JPH05275861A - Multilayer circuit board - Google Patents

Multilayer circuit board

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Publication number
JPH05275861A
JPH05275861A JP4071104A JP7110492A JPH05275861A JP H05275861 A JPH05275861 A JP H05275861A JP 4071104 A JP4071104 A JP 4071104A JP 7110492 A JP7110492 A JP 7110492A JP H05275861 A JPH05275861 A JP H05275861A
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JP
Japan
Prior art keywords
powder
circuit board
paste
weight
internal wiring
Prior art date
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Pending
Application number
JP4071104A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yutaka Irumagawa
裕 入間川
Takanori Ikuta
貴紀 生田
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP4071104A priority Critical patent/JPH05275861A/en
Publication of JPH05275861A publication Critical patent/JPH05275861A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a multilayer circuit board such that its excellent printability is maintained, delamination does not occur, the density, speed, and reliability are enhanced and the cost can be reduced by forming inner interconnections of Ag paste capable of minimizing the sheet resistance. CONSTITUTION:A multilayer circuit board is formed of a board body 1 containing ceramic and glass, and inner interconnections 2 arranged in the body 1. The interconnection 2 is formed of Ag paste which contains Ag conductor powder, fritted glass, 8-10 of an HLB value, 0.15-0.3wt.% of dispersant, and organic vehicle.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は低抵抗で、基板間の剥離
のない多層回路基板に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-layer circuit board having a low resistance and no peeling between the boards.

【0002】[0002]

【従来の技術及びその欠点】一般に電子機器に使用され
る多層回路基板には、高密度化、高速度化、高信頼性、
低価格化が強く求められている。
2. Description of the Related Art Generally, multi-layer circuit boards used in electronic equipment include high density, high speed, high reliability,
There is a strong demand for lower prices.

【0003】これらの要求に応えるために、内部配線と
して、モリブテン、タングステンなどの高融点金属材料
に代わって、Ag、Cu、Auなどの比較的低融点で、
且つ低抵抗材料が使用されつつある。また、基板材料
も、アルミナセラミックなどに代わって、セラミックと
ガラスフリットとを含んだ低温焼成基板材料が用いられ
ている。
In order to meet these requirements, the internal wiring has a relatively low melting point of Ag, Cu, Au or the like instead of a high melting point metal material such as molybdenum or tungsten.
And low resistance materials are being used. Further, as the substrate material, a low temperature firing substrate material containing ceramic and glass frit is used instead of alumina ceramic or the like.

【0004】このような低温焼成基板の内部配線の形成
に用いられる導電性ペーストとして、Ag粉末を主体と
し、ガラスフリット、有機ビヒクルを均質混練したAg
ペーストが挙げられるが、ガラス−セラミックの基板材
料の焼結挙動に近似させ、基板のソリなどを防止するた
めにAg粉末の粒径を制御したり、また、内部配線を挟
む両基板材料との接触部分での剥離(デラミネーショ
ン)を防止するために、積層条件を制御したり、また印
刷条件を制御して内部配線となる塗膜の厚みを制御して
いた。
As a conductive paste used for forming the internal wiring of such a low-temperature fired substrate, Ag powder is mainly used, and a glass frit and an organic vehicle are homogeneously kneaded.
Examples of the paste include a paste that controls the grain size of Ag powder in order to approximate the sintering behavior of a glass-ceramic substrate material and prevent warping of the substrate, and also to be used with both substrate materials that sandwich internal wiring. In order to prevent peeling (delamination) at the contact portion, the lamination conditions are controlled, and the printing conditions are controlled to control the thickness of the coating film to be the internal wiring.

【0005】ガラス−セラミックの基板材料に適したA
gペーストでは、上述のデラミネーションを防止するた
めに、例えば、塗膜の厚みを薄くするようにしている
が、これに伴い、内部配線のシート抵抗が上がってしま
う。このため、Ag粉末の含有量を増加させることが考
えられるが、Ag粉末を増量すると、内部配線を形成す
る塗膜の印刷性、即ち、直線性、表面の平滑性が損なわ
れたり、また、スクリーンの目から充分な量のAg粉末
が通過できず、抵抗が大きくなったりしてしまう。以上
の点を考慮して従来のAgペーストでは、Ag粉末の含
有率が70重量%が限度とされていた。
A suitable for glass-ceramic substrate materials
In the g paste, for example, the thickness of the coating film is made thin in order to prevent the above-mentioned delamination, but with this, the sheet resistance of the internal wiring increases. Therefore, it is possible to increase the content of the Ag powder. However, if the content of the Ag powder is increased, the printability of the coating film forming the internal wiring, that is, the linearity and the smoothness of the surface are impaired. A sufficient amount of Ag powder cannot pass through the eyes of the screen, resulting in increased resistance. Considering the above points, the content of Ag powder in the conventional Ag paste is limited to 70% by weight.

【0006】しかしながら、Ag粉末の含有率が70重
量%のAgペーストで、低温焼成多層回路基板として、
より好ましいシート抵抗値、例えば4.5mΩ/□以下
のものが得られなかった。
However, an Ag paste having an Ag powder content of 70% by weight is used as a low temperature firing multilayer circuit board.
It was not possible to obtain a more preferable sheet resistance value, for example, 4.5 mΩ / □ or less.

【0007】本発明は、上述の問題点を鑑みて案出され
たものであり、その目的は、良好な印刷性を維持し、さ
らにデラミネーションが発生せず、且つシート抵抗が極
小化できるAgペーストで、内部配線を形成し、高密度
化、高速度化、高信頼性、低価格化が達成できる多層回
路基板を提供することになる。
The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems, and an object thereof is to maintain good printability, to prevent delamination, and to minimize sheet resistance Ag. It is intended to provide a multilayer circuit board which can form high density, high speed, high reliability and low cost by forming internal wiring with paste.

【0008】[0008]

【問題点を達成するための具体的な手段】本発明によれ
ば、セラミック及びガラスを含む基板本体と、該基板本
体の内部に配設された内部配線とから成る多層回路基板
において、前記内部配線が、Agの導体粉末と、ガラス
フリットと、HLB値が8〜10で、且つその含有率が
全ペースト中0.15〜0.3重量%の分散剤を含むA
gペーストによって形成されていることを特徴とする多
層回路基板であり、好ましくは、前記Ag粉末の含有率
が、全ペースト中に71〜76重量%である。
According to the present invention, there is provided a multilayer circuit board comprising a substrate body containing ceramic and glass, and internal wiring arranged inside the substrate body. The wiring contains an Ag conductor powder, a glass frit, and an HLB value of 8 to 10 and a dispersant of which the content is 0.15 to 0.3% by weight in the entire paste.
The multilayer circuit board is characterized by being formed by a g paste, and the content of the Ag powder is preferably 71 to 76% by weight in the total paste.

【0009】[0009]

【作用】本発明では、親水基の分子量と親油基の分子量
との比率を示すHLB値が8〜10で、その重量が0.
15〜0.3重量%の分散剤を含むAgペーストである
ため、Ag粉末の含有率を76重量%まで添加しても、
ペースト状態で、凝集・沈降することなく、印刷性を維
持して、さらにデラミネーションが防止できる厚みで塗
膜を形成することができ、さらにこれによって形成され
た内部配線のシート抵抗を所定値以下にすることができ
る。
In the present invention, the HLB value showing the ratio of the molecular weight of the hydrophilic group to the molecular weight of the lipophilic group is 8 to 10, and the weight thereof is 0.
Since it is an Ag paste containing 15 to 0.3% by weight of a dispersant, even if the content of Ag powder is added up to 76% by weight,
In the paste state, the printability can be maintained without agglomeration / sedimentation, and a coating film can be formed with a thickness that can prevent delamination, and the sheet resistance of the internal wiring formed by this can be less than a predetermined value. Can be

【0010】従って、このような内部配線を有する多層
回路基板では、印刷性によって、高密度化が可能とな
り、低抵抗化によって高速化が可能となり、デラミネー
ションの防止により信頼性が向上し、さらに、Agとい
う低融点の材料を用いることにより低価格化が達成でき
る多層回路基板となる。
Therefore, in a multilayer circuit board having such internal wiring, it is possible to achieve high density due to printability, high speed due to low resistance, and reliability is improved by preventing delamination. , Ag, a low melting point material can be used to obtain a multi-layer circuit board at low cost.

【0011】尚、HLB値は次式によって導かれる。H
LB値=7+11.7log Mw /Mo 、ここで、Mw は親水
基の分子量であり、Mo は親油基の分子量である。
The HLB value is derived by the following equation. H
LB value = 7 + 11.7 log M w / M o , where M w is the molecular weight of the hydrophilic group and M o is the molecular weight of the lipophilic group.

【0012】上述のHLB値において、8未満である
と、分散剤の含有量に係わらず、Ag粉末の凝集を避け
られず、Ag粉末の含有量を増加することができず、低
抵抗の内部配線が得られない。
When the above HLB value is less than 8, the agglomeration of the Ag powder cannot be avoided regardless of the content of the dispersant, the content of the Ag powder cannot be increased, and the internal resistance is low. Wiring cannot be obtained.

【0013】また、HLB値が10を越えると、ペース
ト中の有機ビヒクル、例えばエチルセルロースと反応を
起こし、分散効果が低減して、Ag粉末の凝集してしま
い、沈降現象が発生し、印刷性が劣化してしまう。
On the other hand, when the HLB value exceeds 10, it reacts with the organic vehicle in the paste, such as ethyl cellulose, the dispersion effect is reduced, the Ag powder is agglomerated, the sedimentation phenomenon occurs, and the printability is deteriorated. It will deteriorate.

【0014】また、分散剤の含有率が0.15重量%未
満であると、分散効果が充分に得られず、Ag粉末の増
量が不可能となってしまい、低抵抗材料の内部配線が得
られない。
If the content of the dispersant is less than 0.15% by weight, the dispersing effect cannot be sufficiently obtained, and the amount of Ag powder cannot be increased, so that the internal wiring of the low resistance material can be obtained. I can't.

【0015】また、0.31重量%を越えると分散効果
が効きすぎて、Ag粉末間に分散剤が多量に介在してし
まい、その過剰分散作用によって逆にAg粉末どうしが
凝集してしまい、印刷性が劣化してしまったり、スクリ
ーンにAg粉末が充分に通過できず、抵抗値が大きくな
ってしまう。
On the other hand, if it exceeds 0.31% by weight, the dispersing effect becomes too strong and a large amount of the dispersant intervenes between the Ag powders, and due to the excessive dispersion action, the Ag powders conversely agglomerate. The printability is deteriorated, or the Ag powder cannot sufficiently pass through the screen, resulting in a large resistance value.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明の多層回路基板を図面を用いて
説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A multilayer circuit board of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0017】図において、1は基板本体であり、2は内
部配線であり、3は、表面配線である。
In the figure, 1 is a substrate body, 2 is internal wiring, and 3 is surface wiring.

【0018】基板本体1は、ガラス−セラミックからな
る複数のグリーンシート1a、1b・・・を積層して、
一体的に焼結されて構成される。
The substrate body 1 is formed by stacking a plurality of green sheets 1a, 1b ...
It is configured by being integrally sintered.

【0019】内部配線2は、Agを主成分とする導体材
料からなり、所定回路に応じて形成される。尚、内部配
線2は、各層間にビアホール2aを介して接続されてい
る。
The internal wiring 2 is made of a conductive material whose main component is Ag and is formed according to a predetermined circuit. The internal wiring 2 is connected between the layers via a via hole 2a.

【0020】表面配線3は、マイグレーション性に優れ
た、例えばCuなどの低抵抗材料などからなり、必要に
応じて、各種電子部品4、例えば、チップ抵抗器、チッ
プコンデンサ、半導体素子などが半田接合によって搭載
される。
The surface wiring 3 is made of a low resistance material such as Cu having excellent migration property, and if necessary, various electronic components 4, such as a chip resistor, a chip capacitor, and a semiconductor element, are soldered. Mounted by.

【0021】具体的な製造方法は、先ず、基板本体1と
なるグリーンシート1a、1b・・・を作成する。Mg
O−Al2 3 −SiO2 などのセラミック材料と、ガ
ラスフリットと、さらに有機ビヒクルとを均質混練し
て、スラリー材料を作成する。
In the concrete manufacturing method, first, the green sheets 1a, 1b, ... Mg
A ceramic material such as O—Al 2 O 3 —SiO 2 , a glass frit, and an organic vehicle are homogeneously kneaded to prepare a slurry material.

【0022】この時、セラミック材料とガラスフリット
の固形成分に対して、セラミック材料を10〜45重量
%、ガラスフリットを90〜55重量%の割合で混合す
る。また、有機ビヒクルとしてアクリル樹脂、トルエ
ン、ジブチルフタレートなどが用いられる。尚、セラミ
ック材料として、アルミナ、ムライト、コージェライト
等を用いてもよい。
At this time, the ceramic material and the glass frit are mixed in the proportions of 10 to 45% by weight and 90 to 55% by weight, respectively, with respect to the solid components of the ceramic material and the glass frit. Acrylic resin, toluene, dibutyl phthalate, etc. are used as the organic vehicle. Alumina, mullite, cordierite or the like may be used as the ceramic material.

【0023】次に、上述のスラリー材料をドクターブレ
ード法などで、厚み150μmシートを作成し、所定寸
法に裁断する。尚、この寸法は複数の多層回路基板を抽
出できるようにする。
Next, a sheet of 150 μm in thickness is prepared from the above-mentioned slurry material by a doctor blade method or the like, and cut into a predetermined size. It should be noted that this dimension allows a plurality of multilayer circuit boards to be extracted.

【0024】このように形成されたシート1a、1b・
・・上に、回路パターンに応じて、ビアホール2aとな
るスルーホールをパンチングにより形成する。
The sheets 1a, 1b formed as described above
..- Punching through holes to be the via holes 2a according to the circuit pattern.

【0025】スルーホールが形成された各シート1a、
1b・・・上に、所定回路パターンとなるように、Ag
ペーストをスクリーン印刷法で、内部配線2となる塗膜
を形成する。この時、スルーホール内にもAgペースト
が充填される。
Each sheet 1a having through holes formed therein,
1b ... Ag on top of a predetermined circuit pattern
The paste is screen-printed to form a coating film to be the internal wiring 2. At this time, the Ag paste is also filled in the through holes.

【0026】次に、各シート1a、1b・・・を熱圧着
して積層化する。そして、複数の多層回路基板の形状に
応じて、ブレークラインを形成する。
Next, the sheets 1a, 1b, ... Are laminated by thermocompression bonding. Then, break lines are formed according to the shapes of the plurality of multilayer circuit boards.

【0027】次に、この積層体をピーク温度900℃、
30分間で大気雰囲気で焼成する。
Next, the laminated body was subjected to a peak temperature of 900 ° C.
Bake in air atmosphere for 30 minutes.

【0028】この時、セラミック−ガラス材料が焼結す
ると同時に、内部配線の塗膜が焼結して内部配線2、ビ
アホール2aを有する焼結多層基板が作成できる。
At this time, at the same time that the ceramic-glass material is sintered, the coating film of the internal wiring is also sintered, and a sintered multilayer substrate having the internal wiring 2 and the via hole 2a can be prepared.

【0029】この焼結多層基板上に、スクリーン印刷法
で表面配線3となる塗膜を形成し、焼き付けられる。例
えばCuを主成分の導電性ペーストで塗膜を形成するの
であれば、還元性、又は中性雰囲気で焼成する。尚、導
電性ペーストが、例えば耐酸化性の導電性成分であれ
ば、大気雰囲気で焼成することもできる。
A coating film to be the surface wiring 3 is formed on this sintered multilayer substrate by a screen printing method and baked. For example, if the coating film is formed of a conductive paste containing Cu as a main component, the coating is fired in a reducing or neutral atmosphere. If the conductive paste is, for example, an oxidation-resistant conductive component, it can be fired in the air atmosphere.

【0030】その後、表面配線3上に所定電子部品4を
半田接合して、ブレークラインに沿って分割することに
より、多層回路基板が得られる。
After that, a predetermined electronic component 4 is soldered onto the surface wiring 3 and divided along break lines to obtain a multilayer circuit board.

【0031】尚、表面配線に、Ag、Ag−Pdを用い
るのであれば、基板、内部配線2の焼結と同時に、表面
配線3を焼き付けることができる。また、ブレークライ
ンにそって分割する工程は、電子部品4を搭載する前に
行って構わない。
If Ag or Ag-Pd is used for the surface wiring, the surface wiring 3 can be baked simultaneously with the sintering of the substrate and the internal wiring 2. Further, the step of dividing along the break line may be performed before mounting the electronic component 4.

【0032】上述の内部配線2を形成するAgペースト
としては、導電性粉末として、平均粒径が3〜8μmの
Ag粉末が全ペースト中で71〜76重量%含有し、さ
らに、硼硅酸バリウム系のガラスフリットが、Ag粉末
と合算された固形成分中に5〜20重量%含有し、さら
に、有機ビヒクルのバインダーとなるエチルセルロース
が有機ビヒクル中に約5重量%含有し、溶剤となる2.
2.4−トリメチル−1.3−ペンタンジオールモノイ
ソブチレートが有機ビヒクル中に約95重量%含有し、
さらに、分散剤となるポリオキシエチレンアルキルエー
テルのリン酸エステルが全ペースト中に0.15〜0.
30重量%含有し、これらが均質に混練されて形成され
る。
As the Ag paste for forming the above-mentioned internal wiring 2, as the conductive powder, Ag powder having an average particle diameter of 3 to 8 μm is contained in the total paste in an amount of 71 to 76% by weight, and further, barium borosilicate. 1. The glass frit of the system is contained in an amount of 5 to 20% by weight in the solid component added together with the Ag powder, and about 5% by weight of ethylcellulose, which is a binder of the organic vehicle, is contained in the organic vehicle to be a solvent.
2.4-trimethyl-1.3-pentanediol monoisobutyrate is contained in the organic vehicle in an amount of about 95% by weight,
Furthermore, the phosphoric acid ester of polyoxyethylene alkyl ether serving as a dispersant is 0.15 to 0.
30 wt% is contained, and these are uniformly kneaded and formed.

【0033】尚、ここで、重要なことは、分散剤のHL
B値を8〜10とすることである。
Here, the important thing is that the HL of the dispersant is
The B value is 8 to 10.

【0034】HLB値は、分散剤の分子構造内におい
て、親水基と親油基の割合を示すパラメータであり、A
gペーストにおいては、Ag粉末の分散に大きく作用す
るものであり、HLB値=7+11.7log Mw /Mo 、こ
こで、Mw は親水基の分子量であり、Mo は親油基の分
子量で表される。
The HLB value is a parameter indicating the ratio of hydrophilic groups and lipophilic groups in the molecular structure of the dispersant, and A
In the g paste, it has a great effect on the dispersion of Ag powder, and HLB value = 7 + 11.7log M w / M o , where M w is the molecular weight of the hydrophilic group and M o is the molecular weight of the lipophilic group. It is represented by.

【0035】Ag粉末の平均粒径は3〜8μmとする。
これは、通常の粒径に比較して大きく設定されており、
基板材料の焼結挙動と近似させるためである。平均粒径
が8μmを越えて成長させることは困難であり、また平
均粒径が3μm未満では、焼結時の昇温過程で、基板材
料が焼結反応を開始温度で既に焼結反応を終了してしま
い、基板のソリなどが発生する可能性が非常に大きくな
る。
The average particle size of the Ag powder is 3 to 8 μm.
This is set larger than the normal particle size,
This is to approximate the sintering behavior of the substrate material. It is difficult to grow the average grain size of more than 8 μm, and if the average grain size is less than 3 μm, the substrate material starts the sintering reaction at the starting temperature during the temperature rising process during sintering. Therefore, there is a great possibility that the warp of the substrate may occur.

【0036】また、Ag粉末を71〜76重量%を添加
するのは、内部配線の低抵抗化を達成するものである。
71重量%未満では、内部配線2と基板1との接触部分
でデラミネーションを発生させないような厚みで塗膜し
ても、内部配線2のシート抵抗が4.5mΩ/□以上と
なってしまう。また、76重量%を越えると、相対的に
Ag粉末が含有量が多すぎ、ペースト化した際に、Ag
粉末の凝集によって沈降現象が発生してしまう。尚、沈
降現象が発生すると実質的にスクリンー印刷が不可能と
なったり、また直線性を著しく損なったり、また表面が
凹凸状態となったりして、安定した印刷性が得られな
い。
The addition of 71 to 76% by weight of Ag powder achieves a low resistance of the internal wiring.
If it is less than 71% by weight, the sheet resistance of the internal wiring 2 will be 4.5 mΩ / □ or more even if the coating film is thick enough not to cause delamination at the contact portion between the internal wiring 2 and the substrate 1. On the other hand, if it exceeds 76% by weight, the content of Ag powder is relatively large, and when the paste is formed,
The agglomeration of the powder causes a sedimentation phenomenon. When the sedimentation phenomenon occurs, screen printing is practically impossible, linearity is significantly impaired, and the surface becomes uneven, so that stable printability cannot be obtained.

【0037】ガラスフリットは基板材料との接着性を向
上させるものであり、バインダーは、印刷塗布後、導電
性粉末とガラスフリットをグリーンシート1a、1b・
・・上で、印刷状態で維持させるものであり、溶剤はス
クリンー印刷に適した粘度に調整するものである。
The glass frit improves the adhesion to the substrate material, and the binder, after printing and coating, contains the conductive powder and the glass frit in the green sheets 1a, 1b.
.. Above, it is to maintain the printing state, and the solvent is to adjust the viscosity to be suitable for screen printing.

【0038】分散剤は、Agペースト中にAg粉末を均
一に分散させ、Ag粉末の凝集・沈降現象を防止するも
のである。ここで、上述のHLB値を8〜10、含有率
を0.15〜0.3重量%とすることが重要である。
The dispersant uniformly disperses the Ag powder in the Ag paste and prevents the aggregation and sedimentation of the Ag powder. Here, it is important that the HLB value is 8 to 10 and the content rate is 0.15 to 0.3% by weight.

【0039】上述のHLB値において、8未満である
と、分散剤の含有量に係わらず、Ag粉末の分散作用が
充分に働かず、Ag粉末の含有率を71重量以上にする
ことができず、低抵抗の内部配線2が得られない。
When the above HLB value is less than 8, the dispersing effect of the Ag powder does not work sufficiently regardless of the content of the dispersant, and the content ratio of the Ag powder cannot be 71 weight or more. , The low resistance internal wiring 2 cannot be obtained.

【0040】また、HLB値が10を越えると、ペース
ト中のバインダー成分、例えばエチルセルロースと反応
を起こし、分散効果が低減して、Ag粉末が凝集してし
まい、沈降現象が発生し、印刷性が劣化してしまう。
On the other hand, when the HLB value exceeds 10, it reacts with the binder component in the paste, for example, ethyl cellulose, the dispersion effect is reduced, the Ag powder is agglomerated, the sedimentation phenomenon occurs, and the printability is deteriorated. It will deteriorate.

【0041】また、分散剤の含有率が0.15重量%未
満であると、分散効果が充分に得られず、Ag粉末の増
量が不可能となってしまい、低抵抗材料の内部配線が得
られない。
If the content of the dispersant is less than 0.15% by weight, the dispersing effect cannot be sufficiently obtained, and the amount of Ag powder cannot be increased, so that the internal wiring of the low resistance material can be obtained. I can't.

【0042】また、0.31重量%を越えると分散効果
が効きすぎて、Ag粉末間に分散剤が多量に介在してし
まい、その過剰分散作用によって逆にAg粉末どうしが
凝集してしまい、印刷性が劣化してしまったり、スクリ
ーンにAg粉末が充分に通過できなくなる。
On the other hand, if it exceeds 0.31% by weight, the dispersing effect becomes too strong, and a large amount of the dispersant intervenes between the Ag powders, and the excessive dispersing action causes the Ag powders to conversely agglomerate. The printability is deteriorated, and the Ag powder cannot pass through the screen sufficiently.

【0043】本発明者らは、上述の工程で作成される多
層回路基板の内部配線2となるAgペーストにおいて、
Ag粉末の含有率、分散剤のHLB値、分散剤の含有率
を夫々変化させて、内部配線の導体抵抗、回路基板1の
各シート間の密着性、即ちデラミネーションの発生、シ
ート上に印刷した時の印刷性、即ち直線性及び表面の凹
凸状態を夫々しらべた。その結果を表1に示す。
The inventors of the present invention, in the Ag paste to be the internal wiring 2 of the multilayer circuit board produced in the above process,
By changing the Ag powder content, the HLB value of the dispersant, and the dispersant content, respectively, the conductor resistance of the internal wiring, the adhesion between the sheets of the circuit board 1, that is, the occurrence of delamination, printing on the sheet The printability, that is, the linearity and the unevenness of the surface, were examined. The results are shown in Table 1.

【0044】[0044]

【表1】 [Table 1]

【0045】試料番号1において、Ag粉末が71重量
%を下回ると、低温焼成多層回路基板の内部配線2とし
て望ましいシート抵抗値、例えば4.5mΩ/□以上と
なってしまい、低抵抗化が達成できず、多層回路基板に
おいて、高速化が得られない。
In the sample No. 1, when the Ag powder content is less than 71% by weight, the sheet resistance value desirable for the internal wiring 2 of the low temperature firing multilayer circuit board becomes, for example, 4.5 mΩ / □ or more, and the low resistance is achieved. This is not possible, and high speed cannot be obtained in the multilayer circuit board.

【0046】また、試料番号4において、Ag粉末が7
6重量%を越え、また分散剤が0.32重量%となる
と、低抵抗が達成されるものの、固形成分が相対的に多
くなり、塗膜の厚みが厚くなり、デラミネーションが発
生してしまい、信頼性を損なった多層回路基板となって
しまう。
Further, in the sample No. 4, the Ag powder was 7
When it exceeds 6% by weight and the dispersant is 0.32% by weight, low resistance is achieved, but the solid component becomes relatively large, the thickness of the coating film becomes thick, and delamination occurs. However, the multilayer circuit board becomes unreliable.

【0047】さらに、試料番号5において、分散剤のH
LB値が8未満では、ペースト中のAg粉末の凝集が発
生してしまい、スクリーンを通じてシート上に印刷され
るAg粉末が減少してしまい、結果として、シート抵抗
の低抵抗が達成できず、多層回路基板において、高速化
が得られない。
Further, in Sample No. 5, H of the dispersant was used.
If the LB value is less than 8, aggregation of Ag powder in the paste will occur, and Ag powder printed on the sheet through the screen will decrease, and as a result, low sheet resistance cannot be achieved, resulting in a multilayer structure. High speed cannot be obtained in the circuit board.

【0048】さらに、試料番号7において、分散剤のH
LB値が12を越えると、樹脂成分と反応してしまい、
印刷性が劣化してしまう。
Further, in Sample No. 7, H of the dispersant was used.
If the LB value exceeds 12, it will react with the resin component,
Printability deteriorates.

【0049】これらに対して、試料番号2、3、6で
は、Ag粉末の含有率を71〜76重量%、分散剤のH
LB値を8〜10、分散剤の含有率を0.15〜0.3
0重量%に設定しているので、内部配線2の導体抵抗を
4.5mΩ/□以下とでき、基板本体1の各シート間の
密着性が向上でき、さらに印刷性、即ち直線性及び表面
の凹凸状態が良好となる。
On the other hand, in Sample Nos. 2, 3, and 6, the Ag powder content was 71 to 76% by weight and the dispersant H was H.
LB value 8-10, dispersant content 0.15-0.3
Since it is set to 0% by weight, the conductor resistance of the internal wiring 2 can be 4.5 mΩ / □ or less, the adhesion between the sheets of the substrate body 1 can be improved, and the printability, that is, the linearity and the surface The unevenness becomes good.

【0050】上述のAgペーストによって多層回路基板
の内部配線2を形成することにより、低抵抗の内部配線
2により、信号伝搬の高速化が図れ、シート間でデラミ
ネーションが発生することがない信頼性が高く、さらに
高密度パターンで内部配線が達成できる多層回路基板と
なる。
By forming the internal wiring 2 of the multilayer circuit board by the above-mentioned Ag paste, the low-resistance internal wiring 2 can speed up the signal propagation, and the reliability that delamination does not occur between the sheets. In addition, the multilayer circuit board can achieve internal wiring with high density and high density pattern.

【0051】尚、上述のAgペーストとして、導電性粉
末をAgのみで説明したが、PdなどAg以外の導電性
粉末が抵抗値が大きく劣化しない程度に含有されていて
も構わない。また、樹脂、溶剤、分散剤などは上述の材
料に限るものではなく、同一の作用効果が得られるもの
であれば代替が可能である。
In the above-mentioned Ag paste, the conductive powder was explained only with Ag, but conductive powder other than Ag, such as Pd, may be contained to the extent that the resistance value does not deteriorate significantly. Further, the resin, the solvent, the dispersant, etc. are not limited to the above-mentioned materials, and can be replaced as long as the same effects can be obtained.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上のように、本発明では、HLB値が
8〜10で、その含有率が0.15〜0.3重量%の分
散剤を用いたため、Ag粉末を71重量%以上添加する
ことができ、低抵抗の内部配線を有する多層回路基板と
なる。
As described above, in the present invention, since the HLB value is 8 to 10 and the content of the dispersant is 0.15 to 0.3% by weight, 71% by weight or more of Ag powder is added. And a multilayer circuit board having low resistance internal wiring.

【0053】この時、Ag粉末を71重量%以上添加し
ても、デラミネーションが発生したり、印刷性が劣化す
ることがないため、信頼性が高く、高密度配線の多層回
路基板が達成される。
At this time, even if 71 wt% or more of Ag powder is added, delamination does not occur and printability does not deteriorate, so that a highly reliable, high-density wiring multilayer circuit board is achieved. It

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の多層回路基板の断面の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a cross section of a multilayer circuit board of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・回路基板 2・・・内部配線 2a・・ビアホール 3・・・表面配線 4・・・電子部品素子 1 ... Circuit board 2 ... Internal wiring 2a ... Via hole 3 ... Surface wiring 4 ... Electronic component element

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】セラミック及びガラスを含むシートの複数
枚を焼結一体化させた基板本体と、該基板本体の内部に
配設された内部配線とから成る多層回路基板において、
前記内部配線は、Ag粉末と、ガラスフリットと、HL
B値が8〜10で、且つその含有率が全ペーストの0.
15〜0.3重量%である分散剤を含むAgペーストに
よって形成されていることを特徴とする多層回路基板。
1. A multi-layer circuit board comprising a substrate body in which a plurality of sheets containing ceramics and glass are sintered and integrated, and internal wiring arranged inside the substrate body,
The internal wiring includes Ag powder, glass frit, and HL.
B value is 8 to 10, and the content rate is 0.
A multi-layer circuit board formed by an Ag paste containing a dispersant of 15 to 0.3% by weight.
【請求項2】 前記Ag粉末の含有率が、全ペースト中
に71〜76重量%であることを特徴とする請求項1記
載の多層回路基板。
2. The multilayer circuit board according to claim 1, wherein the content of the Ag powder is 71 to 76% by weight in the total paste.
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