JPH05285878A - ハンド - Google Patents

ハンド

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JPH05285878A
JPH05285878A JP9634992A JP9634992A JPH05285878A JP H05285878 A JPH05285878 A JP H05285878A JP 9634992 A JP9634992 A JP 9634992A JP 9634992 A JP9634992 A JP 9634992A JP H05285878 A JPH05285878 A JP H05285878A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
hand
nozzle
suction nozzles
nozzles
Prior art date
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Pending
Application number
JP9634992A
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English (en)
Inventor
Tomosane Wakabayashi
伴実 若林
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】交換を要することなく複数種のワ−クを取扱う
ことが可能なハンドを提供することにある。 【構成】ワ−ク13、14を吸着ノズル3に真空吸着し
て保持するハンド1において、複数の吸着ノズル3、3
を一体に備え、これら吸着ノズル3、3を外形の異なる
複数種のワ−クの大きさに応じて個別に或いは組合せて
駆動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば産業機械に備え
られ、電子部品等の被保持物を保持するハンドに関す
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、電子部品を基板に供給する部品
装着機等には、電子部品を保持して基板に載置するハン
ドが備えられている。そして、この種のハンドとして、
対象部品(以下、ワ−クと称する)を吸着する吸着ノズ
ルを有するものや、ワ−クを挟持する指部を有するもの
等がある。
【0003】これらのうち、ワ−クを吸着するタイプの
ハンドにおいては、吸着ノズルが真空発生装置に接続さ
れている。さらに、複数種のワ−クが対象となる場合に
は、ワ−クの形状や大きさに合せて吸着ノズルが取換え
られる。また、ノズル交換のためのホルダが利用される
場合があり、このホルダには交換用ノズルが個々に載置
される載置部が形成されている(例えば、特願昭63−
285632号明細書など)。
【0004】一方、指部を備えたハンドタイプのハンド
においては、指部の挟持力をワ−クの強度や重量等に合
せて調節する必要がある。そして、指部の挟持力を調節
するために、指部に歪ゲ−ジを貼り付けて挟持力を検出
する方法が公開されている(例えば、実開平2−152
00号公報など)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ワ−クを真
空吸着するタイプのハンドを利用する場合には、ワ−ク
の変更に合せて吸着ノズルを交換する工程が必要であ
り、複数種のワ−クを効率良く保持することができなか
った。
【0006】また、指部を備えるとともに歪ゲ−ジが貼
り着けられたハンドを利用する場合には、歪ゲ−ジの出
力を増幅するためのアンプが必要だった。また、歪ゲ−
ジが破損した際には、歪ゲ−ジを剥がれないように貼り
換えなければならず、メンテナンスが困難だった。さら
に、歪ゲ−ジは温度や湿度等の環境変化に敏感であり、
取扱いが面倒だった。[請求項1]の発明の目的とする
ところは、交換を要することなく複数種のワ−クを取扱
うことが可能なハンドを提供することにある。[請求項
2]の発明の目的とするところは、挟持力を容易に検出
することが可能なハンドを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段および作用】前記課題を解
決するために[請求項1]の発明は、対象部品を吸着ノ
ズルに真空吸着して保持するハンドにおいて、複数の吸
着ノズルを一体に備え、これら吸着ノズルを外形の異な
る複数種の対象部品の大きさに応じて個別に或いは組合
せて駆動する。
【0008】また、[請求項2]の発明は、複数の指部
を有し、これら指部で対象部品を挟持するハンドにおい
て、指部を相対的に変位させるとともに、指部を駆動す
る駆動源と、駆動源と指部との間に介在し指部の挟持力
に応じて弾性変形するばね部材とを備え、ばね部材の変
形量を基にして指部の挟持力を検出する。そして、[請
求項1]の発明は、吸着ノズルの交換を要することなく
複数種のワ−クを取扱えるようにした。また、[請求項
2]の発明は、容易に挟持力を検出できるようにした。
【0009】
【実施例】以下、本発明の各実施例を図1〜図4に基づ
いて説明する。
【0010】図1は、本発明の第1の実施例を示してお
り、図中の符号1は、例えば電子部品装着機等に取付け
られるハンドである。このハンド1は、ハンド本体2、
例えば二本の吸着ノズル3、3、及び、アクチュエ−タ
4、4により構成されている。
【0011】ハンド本体2は、アクチュエ−タ4、4に
対応した数のノズル受孔5、5を内部に有しており、こ
れらノズル受孔5、5は対称的に配置されている。ノズ
ル受孔5、5はハンド本体2の下端に例えば円形に開口
するとともに、その上部は閉じている。
【0012】また、ハンド本体2の内部には本体側吸引
孔6、6が形成されており、これら本体側吸引孔6、6
は、ハンド本体2の外周面に設けられた突部7、7の先
端面に開口している。さらに、ハンド本体2の内部には
吸引窓8、8が形成されており、この吸引窓8、8はノ
ズル受孔5、5に面して開口するとともに、本体側吸引
孔6、6と連通している。
【0013】前記吸着ノズル3、3はノズル受孔5、5
に差込まれており、吸着ノズル3、3の大部分はハンド
本体2に収納されている。吸着ノズル3、3の円筒状に
成形されており、下端を開放するとともに上端を閉塞し
ている。さらに、吸着ノズル3、3は外周面をノズル受
孔5、5の内周面に摺動自在に接している。
【0014】また、ノズル受孔5、5の内周面には二つ
ずつのシ−ルリング9…が埋め込まれており、これらシ
−ルリング9…は、吸引窓8、8の上下に配置されてい
る。そして、シ−ルリング9…は、吸着ノズル3、3の
外周面に圧接している。
【0015】吸着ノズル3、3にはノズル側吸引孔1
0、10がそれぞれ設けられており、このノズル側吸引
孔10、10と吸引窓8、8とを介して、本体側吸引孔
6、6と吸着ノズル3、3の内部空間11、11とが連
通している。
【0016】前記アクチュエ−タ4、4はハンド本体2
の上部に配置されており、ノズル受孔5、5の略真上に
位置している。そして、アクチュエ−タ4、4と吸着ノ
ズル5、5とが伝達軸12、12を介して連結されてい
る。そして、アクチュエ−タ4、4は吸着ノズル3、3
を、ノズル受孔5、5に沿って個別に上下させる。
【0017】ここで、吸引窓8、8の上下方向の大きさ
は、ノズル側吸引孔10、10の上下動の範囲に合わせ
て設定されている。また、個々の吸着ノズル3、3の大
きさは、外形の異なる複数種の対象部品(以下、ワ−ク
と称する)のうち最も小さいワ−クの大きさに合せて設
定されている。また、両吸着ノズル3、3の配置は、複
数種のワ−クのうち最も大きいワ−クの大きさに合せて
設定されている。つぎに、上述のハンド1の作用を説明
する。
【0018】ハンド本体2の突部7、7に負圧管(図示
しない)が連結され、ハンド1が負圧管を介して真空発
生装置と接続される。吸着ノズル3、3の内部空間1
1、11が、ノズル側吸引孔10、10、吸引窓8、
8、及び、本体側吸引孔6、6を介して真空吸引され、
吸着ノズル3、3の先端に電子部品等のワ−クが吸着さ
れる。
【0019】図2(a)に示すようにワ−ク13、13
が小さい場合、各吸着ノズル3、3が別々に1つのワ−
クを吸着する。したがって、複数のワ−クが吸着ノズル
3、3によって同時に保持される。また、図2(b)に
示すようにワ−ク14が大きい場合、両吸着ノズル3、
3が共に1つのワ−ク14を吸着する。
【0020】すなわち、上述のようなハンド1において
は、二つの吸着ノズル3、3が備えられているので、一
つのハンド1で形状や大きさの異なる複数種のワ−ク1
3、14の保持を行うことができる。つまり、ハンド1
を多目的化できる。そして、例えば小型ICから大型Q
FP(Quad Flat Package) までを1台のハンドを使って
取扱うことが可能である。
【0021】また、複数種のワ−ク13、14を取り扱
う際でも、ツ−ル交換が不要である。そして、複数種の
ワ−ク13、14を短時間でハンドリングすることがで
きる。
【0022】また、ツ−ル交換が不要であるので、取り
扱われるワ−クの種類に応じた数のハンドを用意する必
要がなくなる。そして、ハンドが一台で済むため、省ス
ペ−ス化が可能になる。
【0023】なお、本実施例では吸着ノズル3、3の数
は2つであるが、本発明はこれに限定されるものではな
く、例えば、吸着ノズルの数を3つ以上とすれば、より
多くの数のワ−クを同時に保持することができる。そし
て、この場合には、例えば大小複数のワ−ク13、14
を同時に保持することも可能である。
【0024】また、本実施例では吸着ノズル3、3の形
状や大きさが略同じく設定されているが、吸着ノズル
3、3の形状や大きさを異ならせれば、同時に複数種の
ワ−クを保持することが可能である。そして、異なる種
類の吸着ノズルを適宜組合わせれば、より多様なワ−ク
の保持が可能になる。さらに、本実施例のハンド1を、
例えばロ−タリヘッド等に組込むことが考えられる。つ
ぎに、本発明の第2の実施例を説明する。
【0025】図3は本発明の第2の実施例を示してお
り、図中の符号21は、例えば電子部品装着機等に取付
けられるハンドである。このハンド21は、支柱22、
パルスモ−タ等の駆動源23、第1および第2の2つの
指部24、25を有する挟持26、及び、駆動源23に
取付けられた位置検出部27により構成されている。
【0026】支柱22は下方に延びており、その上端に
水平部22aを有している。水平部22aにはラック2
8が形成されており、支柱22はラック28を駆動源2
3のピニオン29に噛合わせている。そして、支柱22
は駆動源23によって例えば水平方向に変位させられ
る。
【0027】両指部24、25はともに下方へ延びてお
り、互いに略平行に向い合っている。また、指部24、
25の上端部には水平部24a、25aが形成されてお
り、この水平部24a、25aは互いに対向している。
水平部24a、25aには矩形なガイド柱30、30が
差込まれており、指部24、25はこのガイド柱30、
30に沿ってスライドする。
【0028】さらに、指部24、25の水平部24a、
25aにはラック31、32が形成されており、両水平
部24a、25aは間に配置されたピニオン33に互い
のラック31、32を噛合せている。
【0029】一方の指部24には支柱22を案内するた
めの水平な案内路34が形成されており、支柱22の下
端がこの案内路34に入込んでいる。案内路34内に
は、ばね部材としての2つのコイルスプリング35、3
6が設けられている。これらコイルスプリング35、3
6は支柱22の両側に配置されており、各コイルスプリ
ング35、36の一端は支柱22に接続され、他端は案
内路34の両端壁に接続されている。そして、コイルス
プリング35、36は支柱22の変位に伴って伸縮す
る。つぎに、上述のハンド21の作用を説明する。
【0030】駆動源23の動力がラック28とピニオン
29とを介して支柱22に伝達され、図4(a)及び
(b)に示すように、支柱22が水平に直線移動する。
支柱22の移動方向は駆動源23の出力軸23aの回転
方向によって決まる。支柱22が移動すると、図4
(b)に示すように第1のコイルスプリング35が収縮
し、他方のコイルスプリング36が伸長する。そして、
第1の指部24が、伸縮したコイルスプリング35の側
へ押されて水平に直線移動する。
【0031】第1の指部24が水平移動すると、両指部
24、25の間のピニオン33が回転し、他方の指部2
5が、一方の指部24の移動方向に対して逆に直線移動
する。そして、第2の指部25が第1の指部に近付き、
両指部24、25の間隔が狭まる。両指部24、25の
間隔が被保持物としてのワ−ク37の大きさに一致する
と、指部24、25の内側面がワ−ク37に接する。
【0032】指部24、25とワ−ク37との接触後に
おいても、支柱22は更に幾分移動させられる。そし
て、コイルスプリング35は更に収縮し、このときのコ
イルスプリング35の弾性復元力が指部24、25の把
持力となる。この把持力Fは、支柱22の移動量をxと
し、コイルスプリング35の弾性係数をkとすると、以
下のF=kxの式によって表される。そして、支柱22
の移動量が、位置検出部27によって、駆動源23の動
作量を基にして求められ、位置検出部27の出力を基に
して把持力Fが計算される。
【0033】ここで、支柱22が上述の場合とは逆に移
動し、第2のコイルスプリング36が収縮すると、両指
部24、25は互いに離間する。そして、両指部24、
25を環状のワ−クの孔に差し込み、互いに離間するよ
う移動させれば、環状のワ−クの保持が可能である。
【0034】すなわち、上述のようなハンド21におい
ては、コイルスプリング35、36の変形量を基にして
把持力が求められるので、指部24、25に歪センサ等
を貼り着ける必要がない。したがって、指部24、25
の挟持力を容易に検出することができる。
【0035】また、指部24、25は1つの駆動源23
によって駆動されるとともに、駆動源の動力が支柱22
と第1及び第2のコイルスプリング35、36によって
伝達されるので、両指部24、25のまわりの配線が不
要になる。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように[請求項1]の発明
は、対象部品を吸着ノズルに真空吸着して保持するハン
ドにおいて、複数の吸着ノズルを一体に備え、これら吸
着ノズルを外形の異なる複数種の対象部品の大きさに応
じて個別に或いは組合せて駆動する。したがって[請求
項1]の発明は、吸着ノズルの交換を要することなく複
数種のワ−クを取扱えるという効果がある。
【0037】また、[請求項2]の発明は、複数の指部
を有し、これら指部で対象部品を挟持するハンドにおい
て、指部を相対的に変位させるとともに、指部を駆動す
る駆動源と、駆動源と指部との間に介在し指部の挟持力
に応じて弾性変形するばね部材とを備え、ばね部材の変
形量を基にして指部の挟持力を検出する。したがって
[請求項2]の発明は、容易に挟持力を検出できるとい
う効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の要部を示す断面図。
【図2】(a)は二つの吸着ノズルが個別に一つずつの
ワ−クを保持した状態を示す説明図、(b)は二つの吸
着ノズルが共に1つのワ−クを保持した状態を示す説明
図。
【図3】本発明の第2の実施例の要部を示す斜視図。
【図4】(a)は両指部が開いている状態を示す説明
図、(b)は両指部がワ−クを保持した状態を示す説明
図。
【符号の説明】
1、21…ハンド、3、3…吸着ノズル、13、14…
ワ−ク(対象部品)、23…駆動源、24…第1の指
部、25…第2の指部、35…第1のコイルスプリング
(ばね部材)、36…第2のコイルスプリング(ばね部
材)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B65H 5/14 C 7111−3F

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対象部品を吸着ノズルに真空吸着して保
    持するハンドにおいて、複数の吸着ノズルを一体に備
    え、これら吸着ノズルを外形の異なる複数種の対象部品
    の大きさに応じて個別に或いは組合せて駆動することを
    特徴とするハンド。
  2. 【請求項2】 複数の指部を有し、これら指部で対象部
    品を挟持するハンドにおいて、上記指部を相対的に変位
    させるとともに、上記指部を駆動する駆動源と、上記駆
    動源と上記指部との間に介在し上記指部の挟持力に応じ
    て弾性変形するばね部材とを備え、上記ばね部材の変形
    量を基にして上記指部の挟持力を検出することを特徴と
    するハンド。
JP9634992A 1992-04-16 1992-04-16 ハンド Pending JPH05285878A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014528364A (ja) * 2011-10-07 2014-10-27 シュンク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト スパン−ウント グライフテクニック 把持装置またはクランプ装置
CN108202317A (zh) * 2017-01-23 2018-06-26 英特科学公司 线性驱动的抓握装置
JP2019209406A (ja) * 2018-06-01 2019-12-12 国立大学法人東北大学 変位−力変換装置およびグリッパ装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014528364A (ja) * 2011-10-07 2014-10-27 シュンク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト スパン−ウント グライフテクニック 把持装置またはクランプ装置
CN108202317A (zh) * 2017-01-23 2018-06-26 英特科学公司 线性驱动的抓握装置
JP2018118373A (ja) * 2017-01-23 2018-08-02 インターサイエンス 直線作動用の把持装置
JP2019209406A (ja) * 2018-06-01 2019-12-12 国立大学法人東北大学 変位−力変換装置およびグリッパ装置

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