計測センサは図１に示すように、導
電性を有する弾性体１と、この弾性体１の表裏へ分極方
向を対向させて形成される一対の圧電体３，５と、この
一対の圧電体３，５を複数形成して成る圧電体群と、こ
の圧電体群を構成するそれぞれの一対の圧電体及び前記
弾性体１とリード線を介して接続され、当該弾性体１を
共通電極としてそれぞれの一対の圧電体の一方の圧電体
出力から他方の圧電体出力を減算する減算手段７とを有
して構成した。
に本発明に係る形状計測センサは図１に示すように、導
電性を有する弾性体１と、この弾性体１の表裏へ分極方
向を対向させて形成される一対の圧電体３，５と、この
一対の圧電体３，５を複数形成して成る圧電体群と、こ
の圧電体群を構成するそれぞれの一対の圧電体及び前記
弾性体１とリード線を介して接続され、当該弾性体１を
共通電極としてそれぞれの一対の圧電体の一方の圧電体
出力から他方の圧電体出力を減算する減算手段７とを有
して構成した。
【０００９】
【作用】本発明は、弾性体１の表裏へ形成された一対の
圧電体３，５の分極方向を対向させ、このような検出素
子としての一対の圧電体を複数形成して成り、弾性体１
を共通電極としてそれぞれの一対の圧電体の一方の圧電
体出力から他方の圧電体出力を減算することにより、簡
単な構成で不必要な応力の影響を除去することができ、
また、検出素子の高密度化を図りつつ、出力レベルの増
大により検出精度の高い形状計測センサを実現すること
ができる。
圧電体３，５の分極方向を対向させ、このような検出素
子としての一対の圧電体を複数形成して成り、弾性体１
を共通電極としてそれぞれの一対の圧電体の一方の圧電
体出力から他方の圧電体出力を減算することにより、簡
単な構成で不必要な応力の影響を除去することができ、
また、検出素子の高密度化を図りつつ、出力レベルの増
大により検出精度の高い形状計測センサを実現すること
ができる。
【００１０】
【実施例】以下本発明に係る−実施例を図面を参照して
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１１】まず、図２乃至図５を参照して本発明に係
る形状計測センサ１１の構成を説明する。この形状計測
センサ１１は従来例と同様に車両のシートの形状の計測
に用いられるものである。
る形状計測センサ１１の構成を説明する。この形状計測
センサ１１は従来例と同様に車両のシートの形状の計測
に用いられるものである。
【００１２】シートの着座面へ設けられる導電性の弾性
金属板１３の表裏には複数対の圧電体が形成されてい
る。すなわち、弾性金属板１３の表面には高分子の薄膜
で成る複数の圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…が形成
されている。弾性金属板１３の裏面には前記圧電体１５
ａと対向する位置に圧電体１７ａが形成され、同様に圧
電体１５ｂと対向する位置に圧電体１７ｂが形成され、
同様に圧電体１５ｃと対向する位置に圧電体１７ｃが形
成されている。圧電体１５ａと圧電体１７ａとで一対の
圧電体を形成し、同様に圧電体１５ｂと圧電体１７ｂと
で一対の圧電体を形成し、同様に圧電体１５ｃと圧電体
１７ｃとで一対の圧電体を形成しており、このような複
数対の圧電体により圧電体群を構成している。従って、
圧電体群は一方対の圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…
と、他方対の圧電体１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，…とから
形成されている。前記弾性金属板１３はシートの着座面
の形状に合わせられるように、薄い金属板により形成さ
れている。
金属板１３の表裏には複数対の圧電体が形成されてい
る。すなわち、弾性金属板１３の表面には高分子の薄膜
で成る複数の圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…が形成
されている。弾性金属板１３の裏面には前記圧電体１５
ａと対向する位置に圧電体１７ａが形成され、同様に圧
電体１５ｂと対向する位置に圧電体１７ｂが形成され、
同様に圧電体１５ｃと対向する位置に圧電体１７ｃが形
成されている。圧電体１５ａと圧電体１７ａとで一対の
圧電体を形成し、同様に圧電体１５ｂと圧電体１７ｂと
で一対の圧電体を形成し、同様に圧電体１５ｃと圧電体
１７ｃとで一対の圧電体を形成しており、このような複
数対の圧電体により圧電体群を構成している。従って、
圧電体群は一方対の圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…
と、他方対の圧電体１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，…とから
形成されている。前記弾性金属板１３はシートの着座面
の形状に合わせられるように、薄い金属板により形成さ
れている。
【００１３】また、図４に拡大して示すように一方対の
圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…の分極方向Ｆ１と、
他方対の圧電体１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，…の分極方向
Ｆ２とを対向させて配置している。弾性金属板１３は外
部からの押圧力を受けた場合に、当該押圧力に応じて変
形する基材である。従って、弾性金属板１３の変形に沿
って圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…及び圧電体１７
ａ，１７ｂ，１７ｃ，…が変形して圧電効果を生じる。
例えば、乗員がシートに着座したときに弾性金属板１３
が湾曲すると、この弾性金属板１３の湾曲に応じて圧電
体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…及び圧電体１７ａ，１７
ｂ，１７ｃ，…に圧電効果を生じる。また、弾性金属板
１３は圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…及び圧電体１
７ａ，１７ｂ，１７ｃ，…の一方の面と電気的に導通
し、これらの共通電極として用いられる。従って、図５
に示すように圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…の共通
電極と、圧電体１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，…の共通電極
とが導電性の弾性金属板１３を介して相互に接続されて
いる。また、圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…の他方
の面には電極１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，…が固着されて
いる。各電極１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，…からはリード
線２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…が引き出され、それぞれ
のリード線２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は弾性金属板１
３の表面側に形成されている。同様に、圧電体１７ａ，
１７ｂ，１７ｃ，…の他方の面には電極２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，…が固着されている。各電極２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，…からはリード線２５ａ，２５ｂ，２５
ｃ，…が引き出され、それぞれのリード線２５ａ，２５
ｂ，２５ｃ，…は弾性金属板１３の裏面側に形成されて
いる。
圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…の分極方向Ｆ１と、
他方対の圧電体１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，…の分極方向
Ｆ２とを対向させて配置している。弾性金属板１３は外
部からの押圧力を受けた場合に、当該押圧力に応じて変
形する基材である。従って、弾性金属板１３の変形に沿
って圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…及び圧電体１７
ａ，１７ｂ，１７ｃ，…が変形して圧電効果を生じる。
例えば、乗員がシートに着座したときに弾性金属板１３
が湾曲すると、この弾性金属板１３の湾曲に応じて圧電
体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…及び圧電体１７ａ，１７
ｂ，１７ｃ，…に圧電効果を生じる。また、弾性金属板
１３は圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…及び圧電体１
７ａ，１７ｂ，１７ｃ，…の一方の面と電気的に導通
し、これらの共通電極として用いられる。従って、図５
に示すように圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…の共通
電極と、圧電体１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，…の共通電極
とが導電性の弾性金属板１３を介して相互に接続されて
いる。また、圧電体１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，…の他方
の面には電極１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，…が固着されて
いる。各電極１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，…からはリード
線２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…が引き出され、それぞれ
のリード線２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，…は弾性金属板１
３の表面側に形成されている。同様に、圧電体１７ａ，
１７ｂ，１７ｃ，…の他方の面には電極２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，…が固着されている。各電極２３ａ，２３
ｂ，２３ｃ，…からはリード線２５ａ，２５ｂ，２５
ｃ，…が引き出され、それぞれのリード線２５ａ，２５
ｂ，２５ｃ，…は弾性金属板１３の裏面側に形成されて
いる。
【００１４】従って、後述するように弾性金属板１３を
共通電極として、リード線２１ａを介して得られる出力
と、リード線２５ａを介して得られる出力との差を算出
する。同様に、リード線２１ｂを介して得られる出力
と、リード線２５ｂを介して得られる出力との差を算出
する。また、リード線２１ｃを介して得られる出力と、
リード線２５ｃを介して得られる出力との差を算出す
る。
共通電極として、リード線２１ａを介して得られる出力
と、リード線２５ａを介して得られる出力との差を算出
する。同様に、リード線２１ｂを介して得られる出力
と、リード線２５ｂを介して得られる出力との差を算出
する。また、リード線２１ｃを介して得られる出力と、
リード線２５ｃを介して得られる出力との差を算出す
る。
【００１５】次に、図６を参照して一方対の圧電体１５
ａと、他方対の圧電体１７ａとの間に接続される回路部
の構成を説明する。
ａと、他方対の圧電体１７ａとの間に接続される回路部
の構成を説明する。
【００１６】圧電体１５ａ側の電極１９ａはリード線を
介してチャージアンプ２７の一方の入力端子と接続さ
れ、チャージアンプ２７の他方の入力端子はリード線を
介して共通電極としての弾性金属板１３と接続されてい
る。同様に、圧電体１７ａ側の電極２３ａはリード線を
介してチャージアンプ２９の一方の入力端子と接続さ
れ、チャージアンプ２９の他方の入力端子はリード線を
介して共通電極としての弾性金属板１３と接続されてい
る。また、チャージアンプ２７の出力端子は減算器３１
の一方の入力端子と接続され、チャージアンプ２９の出
力端子は減算器３１の他方の入力端子と接続されてい
る。これらのチャージアンプ２７，２９，減算器３１
は、一方対の圧電体出力から他方対の圧電体出力を減算
するための減算手段である。また、形状計測センサ１１
の検出素子である圧電体の高密度化を図るために、チャ
ージアンプ２７，２９，減算器３１は、弾性金属板１３
以外の適宜の位置、例えば、シートの近傍等へ設けられ
る。
介してチャージアンプ２７の一方の入力端子と接続さ
れ、チャージアンプ２７の他方の入力端子はリード線を
介して共通電極としての弾性金属板１３と接続されてい
る。同様に、圧電体１７ａ側の電極２３ａはリード線を
介してチャージアンプ２９の一方の入力端子と接続さ
れ、チャージアンプ２９の他方の入力端子はリード線を
介して共通電極としての弾性金属板１３と接続されてい
る。また、チャージアンプ２７の出力端子は減算器３１
の一方の入力端子と接続され、チャージアンプ２９の出
力端子は減算器３１の他方の入力端子と接続されてい
る。これらのチャージアンプ２７，２９，減算器３１
は、一方対の圧電体出力から他方対の圧電体出力を減算
するための減算手段である。また、形状計測センサ１１
の検出素子である圧電体の高密度化を図るために、チャ
ージアンプ２７，２９，減算器３１は、弾性金属板１３
以外の適宜の位置、例えば、シートの近傍等へ設けられ
る。
【００１７】尚、他のそれぞれの一対の圧電体間に接続
される回路部、例えば、圧電体１５ｂ、１７ｂ間に接続
される回路部、及び圧電体１５ｃ、１７ｃ間に接続され
る回路部の構成も図６に示したと同様であり、詳細な説
明を省略する。
される回路部、例えば、圧電体１５ｂ、１７ｂ間に接続
される回路部、及び圧電体１５ｃ、１７ｃ間に接続され
る回路部の構成も図６に示したと同様であり、詳細な説
明を省略する。
【００１８】次に、図６、図７及び図８を参照して作用
を説明する。
を説明する。
【００１９】図６は測定前の状態、すなわち乗員がシー
トへ着座していない状態を示したものであり、圧電体１
５ａ、１７ａには押圧力が加えられておらず、圧電体１
５ａ、１７ａから出力される電荷は０である。従って、
チャージアンプ２７，２９の出力は０であり、減算器３
１の出力も０である。
トへ着座していない状態を示したものであり、圧電体１
５ａ、１７ａには押圧力が加えられておらず、圧電体１
５ａ、１７ａから出力される電荷は０である。従って、
チャージアンプ２７，２９の出力は０であり、減算器３
１の出力も０である。
【００２０】次に、弾性金属板１３を設けたシートへ乗
員が着座すると、着座による押圧で弾性金属板１３が変
形する。例えば、乗員の膝部分と対応するシートの先端
部等では図７に示すように弾性金属板１３が湾曲する。
このような弾性金属板１３の曲率変形により圧電体１５
ａと圧電体１７ａには相反する応力が発生する。すなわ
ち、圧電体１５ａには引張力ｆｔが作用すると共に、圧
電体１７ａには圧縮力ｆｃが作用する。このとき、圧電
体１５ａ、１７ａには次式で示す電荷Ｑが発生する。
員が着座すると、着座による押圧で弾性金属板１３が変
形する。例えば、乗員の膝部分と対応するシートの先端
部等では図７に示すように弾性金属板１３が湾曲する。
このような弾性金属板１３の曲率変形により圧電体１５
ａと圧電体１７ａには相反する応力が発生する。すなわ
ち、圧電体１５ａには引張力ｆｔが作用すると共に、圧
電体１７ａには圧縮力ｆｃが作用する。このとき、圧電
体１５ａ、１７ａには次式で示す電荷Ｑが発生する。
【００２１】 Ｑ＝ｄ３１×Ｆ （１） 但し、ｄ３１：圧電定数 Ｆ：力 ここで、圧電体１５ａには正の電荷＋Ｑが蓄えられ、圧
電体１７ａには負の電荷−Ｑが蓄えられる。そして、チ
ャージアンプ２７は圧電体１５ａからの正の電荷＋Ｑを
電圧＋Ｖ１に変換し、チャージアンプ２９は圧電体１７
ａからの負の電荷−Ｑを電圧−Ｖ１に変換する。減算器
３１は電圧＋Ｖ１から電圧−Ｖ１を減算し、電圧＋２Ｖ
１を出力する。この減算器３１からの出力に基づいて弾
性金属板１３の変形曲率を演算し、各圧電体の変形曲率
が演算される。これにより、各圧電体の変形曲率からシ
ート等の測定対象面の形状を演算することができる。
電体１７ａには負の電荷−Ｑが蓄えられる。そして、チ
ャージアンプ２７は圧電体１５ａからの正の電荷＋Ｑを
電圧＋Ｖ１に変換し、チャージアンプ２９は圧電体１７
ａからの負の電荷−Ｑを電圧−Ｖ１に変換する。減算器
３１は電圧＋Ｖ１から電圧−Ｖ１を減算し、電圧＋２Ｖ
１を出力する。この減算器３１からの出力に基づいて弾
性金属板１３の変形曲率を演算し、各圧電体の変形曲率
が演算される。これにより、各圧電体の変形曲率からシ
ート等の測定対象面の形状を演算することができる。
【００２２】尚、シートの先端部に位置する他のそれぞ
れの一対の圧電体間における作用も上記と同様である。
れの一対の圧電体間における作用も上記と同様である。
【００２３】一方、乗員がシートへ着座した場合に当該
シートの着座面中央部では、図８に示すように圧電体１
５ａには圧縮力ｆｃ２が加わり、同時に圧電体１７ａに
も等しい圧縮力ｆｃ２が加わっているので、この圧縮力
ｆｃ２は上記減算器３１の減算によって除去される。こ
のとき、焦電性により圧電体１５ａ，１７ａに発生する
電荷も同様に除去される。すなわち、圧電体１５ａ，１
７ａの温度上昇により、各圧電体１５ａ，１７ａの表面
に分極電荷が現れる場合があるが、これらの分極電荷は
上記減算器３１の減算によって除去される。
シートの着座面中央部では、図８に示すように圧電体１
５ａには圧縮力ｆｃ２が加わり、同時に圧電体１７ａに
も等しい圧縮力ｆｃ２が加わっているので、この圧縮力
ｆｃ２は上記減算器３１の減算によって除去される。こ
のとき、焦電性により圧電体１５ａ，１７ａに発生する
電荷も同様に除去される。すなわち、圧電体１５ａ，１
７ａの温度上昇により、各圧電体１５ａ，１７ａの表面
に分極電荷が現れる場合があるが、これらの分極電荷は
上記減算器３１の減算によって除去される。
【００２４】尚、シートの着座面中央部に位置する他の
それぞれの一対の圧電体間における作用も上記と同様で
ある。
それぞれの一対の圧電体間における作用も上記と同様で
ある。
【００２５】以上のごとく、減算器３１が一方対の圧電
体出力から他方対の圧電体出力を減算するように構成し
たので、弾性金属板１３に加わる引張力、圧縮力の影
響、及び焦電性により発生した電荷の影響を除去するこ
とができる。従って、不必要な応力等の影響を除去する
ことができる。また、減算器３１からの出力レベルの増
大により、検出精度の高い形状計測センサを実現するこ
とができる。
体出力から他方対の圧電体出力を減算するように構成し
たので、弾性金属板１３に加わる引張力、圧縮力の影
響、及び焦電性により発生した電荷の影響を除去するこ
とができる。従って、不必要な応力等の影響を除去する
ことができる。また、減算器３１からの出力レベルの増
大により、検出精度の高い形状計測センサを実現するこ
とができる。
【００２６】また、形状を知るために必要な引張力、圧
縮力は、前述したように２倍のＶの出力であり、反対に
単なる圧縮力は出力がキャンセルされ０である。
縮力は、前述したように２倍のＶの出力であり、反対に
単なる圧縮力は出力がキャンセルされ０である。
【００２７】次に、図９を参照して本発明に係る他の実
施例を説明する。
施例を説明する。
【００２８】本実施例は、高分子薄膜で成る複数の圧電
体の代わりにセラミック製の圧電体を用いて構成したこ
とを特徴とする。すなわち、共通電極を兼ねる導電性の
弾性金属板３３の表面にはセラミック製の圧電体３５
ａ，３５ｂ，３５ｃ，…が形成され、弾性金属板３３の
裏面にはセラミック製の圧電体３７ａ，３７ｂ，３７
ｃ，…が形成されている。また、一方対の圧電体３５
ａ，３５ｂ，３５ｃ，…には電極３９ａ，３９ｂ，３９
ｃ，…が固着され、他方対の圧電体３７ａ，３７ｂ，３
７ｃ，…には電極４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，…が固着さ
れている。
体の代わりにセラミック製の圧電体を用いて構成したこ
とを特徴とする。すなわち、共通電極を兼ねる導電性の
弾性金属板３３の表面にはセラミック製の圧電体３５
ａ，３５ｂ，３５ｃ，…が形成され、弾性金属板３３の
裏面にはセラミック製の圧電体３７ａ，３７ｂ，３７
ｃ，…が形成されている。また、一方対の圧電体３５
ａ，３５ｂ，３５ｃ，…には電極３９ａ，３９ｂ，３９
ｃ，…が固着され、他方対の圧電体３７ａ，３７ｂ，３
７ｃ，…には電極４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，…が固着さ
れている。
【００２９】尚、上記以外の構成、作用については図２
乃至図６に示した実施例と同様であり、詳細な説明を省
略する。
乃至図６に示した実施例と同様であり、詳細な説明を省
略する。
【００３０】
【発明の効果】以上説明してきたように本発明によれ
ば、弾性体の表裏へ形成した一対の圧電体の分極方向を
対向させると共に、このような一対の圧電体を複数形成
して圧電体群を構成する。そして、弾性体を共通電極と
してそれぞれの一対の圧電体の一方の圧電体出力から他
方の圧電体出力を減算するように構成したので、簡単な
構成により検出素子の高密度化、及び出力レベルの増大
を達成することができる。また、不必要な応力の影響を
除去することができ、検出精度の高い形状計測センサを
実現することができる。
ば、弾性体の表裏へ形成した一対の圧電体の分極方向を
対向させると共に、このような一対の圧電体を複数形成
して圧電体群を構成する。そして、弾性体を共通電極と
してそれぞれの一対の圧電体の一方の圧電体出力から他
方の圧電体出力を減算するように構成したので、簡単な
構成により検出素子の高密度化、及び出力レベルの増大
を達成することができる。また、不必要な応力の影響を
除去することができ、検出精度の高い形状計測センサを
実現することができる。
【図１】クレ−ム対応図である。
【図２】本発明に係る実施例の縦断面図である。
【図３】本発明に係る実施例の平面図である。
【図４】本発明に係る実施例の部分拡大図である。
【図５】本発明に係る実施例の回路図である。
【図６】本発明に係る実施例において測定前の状態を示
した説明図である。
した説明図である。
【図７】本発明に係る実施例において弾性金属板の一方
の面から押圧力を加えた状態を示した説明図である。
の面から押圧力を加えた状態を示した説明図である。
【図８】本発明に係る実施例において圧電体へ圧縮力が
加わった場合を示した説明図である。
加わった場合を示した説明図である。
【図９】本発明に係る他の実施例の縦断面図である。
【図１０】従来例の斜視図である。
【図１１】従来例の回路図である。
１ 弾性体 ３，５ 圧電体 ７ 減算手段
Claims (1)
- 【請求項１】 導電性を有する弾性体と、 この弾性体の表裏へ分極方向を対向させて形成される一
対の圧電体と、 この一対の圧電体を複数形成して成る圧電体群と、 この圧電体群を構成するそれぞれの一対の圧電体及び前
記弾性体とリード線を介して接続され、当該弾性体を共
通電極としてそれぞれの一対の圧電体の一方の圧電体出
力から他方の圧電体出力を減算する減算手段と、 を有することを特徴とする形状計測センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4956792A JPH05296706A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 形状計測センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4956792A JPH05296706A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 形状計測センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05296706A true JPH05296706A (ja) | 1993-11-09 |
Family
ID=12834787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4956792A Pending JPH05296706A (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 形状計測センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05296706A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007121159A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Tokai Rubber Ind Ltd | 変位量検出装置 |
| JP2009042173A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Toshiba Corp | 超音波探傷装置および超音波探傷方法 |
| JP2018513391A (ja) * | 2015-04-17 | 2018-05-24 | ベンド ラボ、インコーポレイテッド | 適合性多領域角変位および歪みセンサ |
| JP2018194483A (ja) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | 大日本印刷株式会社 | センサーユニット、およびセンサーモジュール |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63149504A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Daikin Ind Ltd | 角度検出装置 |
| JPS6441803A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | Kazuo Tsuchiya | Apparatus for measuring angle and displacement quantity using electric resistor piece |
-
1992
- 1992-03-06 JP JP4956792A patent/JPH05296706A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
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Cited By (4)
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