JPH0528554Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0528554Y2
JPH0528554Y2 JP1985006013U JP601385U JPH0528554Y2 JP H0528554 Y2 JPH0528554 Y2 JP H0528554Y2 JP 1985006013 U JP1985006013 U JP 1985006013U JP 601385 U JP601385 U JP 601385U JP H0528554 Y2 JPH0528554 Y2 JP H0528554Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
actuating member
attached
valve body
valve seat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1985006013U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61121699U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1985006013U priority Critical patent/JPH0528554Y2/ja
Publication of JPS61121699U publication Critical patent/JPS61121699U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0528554Y2 publication Critical patent/JPH0528554Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Sliding Valves (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この考案は迅速な操作が可能で、しかも確実に
シールを達成することができる高速シヤツタに関
するものである。
(従来技術) 核融合炉において、高温のプラズマを発生させ
るために中性粒子入射装置より中性粒子を核融合
炉に入射して加熱を行う。この核融合炉では高温
プラズマの中にトリチューム、重水素等の作用物
質があり、それらの作用物質は中性粒子入射装置
に流れ込んでくる。すなわち、中性粒子入射装置
には重水素イオンを除去するための大容量真空ポ
ンプ(クライオパネル)があり、その真空度(約
1.3×10 torr)は、核融合炉の真空度(約8×10
torr)より低く設定されているためである。従つ
て、入射時以外はこれらの作用物質(とくにトリ
チユーム)が中性粒子入射装置に流入して排気さ
れてしまうことを防止する必要がある。このため
核融合炉と中性粒子入射装置との間には中性粒子
の入射時のみ開く高速シヤツタを設ける必要があ
る。
上記高速シヤツタとして、従来は弁体がバルブ
シートと若干の隙間を保ちながら、バルブシート
に対して弁体がその面方向に移動して弁の開閉を
行う機構が採用されており、許容されるコンダク
タンスが厳しく(小さく)なつた場合、弁体とバ
ルブシートとの間の隙間を小さくすることが必要
となるが、小さくすると弁体の高速の移動による
バルブシートとの摺動によりカジリや溶着等のト
ラブルが生じるおそれがあつた。
(考案の目的) この考案は、このような従来の課題の解決のた
めになれたものであり、操作を迅速に行うことが
でき、しかも溶着等のトラブルの生じるおそれが
なく、確実にシールを達成することができる高速
シヤツタを提供するものである。
(考案の構成) この考案は、流体の通路中に設けられた弁箱
と、上記弁箱中に設けられたバルブシートと、上
記バルブシートに当接することにより通路を閉塞
する弁体と、この弁体が一端部に取付けられた弁
棒と、この弁棒を保持して弁体が上記バルブシー
トの面方向に移動するように軸周りに揺動する支
柱と、駆動軸にアームが取付けられるとともにそ
のアームの先端に第2の作動部材が取付けられて
なる駆動手段とを有し、上記弁棒は上記支柱の揺
動方向と直交方向に揺動可能に支柱により保持さ
れるとともに第1の作動部材が結合され、上記ア
ームの先端部には第3の作動部材が取付けられて
この第3の作動部材が上記支柱と係合し、上記ア
ームの揺動により第3の作動部材を介して支柱を
その軸周りに揺動させるように構成され、かつ弁
の開き始めおよび閉じ終りのみは第2の作動部材
が第1の作動部材を介して弁棒を支柱の揺動方向
と直交方向に揺動させて弁体がバルブシートの面
と直交方向にのみ動くように構成されているもの
である。
(実施例) 第8図において、核融合炉11に中性粒子入射
装置14の外囲真空容器15が真空弁12、高速
シヤツタ1および導管13を介して接続されてい
る。核融合炉11の運転中は真空弁12は開か
れ、核融合炉11および中性粒子入射装置14は
それぞれ図示しない真空ポンプで高真空に保持さ
れている。
中性粒子113を中性粒子入射装置14より核
融合炉11に入射する時には高速シヤツタ1を開
き、イオン源ガス配管17を通して供給される重
水素ガスをイオンビーム発生器16でイオン化し
て加速した後、イオン中性化セル18を通して中
性粒子113とし、核融合炉11に入射する。中
性化しなかつたイオン114は偏向磁石19によ
り偏向させ、ビームダンプ110によりエネルギ
ーを吸収した後、クライオパネル111,112
に吸着させて除去する。所定の中性粒子の入射が
終了すれば、中性粒子の発生を止めるとともに、
高速シヤツタ1を短時間で閉じ、核融合炉11か
ら重水素およびトリチユーム115が大量に逆流
するのを防止する。
上記高速シヤツタ1は、第1図〜第5図に示す
ように構成されている。すなわち、導管13の両
端部間に弁箱2がガスケツト29を介在させてシ
ール構造で配置され、この弁箱2内の一方の側に
バルブシート(シールベローズ)3が配置され、
このバルブシート3に対して弁体4が当接して配
置されている。弁体4の上部には弁棒40が結合
され、この弁棒40は弁箱上板21の貫通穴22
を貫通して上方に突出し、その上端部にはナツト
42によつて揺動フランジ41が結合されてい
る。
上記貫通部には貫通穴22の周囲にベローズ4
3が配置されるとともに、弁棒40を取付けてい
る揺動フランジ41に上記ベローズ43の上端部
が結合され、これによつて弁棒40が上板21を
貫通する部分を弁棒40が任意の方向に移動でき
るようにシールしている。
弁箱2の上板21上には、一対の軸受台25が
取付けられ、この軸受台25によつて支柱5a,
5bの下端部が軸50により軸受26を介して回
転可能に結合され、この支柱5a,5bの上端部
には弁棒ガイド44、中間部には支持部材56が
取付けられている。支持部材56を貫通する弁棒
40の貫通部には自動調芯軸受46が取付けら
れ、これによつてこの貫通部で弁棒40が任意の
方向に傾動することができるように、弁棒40が
支柱5a,5bによつて保持されている。また、
弁棒ガイド44は弁棒40の上端部を相対向する
互いに平行な面47で挟み付け、これによつて弁
棒40の上端部が第1図の左右方向(第2図の紙
面に直交方向)にのみ移動可能に構成されてい
る。
支持部材56と弁棒ガイド44との間には、カ
ム(第1の作動部材)6が配置され、このカム6
の軸67は支柱5bを貫通し、その先端にはカラ
ー65がナツト66で固定されて抜け止めされ、
また支柱5bに支持されたバネ64によりカム6
が前進する方向(第1図の右方向)に押されてい
る。また、カム6の座部62には弁棒40を貫通
するピン63が取付けられ、弁棒40はこのピン
63周りに回転可能に構成されている。
駆動軸7の軸端にはアーム70が取付けられ、
このアーム70の先端部では大ローラ軸72によ
つて大ローラフオロア(第3の作動部材)71が
保持され、かつ大ローラ軸72の先端では上記大
ローラ軸72と直交方向に配置されている小ロー
ラ軸74によつて小ローラフオロア(第2の作動
部材))73が保持されている。そして、大ロー
ラフオロア71が支柱5aに形成された案内溝5
5内を移動するように配置されるとともに、小ロ
ーラフオロア73が上記カム6にバネ64の力に
抗して圧着されている。また支柱5aにはカムガ
イド61が取付けられ、これによつてカム6を第
4図の紙面方向のみに動くようにガイドしてい
る。
駆動軸7は駆動装置用架台86上の軸受ハウジ
ング78,79によつて軸受76,77を介して
回転可能に保持されている。また駆動軸7の軸端
はカツプリング81を介して油圧モータ8および
サーボ弁83に連結され、これらは駆動装置用架
台86およびその上に取付けられた軸受ハウジン
グ84,85によつて支持されている。またサー
ボ弁83には図示しない油圧配管によつて油圧ユ
ニツトが接続され、かつ電気信号配線によつてコ
ントロールボツクスが接続されている。そして、
サーボ弁83は上記コントロールボツクスに入力
された信号を受けて、その信号に対応する駆動を
油圧モータ8に行わせるために上記油圧ユニツト
からサーボ弁83を通り油圧モータ8に流入する
油量を制御するように構成されている。
なお、駆動装置として油圧モータを例示した
が、これに限らず他の駆動装置、例えば電動モー
タを採用してもよい。
第6図および第7図は弁棒40の保持手段の別
の例を示し、支柱5a,5bに取付けられた支持
部材57には弁棒40が貫通するとともに、この
貫通部で支持部材57および弁棒40を貫通して
ピン58が取付けられ、これによつて弁棒40が
ピン58周りに回転可能に構成されている。
つぎにこの装置の作用を説明する。第1図およ
び第2図は閉弁状態を示し、この状態から油圧モ
ータ8により駆動軸7を第5図において反時計方
向に回転させると、アーム70の先端部に取付け
られた小ローラフオロア73がカム6上を下向き
に移動することによりカム6はバネ64の力で第
1図の右方向に移動し、このためカム6とピン6
3によつて連結された弁棒40は自動調芯軸受4
6(またはピン58)周りに回転し、これによつ
て弁体4はバルブシート3から後退する(第1図
において弁体4が左方向に移動する)。
また駆動軸7のアーム70の先端部に取付けら
れた大ローラフオロア71が支柱5aの案内溝5
5に沿つて移動するため支柱5a,5bは軸50
を中心に第1図の紙面と直交方向(第2図で弁体
4がバルブシート3から離れる方向)に回転しは
じめる。なお、大ローラフオロア71が案内溝5
5に沿つて移動するアーム70の揺動開始時は、
アーム70が案内溝55に直交しているために、
駆動軸7の回転角度θ(第3図)の変化に対して
軸50を中心に回転する支柱5a,5bの回転角
度αの変化は極めて小さく、弁体4はバルブシー
ト3の面方向(第2図で左の仮想線方向)へは実
質上移動しない。
一方、この間に弁棒40は自動調芯軸受46
(またはピン58)を中心に回転角度β(第4図)
回転し、バルブシート3を押付けている弁体4が
第1図で左方向に移動し、バルブシート3より離
れる。すなわち、駆動軸7の回転の初期には弁体
4はバルブ3から実質上後退する方向にのみ移動
する。
駆動軸7の回転がさらに進むと、小ローラフオ
ロア73はカム6に当接しなくなるために、弁棒
40の自動調芯軸受46(またはピン58)周り
の回転はなくなり、軸50周りのみに回転して弁
体4をバルブシート3の面方向にバルブシート3
の側方に移動させるようになる。そして、第2図
の仮想線の位置(第5図の右側の位置)に到達す
ることにより開弁状態になる。また、開弁状態か
ら、駆動軸7を逆向きに回転させると、上記と逆
の作動が行われる。すなわち、弁棒40が第2図
の仮想線の状態から実線の状態へと軸50周りに
回転することにより弁体4をバルブシート3の面
方向にバルブシート3の正面へ移動させ、ついで
小ローラフオロア73がカム6上を移動すること
によりカム6を後退させて弁棒40を自動調芯軸
受46(またはピン58)周りに回転させて弁体
4をバルブシート3に対して前進させて圧着させ
る。
このように、弁棒40が支柱5a,5bに保持
されて支柱5a,5bとともに軸50周りに回転
するとともに、支柱5a,5bに保持された自動
調芯軸受46(またはピン58)周りに回転可能
に構成されていることにより、弁の開閉の際には
弁体4は実質上バルブシート3に対して直交方向
に後退した後に側方に移動するように、あるいは
側方から前面に移動した後に面に直交方向にバル
ブシートに圧着されるように、作動がなされる。
なお、弁体4がバルブシート3に対して前進、後
退する際に、バルブシート3もそれ自体の弾力で
同方向に移動するが、その量は弁体4の移動量よ
り小さい。したがつて、弁の開閉の際に弁体4と
バルブシート3とが摺動することがなく、このた
めカジリや溶着等のトラブルが生じる恐れがな
く、高真空下でもシールを確実に達成することが
できる。
(考案の効果) 以上説明したように、この考案は弁の開閉機構
において、駆動軸の回転運動を、弁体がバルブシ
ートに対して前進、後退する運動とバルブシート
の側方に移動する運動とに変換するように、しか
もこれが連続して行われるようにしたものであ
り、弁の開閉の際にはまず弁体を実質上バルブシ
ートに対して直交方向に移動させるようにしてお
り、このため溶着等のトラブルの生じるおそれが
なく、しかも操作が迅速で確実にシールを達成す
ることができるものである。このため、核融合炉
と中性粒子入射装置との間等の高真空中で用いる
高速シヤツタとして極めて優れたものである。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の実施例を示す断面図、第2
図はその−線断面図、第3図はアームの断面
図、第4図は第1図の部拡大図、第5図はアー
ムと支柱との作動説明図、第6図は弁棒支持手段
の他の例を示す断面図、第7図はその−線断
面図、第8図はこの考案が適用される中性粒子入
射装置の全体説明図である。 1……高速シヤツタ、2……弁箱、3……バル
ブシート、4……弁体、5a,5b……支柱、6
……カム、7……駆動軸、40……弁棒、46…
…自動調芯軸受、50……軸、55……案内溝、
58……ピン、70……アーム、71,73……
ローラフオロア。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 流体の通路中に設けられた弁箱と、上記弁箱中
    に設けられたバルブシートと、上記バルブシート
    に当接することにより通路を閉塞する弁体と、こ
    の弁体が一端部に取付けられた弁棒と、この弁棒
    を保持して弁体が上記バルブシートの面方向に移
    動するように軸周りに揺動する支柱と、駆動軸に
    アームが取付けられるとともにそのアームの先端
    に第2の作動部材が取付けられてなる駆動手段と
    を有し、上記弁棒は上記支柱の揺動方向と直交方
    向に揺動可能に支柱により保持されるとともに第
    1の作動部材が結合され、上記アームの先端部に
    は第3の作動部材が取付けられてこの第3の作動
    部材が上記支柱と係合し、上記アームの揺動によ
    り第3の作動部材を介して支柱をその軸周りに揺
    動させるように構成され、かつ弁の開き始めおよ
    び閉じ終りのみは第2の作動部材が第1の作動部
    材を介して弁棒を支柱の揺動方向と直交方向に揺
    動させて弁体がバルブシートの面と直交方向にの
    み動くように構成されていることを特徴とする高
    速シヤツタ。
JP1985006013U 1985-01-18 1985-01-18 Expired - Lifetime JPH0528554Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1985006013U JPH0528554Y2 (ja) 1985-01-18 1985-01-18

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1985006013U JPH0528554Y2 (ja) 1985-01-18 1985-01-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61121699U JPS61121699U (ja) 1986-07-31
JPH0528554Y2 true JPH0528554Y2 (ja) 1993-07-22

Family

ID=30483061

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1985006013U Expired - Lifetime JPH0528554Y2 (ja) 1985-01-18 1985-01-18

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0528554Y2 (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50157928A (ja) * 1974-03-18 1975-12-20
JPS5279325A (en) * 1975-11-08 1977-07-04 Leybold Heraeus Verwaltung Oscillation slide valve

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50157928A (ja) * 1974-03-18 1975-12-20
JPS5279325A (en) * 1975-11-08 1977-07-04 Leybold Heraeus Verwaltung Oscillation slide valve

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61121699U (ja) 1986-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6089537A (en) Pendulum valve assembly
US4089505A (en) Oscillating slide valve
US4313592A (en) Butterfly valve
KR101454409B1 (ko) 림부재를 가지는 진공 게이트 밸브
US5611516A (en) Rotary ball valve with retracting seat
US4013264A (en) Flow control valve with isolated sequence control mechanism
US3185435A (en) Valve construction
JPH0528554Y2 (ja)
JP2004502105A5 (ja)
JPH0720636Y2 (ja) 高速シヤツタ
GB1373180A (en) Assembly for and a method of the welding of nuclear fuel cans
JPH08124508A (ja) 電子顕微鏡用試料保持装置
JP3158343B2 (ja) 双方向流体弁モータおよびその製造方法
JPH03140676A (ja) 真空設備
JP2000337550A (ja) バルブ装置
CN115306916A (zh) 一种真空钟摆阀
JPH112353A (ja) 双方向流体弁モータ用アウターブッシュ
JPS622272Y2 (ja)
KR102682462B1 (ko) 스로틀밸브 및 그를 가지는 기판처리장치
JP2593763Y2 (ja) 複合移動形高真空バルブ
JPH02287511A (ja) レーザスキャナの駆動装置
JPH05106761A (ja) 無発塵ゲートバルブ
CN206860916U (zh) 用于输气管道内检测器的调速阀
JP3220892B2 (ja) 放電加工装置の加工槽扉クランプ機構
JPH037003Y2 (ja)