JPH05288215A

JPH05288215A - 変位発生直線運動用案内装置

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Publication number: JPH05288215A
Application number: JP11529992A
Authority: JP
Inventors: Yotaro Hatamura; 村洋太郎畑
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1992-04-09
Filing date: 1992-04-09
Publication date: 1993-11-02
Anticipated expiration: 2010-10-18
Also published as: JPH0796892B2

Abstract

(57)【要約】【目的】高精度で高分解能の位置決めを可能とする変
位発生直線運動用案内装置を提供する。【構成】摺動台３に変位発生部４を設けたことを特徴
とする。変位発生部４は、変位を発生させる方向には変
形可能でかつその他の方向には剛な弾性部材６と、弾性
部材６を伸縮させる変位手段４と、から構成したことを
特徴とする。変位発生部４の変位量を検出する変位検出
手段８、あるいは力を検出する力検出手段９を備えたこ
とを特徴とする。変位検出手段８あるいは力検出手段９
の検出値に基づいて変位手段４の変位量を調整すること
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体製造装
置，工作機械，各種検査装置等に広く用いられる直線運
動用案内装置に関し、特に変位を発生させる直線運動用
案内装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体技術に代表されるように微
細加工の高精度化の要求が高まっている。ＮＣ（数値制
御）が開発されて以来、位置制御により加工精度は飛躍
的に向上した。このような位置制御を高精度にするため
に、直線案内部に転がり接触形の直線運動用案内装置が
広く用いられている。

【０００３】この直線運動用案内装置は、軌道レール
と、この軌道レールに転動体を介して摺動自在に設けら
れる摺動台と、から構成されるもので、位置制御を高精
度にするために、直線運動用案内装置の剛性を高めるこ
とに力が注がれてきた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし装置の剛性を高
めるといってもおのずと限界があり、また環境温度変化
や動作時の摺動摩擦熱等による熱膨張の影響は避けられ
ず、微細加工に要求される加工精度を得るのが困難にな
ってきている。

【０００５】本発明は上記した従来技術の課題を解決す
るためになされたもので、その目的とするところは、半
導体製造装置や工作機械等の直線案内部に広く用いられ
る転がり接触型の直線運動用案内装置に変位発生部を設
けることにより、より高精度で高分解能の位置決めを可
能とする変位発生直線運動用案内装置を提供することに
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にあっては、軌道レールと、該軌道レールに
転動体を介して摺動自在に設けられる摺動台と、を備え
た直線運動用案内装置において、前記摺動台に変位発生
部を設けたことを特徴とする。

【０００７】変位発生部は、変位を発生させる方向には
変形可能でかつその他の方向には剛な弾性部材と、該弾
性部材を伸縮させる変位手段と、を具備してなることを
特徴とする。

【０００８】また、変位発生部における変位量を検出す
る変位検出手段を備えたことを特徴とする。

【０００９】変位発生部に作用する力を検出する力検出
手段を備えたことを特徴とする。

【００１０】変位検出手段の検出値に基づいて前記変位
手段の変位量を調整することを特徴とする。

【００１１】また、力検出手段の検出値に基づいて前記
変位手段の変位量を調整することを特徴とする。

【００１２】変位手段は、指令値を与えると該指令値に
比例して変位する手段であり、たととえば圧電素子また
は電歪素子，流体圧や熱膨張を利用して伸縮するアクチ
ュエータ，ボイスコイル，磁歪素子を利用した各種アク
チュエータを用いることができる。

【００１３】変位発生部の変位発生方向は、軌道台と摺
動台の疑似摺動面に対して直交する方向，軌道台の長さ
方向および軌道台に対して直交しかつ疑似摺動面に対し
て平行方向の三方向のうち少なくとも一の方向であるこ
とが好適である。

【００１４】

【作用】上記構成の直線運動用案内装置にあっては、変
位発生部によって摺動台を変位させることによって、摺
動台に取り付けられる被案内部材の位置を制御する。

【００１５】

【実施例】以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。

【００１６】図１(a) 〜(c) は、本発明の変位発生直線
運動用案内装置の概念的な構成を示している。この変位
発生直線運動用案内装置は、直線的に延びる軌道レール
１と、この軌道レール１に転動体としての多数のボール
２を介して組みつけられる摺動台３と、から構成され
る。そして、摺動台３には変位発生部４が設けられてお
り、この変位発生部４によって変位を発生させて摺動台
３によって案内される可動テーブル等の被案内部材５の
位置を制御可能としている。

【００１７】変位発生方向としては、図１(d) に示すよ
うに、軌道レール１に沿って摺動台３が移動する方向を
Ｙ軸、軌道レール１に対して直交しかつ摺動台３の疑似
摺動面に平行方向をＸ軸、摺動台３の疑似摺動面Ｓに対
して直交する上下方向をＺ軸とした場合に、図１(a) で
はＺ軸方向に、図１(b) ではＸ軸方向に、図１(c) では
Ｙ軸方向に、それぞれ変位を発生する様子を示してい
る。

【００１８】図２(a) は、この変位発生部４の変位量を
検出する変位検出手段８を設けた例を示している。この
ように変位検出手段８を設けることにより、実際の変位
量をモニタすることができ、この変位情報に基づいて変
位発生部４の作動を制御すれば、被案内部材５の位置を
より精密に制御することが可能となる。また、図２(b)
は摺動台３に作用する力を検出する力検出手段９を設け
たもので、作用する力情報に基づいて変位発生部４を制
御することもできる。

【００１９】変位検出手段８としては、たとえば、図３
(a) に示すような歪みゲージ等の抵抗式センサ８ａ，同
図(b) に示すような圧電素子を用いて変位を電圧変化と
して検出するセンサ８ｂ、同図(c) に示すような作動ト
ランスやうず電流センサ等の電磁誘導式センサ８ｃ、同
図(d) に示すような静電容量式のセンサ８ｄ、同図(e)
に示すような光りファイバ等を用いた光り干渉方式のセ
ンサ８ｅ等、微小変位を検出可能な種々のセンサを用い
ることができる。また、図３(f) ， (g)には力検出手段
の一例を示している。すなわち、図３(f) に示すもの
は、荷重に応じて荷重作用方向に弾性変形する弾性部材
９ｂと、この弾性部材９ｂのひずみ量を検出するための
歪みゲージ９ａと、から構成されており、弾性部材９ｂ
の歪み量の検出値から作用する力を検出するものであ
る。

【００２０】図３ (g)に示す例は、弾性部材９ｂと、こ
の弾性部材９ｂに並べて配置される圧電素子９ｃの歪み
量の検出値から作用する力を検出するものである。

【００２１】もちろん、力検出手段としては、この図示
例の他種々の検出手段を用いることができる。

【００２２】図４は変位発生部４の各種基本構成例を示
している。

【００２３】すなわち、図４(a) はＺ軸方向に変位を発
生する場合、図４(b) はＸ軸方向に変位を発生させる場
合、図４(c) はＹ軸方向に変位を発生させる場合の構成
例である。その他図示しないが、図３(b) ，(c) の構成
を組合せることによりＸＹ軸の二方向に変位を発生させ
ることもできるし、また図３(a) と図３(b) の構成を組
み合わせることによりＸＺ軸の二方向に、図３(a) と図
３(c) の構成を組合せることによりＹＺ軸の二方向に変
位を発生させることができる。さらに、図３(a) 〜(c)
の三つの構成を組合せることによりＸＹＺ軸の三方向に
変位を発生させることができる。さらにまた、ＸＹＺ軸
方向に限らず、任意の方向に変位を発生させるように構
成することが可能である。

【００２４】いずれの例も、変位発生部の構成として、
変位方向に弾性変形可能でかつ変位方向以外の方向には
剛な弾性部材６と、変位方向に伸縮可能な圧電素子や電
歪素子等の変位手段７と、を備えており、この弾性部材
６と変位手段７とが摺動台本体部３１とテーブル等が取
り付けられる取付部３２との対向面間に並べて設けられ
ている。

【００２５】図４(d) に示す例は、変位伝達部材３３を
用いたものである。すなわち、ボールが転動する部分を
有する摺動台本体部３１と取付部３２の対向面間には弾
性部材６のみを設け、変位発生伝達部材の一端３３ａを
摺動台本体部３１にと取付部３２のいずれか一方、図示
例では取付部３２に固定し、この変位伝達部材３３の自
由端部３３ｂと摺動台本体部３１と取付部３２の他方側
の部材、この実施例では摺動台本体部３１との間に変位
手段７を介在させたものである。

【００２６】変位手段６としては、圧電素子や電歪素子
の他に、物体の熱膨張を利用して伸縮させる熱アクチュ
エータや、図４(e) ，(f) に示すような、流体圧によっ
て伸縮するアクチュエータ７ａ、その他ボイスコイルや
磁歪素子等、要するに指令値に基づいて指令値に比例し
て伸縮する各種アクチュエータを適用することができ
る。

【００２７】図５は、図４に示した変位発生部の基本構
成において、弾性部材６として薄肉の板ばね構成とした
場合の各種構成例を示している。

【００２８】図５(a) は図４(a) に示すＺ軸方向に変位
を発生させる場合の弾性部材の基本構成を示す。すなわ
ち、この弾性部材６Ａは、変位発生方向には弾性変形可
能でその他の方向には剛な薄肉構造になっており、一端
が取付部３２に固定され、他端が摺動台本体部３１に固
定されている。

【００２９】図５(b) は、図４(d) に示した変位伝達部
材を用いた変位発生部の具体例を示している。

【００３０】図５(c) は、弾性部材６Ｂとして薄肉の環
状平板構造のものを用いた場合の例を示す。図５(d) 〜
(f) はこの弾性部材６Ｂの平面形状を示すもので、同図
(d)に示すように単なる環状平板形状としてもよく、ま
た同図(e) ，(f) に示すように適当な穴６Ｃを設けた形
状としてもよい。

【００３１】図５ (g)〜(i) は、変位手段７と弾性部材
６Ｂの配置構成例を示している。

【００３２】図５ (g)は、弾性部材６Ｂと変位手段７を
共にリング状に形成して同心的に配置した例である。

【００３３】図５(h) は、棒状の変位手段７と、リング
状の弾性部材６Ｂを用いたもので、棒状の変位手段７を
三か所に配置した例を示している図５(i) は、棒状の変
位手段７を用いると共に、弾性部材６Ｂを棒状の変位手
段７をさけるように円周方向に分割構成としたものであ
る。

【００３４】図６は、図４(b) ，(c) に示すＸ軸，Ｙ軸
方向に変位を発生させる場合の弾性部材の基本的な構成
例を示している。

【００３５】図６(a) は、弾性部材６Ｄを互いに平行に
配置される薄肉部より構成される平行平板構造とした例
であり、Ｘ軸あるいはＹ軸方向の一方向にのみ弾性変形
可能な構造となっている。

【００３６】図６(b) は、弾性部材６Ｅの構造として薄
肉円筒形状としたものである。このようにすれば、Ｘ
軸，Ｙ軸方向のいずれの方向にも弾性変形可能であり、
弾性変形の方向は一方向に限定されない。

【００３７】次に、本発明のより具体的な実施例につい
て説明する。以下、第１実施例から第８実施例までがＺ
軸変位型の実施例であり、第９実施例がＸ軸変位型の実
施例、第１０実施例がＹ軸変位型の実施例であり、第１
１実施例がＸＹ軸二方向変位型の実施例であり、第１２
実施例がＸ軸Ｙ軸変位型の変形例である。

【００３８】［第１実施例］図７および図８は第１の実
施例を示している。この第１実施例は、Ｚ軸方向に変位
を発生させる図４(a) のモデル構成を具体化したもので
あり、図７は概略構成を示し、図８はより具体的な構成
例を示している。

【００３９】まず、図７に基づいて概略構成を説明し、
次いで図８に基づいてより詳細な部分を説明する。

【００４０】図７の例は、弾性部材６Ｂとして図５(c)
に示す薄肉の環状平板構造のものを適用した例である。
すなわち、摺動台３が、ボール２が転動する部分を有す
る摺動台本体部３１と、被案内部材５が取り付けられる
取付部３２と、摺動台本体部３１と取付部３２との間に
介在される変位発生部４とから構成されている。

【００４１】変位発生部４は、板ばね状の弾性部材６Ｂ
と、取付部３１とスライド部３２間の間隔を可変とする
変位手段７とから構成される。弾性部材６Ｂは薄肉の環
状平板形状であり、その外端が環状の取付部３２内端に
固定され、その内端が摺動台本体部３１に固定され、Ｚ
軸方向に弾性変形可能に構成されている。

【００４２】弾性部材６Ｂを環状平板構造とすることに
より、弾性部材６ＢはＺ軸方向には弾性変形可能でかつ
Ｚ軸以外のＸ，Ｙ軸方向には剛な構成となっており、Ｘ
軸，Ｙ軸方向の剛性を高剛性に保つことができる。

【００４３】弾性部材６Ｂの表面には、弾性部材６Ｂの
弾性変形に対応する変位量を検出するための検出手段と
しての抵抗式センサ８ａが貼着されている。この抵抗式
センサ８ａは、図７(b) に示すように、もっとも歪みの
大きい弾性部材６Ｂの付けね部に貼着することによって
感度が高められている。

【００４４】次に図８の例について、図７と異なる点お
よびより具体化されている点を説明する。

【００４５】この図示例では、摺動台３を構成する四角
形のブロック体を加工することによって取付部３２と弾
性部材６Ｂと摺動台本体部３１とを一体構成としてあ
る。すなわち、摺動台３の前後左右の側面に全周的にス
リット３４を形成し、一方、摺動台３の上面中央に円形
の凹部３５を形成し、凹部３５底面とスリット３４の間
を薄肉にして弾性部材６Ｂを構成している。この摺動台
３の凹部３５の開口部は蓋体３６によって閉塞されてい
る。

【００４６】抵抗式センサ８ａとしては、弾性部材６Ｂ
の外径端部と内径端部に４枚づつ等配し、内径端側と外
径端側の抵抗式センサ８ａの位相を４５度ずらして配置
してある。また、抵抗式センサ８ａを弾性部材６Ｂの凹
部３４側の表面に取付け、抵抗式センサ８ａからの信号
線は取付部３１に固定される接続端子９を通じて取り出
される。

【００４７】図９には、このような変位発生直線運動用
案内装置の制御ブロック図が示されている。

【００４８】すなわち、圧電素子等の変位手段７を動作
させるために、指令値をアナログ信号に変換するＤ／Ａ
コンバータ１００と、この信号を増幅するドライブアン
プ１０１と、弾性部材６Ｂに貼着された抵抗式センサ８
ａの抵抗値を読むためのストレインアンプ１０２と、ス
トレイアンプ１０２から出力されたアナログの検出値を
ディジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ１０３と、
それを処理しコントロールする演算回路１０４と、から
構成されている。そして、抵抗式センサ８ａによて検出
された変位情報を常時モニタして演算回路１０４にフィ
ードバックし、適切な変位を発生させるように圧電素子
等の変位手段７を制御して逐次変位が調整される。すな
わち、摺動台３に取付けられるテーブル等の被案内部材
の位置が制御されることになる。

【００４９】制御構成としては、図中点線で示すよう
に、抵抗式センサからのアナログ情報をディジタル情報
に変換せずに直接指令値のアナログ信号と比較して制御
するように構成してもよい。

【００５０】［第２実施例］図１０は第２実施例を示す
もので、この実施例は変位発生部４に図５(b) に示され
るような変位伝達部材３３を利用したものである。変位
の発生方向はＺ軸方向であり、変位検出手段として抵抗
式センサ８ａを弾性部材６に貼着したものである。

【００５１】［第３実施例］図１１は第３実施例を示す
もので、この実施例も変位発生部４の構成として図５
(c) に示される環状薄肉平板構造の弾性部材６Ｂを適用
したもので、Ｚ軸方向に変位を発生させるタイプであ
る。そして、変位を検出する代わりに、力検出手段９を
設けて力を検出するようになっている。

【００５２】力検出手段９としては、図３(f) ， (g)に
示すような力に対応して変形する弾性部材のひずみを抵
抗式センサ９ａによって電気信号に変換して検出するも
のである。弾性部材９ｂとしては、変位発生部４に適用
した弾性部材６Ｂと同様に、力の作用方向に弾性変形可
能でかつ他の方向には剛な薄肉の環状平板形状の板ばね
が用いられ、摺動台本体部３１，取付部３２および変位
発生部４と一体構造となっている。そして、変位発生部
４を所定量伸長させると、その分だけ力が増大し、力の
増大分に応じて力検出手段９の弾性部材６ｂがたわみ、
そのたわみ量を抵抗式センサ９ａにて電気抵抗変化とし
て検出するようになっている。

【００５３】［第４実施例］図１２は本発明の第４実施
例を示している。この実施例は、図１０の第２実施例と
同様に変位伝達部材３３を用いたタイプに、変位検出手
段の代わりに第３実施例と同様の力検出手段９を適用し
たものである。

【００５４】［第５実施例］図１３および図１４は、本
発明の第５実施例を示している。このうち、図１３は概
略構成を示し、図１４はより具体的な構成例を示してい
る。

【００５５】すなわち、図１３に示す例は、図７に示す
第１実施例の変位発生部４を摺動台本体部３１と分離し
て別体構成としたものである。

【００５６】図１４(a) に示される具体例は、図８に示
す具体例の変位発生部４を摺動台本体部３１と分離して
別体構成としたものである。

【００５７】このように変位発生部４を分離しておけ
ば、既存の製品に変位発生用アタッチメントとして取付
けることができる。

【００５８】図１４(b) ，(c) は、変位発生部４の変形
例を示している。

【００５９】図１４(b) に示すものは、薄肉環状平板構
成の弾性部材６Ｂを互いに平行に組み合わせた平行平板
構造としたものである。

【００６０】図１４(c) に示すものは、両端にフランジ
付き円筒体の内外周に切り込みを入れて薄肉の環状平板
構造の弾性部材６Ｂを構成したもので、両端のフランジ
部間に圧電素子等の変位手段７を介在させ、より簡略化
した構成例を示す。

【００６１】［第６実施例］図１５は本発明の第６実施
例を示している。この実施例は、図１０に示す第２実施
例の変位発生部４を、摺動台本体部３１と分離して別体
構成としたものである。

【００６２】［第７実施例］図１６は本発明の第７実施
例を示している。この実施例は、図１１に示す第３実施
例の変位発生部４を、摺動台本体部３１と分離して別体
構成としたものである。

【００６３】［第８実施例］図１７は本発明の第８実施
例を示している。この実施例は、図１２に示す第４実施
例の変位発生部４を、摺動台本体部３１と別体構成とし
たものである。

【００６４】［第９実施例］図１８は本発明の第９実施
例を示している。この実施例はＸ軸方向変位型で、図４
(b) の基本構成の変位発生部の構造として図６(a) のも
のを適用したものである。

【００６５】図１８(a) は変位発生部４と摺動台３を一
体構造としたもので、図１８(b) は変位発生部４を摺動
台本体部３１と分離して別体構成としたものである。

【００６６】［第１０実施例］図１９は本発明の第１０
実施例を示している。この実施例はＹ軸方向変位型で、
図４(c) の基本構成の変位発生部の構造として図６(a)
のものを適用したものである。

【００６７】図１９(a) は変位発生部と摺動台３を一体
構造としたもので、図１９(b) は変位発生部４を摺動台
本体部３１と分離して別体構成としたものである。

【００６８】［第１１実施例］図２０(a) ，(b) は本発
明の第１１実施例を示している。この実施例はＸ軸，Ｙ
軸の両軸方向に変位を発生させるもので、図１８に示す
第９実施例と図１９に示す第１０実施例を組み合わせた
ものである。

【００６９】図２０(c) は、変位発生部４を摺動台本体
部３１と分離して別体構成としたものである。

【００７０】［第１２実施例］図２１および図２２は本
発明の第１２実施例であり、Ｘ軸方向とＹ軸方向に変位
を発生させるために、図６(b) に示すような共通の薄肉
円筒状の弾性部材を適用したものである。

【００７１】図２１(a) は変位手段７をＸ軸に沿って設
け、Ｘ軸方向に変位を発生させる構成であり、図２１
(b) は変位手段７をＹ軸方向に沿って設け、Ｙ軸方向に
変位を発生させる構成である。

【００７２】また、図２１(c) は、変位発生部４を摺動
台本体部３１とは分離して別体構成とした例である。

【００７３】図２２は、図２１(a) の構成をより具体化
した構成例であり、て第１２実施例の図薄肉円筒状弾性
部材６Ｄを用いたタイプのより具体的な構成例である。

【００７４】すなわち、摺動台本体部３１の一端から取
付部３２の側面との間に所定の間隔を隔てて腕部３７を
設け、この腕部３７と取付部３２の間に変位手段７が介
在されており、この微小変位手段７を伸縮作動させるこ
とによって取付部３１に取付けられた被案内部材の位置
を制御するようになっている。

【００７５】

【発明の効果】本発明は以上の構成および作用を有する
もので、変位発生部を設けることによって摺動台を変位
させ、摺動台に取り付けられる被案内部材の位置を制御
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１(a) 乃至(c) は本発明の変位発生直線運動
用案内装置の概念構成を示す図、同図(d) は斜視図であ
る。

【図２】図２(a) は図１の構成に変位検出手段を設けた
場合の概念構成を示す図、同図(b) は図１の構成に力検
出手段を設けた場合の概念構成を示す図である。

【図３】図３(a) 〜(e) は変位検出手段を用いた場合の
変位発生部近傍の構成図、同図(f) ， (g)は力検出手段
を用いた場合の変位発生部近傍の構成図である。

【図４】図４(a) 〜(c) は変位発生部の基本的な構成例
を模式的に示す図、同図(d) は変位伝達部材を用いた構
成例を模式的に示す図、同図(e) ，(f) は変位手段とし
て流体圧シリンダを用いた例を模式的に示す図である。

【図５】図５(a) は図４に示す変位発生部の弾性部材を
板ばねにより構成した場合の要部断面図、同図(b) は図
４(d) に示す変位発生部の弾性部材を板ばねにより構成
した場合の要部断面図、同図(c) は弾性部材を薄肉環状
平板構造の板ばねによって構成した例を示す断面図、同
図(d) 〜(f) は同図(c) の弾性部材の各種態様を示す平
面図、同図 (g)〜(i) は弾性部材と変位手段の各種配置
構成例を示す図である。

【図６】図６(a) は横方向に変位を発生させる場合の変
位発生部を平行平板構造の板ばねを用いて構成した場合
の模式図、同図(b) は弾性部材を薄肉円筒状に形成した
場合の模式的な構成図である。

【図７】図７は本発明の第１実施例に係る直線運動用案
内装置を示すもので、同図(a)は概略構成図、同図(b)
は変位発生状態の要部断面図である。

【図８】図８は図７の構成をより具体化した直線運動用
案内装置を示すもので、同図(a) は概略構成図、同図
(b) は平面図、同図(c) ，(d) は動作状態を説明するた
めの要部断面図である。

【図９】図９は図７の装置の制御ブロック図である。

【図１０】図１０は本発明の第２実施例に係る直線運動
用案内装置を示す概略構成図である。

【図１１】図１１は本発明の第３実施例に係る直線運動
用案内装置を示すもので、同図(a) は概略構成図、同図
(b) は動作状態を説明するための要部断面図である。

【図１２】図１２は本発明の第４実施例に係る直線運動
用案内装置を示す概略構成図である。

【図１３】図１３は本発明の第５実施例に係る直線運動
用案内装置を示す概略構成図である。

【図１４】図１４(a) は本発明の図１３の変位発生部を
分割構成とした例を示す基本構成図、同図(b) ，(c) は
変位発生部の他の構成例を示す図である。

【図１５】図１５は本発明の第６実施例に係る直線運動
用案内装置を示す概略構成図である。

【図１６】図１６は本発明の第７実施例に係る直線運動
用案内装置を示す概略構成図である。

【図１７】図１７は本発明の第８実施例に係る直線運動
用案内装置を示す概略構成図である。

【図１８】図１８(a) は本発明の第９実施例に係る直線
運動用案内装置を示す概略構成図、同図(b) は同図(a)
の変位発生部を分離した概略構成図である。

【図１９】図１９(a) は本発明の第１０実施例に係る直
線運動用案内装置を示す概略構成図、同図(b) は同図
(a) の変位発生部を分離した概略構成図である。

【図２０】図２０(a) は本発明の第１１実施例に係る直
線運動用案内装置を示す概略構成図、同図(b) は同図
(a) の側面図、同図(c) は同図(a) の変位発生部を分離
した概略構成図である。

【図２１】図２１は本発明の第１２実施例に係る直線運
動用案内装置を示すもので、同図(a) はＸ軸変位型の概
略構成図、同図(b) はＹ軸変位型の概略構成図、同図
(c)は同図(a) の変位発生部を分離した概略構成図であ
る。

【図２２】図２２は図２１(a) の構成をより具体化した
直線運動用案内装置を示し、同図(a) は概略構成図、同
図(b) は平面図である。

【符号の説明】

１軌道レール２ボール（転動体）３摺動台３１摺動台本体部３２取付部４変位発生部５被案内部材６，６Ａ，６Ｂ，６Ｄ弾性部材７微小変位手段８変位検出手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】軌道レールと、該軌道レールに転動体を
介して摺動自在に設けられる摺動台と、を備えた直線運
動用案内装置において、前記摺動台に変位発生部を設けたことを特徴とする変位
発生直線運動用案内装置。
【請求項２】変位発生部は、変位を発生させる方向に
は変形可能でかつその他の方向には剛な弾性部材と、該
弾性部材を伸縮させる変位手段と、を具備してなる請求
項１に記載の変位発生直線運動用案内装置。
【請求項３】変位発生部における変位量を検出する変
位検出手段を備えた請求項１または２に記載の変位発生
直線運動用案内装置。
【請求項４】変位発生部に作用する力を検出する力検
出手段を備えた請求項１または２に記載の変位発生直線
運動用案内装置。
【請求項５】変位検出手段の検出値に基づいて前記変
位手段の変位量を調整することを特徴とする請求項３に
記載の変位発生直線運動用案内装置。
【請求項６】力検出手段の検出値に基づいて前記変位
手段の変位量を調整することを特徴とする請求項４に記
載の変位発生直線運動用案内装置。
【請求項７】変位手段は、指令値を与えると該指令値
に比例して変位する手段である請求項２，３，４，５ま
たは６に記載の変位発生直線運動用案内装置。
【請求項８】変位手段は圧電素子または電歪素子によ
り構成される請求項５に記載の変位発生直線運動用案内
装置。
【請求項９】変位手段は流体圧を利用して伸縮するア
クチュエータである請求項７に記載の変位発生直線運動
用案内装置。
【請求項１０】変位手段は熱膨張を利用して伸縮する
アクチュエータである請求項７に記載の変位発生直線運
動用案内装置。
【請求項１１】変位手段はボイスコイルを利用したア
クチュエータである請求項７に記載の変位発生直線運動
用案内装置。
【請求項１２】変位手段は磁歪素子を利用したアクチ
ュエータである請求項７に記載の変位発生直線運動用案
内装置。
【請求項１３】変位発生部の変位発生方向は、軌道台
と摺動台の疑似摺動面に対して直交する方向，軌道台の
長さ方向および軌道台に対して直交しかつ疑似摺動面に
対して平行方向の三方向のうち少なくとも一の方向であ
る請求項１乃至１２のいずれか一の請求項に記載の変位
発生直線運動用案内装置。