JPH05291349A - Flexible base for packaging semiconductor chip and mold for resin sealing semiconductor which is packaged on it - Google Patents

Flexible base for packaging semiconductor chip and mold for resin sealing semiconductor which is packaged on it

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JPH05291349A
JPH05291349A JP4121345A JP12134592A JPH05291349A JP H05291349 A JPH05291349 A JP H05291349A JP 4121345 A JP4121345 A JP 4121345A JP 12134592 A JP12134592 A JP 12134592A JP H05291349 A JPH05291349 A JP H05291349A
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JP
Japan
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resin
lead
substrate
base material
mounting
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP4121345A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tadashi Kamiyama
正 神家満
Yoshiaki Emoto
義明 江本
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Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH05291349A publication Critical patent/JPH05291349A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a flexible base for packaging a semiconductor chip which can prevent burr from being generated when resin sealing and a mold which is used for resin sealing the semiconductor which is packaged on the above base. CONSTITUTION:For preventing burr from being generated when resin sealing an IC chip which is mounted to a flexible tape such as a TAB tape, a step part 24 which is lower than the thickness of a film 34 is formed at a part which is in contact with a lead group out of edges along a cavity 14b of a lower mold 4. Then, when the TAB tape is pressed and held by upper and lower molds so that the step is engaged to the edge of the film when an IC chip 32 is sealed by resin, a film strikes through between the leads since the film is generally softer than a lead 36, thus reducing clearance between the leads.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えばマイクロプロセ
ッサ等の半導体チップの実装に用いるTABテープ等の
フレキシブル基材及びかかるフレキシブル基材に載置さ
れた半導体チップを樹脂封止する際に使用する金型に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is used for resin-sealing a flexible base material such as a TAB tape used for mounting a semiconductor chip such as a microprocessor and a semiconductor chip mounted on the flexible base material. It is about molds.

【0002】[0002]

【従来の技術】TAB(Tape Automated Bonding)技術は
ICチップの実装技術の一つであり、他の実装技術に比
べて多ピン狭ピッチのリード形成が可能であり、またフ
ェースアップで高速自動ボンディングを行うことができ
る等の特徴がある。このため、TAB技術は近年特に注
目されている。図11は通常使用される代表的なTAB
テープの概略平面図、図12は図11記載のTABテー
プを樹脂成形用金型で挟んだときの様子を示す図11の
D−D矢視方向概略断面図である。
2. Description of the Related Art TAB (Tape Automated Bonding) technology is one of the IC chip mounting technologies. It enables the formation of leads with a narrower number of pins than other mounting technologies, and it is a face-up high-speed automatic bonding. There is a feature that can be done. For this reason, the TAB technology has been particularly attracting attention in recent years. Figure 11 shows a typical TAB that is normally used.
FIG. 12 is a schematic plan view of the tape, and FIG. 12 is a schematic cross-sectional view taken along the line D-D of FIG. 11 showing a state where the TAB tape shown in FIG. 11 is sandwiched between resin molding dies.

【0003】図11に示すTABテープは、ICチップ
132と、フィルム134上にリード136が形成され
たフィルムキャリアとを有するものである。ICチップ
132は図示しないバンプを介してリード136と接合
している。フィルム134には、ICチップ132が載
置されるデバイスホール133と、2種類の打抜部14
2,144とが形成されている。リード群136a〜1
36dは図11に示すように上下左右の4方向に引き出
されている。また、図11における一点鎖線で囲まれた
部分は樹脂成形される領域であり、樹脂封止されるテー
プの部分は支持部146により支持される。
The TAB tape shown in FIG. 11 has an IC chip 132 and a film carrier in which leads 136 are formed on a film 134. The IC chip 132 is joined to the leads 136 via bumps (not shown). The film 134 has a device hole 133 in which the IC chip 132 is placed, and two types of punching parts 14
2, 144 are formed. Lead group 136a-1
36d is pulled out in four directions of up, down, left and right as shown in FIG. Further, the portion surrounded by the alternate long and short dash line in FIG. 11 is a resin-molded region, and the portion of the resin-sealed tape is supported by the supporting portion 146.

【0004】ところで、ICチップ132の保護のため
にICチップ132を樹脂封止するには、主にトランス
ファモールド法が用いられている。トランスファモール
ド法は、図12に示すように上金型102と下金型10
4とからなる樹脂成形用金型でICチップ132を搭載
したTABテープを挟持して、加熱溶融した樹脂に圧力
をかけて上金型102と下金型104との樹脂注入室1
14に注入し固化する方法である。この方法によれば、
溶融樹脂を樹脂成形用金型に注入する速度を低速で行え
ば、ICチップ等の特性を損なうことなく、一定の品質
のものを大量生産することができるという利点がある。
By the way, a transfer molding method is mainly used to seal the IC chip 132 with a resin in order to protect the IC chip 132. As shown in FIG. 12, the transfer mold method uses an upper mold 102 and a lower mold 10.
A resin injection chamber 1 for the upper mold 102 and the lower mold 104, in which a TAB tape on which an IC chip 132 is mounted is sandwiched by a resin molding mold composed of
It is a method of pouring into 14 and solidifying. According to this method
If the speed of injecting the molten resin into the resin molding die is low, there is an advantage that a product of a certain quality can be mass-produced without impairing the characteristics of IC chips and the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、TAB
テープ等のフレキシブルテープに形成されたリードを樹
脂成形用金型で挟持した場合、リードに厚みがあるの
で、リード間には隙間ができる。通常、樹脂は50ミク
ロンの隙間があれば、その隙間に入ることができる。し
たがって、樹脂成形用金型に樹脂を注入すると、リード
の厚さによってその量は異なるが、リード間にも樹脂が
流れ込みリード間に樹脂のバリが生じる。このため、樹
脂封止したTABテープを打ち抜くときに、このバリに
よってリードが変型したり、切れたりするという問題が
ある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention
When a lead formed on a flexible tape such as a tape is sandwiched between resin molding dies, a gap is formed between the leads because the lead has a thickness. Generally, the resin can enter the 50-micron gap if it is present. Therefore, when the resin is injected into the resin-molding die, the amount of the resin varies depending on the thickness of the leads, but the resin also flows between the leads to cause resin burr between the leads. For this reason, when punching out the resin-sealed TAB tape, there is a problem that the lead is deformed or cut due to the burr.

【0006】これに対し、特開平01−183837号
公報中に記載の方法では、パッケージ用の金型をTAB
テープの上下から押し付け、その押圧力によって強制的
にテープを変形させることによってリードとテープとの
間のすき間を埋めて樹脂もれを防いでいる。通常、この
方法で樹脂もれは止まるが、リードとテープとの間のす
き間を埋めるためにかける金型の押圧力のために、リー
ドの変形が起こり、導電性を悪化させるおそれがある。
On the other hand, in the method described in Japanese Patent Laid-Open No. 01-183837, the package die is TAB.
By pressing the tape from above and below and forcibly deforming the tape by the pressing force, the gap between the lead and the tape is filled and the resin leakage is prevented. Usually, the resin leakage is stopped by this method, but due to the pressing force of the mold applied to fill the gap between the lead and the tape, the lead may be deformed and the conductivity may be deteriorated.

【0007】また、米国特許第3689991号、米国
特許第5031022号のように樹脂漏れを防ぐために
リード線の形状を工夫したものもある。しかしながら、
これらの場合は、リード線が引き出されていない部分
(図11の支持部146と同じ)において、上金型とフ
ィルムとの間にリードの厚さだけ隙間が生じるため、こ
の部分から樹脂がはみ出してバリが発生するおそれがあ
るという問題がある。
There is also a device in which the shape of the lead wire is devised to prevent resin leakage, as in US Pat. No. 3,689,991 and US Pat. No. 5,031,022. However,
In these cases, in the portion where the lead wire is not drawn out (the same as the support portion 146 in FIG. 11), a gap is formed between the upper mold and the film by the thickness of the lead, and therefore the resin protrudes from this portion. There is a problem that burr may occur.

【0008】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、樹脂封止を行ったときにバリの発生を防ぐこと
ができる半導体チップを実装するためのフレキシブルな
基材及びこのフレキシブルな基材に実装した半導体の樹
脂封止に用いるための金型を提供することを目的とする
ものである。
The present invention has been made based on the above circumstances, and a flexible base material for mounting a semiconductor chip capable of preventing the occurrence of burrs when resin sealing is performed, and this flexible base material. It is an object of the present invention to provide a mold for use in resin sealing of a semiconductor mounted on.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る半導体チップを実装するためのフレキシ
ブルな基材は、フレキシブルな合成樹脂で構成され、半
導体チップを載置するための載置部を備えた基板;この
基板の表面に形成された導電性のリード群、このリード
群は上記半導体チップを載置するための載置部にあって
上記半導体チップの外部との電気的な接続点と対向する
位置から上記フレキシブルな基板の所定位置に向けて形
成されている複数のリードを有する;そして、上記基板
の表面領域であって上記リード群が形成されていない領
域に、上記リード群のリードの厚さに略等しい厚さに形
成した突起部を含んで構成している。また、上記基板は
ポリイミドで構成している。また、上記突起部はポリイ
ミドで構成している。また、上記リード群の各リード線
は金メッキを含んで構成されている。また、上記リード
群の所定位置に半導体チップを樹脂で封止するときの樹
脂もれを防止するための樹脂もれ防止手段を更に備えて
いる。また、上記樹脂もれ防止手段はポリイミドで構成
されている。また、上記リード群は上記基板の表面の上
記半導体チップを載置するための載置位置から4方向に
延在する。また、上記突起部は上記各リード群と上記基
板により構成される4つのリード群が引き出されていな
い部分のうちの3つの部分に形成されている。また、上
記基板を所定間隔毎に複数個連続して構成しテープ状に
形成した。また、上記テープ状に形成した基板はその両
側部にスプロケット孔を更に備えている。
In order to achieve the above object, a flexible base material for mounting a semiconductor chip according to the present invention is made of a flexible synthetic resin and is used for mounting the semiconductor chip. A substrate provided with a mounting portion; a group of conductive leads formed on the surface of the substrate; the group of leads is a mounting portion for mounting the semiconductor chip and is electrically connected to the outside of the semiconductor chip. A plurality of leads formed from a position facing the connection point to a predetermined position of the flexible substrate; and the leads in the surface region of the substrate where the lead group is not formed. It is configured to include a protrusion formed to have a thickness substantially equal to the thickness of the lead of the group. The substrate is made of polyimide. Further, the protrusions are made of polyimide. Further, each lead wire of the lead group is configured to include gold plating. Further, a resin leakage preventing means for preventing resin leakage when the semiconductor chip is sealed with resin is further provided at a predetermined position of the lead group. Further, the resin leakage preventing means is made of polyimide. The lead group extends in four directions from a mounting position on the surface of the substrate for mounting the semiconductor chip. The protrusions are formed on three of the four lead groups formed by the lead groups and the substrate, which are not drawn out. Also, a plurality of the above-mentioned substrates are continuously formed at a predetermined interval and formed into a tape shape. The tape-shaped substrate further has sprocket holes on both sides thereof.

【0010】さらに、上記目的を達成するために本発明
に係るTABテープは、フレキシブルな合成樹脂で構成
され、所定間隔毎に半導体チップを載置するための載置
位置を備えた基板;この基板の上記載置位置にあって上
記半導体チップの外部との電気的な接点に対向する位置
から所望長形成された導電性をもつリード群;そして、
上記基板の表面であって前記リード群が引き出されてい
ない部分に、前記リード群のリードの厚さに略等しい厚
さに形成した突起部を含んで構成している。また、上記
基板はポリイミドで構成されている。また、上記突起部
はポリイミドで構成されている。また、上記リード群の
各リードは金メッキを含んで構成されている。また、上
記リード群の所定位置に半導体チップを樹脂で封止する
ときの樹脂もれを防止するための樹脂もれ防止手段を更
に備えている。また、上記樹脂もれ防止手段はポリイミ
ドで構成されている。また、上記リード群は上記基板の
表面の上記半導体チップを載置するための載置位置から
4方向に延在する。また、上記突起部は上記各リード群
と上記基板により構成される4つのリード群が引き出さ
れていない部分のうちの3つの部分に形成されている。
また、上記基板はその両側部にスプロケット孔を更に備
えている。
Further, in order to achieve the above object, the TAB tape according to the present invention is made of a flexible synthetic resin and has a mounting position for mounting semiconductor chips at predetermined intervals; A group of conductive leads formed in a desired length from a position facing the electrical contact with the outside of the semiconductor chip at the placement position described above;
In the portion of the surface of the substrate where the lead group is not drawn out, a projection portion having a thickness substantially equal to the thickness of the lead of the lead group is included. The substrate is made of polyimide. Further, the protrusion is made of polyimide. Each lead of the lead group is configured to include gold plating. Further, a resin leakage preventing means for preventing resin leakage when the semiconductor chip is sealed with resin is further provided at a predetermined position of the lead group. Further, the resin leakage preventing means is made of polyimide. The lead group extends in four directions from a mounting position on the surface of the substrate for mounting the semiconductor chip. The protrusions are formed on three of the four lead groups formed by the lead groups and the substrate, which are not drawn out.
The substrate further has sprocket holes on both sides thereof.

【0011】さらに、上記目的を達成するために、本発
明に係るTABテープは、フレキシブルなポリイミド樹
脂で構成され、所定間隔毎に半導体チップを載置するた
めの載置位置を備えた基板、この基板はその両側部にス
プロケット孔を更に備える;この基板の上記載置位置に
あって上記半導体チップの外部との電気的な接点に対向
する位置から所望長形成され、金を主成分として導電性
をもつリード群;そして、上記基板の表面であって前記
リード群が引き出されていない部分に、前記リード群の
リードの厚さに略等しい厚さに形成したポリイミド樹脂
製の突起部を含んで構成している。
Further, in order to achieve the above object, the TAB tape according to the present invention is composed of a flexible polyimide resin, and has a mounting position for mounting a semiconductor chip at a predetermined interval. The substrate is further provided with sprocket holes on both sides thereof; the substrate is formed in a desired length from a position facing the electrical contact with the outside of the semiconductor chip in the above-mentioned mounting position of the substrate, and is made of gold as a main component and conductive. A lead group having a lead resin, and a protrusion made of a polyimide resin having a thickness substantially equal to the thickness of the lead of the lead group on the surface of the substrate where the lead group is not drawn out. I am configuring.

【0012】さらに、上記目的を達成するために、本発
明に係る表面に複数の導電性のリードが形成されたフレ
キシブルな基材に半導体チップを所定の位置に載置して
樹脂封止するための金型は、上記フレキシブルな基材の
表面に当接する上金型;そして、上記フレキシブルな基
材の裏面に当接し、樹脂が注入される容器の端縁部であ
って上記リードが当接する部分に、上記フレキシブルな
基材の厚さより若干小さい高さの段差部を形成した下金
型を含んで構成される。また、上記上金型の樹脂が注入
される容器の端縁部であって上記リードと当接しない部
分に、上記リードの厚さに略等しい高さの凸部を形成し
た。
Further, in order to achieve the above object, a semiconductor chip is placed at a predetermined position on a flexible base material having a plurality of conductive leads formed on the surface according to the present invention and resin-sealed. Of the upper die is in contact with the surface of the flexible base material; and is in contact with the back surface of the flexible base material, and is in contact with the lead at the edge of the container into which the resin is injected. It is configured to include a lower mold in which a stepped portion having a height slightly smaller than the thickness of the flexible base material is formed in the portion. Further, a convex portion having a height substantially equal to the thickness of the lead is formed at a portion which is an edge portion of the container into which the resin of the upper mold is poured and which does not contact the lead.

【0013】さらに、上記目的を達成するために、本発
明に係る表面に複数の導電性のリードが形成されたフレ
キシブルな基材に半導体チップを所定の位置に載置して
樹脂封止するための金型は、上記フレキシブルな基材の
表面に当接し、樹脂が注入される容器の端縁部であって
上記リードが当接しない部分に上記リードの厚さに略等
しい高さの凸部を形成した上金型;そして、上記フレキ
シブルな基材の裏面に当接する下金型を含んで構成され
る。
Further, in order to achieve the above object, the semiconductor chip is mounted at a predetermined position on a flexible base material having a plurality of conductive leads formed on the surface according to the present invention and resin-sealed. The mold is in contact with the surface of the flexible base material, and is a convex portion having a height approximately equal to the thickness of the lead at the end edge portion of the container into which the resin is injected and the lead does not contact. And a lower mold that contacts the back surface of the flexible substrate.

【0014】[0014]

【作用】本発明は上記の構成によって、樹脂封止を行っ
たときにバリの発生を防ぐことができる半導体チップを
実装するためのフレキシブルな基材及びTABテープな
らびにこのフレキシブルな基材やTABテープに実装し
た半導体を樹脂封止するために用いる金型を提供するこ
とができる。
According to the present invention, with the above-mentioned structure, a flexible base material and a TAB tape for mounting a semiconductor chip capable of preventing the generation of burrs when resin-sealing is performed, and the flexible base material and the TAB tape. It is possible to provide a mold used for resin-sealing the semiconductor mounted on.

【0015】本発明に係るフレキシブルな基材及びTA
Bテープは前記の構成によって、テープの表面であっ
て、前記リード群が引き出されていない部分に突起部を
形成したことにより、従来の金型を使用して樹脂封止す
る場合でも、リード群が引き出されていない部分のテー
プの表面と金型とを密着させることができる。
Flexible substrate and TA according to the present invention
With the above-described structure, the B tape has a projecting portion formed on the surface of the tape on which the lead group is not pulled out, so that the lead group can be resin-sealed even when a conventional mold is used. It is possible to bring the mold surface into close contact with the surface of the tape where the tape is not pulled out.

【0016】本発明に係る樹脂成形用の金型は前記の構
成によって、下金型の樹脂注入室の端縁であって前記リ
ード群が当接する部分に段差部を形成したことにより、
例えばTABテープに搭載された半導体チップを樹脂封
止する場合に、下金型の段差部をテープの端縁に噛み合
わせ、上金型と下金型の押圧力によりテープをリードに
食い込ませることにより、リード間の隙間を小さくする
ことができる。
According to the above-described structure, the resin molding die according to the present invention has the stepped portion formed at the edge of the resin injection chamber of the lower die, which is in contact with the lead group.
For example, when a semiconductor chip mounted on a TAB tape is resin-sealed, the step of the lower die is engaged with the edge of the tape, and the tape is cut into the lead by the pressing force of the upper die and the lower die. As a result, the gap between the leads can be reduced.

【0017】また、本発明に係る樹脂成形用の金型は前
記の構成によって、上金型の樹脂注入室の端縁部であっ
て前記リード群と当接しない部分に凸部を形成したこと
により、例えばTABテープに搭載された半導体チップ
を樹脂封止する場合に、リード群と当接しない部分にお
いても上金型の凸部とテープとを密着させることができ
る。
Further, the resin molding die according to the present invention has the above-mentioned structure, and the convex portion is formed at the end edge portion of the resin injection chamber of the upper die, which is not in contact with the lead group. Thus, for example, when the semiconductor chip mounted on the TAB tape is resin-sealed, the convex portion of the upper mold and the tape can be brought into close contact with each other even in a portion that does not contact the lead group.

【0018】[0018]

【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図3に示すTABテープは、従来より通常使用さ
れているものと同じで、絶縁性材料で構成され両端にス
プロケット孔31が形成されたテープ状のフィルム(基
板)34上の各コマ35毎に金メッキのリード36が形
成されたものである。リード36はTABテープの片面
(以下、この面をTABテープの表面と称する。)にだ
け設けてある。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The TAB tape shown in FIG. 3 is the same as that conventionally used, that is, for each frame 35 on a tape-shaped film (substrate) 34 made of an insulating material and having sprocket holes 31 formed at both ends. The gold-plated leads 36 are formed. The leads 36 are provided only on one surface of the TAB tape (hereinafter, this surface is referred to as the surface of the TAB tape).

【0019】フィルム34の各コマ35の中央部には、
図4に示すように半導体ICチップ32を装着するため
のデバイスホール33を有し、その周囲には図3に示す
ように2種類の打抜部42,44が形成されている。ま
た、リード36は、各コマ35毎に4つのリード群36
a,36b,36c,36dに分けられ、ICチップ3
2の外部との電気的な接続点と対向する位置から図3の
上下左右4方向に引き出されている。フィルム34の厚
さは75ミクロン、リード36の厚さは35ミクロンで
ある。尚、フィルム34には、耐熱性及び耐伸縮性が良
好なポリイミドを用いている。
At the center of each frame 35 of the film 34,
As shown in FIG. 4, there is a device hole 33 for mounting the semiconductor IC chip 32, and two kinds of punched portions 42 and 44 are formed around the device hole 33 as shown in FIG. Further, the leads 36 are composed of four lead groups 36 for each frame 35.
IC chip 3 is divided into a, 36b, 36c and 36d.
2 is pulled out in four directions of up, down, left and right in FIG. The film 34 has a thickness of 75 microns and the leads 36 have a thickness of 35 microns. The film 34 is made of polyimide having good heat resistance and stretch resistance.

【0020】打抜部42は一点鎖線Lで囲まれた樹脂封
止領域内に形成され、打抜部44は樹脂封止領域外に形
成されたものである。また、TABテープの中心部(樹
脂封止される部分)は図3の右上、左上、左下に形成さ
れた支持部46により支持されてこのTABテープ梱包
時、特にICチップ32が実装された状態でのこのTA
Bテープ梱包時及び搬送時のリード36のぶれの発生を
防いでいる。
The punched-out portion 42 is formed in the resin-sealed area surrounded by the one-dot chain line L, and the punched-out portion 44 is formed outside the resin-sealed area. Further, the center portion (resin-sealed portion) of the TAB tape is supported by the support portions 46 formed on the upper right, upper left, and lower left of FIG. 3, and when the TAB tape is packed, especially the IC chip 32 is mounted. This TA in
This prevents the lead 36 from moving when the B tape is packed and conveyed.

【0021】図1及び図2に示す樹脂成形用金型は、T
ABテープの表面を上から抑える上金型2とTABテー
プを裏面から抑える下金型4とを備えて構成される。上
金型2には図2に示すように、樹脂の供給口であるポッ
ト12と、樹脂注入室であるキャビティ14aと、樹脂
をこのキャビティ14aに注入するための注入口である
ゲート16aとが形成され、また樹脂成形品を金型から
取り出すためのエジェクタピン18aが設けられてい
る。更に、上金型2のTABテープとの当接面2aには
キャビティ14aの4つのコーナーのうちで、ゲート1
6aが形成されたコーナー以外の3つのコーナーに隣接
してリード36の厚さに略等しい高さの凸部26が形成
されている。
The resin molding die shown in FIG. 1 and FIG.
It comprises an upper die 2 for holding the front surface of the AB tape from above and a lower die 4 for holding the TAB tape from the back surface. As shown in FIG. 2, the upper mold 2 has a pot 12 which is a resin supply port, a cavity 14a which is a resin injection chamber, and a gate 16a which is an injection port for injecting the resin into the cavity 14a. Ejector pins 18a are provided for removing the molded resin product from the mold. Further, on the contact surface 2a of the upper die 2 with the TAB tape, among the four corners of the cavity 14a, the gate 1
Adjacent to the three corners other than the corner where 6a is formed, a convex portion 26 having a height approximately equal to the thickness of the lead 36 is formed.

【0022】図1に示すように下金型4にも、上金型2
と同様に、樹脂注入室であるキャビティ14bと、樹脂
をこのキャビティ14bに注入するための注入口である
ゲート16bとが形成され、またエジェクタピン18b
が設けられている。また、下金型4には樹脂を注入する
際にキャビティ14a,14b内の空気及びガスを外部
に排出するためのエアベント22がキャビティ14bの
ゲート16bが形成されたコーナー以外の3つのコーナ
ーに形成されている。ポット12を一つしか設けていな
いのは、上下に供給口を設けると、二つの方向から入っ
た樹脂が合流したときに樹脂の合わせ目ができ、その跡
が樹脂成形後に残ってしまうからである。
As shown in FIG. 1, the lower die 4 and the upper die 2 are also provided.
Similarly, a cavity 14b which is a resin injection chamber and a gate 16b which is an injection port for injecting resin into the cavity 14b are formed, and the ejector pin 18b is also provided.
Is provided. Further, air vents 22 for discharging the air and gas in the cavities 14a and 14b to the outside when the resin is injected into the lower mold 4 are formed at three corners of the cavity 14b other than the corner where the gate 16b is formed. Has been done. The reason why only one pot 12 is provided is that if the supply ports are provided on the upper and lower sides, a seam of the resin is created when the resin entering from two directions merges, and the trace remains after the resin molding. is there.

【0023】また、図1の下金型4にはキャビティ14
bに沿った端縁のうちリード群36a〜36dと当接す
る部分に、フィルム34の厚さより若干小さい高さ(例
えばフィルム34の厚さよりリードの厚さだけ小さい高
さ)の段差部24が形成されている。
The lower mold 4 shown in FIG.
A stepped portion 24 having a height slightly smaller than the thickness of the film 34 (for example, a height smaller than the thickness of the film 34 by the thickness of the lead) is formed at a portion of the end edge along the line b which abuts the lead groups 36a to 36d. Has been done.

【0024】次に、ICチップ32を樹脂封止する手順
について説明する。樹脂封止されるTABテープの領域
は、図3に示す一点鎖線Lで囲まれた部分である。この
一点鎖線Lは打抜部44の端縁から若干内側に入ったと
ころに引かれたものである。トランスファモールド法で
は、まず、上金型2と下金型4との間にTABテープを
配置し、両金型でTABテープを挟持する。このとき、
図4に示すように下金型4は段差部24が打抜部44の
端部のフィルム34と噛み合う。また、図5に示すよう
に上金型2はコーナーに形成した凸部26がTABテー
プの支持部46と密着する。このようにして上金型2と
下金型4とをTABテープに密着させた後、溶融した熱
硬化性樹脂をポット12から流し込み、ゲート16a,
16bを介してキャビティ14a,14b内に圧入す
る。そして、数時間放置又は加熱して注入した樹脂を硬
化させた後、エジェクタピン18a,18bを押すこと
により樹脂成形したTABテープを金型から取り出し
て、樹脂封止作業が完了する。図6はこのようにして形
成したTABテープを示しており、ICチップ32を熱
硬化性樹脂で封止した樹脂封止領域48が形成されてい
る。
Next, the procedure for resin sealing the IC chip 32 will be described. The area of the TAB tape which is resin-sealed is the portion surrounded by the alternate long and short dash line L shown in FIG. The alternate long and short dash line L is a line drawn slightly inward from the edge of the punched portion 44. In the transfer molding method, first, a TAB tape is placed between the upper mold 2 and the lower mold 4, and the TAB tape is sandwiched between both molds. At this time,
As shown in FIG. 4, in the lower die 4, the step portion 24 meshes with the film 34 at the end portion of the punching portion 44. Further, as shown in FIG. 5, the protrusions 26 formed at the corners of the upper mold 2 come into close contact with the supporting portions 46 of the TAB tape. In this way, the upper mold 2 and the lower mold 4 are brought into close contact with the TAB tape, and then the molten thermosetting resin is poured from the pot 12 and the gate 16a,
It is pressed into the cavities 14a and 14b via 16b. Then, after leaving the resin for several hours or heating to cure the injected resin, the ejector pins 18a and 18b are pushed to take out the resin-molded TAB tape from the mold, and the resin sealing work is completed. FIG. 6 shows a TAB tape formed in this way, and a resin sealing region 48 in which the IC chip 32 is sealed with a thermosetting resin is formed.

【0025】ところで、前述の如く従来の樹脂成形用金
型を用いてTABテープを挟持すると、リードの厚みに
より各リード群36a,36b,36c,36d内の隣
合う各リード間に隙間ができ、このため樹脂を注入する
とリード間から樹脂が流れ出てバリが生じる場合があ
る。これに対して、上記実施例では下金型4のキャビテ
ィ14bに沿った端縁に段差部24を設け、その段差部
24にフィルム34を噛み合わせている。このため、両
金型2,4を押圧すると、一般的にフィルム34はリー
ド36に比べて柔らかいので、リードがフィルムにめり
込む。すなわち、本実施例では、樹脂封止の際には隣合
う各リード間にフィルム34が食い込んで、リード間の
隙間が小さくなるので、樹脂がリード間に入り込むこと
ができなくなる。したがって、樹脂封止する際に、リー
ド間に樹脂バリが生ずるのを防止することができる。
By the way, when the TAB tape is sandwiched by using the conventional resin molding die as described above, a gap is formed between the adjacent leads in each lead group 36a, 36b, 36c, 36d due to the thickness of the leads. Therefore, when the resin is injected, the resin may flow out from between the leads to cause burrs. On the other hand, in the above-described embodiment, the step portion 24 is provided at the edge of the lower die 4 along the cavity 14b, and the film 34 is engaged with the step portion 24. Therefore, when the two dies 2 and 4 are pressed, the film 34 is generally softer than the leads 36, so that the leads sink into the film. That is, in this embodiment, when the resin is sealed, the film 34 bites between the adjacent leads, and the gap between the leads is reduced, so that the resin cannot enter between the leads. Therefore, it is possible to prevent a resin burr between the leads when the resin is sealed.

【0026】また、上金型2には図2に示すように、ゲ
ート16aが形成されたコーナー以外の3つのコーナー
にリードの厚みと同じ厚みの凸部26を形成したことに
より、支持部46と上金型2とを完全に密着させること
ができるので、リードを形成していないTABテープの
支持部46に樹脂バリが生じるのを防止することができ
る。尚、下金型4のキャビティ14bのコーナーにはエ
アベント22が設けられているがこの溝は極めて狭いの
で、樹脂がこのエアベントに入り込むことはない。
Further, as shown in FIG. 2, the upper mold 2 is provided with the protrusions 26 having the same thickness as the lead thickness at the three corners other than the corner where the gate 16a is formed. Since the upper die 2 and the upper die 2 can be completely brought into close contact with each other, it is possible to prevent the resin burr from being generated on the support portion 46 of the TAB tape on which the leads are not formed. An air vent 22 is provided at the corner of the cavity 14b of the lower mold 4, but since this groove is extremely narrow, the resin does not enter this air vent.

【0027】このように上記第1の実施例では上金型2
と下金型4とを用いて樹脂封止を行うことにより、上述
のようにバリの発生を防ぐことができるので、樹脂封止
したTABテープを打ち抜く際にバリによってリードが
変形したり、切れたりすることはない。
Thus, in the first embodiment, the upper die 2
By performing resin sealing with the lower die 4 and the lower die 4, it is possible to prevent the generation of burrs as described above. Therefore, when punching the resin-sealed TAB tape, the leads are deformed or broken by the burrs. There is nothing to do.

【0028】尚、上記第1の実施例では、凸部26を上
金型2のキャビティ14aの3つのコーナーに形成した
場合について説明したが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、図7に示すように凸部26aは4つのコー
ナー全てに形成してもよい。但し、ゲート16aがある
コーナーに凸部を形成する場合には、図7に示すように
樹脂の流路にあたる部分には、凸部を形成しないように
する。また、凸部26の樹脂封止領域と接する部分が、
支持部46の樹脂封止領域と接する部分と同一形状とな
るように形成されていれば、凸部の全体の形状はどのよ
うな形状でもよい。したがって、凸部の全体形状は図2
に示すものに限定されるものではなく、図7に示すよう
に略正方形であってもよいし、また帯状の堰のように形
成してもよい。
In the first embodiment, the case where the convex portions 26 are formed at the three corners of the cavity 14a of the upper mold 2 has been described, but the present invention is not limited to this. As shown in FIG. 7, the convex portion 26a may be formed at all four corners. However, when the convex portion is formed at the corner where the gate 16a is provided, the convex portion is not formed in the portion corresponding to the resin flow path as shown in FIG. In addition, the portion of the convex portion 26 in contact with the resin sealing region is
The entire shape of the convex portion may be any shape as long as it is formed to have the same shape as the portion of the supporting portion 46 that contacts the resin sealing region. Therefore, the overall shape of the convex portion is shown in FIG.
The shape is not limited to that shown in FIG. 7, but may be a substantially square shape as shown in FIG. 7, or may be formed like a strip-like weir.

【0029】次に、本発明の第2の実施例を図8及び図
9を参照して説明する。図8は本発明の第2の実施例で
あるTABテープの概略平面図、図9はそのTABテー
プのC−C矢視概略拡大断面図である。第2の実施例に
おいて上記第1の実施例と同一の機能を有するものには
同一の符号を付すことにより、その詳細な説明を省略す
る。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9. FIG. 8 is a schematic plan view of a TAB tape which is a second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a schematic enlarged sectional view of the TAB tape taken along the line CC. In the second embodiment, components having the same functions as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0030】第2の実施例のTABテープ(フレキシブ
ルテープ)が第1の実施例において用いたTABテープ
と異なる点は、図8及び図9に示すように図3に示す場
合のTABテープの表面側の支持部46であって樹脂封
止領域Lの外側に、リード36の厚さに略等しい高さの
突起部52を形成したことである。この突起部52はフ
ィルム34の成分と同じポリイミドで形成し、支持部4
6の位置に貼着する。TABテープのその他の構成は第
1の実施例のものと同様である。この第2の実施例によ
れば、突起部52の形成により、ICチップ32が実装
された状態における本品の梱包、運搬時にリード36の
変形等による製品不良が発生するおそれが更に少なくな
る。
The TAB tape (flexible tape) of the second embodiment differs from the TAB tape used in the first embodiment in that the surface of the TAB tape in the case shown in FIG. 3 as shown in FIGS. 8 and 9. That is, the protruding portion 52 having a height substantially equal to the thickness of the lead 36 is formed on the outer side of the resin sealing region L, which is the side supporting portion 46. The protrusion 52 is formed of the same polyimide as the component of the film 34, and
Attach to position 6. The other structure of the TAB tape is similar to that of the first embodiment. According to the second embodiment, the formation of the protrusions 52 further reduces the risk of product defects due to deformation of the leads 36 during packaging and transportation of the product with the IC chip 32 mounted.

【0031】第2の実施例のTABテープを用いてIC
チップを樹脂封止する際に使用する樹脂成形用金型とし
ては、上記第1の実施例の下金型4と当接面が平面状に
形成された従来の上金型102とを使用することができ
る。ICチップ32を樹脂封止するには、まず、上金型
102と下金型4との間にTABテープを配置し、上金
型102と下金型4とでTABテープを挟持する。この
とき、下金型4は上記第1の実施例と同様に段差部24
がフィルム34の端部と噛み合い。また、TABテープ
の支持部46には突起部52が形成されているので、上
金型102のコーナーは突起部52と完全に密着する。
この後は、第1の実施例において詳述したようにして樹
脂封止作業を行う。
Using the TAB tape of the second embodiment, IC
As the resin molding die used when the chip is resin-sealed, the lower die 4 of the first embodiment and the conventional upper die 102 having a flat contact surface are used. be able to. To seal the IC chip 32 with resin, first, a TAB tape is placed between the upper mold 102 and the lower mold 4, and the TAB tape is sandwiched between the upper mold 102 and the lower mold 4. At this time, the lower mold 4 has the step portion 24 as in the first embodiment.
Meshes with the edge of the film 34. Further, since the protrusions 52 are formed on the support portion 46 of the TAB tape, the corners of the upper mold 102 are in complete contact with the protrusions 52.
After that, the resin sealing work is performed as described in detail in the first embodiment.

【0032】第2の実施例のTABテープによれば、従
来の上金型102を用いても、フィルム34の支持部4
6に突起部52が形成されているので、支持部46にお
いてもフィルム34と上金型102とを密着させること
ができる。したがって、第1の実施例と同様に支持部に
樹脂バリが発生するのを防止することができる。
According to the TAB tape of the second embodiment, even if the conventional upper mold 102 is used, the supporting portion 4 of the film 34 is
Since the protrusion 52 is formed on the support 6, the film 34 and the upper mold 102 can be brought into close contact with each other at the support 46 as well. Therefore, similarly to the first embodiment, it is possible to prevent the resin burr from being generated in the support portion.

【0033】尚、上記第2の実施例では、突起部52を
図3に示す場合のTABテープの支持部46全体に形成
した場合について説明したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、例えば図10に示すように突起部52
は樹脂封止領域Lに沿って帯状に形成した堰54を更に
有するものであってもよい。堰54はフィルム34、突
起部52と同じくポリイミド樹脂で構成される。堰54
のリード36上における詳細な構造については、米国特
許第5031022号に記載されている。
In the second embodiment, the case where the protrusion 52 is formed on the entire support portion 46 of the TAB tape shown in FIG. 3 has been described, but the present invention is not limited to this. , For example, as shown in FIG.
May further include a weir 54 formed in a strip shape along the resin sealing region L. The weir 54 is made of a polyimide resin like the film 34 and the protrusion 52. Dam 54
The detailed structure of the lead 36 on the lead 36 is described in US Pat. No. 5,031,022.

【0034】また、樹脂封止の際、樹脂がTABテープ
に阻まれて、キャビティ14aから14bに円滑に流れ
ない危険性を少なくするためには、フィルム34上に打
抜部56を更に設けるとよい。この打抜部56は図10
ではリード群36の間に形成される4つのフィルム領域
に形成している。この打抜部56は図10のTABテー
プのみに限ることはなく、図3、図8のTABテープに
形成しても同様の効果を得ることができる。
Further, in order to reduce the risk that the resin is blocked by the TAB tape during the resin sealing and the resin does not flow smoothly from the cavities 14a to 14b, a punching portion 56 is additionally provided on the film 34. Good. This punching section 56 is shown in FIG.
Is formed in four film regions formed between the lead groups 36. The punching portion 56 is not limited to the TAB tape shown in FIG. 10, but the same effect can be obtained by forming the punched portion 56 on the TAB tape shown in FIGS.

【0035】さらに、上記の実施例では、フレキシブル
テープがTABテープである場合について説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、他のフィルム
状のテープに半導体チップが搭載されたものであっても
よい。
Further, in the above embodiment, the case where the flexible tape is the TAB tape has been described.
The present invention is not limited to this, and the semiconductor chip may be mounted on another film-shaped tape.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、下金型の
樹脂注入室の端縁であって前記リード群が当接する部分
に段差部を形成したことにより、例えばTABテープに
搭載した半導体チップを樹脂封止する際に段差部がテー
プの端縁と噛み合い、上金型と下金型の押圧力によりリ
ードがフィルムにめり込むので、リード間の隙間を小さ
くすることができ、したがってリード間に樹脂バリが生
じるのを防ぐことができる樹脂成形用の金型を提供する
ことができる。
As described above, according to the present invention, a step portion is formed at the edge of the resin injection chamber of the lower die, which is in contact with the lead group, so that it is mounted on, for example, a TAB tape. When the semiconductor chip is sealed with resin, the step portion engages with the edge of the tape, and the lead is inserted into the film by the pressing force of the upper mold and the lower mold, so the gap between the leads can be reduced, and therefore the lead can be reduced. It is possible to provide a metal mold for resin molding that can prevent resin burrs from occurring in between.

【0037】また、本発明によれば、上金型の樹脂注入
室の端縁部であって前記リード群と当接しない部分に凸
部を形成したことにより、リード群と当接しない上金型
の部分とテープとの間に隙間が生じるのを防ぐことがで
き、したがって例えばTABテープに搭載された半導体
チップを樹脂封止する際に支持部にバリが発生すること
ができる樹脂成形用の金型を提供することができる。
Further, according to the present invention, since the convex portion is formed at the end portion of the resin injection chamber of the upper die which does not come into contact with the lead group, the upper die that does not come into contact with the lead group is formed. It is possible to prevent a gap from being formed between the mold portion and the tape, and therefore, for example, when molding a semiconductor chip mounted on a TAB tape with resin, burrs can be generated in a supporting portion. A mold can be provided.

【0038】更に、本発明によれば、フレキシブルな基
材の樹脂封止領域に接する部分であってリード群が引き
出されていない部分に突起部を形成したことにより、半
導体チップを樹脂封止する際に基材のリード群が引き出
されていない部分と金型とを密着させることができるの
で、基材のリード群が引き出されていない部分において
樹脂バリが生じるのを防ぐことができるフレキシブルな
基材及びTABテープを提供することができる。
Further, according to the present invention, the semiconductor chip is resin-sealed by forming the protrusion on the portion of the flexible base material which is in contact with the resin-sealed region and where the lead group is not drawn out. At this time, since the portion of the base material where the lead group is not drawn out and the mold can be brought into close contact with each other, it is possible to prevent the resin burr from being generated in the portion where the lead group of the base material is not drawn out. Material and TAB tape can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例である樹脂成形用金型の
下金型の概略平面図である。
FIG. 1 is a schematic plan view of a lower mold of a resin molding mold that is a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施例である樹脂成形用金型の
上金型の概略平面図である。
FIG. 2 is a schematic plan view of an upper die of a resin molding die that is the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明のフレキシブルな基材の第1の実施例で
あるTABテープの概略平面図である。
FIG. 3 is a schematic plan view of a TAB tape as a first embodiment of the flexible base material of the present invention.

【図4】図3に示すTABテープを樹脂成形用金型で挾
んでA−A矢視方向から見たときの概略平面図である。
FIG. 4 is a schematic plan view of the TAB tape shown in FIG. 3 when sandwiched by a resin molding die and viewed from the direction of arrow AA.

【図5】図3に示すTABテープを樹脂成形用金型で挾
んでB−B矢視方向から見たときの概略断面図である。
5 is a schematic cross-sectional view when the TAB tape shown in FIG. 3 is sandwiched by a resin molding die and viewed from the direction of arrows BB.

【図6】図3に示すTABテープに半導体素子の1つで
あるICチップを実装して樹脂封止したときの基材の概
略平面図である。
6 is a schematic plan view of a base material when an IC chip which is one of semiconductor elements is mounted on the TAB tape shown in FIG. 3 and resin-sealed.

【図7】樹脂成形用金型の上金型の変形例を示す概略平
面図である。
FIG. 7 is a schematic plan view showing a modified example of the upper mold of the resin molding mold.

【図8】本発明の第2の実施例であるTABテープの概
略平面図である。
FIG. 8 is a schematic plan view of a TAB tape that is a second embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第2の実施例であるTABテープのC
−C矢視方向概略拡大断面図である。
FIG. 9C of the TAB tape which is the second embodiment of the present invention
FIG. 6 is a schematic enlarged cross-sectional view taken along arrow C.

【図10】本発明の第3の実施例であるTABテープの
概略平面図である。
FIG. 10 is a schematic plan view of a TAB tape that is a third embodiment of the present invention.

【図11】従来のTABテープの概略平面図である。FIG. 11 is a schematic plan view of a conventional TAB tape.

【図12】従来のTABテープを樹脂成形用金型で挾ん
だときの様子を示す概略断面図である。
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing a state in which a conventional TAB tape is sandwiched by a resin molding die.

【符号の説明】 2 上金型 4 下金型 12 ポット 14 キャビティ 16 ゲート 18 エジェクトピン 22 エアベント 24 段差部 26 凸部 31 スプロケット孔 32 ICチップ 33 デバイスホール 34 フィルム 35 各コマ 36 リード 36a〜36d リード 42,44 打抜部 46 支持部 48 樹脂 52 突起部 54 堰 56 打抜部[Explanation of symbols] 2 Upper mold 4 Lower mold 12 Pot 14 Cavity 16 Gate 18 Eject pin 22 Air vent 24 Stepped portion 26 Convex portion 31 Sprocket hole 32 IC chip 33 Device hole 34 Film 35 Each frame 36 Lead 36a to 36d Lead 42,44 Punching part 46 Support part 48 Resin 52 Projection part 54 Weir 56 Punching part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/60 311 W 6918−4M 23/28 A 8617−4M 23/50 G 9272−4M Y 9272−4M ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification number Office reference number FI technical display location H01L 21/60 311 W 6918-4M 23/28 A 8617-4M 23/50 G 9272-4MY Y 9272 -4M

Claims (23)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体チップを実装するためのフレキシ
ブルな基材であって下記構成を含むもの:フレキシブル
な合成樹脂で構成され、半導体チップを載置するための
載置部を備えた基板;この基板の表面に形成された導電
性のリード群、このリード群は上記半導体チップを載置
するための載置部にあって上記半導体チップの外部との
電気的な接続点と対向する位置から上記フレキシブルな
基板の所定位置に向けて形成されている複数のリードを
有する;そして、 上記基板の表面領域であって上記リード群が形成されて
いない領域に、上記リード群のリードの厚さに略等しい
厚さに形成した突起部。
1. A flexible base material for mounting a semiconductor chip, comprising the following structure: a substrate made of a flexible synthetic resin and having a mounting portion for mounting a semiconductor chip; A group of electrically conductive leads formed on the surface of the substrate, the group of leads being located on a mounting portion for mounting the semiconductor chip, from a position facing an electrical connection point with the outside of the semiconductor chip. A plurality of leads formed toward a predetermined position of the flexible substrate; and in a region of the surface of the substrate where the leads are not formed, a thickness of the leads of the leads is approximately A protrusion formed to have the same thickness.
【請求項2】 上記基板はポリイミドで構成されている
ことを特徴とする請求項1記載のフレキシブルな基材。
2. The flexible base material according to claim 1, wherein the substrate is made of polyimide.
【請求項3】 上記突起部はポリイミドで構成されてい
ることを特徴とする請求項1記載のフレキシブルな基
材。
3. The flexible substrate according to claim 1, wherein the protrusion is made of polyimide.
【請求項4】 上記リード群の各リード線は金メッキを
含んで構成されていることを特徴とする請求項1記載の
フレキシブルな基材。
4. The flexible base material according to claim 1, wherein each lead wire of the lead group includes gold plating.
【請求項5】 上記リード群の所定位置に半導体チップ
を樹脂で封止するときの樹脂もれを防止するための樹脂
もれ防止手段を更に備えた請求項1記載のフレキシブル
な基材。
5. The flexible base material according to claim 1, further comprising resin leakage preventing means for preventing resin leakage when a semiconductor chip is sealed with resin at a predetermined position of the lead group.
【請求項6】 上記樹脂もれ防止手段はポリイミドで構
成されていることを特徴とする請求項5記載のフレキシ
ブルな基材。
6. The flexible base material according to claim 5, wherein the resin leakage prevention means is made of polyimide.
【請求項7】 上記リード群は上記基板の表面の上記半
導体チップを載置するための載置位置から4方向に延在
することを特徴とする請求項1記載のフレキシブルな基
材。
7. The flexible substrate according to claim 1, wherein the lead group extends in four directions from a mounting position for mounting the semiconductor chip on the surface of the substrate.
【請求項8】 上記突起部は上記各リード群と上記基板
により構成される4つのリード群が引き出されていない
部分のうちの3つの部分に形成されていることを特徴と
する請求項7記載のフレキシブルな基材。
8. The projecting portion is formed in three parts of the parts where the four lead groups formed by the respective lead groups and the substrate are not drawn out. Flexible base material.
【請求項9】 上記基板を所定間隔毎に複数個連続して
構成しテープ状に形成したことを特徴とする請求項8記
載のフレキシブルな基材。
9. The flexible base material according to claim 8, wherein a plurality of the substrates are continuously formed at predetermined intervals and are formed in a tape shape.
【請求項10】 上記テープ状に形成した基板はその両
側部にスプロケット孔を更に備えていることを特徴とす
る請求項9記載のフレキシブルな基材。
10. The flexible base material according to claim 9, wherein the tape-shaped substrate is further provided with sprocket holes on both sides thereof.
【請求項11】 下記構成を含むTABテープ:フレキ
シブルな合成樹脂で構成され、所定間隔毎に半導体チッ
プを載置するための載置位置を備えた基板;この基板の
上記載置位置にあって上記半導体チップの外部との電気
的な接点に対向する位置から所望長形成された導電性を
もつリード群;そして、 上記基板の表面であって前記リード群が引き出されてい
ない部分に、前記リード群のリードの厚さに略等しい厚
さに形成した突起部。
11. A TAB tape including the following structure: a substrate made of a flexible synthetic resin and having mounting positions for mounting semiconductor chips at predetermined intervals; A group of leads having a desired length formed from a position facing an electric contact with the outside of the semiconductor chip, and having a lead on a portion of the surface of the substrate where the group of leads is not drawn out. A protrusion formed to have a thickness approximately equal to the thickness of the leads of the group.
【請求項12】 上記基板はポリイミドで構成されてい
ることを特徴とする請求項11記載のTABテープ。
12. The TAB tape according to claim 11, wherein the substrate is made of polyimide.
【請求項13】 上記突起部はポリイミドで構成されて
いることを特徴とする請求項11記載のTABテープ。
13. The TAB tape according to claim 11, wherein the protrusion is made of polyimide.
【請求項14】 上記リード群の各リードは金メッキを
含んで構成されていることを特徴とする請求項11記載
のTABテープ。
14. The TAB tape according to claim 11, wherein each lead of the lead group includes gold plating.
【請求項15】 上記リード群の所定位置に半導体チッ
プを樹脂で封止するときの樹脂もれを防止するための樹
脂もれ防止手段を更に備えた請求項11記載のTABテ
ープ。
15. The TAB tape according to claim 11, further comprising resin leakage preventing means for preventing resin leakage when a semiconductor chip is sealed with resin at a predetermined position of the lead group.
【請求項16】 上記樹脂もれ防止手段はポリイミドで
構成されていることを特徴とする請求項15記載のTA
Bテープ。
16. The TA according to claim 15, wherein the resin leakage preventing means is made of polyimide.
B tape.
【請求項17】 上記リード群は上記基板の表面の上記
半導体チップを載置するための載置位置から4方向に延
在することを特徴とする請求項11記載のTABテー
プ。
17. The TAB tape according to claim 11, wherein the lead group extends in four directions from a mounting position on the surface of the substrate for mounting the semiconductor chip.
【請求項18】 上記突起部は上記各リード群と上記基
板により構成される4つのリード群が引き出されていな
い部分のうちの3つの部分に形成されていることを特徴
とする請求項17記載のTABテープ。
18. The projection is formed in three parts of the parts where the four lead groups formed of the respective lead groups and the substrate are not drawn out. TAB tape.
【請求項19】 上記基板はその両側部にスプロケット
孔を更に備えていることを特徴とする請求項11記載の
TABテープ。
19. The TAB tape according to claim 11, wherein the substrate further comprises sprocket holes on both sides thereof.
【請求項20】 下記構成を含むTABテープ:フレキ
シブルなポリイミド樹脂で構成され、所定間隔毎に半導
体チップを載置するための載置位置を備えた基板、この
基板はその両側部にスプロケット孔を更に備える;この
基板の上記載置位置にあって上記半導体チップの外部と
の電気的な接点に対向する位置から所望長形成され、金
を主成分として導電性をもつリード群;そして、 上記基板の表面であって前記リード群が引き出されてい
ない部分に、前記リード群のリードの厚さに略等しい厚
さに形成したポリイミド樹脂製の突起部。
20. A TAB tape including the following structure: a substrate made of a flexible polyimide resin and having mounting positions for mounting semiconductor chips at predetermined intervals, the substrate having sprocket holes on both sides thereof. Further provided; a lead group having a desired length and having conductivity, which is formed in a desired length from a position facing the electric contact with the outside of the semiconductor chip in the above-mentioned mounting position of the substrate; and the substrate A protrusion made of a polyimide resin formed on a surface of the lead group in which the lead group is not drawn out to a thickness substantially equal to the thickness of the lead of the lead group.
【請求項21】 表面に複数の導電性のリードが形成さ
れたフレキシブルな基材に半導体チップを所定の位置に
載置して樹脂封止するための金型であって下記構成を含
むもの:上記フレキシブルな基材の表面に当接する上金
型;そして、 上記フレキシブルな基材の裏面に当接し、樹脂が注入さ
れる容器の端縁部であって上記リードが当接する部分
に、上記フレキシブルな基材の厚さより若干小さい高さ
の段差部を形成した下金型。
21. A mold for mounting a semiconductor chip at a predetermined position on a flexible base material having a plurality of conductive leads formed on its surface and resin-sealing it, including the following structure: An upper mold that abuts the surface of the flexible base material; and a flexible mold that abuts the back surface of the flexible base material and is the edge portion of the container into which the resin is injected and that the lead abuts. Lower mold with a stepped portion having a height slightly smaller than the thickness of the base material.
【請求項22】 上記上金型の樹脂が注入される容器の
端縁部であって上記リードと当接しない部分に、上記リ
ードの厚さに略等しい高さの凸部を形成したことを特徴
とする請求項21記載の金型。
22. A convex portion having a height approximately equal to the thickness of the lead is formed at a portion which is an edge portion of the container into which the resin of the upper mold is poured and which does not come into contact with the lead. The mold according to claim 21, wherein the mold is a mold.
【請求項23】 表面に複数の導電性のリードが形成さ
れたフレキシブルな基材に半導体チップを所定の位置に
載置して樹脂封止するための金型であって下記構成を含
むもの:上記フレキシブルな基材の表面に当接し、樹脂
が注入される容器の端縁部であって上記リードが当接し
ない部分に上記リードの厚さに略等しい高さの凸部を形
成した上金型;そして、 上記フレキシブルな基材の裏面に当接する下金型。
23. A mold for mounting a semiconductor chip at a predetermined position on a flexible base material having a plurality of conductive leads formed on its surface and resin-sealing it, including the following structure: A top metal which is in contact with the surface of the flexible base material and has a convex portion having a height approximately equal to the thickness of the lead formed in the end edge portion of the container into which the resin is injected and not in contact with the lead. Mold; and a lower mold that contacts the back surface of the flexible base material.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010056355A (en) * 2008-08-29 2010-03-11 Hitachi Ltd Transfer mold type electronic control device

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