JPH05273141A - Optical disk inspecting device - Google Patents

Optical disk inspecting device

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Publication number
JPH05273141A
JPH05273141A JP7394392A JP7394392A JPH05273141A JP H05273141 A JPH05273141 A JP H05273141A JP 7394392 A JP7394392 A JP 7394392A JP 7394392 A JP7394392 A JP 7394392A JP H05273141 A JPH05273141 A JP H05273141A
Authority
JP
Japan
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optical disc
defect
reflected light
laser beam
optical disk
Prior art date
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Pending
Application number
JP7394392A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kunihiko Matsumura
邦彦 松村
Yuji Arai
雄治 新井
Yuji Ikeda
勇治 池田
Takashi Ishiguro
隆 石黒
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP7394392A priority Critical patent/JPH05273141A/en
Publication of JPH05273141A publication Critical patent/JPH05273141A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide an optical disk inspecting device capable of easily detecting a fine defect caused by defective impregnation. CONSTITUTION:A focus-adjusted laser beam is radiated by an optical pickup 20 used at the time of information regeneration to a rotating optical disk 1 to be inspected, the optical pickup 20 is moved by a tracking servo 23, and the laser beam is radiated in sequence over the whole face of the optical disk 1. The reflected light is received by a photo-detector 20b, the maximum value and minimum value of the signal B' corresponding to the reflected light intensity are detected by sample hold circuits 32, 33, and the presence of a defect is reported when the difference voltage V3 between these output voltages V1, V2 becomes the reference voltage Vth or above. A fine defect can be easily detected with a simple structure, and the outflow of a defective product can be completely prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク検査装置に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical disk inspection device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、反射型の光ディスクの一例として
図2に示すものが知られている。図において、1は光デ
ィスクで、円形状の基板2と、この基板2の下面に形成
された記録層3と、記録層3の表面に例えば金を蒸着し
て形成された反射層4とから構成され、基板2の素材と
しては主としてガラス或いはポリカ−ボネイト等の透光
性部材が使用されている。また、CD方式、MD方式等
においては、基板2の表面にスパイラル状または同心円
状の案内溝等の凹凸部が形成され、これが情報を記録す
るときにレ−ザ光を照射する際のガイドとなる。
2. Description of the Related Art Conventionally, an example of a reflection type optical disc shown in FIG. 2 is known. In the figure, reference numeral 1 denotes an optical disk, which is composed of a circular substrate 2, a recording layer 3 formed on the lower surface of the substrate 2, and a reflective layer 4 formed by vapor-depositing gold on the surface of the recording layer 3, for example. As a material for the substrate 2, a translucent member such as glass or polycarbonate is mainly used. Further, in the CD system, the MD system, etc., a concavo-convex portion such as a spiral or concentric guide groove is formed on the surface of the substrate 2, and this serves as a guide for irradiating laser light when recording information. Become.

【0003】また、記録層3は、例えばシアニン色素等
の有機色素がスピンコ−ト法によって基板2上に塗布さ
れて形成される。さらに、記録層3の表面に保護膜5、
或いはその他の機能を有する膜を形成する場合もある。
The recording layer 3 is formed by coating an organic dye such as a cyanine dye on the substrate 2 by a spin coat method. Furthermore, a protective film 5, on the surface of the recording layer 3,
Alternatively, a film having another function may be formed.

【0004】前述した光ディスク1を製造した後、これ
を検査する際には、専用の検査装置が用いられる。この
検査装置は、図3に示すように、レーザ光発生部11、
ミラー12、円筒レンズ13、光電変換部14、欠陥検
出部15から構成されている。
After inspecting the optical disc 1 described above, when inspecting it, a dedicated inspection apparatus is used. This inspection apparatus, as shown in FIG.
It includes a mirror 12, a cylindrical lens 13, a photoelectric conversion unit 14, and a defect detection unit 15.

【0005】レーザ光発生部11は、YAGレーザ及び
回転ミラー等からなり、所定の速度で回転する光ディス
ク1の中心部と外周部との間を、半径方向に所定の速度
でスキャンしながら光ディスク1の反射面1aにレーザ
光を照射する。このときの光ディスク1に対するレーザ
光の入射角度は、常に一定に維持されている。
The laser light generator 11 is composed of a YAG laser, a rotating mirror, etc., and scans between the central portion and the outer peripheral portion of the optical disk 1 rotating at a predetermined speed in the radial direction at a predetermined speed. The reflective surface 1a is irradiated with laser light. The incident angle of the laser light on the optical disc 1 at this time is always maintained constant.

【0006】光ディスク1からの反射光はミラー12に
よって反射され、円筒レンズ13を介して光電変換部1
4に入射される。ミラー12は光ディスク1の半径以上
の長さを有し、スキャンされる全ての反射光を円筒レン
ズ13に入射する角度に固定して配置されている。円筒
レンズ13はミラー12によって反射されたレーザ光を
屈折させて光電変換部14の入射口に入射させる。光電
変換部14では、入射した光の強度に対応する電圧を欠
陥検出部15に出力し、欠陥検出部15においてこの電
圧値に基づいて光ディスク1の欠陥が検出される。
The reflected light from the optical disk 1 is reflected by the mirror 12 and passes through the cylindrical lens 13 to the photoelectric conversion unit 1.
It is incident on 4. The mirror 12 has a length equal to or larger than the radius of the optical disk 1, and is arranged so as to be fixed at an angle at which all reflected light to be scanned is incident on the cylindrical lens 13. The cylindrical lens 13 refracts the laser light reflected by the mirror 12 and makes it enter the entrance of the photoelectric conversion unit 14. The photoelectric conversion unit 14 outputs a voltage corresponding to the intensity of incident light to the defect detection unit 15, and the defect detection unit 15 detects a defect on the optical disc 1 based on this voltage value.

【0007】前述の構成によれば、光ディスク1の基板
2及び記録層3を介して反射層4に入射したレーザ光は
反射層によって反射された後、ミラー12及び円筒レン
ズ13を介して光電変換部14に入射される。これによ
り、光ディスク1の反射層4に傷や小孔等の欠陥がある
場合には、この欠陥の箇所からの反射光の光強度が減少
するので、光電変換部14から出力される電圧が変化
し、この電圧変化によって光ディスク1に欠陥があるこ
とを検出することができる。また、記録層3の塗布欠陥
により記録層3の膜厚に変化を生じている場合、正常な
膜厚の箇所に比べて反射光強度が変化するので、これも
欠陥として検出することができる。
According to the above-mentioned structure, the laser light incident on the reflection layer 4 via the substrate 2 and the recording layer 3 of the optical disk 1 is reflected by the reflection layer and then photoelectrically converted via the mirror 12 and the cylindrical lens 13. It is incident on the portion 14. As a result, when the reflection layer 4 of the optical disc 1 has a defect such as a scratch or a small hole, the light intensity of the reflected light from the defect portion decreases, so that the voltage output from the photoelectric conversion unit 14 changes. However, it is possible to detect that the optical disc 1 has a defect by this voltage change. In addition, when the film thickness of the recording layer 3 is changed due to the coating defect of the recording layer 3, the reflected light intensity changes as compared with the position of the normal film thickness, which can also be detected as a defect.

【0008】さらに、光ディスク1を1回転させるだけ
で、光ディスク1の全面を検査することができるため、
検査時間の短縮を図ることができる。
Further, since the entire surface of the optical disc 1 can be inspected only by rotating the optical disc 1 once,
The inspection time can be shortened.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来の光ディスク検査装置においては、例えば波長が
534nmのYAGレーザ光を光ディスク1の半径方向
に一様に照射して検査しているので、検出可能な欠陥の
直径は30μm以上となる。
However, in the above-mentioned conventional optical disc inspection apparatus, since the YAG laser light having a wavelength of 534 nm is uniformly irradiated in the radial direction of the optical disc 1 for inspection, it is possible to detect. The diameter of such a defect is 30 μm or more.

【0010】このため、いわゆる染み込み不良による欠
陥を検出することができないという問題点があった。
Therefore, there is a problem that it is impossible to detect a defect due to a so-called imperfect penetration.

【0011】即ち、何らかの原因により反射層4の膜圧
が不均一になった場合、トップコート剤を塗布して保護
膜5を形成する際に、反射層4の薄い部分からトップコ
ート剤が記録層3へと染み込んでいき、記録層3が犯さ
れていく、染み込み不良が発生することがあるが、この
染み込み不良による欠陥は、その直径が数μm程度で、
光ディスク1のほぼ全面に亙って多発する。従って、従
来の検査装置では染み込み不良による欠陥を検出するこ
とができなかった。
That is, when the film pressure of the reflection layer 4 becomes non-uniform due to some reason, when the top coat agent is applied to form the protective film 5, the top coat agent is recorded from the thin portion of the reflection layer 4. When the recording layer 3 is penetrated into the layer 3 and the recording layer 3 is violated, a defective penetration may occur. However, a defect due to the poor penetration has a diameter of about several μm,
Frequently over the entire surface of the optical disc 1. Therefore, the conventional inspection device cannot detect the defect due to the defective penetration.

【0012】本発明の目的は上記の問題点に鑑み、染み
込み不良等による微小な欠陥も容易に検出できる光ディ
スク検査装置を提供することにある。
In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide an optical disc inspection apparatus capable of easily detecting a minute defect such as a defective penetration.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために、検査対象の光ディスクを所定の回転速度
で回転させながらレーザ光を照射し、前記光ディスクか
らの反射光に基づいて、前記光ディスクを検査する光デ
ィスクの検査装置において、前記光ディスクからの情報
再生時とほぼ同等の波長を有するレーザ光を前記光ディ
スクに対して出射するレーザ光発生手段と、該レーザ光
発生手段より出射されたレーザ光のフォーカス調整を行
うフォーカス調整手段と、前記レーザ光発生手段により
出射されたレーザ光の、前記光ディスクからの反射光を
受光し、光強度に対応した信号を出力する受光手段と、
該受光手段の出力信号に基づいて、前記反射光の最大値
を検出する最大値検出手段と、前記受光手段の出力信号
に基づいて、前記反射光の最小値を検出する最小値検出
手段と、前記最大値検出手段の検出結果及び最小値検出
手段の検出結果に基づいて、前記最大値と最小値の差が
所定の基準値以上となったときに欠陥の存在を報知する
報知手段とを備えた光ディスク検査装置を提案する。
In order to achieve the above object, the present invention irradiates a laser beam while rotating an optical disc to be inspected at a predetermined rotation speed, and based on the reflected light from the optical disc, In an optical disk inspection device for inspecting the optical disk, a laser light generating means for emitting to the optical disk a laser light having a wavelength substantially the same as that at the time of reproducing information from the optical disk, and the laser light generating means. Focus adjusting means for adjusting the focus of the laser light, light receiving means for receiving the reflected light from the optical disc of the laser light emitted by the laser light generating means, and outputting a signal corresponding to the light intensity,
A maximum value detecting means for detecting a maximum value of the reflected light based on an output signal of the light receiving means, and a minimum value detecting means for detecting a minimum value of the reflected light based on an output signal of the light receiving means, Based on the detection result of the maximum value detection means and the detection result of the minimum value detection means, a notification means for notifying the presence of a defect when the difference between the maximum value and the minimum value becomes a predetermined reference value or more. Optical disk inspection device is proposed.

【0014】[0014]

【作用】本発明によれば、レーザ光出射手段により、光
ディスクに記録された情報を再生するとときとほぼ同等
の波長を有するレーザ光が前記光ディスクに対して出射
され、フォーカス調整手段によって前記レーザ光出射手
段より出射されたレーザ光のフォーカス調整が行われ
る。これにより、情報記録時或いは情報再生時に問題と
なる欠陥の直径に対応したレーザ光が前記光ディスクに
照射される。また、前記レーザ光出射手段により出射さ
れたレーザ光の、前記光ディスクからの反射光が受光手
段によって受光され、該受光手段から受光したレーザ光
の光強度に対応した信号が出力されると共に、最大値検
出手段により、前記受光手段の出力信号に基づいて、前
記反射光の最大値が検出され、最小値検出手段により、
前記受光手段の出力信号に基づいて、前記反射光の最小
値が検出される。さらに、報知手段によって、前記最大
値検出手段の検出結果及び最小値検出手段の検出結果に
基づいて、前記最大値と最小値の差が所定の基準値以上
となったときに欠陥の存在が報知される。
According to the present invention, the laser light emitting means emits a laser light having a wavelength substantially the same as when the information recorded on the optical disk is reproduced, to the optical disk by the focus adjusting means. Focus adjustment of the laser light emitted from the emitting means is performed. As a result, the optical disc is irradiated with a laser beam corresponding to the diameter of a defect which becomes a problem during information recording or information reproduction. Further, the reflected light from the optical disc of the laser light emitted by the laser light emitting means is received by the light receiving means, and a signal corresponding to the light intensity of the laser light received by the light receiving means is output and the maximum The value detecting means detects the maximum value of the reflected light based on the output signal of the light receiving means, and the minimum value detecting means,
The minimum value of the reflected light is detected based on the output signal of the light receiving means. Further, the notification means notifies the presence of a defect when the difference between the maximum value and the minimum value becomes a predetermined reference value or more based on the detection result of the maximum value detection means and the detection result of the minimum value detection means. To be done.

【0015】[0015]

【実施例】図1は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図において、前述した従来例と同一構成部分は同一
符号をもって表し、その説明を省略する。また、従来例
と本実施例との相違点は、通常光ディスクプレーヤ等に
用いられている半導体レーザを備えた光ピックアップと
これに接続された第2の欠陥検出部を設けたことにあ
る。
1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In the figure, the same components as those in the conventional example described above are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. Further, the difference between the conventional example and the present embodiment is that an optical pickup including a semiconductor laser, which is usually used in an optical disk player and the like, and a second defect detection section connected thereto are provided.

【0016】即ち、20は光ピックアップで、光ディス
ク1の反射面側に移動可能に配置され、第2の欠陥検出
部30に接続されている。図4は光ピックアップ20及
び第2の欠陥検出部30に係わる電気系回路の構成図で
ある。光ピックアップ20は、周知のように、レ−ザダ
イオ−ド20a、フォトディテクタ20b、ハ−フミラ
−20c、レンズ20d等から構成されている。レ−ザ
ダイオ−ド20aは、レ−ザ駆動回路21から入力する
電流に対応した所定強度のレ−ザ光を出射し、このレ−
ザ光はハ−フミラ−20c及びレンズ20dを介して光
ディスク1に照射される。また、光ピックアップ20か
ら出射されるレーザ光は、フォーカスサーボ22によっ
てフォーカス調整され、直径数μm程度のスポット光と
して光ディスク1に照射される。さらに、光ピックアッ
プ20はトラッキングサーボ23によって、光ディスク
1の半径方向に所定速度で移動され、光ディスク1の全
面に亙って順次レーザ光を照射できるようになってい
る。これにより、光ディスク1からの反射光はレンズ2
0d及びハ−フミラ−20cを介してフォトディテクタ
20bに入射され、フォトディテクタ20bによって反
射光強度に比例した電圧を有する電気信号Bに変換され
て出力される。
That is, 20 is an optical pickup, which is movably arranged on the reflection surface side of the optical disc 1 and is connected to the second defect detection section 30. FIG. 4 is a configuration diagram of an electric system circuit related to the optical pickup 20 and the second defect detection unit 30. As is well known, the optical pickup 20 is composed of a laser diode 20a, a photodetector 20b, a half mirror 20c, a lens 20d and the like. The laser diode 20a emits laser light of a predetermined intensity corresponding to the current input from the laser drive circuit 21, and this laser light is emitted.
The light is applied to the optical disc 1 through the half mirror 20c and the lens 20d. Further, the laser light emitted from the optical pickup 20 is focus-adjusted by the focus servo 22 and is applied to the optical disc 1 as spot light having a diameter of several μm. Further, the optical pickup 20 is moved by the tracking servo 23 in the radial direction of the optical disc 1 at a predetermined speed so that the entire surface of the optical disc 1 can be sequentially irradiated with laser light. As a result, the reflected light from the optical disc 1 is reflected by the lens 2
It is incident on the photodetector 20b via 0d and the half mirror 20c, is converted into an electric signal B having a voltage proportional to the reflected light intensity by the photodetector 20b, and is output.

【0017】第2の欠陥検出部30は、RFアンプ3
1、サンプルホールド回路32,33、減算器34、比
較器35及び報知回路36から構成されている。RFア
ンプ31はフォトディテクタ20bから信号Bを入力
し、この信号Bを所定の増幅度にて増幅した信号B’と
して、サンプルホ−ルド回路32,33に入力する。サ
ンプルホ−ルド回路32は、信号B’の電圧の最大値を
検出して保持し、この保持電圧V1を減算器34に出力
する。また、サンプルホールド回路33は、信号B’の
電圧の最小値を保持し、この電圧V2を減算器34に出
力する。
The second defect detecting section 30 includes the RF amplifier 3
1, a sample hold circuit 32, 33, a subtractor 34, a comparator 35, and a notification circuit 36. The RF amplifier 31 inputs the signal B from the photodetector 20b and inputs it to the sample hold circuits 32 and 33 as a signal B'amplified by the predetermined amplification degree. The sample hold circuit 32 detects and holds the maximum value of the voltage of the signal B ′, and outputs the held voltage V1 to the subtractor 34. Further, the sample hold circuit 33 holds the minimum value of the voltage of the signal B ′ and outputs this voltage V2 to the subtractor 34.

【0018】減算器34は、電圧V1から電圧V2を減
算した電圧V3を比較器35に出力する。比較器35は
入力した電圧V3を予め設定されている基準電圧Vthと
比較し、基準電圧Vthよりも電圧V3の値が大きくなっ
たときに異常信号Cを報知回路36に出力する。報知回
路36は比較器35から異常信号Cを入力したときに、
光ディスク1に欠陥があったことを報知する。
The subtractor 34 outputs a voltage V3 obtained by subtracting the voltage V2 from the voltage V1 to the comparator 35. The comparator 35 compares the input voltage V3 with a preset reference voltage Vth, and outputs an abnormal signal C to the notification circuit 36 when the value of the voltage V3 becomes larger than the reference voltage Vth. When the alarm circuit 36 receives the abnormal signal C from the comparator 35,
It informs that the optical disc 1 has a defect.

【0019】前述の構成からなる本実施例によれば、レ
ーザ光発生部11から出射されたYAGレーザ光は、所
定の速度で回転する光ディスク1の中心部と外周部との
間を、半径方向に所定の速度でスキャンしながら光ディ
スク1の反射面1aに照射される。このときの光ディス
ク1からの反射光はミラー12によって反射され、円筒
レンズ13を介して光電変換部14に入射され、光電変
換部14によって入射した光の強度に対応する電圧が欠
陥検出部15に出力される。これにより、欠陥検出部1
5においてこの電圧値に基づいて光ディスク1における
直径30μm以上の傷や小孔等の欠陥が検出される。
According to the present embodiment having the above-described structure, the YAG laser light emitted from the laser light generator 11 is radially moved between the central portion and the outer peripheral portion of the optical disc 1 rotating at a predetermined speed. The reflective surface 1a of the optical disc 1 is irradiated with the light while scanning at a predetermined speed. The reflected light from the optical disc 1 at this time is reflected by the mirror 12 and is incident on the photoelectric conversion unit 14 via the cylindrical lens 13, and a voltage corresponding to the intensity of the light incident by the photoelectric conversion unit 14 is applied to the defect detection unit 15. Is output. Thereby, the defect detection unit 1
5, defects such as scratches and small holes having a diameter of 30 μm or more in the optical disc 1 are detected based on this voltage value.

【0020】また、光ピックアップ20のレーザダイオ
ード20aから出射されたレーザ光は、情報の再生時と
同様にフォーカス調整されて光ディスク1に照射され
る。このとき、トラッキングサーボ23は停止され、光
ピックアップ20は所定位置に固定される。これによ
り、光ピックアップ20から出射されたレーザ光は、光
ディスク1の所定の1トラックを走査する。このとき
の、光ディスク1からの反射光はフォトディテクタ20
bによって受光され、フォトディテクタ20bからは反
射光強度に比例した電圧を有する電気信号Bが出力され
る。これにより、情報再生時に問題となる直径数μm程
度の欠陥を反射光強度の強弱、即ち信号Bの電圧の高低
として検出することができる。
Further, the laser light emitted from the laser diode 20a of the optical pickup 20 is focused and radiated onto the optical disc 1 as in the case of reproducing information. At this time, the tracking servo 23 is stopped and the optical pickup 20 is fixed at a predetermined position. As a result, the laser light emitted from the optical pickup 20 scans one predetermined track of the optical disc 1. The reflected light from the optical disc 1 at this time is the photodetector 20.
An electric signal B having a voltage proportional to the intensity of reflected light is output from the photodetector 20b. This makes it possible to detect a defect having a diameter of several μm, which is a problem when reproducing information, as the intensity of reflected light, that is, the voltage of the signal B.

【0021】前述したような染み込み不良による欠陥及
びその他の欠陥が光ディスク1に存在しないときには、
反射光強度は光ディスク1の全面においてほぼ一定とな
る。この場合、信号B’の電圧が最大値及び最小値とし
てサンプルホールド回路32,33に保持され、減算器
34の出力電圧V3はほぼ0Vとなる。従って、電圧V
3は基準電圧Vth以下となり比較器35から異常信号C
は出力されない。
When the optical disc 1 does not have the defect due to the defective penetration and the other defect as described above,
The reflected light intensity is almost constant on the entire surface of the optical disc 1. In this case, the voltage of the signal B ′ is held in the sample hold circuits 32 and 33 as the maximum value and the minimum value, and the output voltage V3 of the subtractor 34 becomes almost 0V. Therefore, the voltage V
3 becomes the reference voltage Vth or less and the abnormal signal C from the comparator 35
Is not output.

【0022】また、染み込み不良等による欠陥が存在し
た場合には、この欠陥部における反射光強度が減少して
フォトディテクタ20bの出力信号Bの電圧が低下し、
このときの信号B’の電圧が最小値としてサンプルホー
ルド回路33に保持される。これにより、減算器34の
出力電圧V3は、サンプルホールド回路32の出力電圧
V1とサンプルホールド回路33の出力電圧V2との差
となって上昇し、基準電圧Vthを上回るものとなる。従
って、比較器35から異常信号Cが出力され、報知回路
36によって欠陥の存在が報知される。また、染み込み
不良等による欠陥が存在する場合には、光ディスク1の
全面に亙って欠陥が発生するので、レーザ光によって1
トラックのみを走査すれば容易に欠陥を検出することが
できる。さらに詳細な検査を行う場合には、トラッキン
グサーボ23を動作させて、光ピックアップ20を移動
しながら光ディスク1の全面をレーザ光により走査すれ
ば良い。
Further, when there is a defect such as defective penetration, the intensity of the reflected light at the defective part is reduced and the voltage of the output signal B of the photodetector 20b is lowered.
The voltage of the signal B ′ at this time is held in the sample hold circuit 33 as the minimum value. As a result, the output voltage V3 of the subtractor 34 rises due to the difference between the output voltage V1 of the sample and hold circuit 32 and the output voltage V2 of the sample and hold circuit 33, and exceeds the reference voltage Vth. Therefore, the comparator 35 outputs the abnormal signal C, and the notification circuit 36 notifies the existence of the defect. Further, when there is a defect such as a defective penetration, a defect is generated over the entire surface of the optical disc 1, so that the laser beam causes a defect.
Defects can be easily detected by scanning only the tracks. When performing a more detailed inspection, the tracking servo 23 may be operated and the optical pickup 20 may be moved to scan the entire surface of the optical disc 1 with laser light.

【0023】前述したように本実施例によれば、直径数
μm程度の欠陥も容易に検出することができるので、情
報の記録再生時に問題となる微小な欠陥も逃すことなく
発見することができ、不良品の流出を完全に防ぐことが
できる。また、本実施例の検査装置は非常に簡単な構成
で短時間に検査を行うことができるので、既存の光ディ
スク1の製造及び検査ラインに容易に設置することがで
きる。
As described above, according to this embodiment, it is possible to easily detect a defect having a diameter of several μm. Therefore, it is possible to detect a minute defect which is a problem when recording and reproducing information without missing it. , It is possible to completely prevent the outflow of defective products. Further, since the inspection apparatus of this embodiment can perform inspection in a short time with a very simple structure, it can be easily installed in the existing manufacturing and inspection line of the optical disc 1.

【0024】尚、本実施例における検査装置の構成は一
例であり、これに限定されることはない。
The structure of the inspection apparatus in this embodiment is an example, and the present invention is not limited to this.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、情
報記録時或いは情報再生時に問題となる欠陥の直径に対
応したレーザ光が検査対象の光ディスクに照射され、反
射光強度の最大値及び最小値に基づいて欠陥が検出され
るので、従来検出不可能であった染み込み不良等による
微小な欠陥を容易に検出することができ、不良品の流出
を完全に防止することができる。さらに、非常に簡単な
構成で短時間に検査を行うことができるので、既存の光
ディスクの製造及び検査ラインに容易に設置することが
できるという非常に優れた効果を奏するものである。
As described above, according to the present invention, the optical disc to be inspected is irradiated with the laser beam corresponding to the diameter of the defect which becomes a problem at the time of information recording or information reproduction, and the maximum value of the reflected light intensity and Since the defect is detected based on the minimum value, it is possible to easily detect a minute defect such as a defective penetration which cannot be detected conventionally, and it is possible to completely prevent the defective product from flowing out. Further, since the inspection can be performed in a short time with a very simple structure, it has an extremely excellent effect that it can be easily installed in an existing optical disc manufacturing and inspection line.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す構成図FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】光ディスクの一構成例を示す図FIG. 2 is a diagram showing a configuration example of an optical disc.

【図3】従来の光ディスク検査装置の一例を示す構成図FIG. 3 is a configuration diagram showing an example of a conventional optical disc inspection apparatus.

【図4】本発明の一実施例における光ピックアップ及び
第2の欠陥検出部に係わる電気系回路の構成図
FIG. 4 is a configuration diagram of an electric system circuit relating to an optical pickup and a second defect detection section in an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…光ディスク、2…基板、3…記録層、4…反射層、
5…保護膜、11…レーザ光発生部、12…ミラー、1
3…円筒レンズ、14…光電変換部、15…欠陥検出
部、20…光ピックアップ、20a…レーザダイオー
ド、20b…フォトディテクタ、20c…ハーフミラ
ー、20d…レンズ、21…レーザ駆動回路、22…フ
ォーカスサーボ、23…トラッキングサーボ、31…R
Fアンプ、32,33…サンプルホールド回路、34…
減算器、35…比較器、36…報知回路。
1 ... Optical disc, 2 ... Substrate, 3 ... Recording layer, 4 ... Reflective layer,
5 ... Protective film, 11 ... Laser light generating part, 12 ... Mirror, 1
3 ... Cylindrical lens, 14 ... Photoelectric conversion part, 15 ... Defect detection part, 20 ... Optical pickup, 20a ... Laser diode, 20b ... Photodetector, 20c ... Half mirror, 20d ... Lens, 21 ... Laser drive circuit, 22 ... Focus servo , 23 ... Tracking servo, 31 ... R
F amplifier, 32, 33 ... Sample and hold circuit, 34 ...
Subtractor, 35 ... Comparator, 36 ... Notification circuit.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石黒 隆 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Takashi Ishiguro 6-16-20 Ueno Taito-ku, Tokyo Taiyo Induction Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 検査対象の光ディスクを所定の回転速度
で回転させながらレーザ光を照射し、前記光ディスクか
らの反射光に基づいて、前記光ディスクを検査する光デ
ィスクの検査装置において、 前記光ディスクからの情報再生時とほぼ同等の波長を有
するレーザ光を前記光ディスクに対して出射するレーザ
光出射手段と、 該レーザ光出射手段より出射されたレーザ光のフォーカ
ス調整を行うフォーカス調整手段と、 前記レーザ光出射手段により出射されたレーザ光の、前
記光ディスクからの反射光を受光し、光強度に対応した
信号を出力する受光手段と、 該受光手段の出力信号に基づいて、前記反射光の最大値
を検出する最大値検出手段と、 前記受光手段の出力信号に基づいて、前記反射光の最小
値を検出する最小値検出手段と、 前記最大値検出手段の検出結果及び最小値検出手段の検
出結果に基づいて、前記最大値と最小値の差が所定の基
準値以上となったときに欠陥の存在を報知する報知手段
とを備えた、 ことを特徴とする光ディスク検査装置。
1. An optical disc inspection apparatus for irradiating a laser beam while rotating an optical disc to be inspected at a predetermined rotation speed, and inspecting the optical disc based on reflected light from the optical disc, the information from the optical disc. A laser beam emitting means for emitting a laser beam having a wavelength substantially equal to that during reproduction to the optical disc; a focus adjusting means for adjusting the focus of the laser beam emitted by the laser beam emitting means; Light receiving means for receiving the reflected light of the laser light emitted by the means from the optical disc and outputting a signal corresponding to the light intensity; and detecting the maximum value of the reflected light based on the output signal of the light receiving means. Maximum value detecting means, a minimum value detecting means for detecting the minimum value of the reflected light based on the output signal of the light receiving means, and the maximum value detecting means. Based on the detection result of the large value detection means and the detection result of the minimum value detection means, a notification means for notifying the presence of a defect when the difference between the maximum value and the minimum value becomes equal to or more than a predetermined reference value is provided. An optical disk inspection device characterized by the above.
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