JPH05294603A - 窒化アルミニウム粉末の製造方法 - Google Patents

窒化アルミニウム粉末の製造方法

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JPH05294603A
JPH05294603A JP9961992A JP9961992A JPH05294603A JP H05294603 A JPH05294603 A JP H05294603A JP 9961992 A JP9961992 A JP 9961992A JP 9961992 A JP9961992 A JP 9961992A JP H05294603 A JPH05294603 A JP H05294603A
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JP
Japan
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sulfur
aluminum nitride
nitride powder
powder
containing compound
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Application number
JP9961992A
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Inventor
Takashio Rai
高潮 頼
Yoshiki Hashizume
良樹 橋詰
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Toyo Aluminum KK
Original Assignee
Toyo Aluminum KK
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/06Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
    • C01B21/072Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
    • C01B21/0722Preparation by direct nitridation of aluminium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
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    • C01B21/072Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
    • C01B21/0728After-treatment, e.g. grinding, purification

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】酸素含有量の極めて少ない微細な窒化アルミニ
ウム粉末を製造する方法を提供する。 【構成】15gの金属アルミニウム粉末(粒径30μm
以下)に、15gの窒化アルミニウム粉末(粒径8μm
以下)と種々の量の硫黄とを加えて乳鉢でよく混合し、
この混合物をカーボンるつぼに充填した。これを反応炉
に入れ、真空下、150℃で2時間加熱した後、窒素/
アルゴン(10%Ar)混合ガス中で1200℃に昇温
して2時間保持することにより製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、酸素含有量の極めて少
ない微細な窒化アルミニウム粉末を製造する方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来の窒化アルミニウム粉末の製造方法
には、金属アルミニウム粉末を窒化性雰囲気中で燃焼さ
せることからなる直接窒化法がある。この直接窒化法で
は、急激な発熱を伴って約2000℃にも達する。ま
た、生成した窒化アルミニウム粉末は互いに凝集した硬
くて大きな塊状であり、一部焼結も進んでいる。
【0003】このため、低温窒化反応促進剤を使用して
窒化反応速度を制御することが提案されている。低温窒
化反応促進剤として使用される物質は以下の要件を満た
すものでなければならない。
【0004】(a)低温で金属アルミニウムと中間生成
物を形成し、さらに窒化反応を促進するもの; (b)不純物元素を残留しないもの; (c)微量の添加で効果を発揮するもの; (d)生成粉の微細化により酸素量の増加を抑えられる
もの;および (e)取扱い、後処理が簡単なもの。
【0005】しかしながら、公知の低温窒化反応促進剤
として使用されている物質はこれらの要件を十分に満た
しているとはいえないものであった。すなわち、含窒素
有機化合物(特公昭49−45479)は有機化合物の
添加量が多いため不純物が多く混入し、窒化アルミニウ
ム粉末の収率が悪い。
【0006】フッ素含有アンモニウム化合物(特公平3
−27481)はフッ素の後処理を要し、加えて針状結
晶が多く生成する。
【0007】アルカリ土類金属フッ化物(特開昭63−
256506)もフッ素の後処理を要するほか、アルカ
リ土類金属が生成窒化アルミニウム粉末に残留する。
【0008】さらに、これらの方法はいずれも2段階に
分けて長時間の熱処理を要するという問題もあった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
した要件をすべて満たす低温窒化反応促進剤を探究し
て、不純物残留量が少なくかつ酸素含有量の極めて少な
い微細な窒化アルミニウム粉末を簡便に製造する方法を
提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の窒化アルミニウ
ム粉末の製造方法は、金属アルミニウム粉末、窒化アル
ミニウム粉末および硫黄もしくは硫黄含有化合物を含む
混合物を窒化性雰囲気中で加熱することを特徴とする。
【0011】本発明において、窒化アルミニウム粉末は
窒化反応の担体として機能し、通常粒径が0.2〜20
μmのものが使用される。
【0012】本発明において、硫黄もしくは硫黄含有化
合物は低温窒化反応促進剤として機能する。硫黄含有化
合物は無機化合物でも有機化合物でもよい。無機の硫黄
含有化合物としては不純物元素を残留しない組成を有す
るものであって、取扱いの点から無毒の固体が望まし
く、たとえば硫化アルミニウム(Al2 3 )、硫化窒
素(N2 2 )、硫化リンが使用される。有機の硫黄含
有化合物としては原則として炭素、水素および窒素から
構成されるものであって、硫黄含有量が多い固体が望ま
しく、たとえばチオ尿素(CH4 2 S)、ルベアン酸
(C2 4 2 2 )が使用される。有機の硫黄含有化
合物を使用したときには、窒化反応後に脱炭処理を行う
必要がある。経済性、不純物混入のおそれがない、取扱
いの簡便さの点から、硫黄の使用が最も好ましい。
【0013】硫黄もしくは硫黄含有化合物を使用すると
窒化反応速度が制御され、急激な発熱を生じないことが
判明している。硫黄もしくは硫黄含有化合物の作用機構
はまだ十分に解明されていないが、次のように考えられ
る。硫黄または硫黄含有化合物中の硫黄成分が比較的低
温のときにはまず金属アルミニウム粉末と反応してその
表面にアルミニウム硫化物のような中間生成物を形成
し、この中間生成物を窒化性雰囲気中、高温におくと昇
華し、解離したより活発なアルミニウムが窒化反応を促
進するとともに、解離した硫黄は再び金属アルミニウム
と中間生成物を形成する。
【0014】また、硫黄もしくは硫黄含有化合物を使用
すると、一部の硫黄が硫黄酸化物を生成するため、酸素
量が低減した窒化アルミニウム粉末を生成することがで
きる。
【0015】硫黄もしくは硫黄含有化合物は、金属アル
ミニウム粉末、窒化アルミニウム粉末および硫黄もしく
は硫黄含有化合物を含む混合物中に、硫黄に換算して好
ましくは少なくとも0.1重量%、より好ましくは0.
5〜5重量%含まれる。硫黄もしくは硫黄含有化合物の
量が0.1重量%より少ないときには、窒化反応の促進
が不十分である。
【0016】窒化性雰囲気とは窒素、アンモニア、また
はそれを含有する混合ガスを指す。
【0017】
【実施例】15gの金属アルミニウム粉末(粒径30μ
m以下)に、15gの窒化アルミニウム粉末(粒径3μ
m以下)と種々の量の硫黄とを加えて乳鉢でよく混合
し、この混合物をカーボンるつぼに充填した。これを反
応炉に入れ、真空下、150℃で2時間加熱した後、窒
素/アルゴン(10%Ar)混合ガス中で1200℃に
昇温して2時間保持した。得られた生成物は軟質の白色
物であった。
【0018】生成物の電子顕微鏡での観察によれば、1
0μm以上の粗粒がほとんどなく細かい球状粒子で構成
されていた。また、X線回折によれば、生成物は単相の
AlNであった。
【0019】比較例として、硫黄を存在させない以外は
上記と同様にして窒化アルミニウム粉末を製造したが、
得られた生成物は硬質であった。
【0020】実施例および比較例で得られた生成物を乳
鉢で解砕し、得られた粉末の粉体特性を調べた結果を表
に示す。
【0021】なお、表に記載した測定値の測定は次の方
法によった。(1)平均粒径(μm):堀場製作所製L
A−500型レーザー回折式粒度分布測定装置による。
(2)比表面積(m2 /g):BET法(湯浅アイオニ
クス社製比表面積測定装置MS−13型)による。
(3)酸素量(wt%):堀場製作所製EMGA−280
0型酸素・窒素分析装置による。
【0022】
【表1】
【0023】表1の結果から、本発明方法によれば、粒
子径および比表面積がともに小さくく且つ酸素含有量の
少ない窒化アルミニウム粉末が製造されることが明らか
である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属アルミニウム粉末、窒化アルミニウ
    ム粉末および硫黄もしくは硫黄含有化合物を含む混合物
    を窒化性雰囲気中で加熱することを特徴とする窒化アル
    ミニウム粉末の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記混合物が、硫黄に換算して少なくと
    も0.1重量%の硫黄もしくは硫黄含有化合物を含むこ
    とを特徴とする請求項1に記載の方法。
JP9961992A 1992-04-20 1992-04-20 窒化アルミニウム粉末の製造方法 Pending JPH05294603A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7022301B2 (en) * 2001-02-02 2006-04-04 Ibaragi Laboratory Co., Ltd. Process for producing aluminum nitride and aluminum nitride

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7022301B2 (en) * 2001-02-02 2006-04-04 Ibaragi Laboratory Co., Ltd. Process for producing aluminum nitride and aluminum nitride

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