JPH05264204A - 変位計測装置 - Google Patents
変位計測装置Info
- Publication number
- JPH05264204A JPH05264204A JP9494192A JP9494192A JPH05264204A JP H05264204 A JPH05264204 A JP H05264204A JP 9494192 A JP9494192 A JP 9494192A JP 9494192 A JP9494192 A JP 9494192A JP H05264204 A JPH05264204 A JP H05264204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement sensor
- linear
- converter
- eddy current
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 変位センサを誤差が小さくなる位置に設置す
ることにより、変位測定に再現性および信頼性のある変
位計測装置を得ることを目的とする。 【構成】 変換器４より出力された擬似線形データとこ
の擬似線形データに応じた線形との近似点を検出すると
ともに、変位センサ２をその近似点に対応した位置に調
整するようセンサ移動手段３に駆動信号を送出する演算
制御手段６を備えた構成とした。
ることにより、変位測定に再現性および信頼性のある変
位計測装置を得ることを目的とする。 【構成】 変換器４より出力された擬似線形データとこ
の擬似線形データに応じた線形との近似点を検出すると
ともに、変位センサ２をその近似点に対応した位置に調
整するようセンサ移動手段３に駆動信号を送出する演算
制御手段６を備えた構成とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、切削機械による被切
削物の振動量および偏心量を計測する変位計測装置に関
するものである。
削物の振動量および偏心量を計測する変位計測装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の渦電流式変位計測装置を示
す構成図であり、図において、１は被切削物等の被測定
物、２は被測定物１の振動量または偏心量を計測する渦
電流式変位センサ（変位センサ）、３は渦電流式変位セ
ンサ２を移動させ、被測定物１と渦電流式変位センサ２
との距離を調整するアクチュエータ（センサ移動手段）
である。
す構成図であり、図において、１は被切削物等の被測定
物、２は被測定物１の振動量または偏心量を計測する渦
電流式変位センサ（変位センサ）、３は渦電流式変位セ
ンサ２を移動させ、被測定物１と渦電流式変位センサ２
との距離を調整するアクチュエータ（センサ移動手段）
である。
【０００３】４は渦電流式変位センサ２の出力信号を０
〜５Ｖに変換する変換器、５は変換器４の０〜５Ｖのア
ナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバー
タ、６はＡ／Ｄコンバータ５からのデジタル出力から被
測定物１の振動量または偏心量を算出するマイコン等を
有したデジタル演算制御回路（演算制御手段）である。
〜５Ｖに変換する変換器、５は変換器４の０〜５Ｖのア
ナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバー
タ、６はＡ／Ｄコンバータ５からのデジタル出力から被
測定物１の振動量または偏心量を算出するマイコン等を
有したデジタル演算制御回路（演算制御手段）である。
【０００４】次に動作について説明する。被測定物１の
振動量，偏心量等を計測するために、渦電流式変位セン
サ２をアクチュエータ３により移動させ、被測定物１と
渦電流式変位センサ２との距離が有効測定距離内に入る
ように調整し設置する。
振動量，偏心量等を計測するために、渦電流式変位セン
サ２をアクチュエータ３により移動させ、被測定物１と
渦電流式変位センサ２との距離が有効測定距離内に入る
ように調整し設置する。
【０００５】被測定物１が回転または振動することによ
り、被測定物１と渦電流式変位センサ２との距離が変化
し、渦電流式変位センサ２は非線形な距離−電圧特性に
対応した出力信号を送出する。非線形な特性に対応した
信号を入力した変換器４は、図５の曲線に示すような擬
似線形に補正すると共に、０〜５Ｖのアナログ信号に変
換する。Ａ／Ｄコンバータ５はアナログ信号をデジタル
信号に変換し、デジタル演算制御回路６でこのデジタル
信号から被測定物１の振動量，偏心量を算出する。
り、被測定物１と渦電流式変位センサ２との距離が変化
し、渦電流式変位センサ２は非線形な距離−電圧特性に
対応した出力信号を送出する。非線形な特性に対応した
信号を入力した変換器４は、図５の曲線に示すような擬
似線形に補正すると共に、０〜５Ｖのアナログ信号に変
換する。Ａ／Ｄコンバータ５はアナログ信号をデジタル
信号に変換し、デジタル演算制御回路６でこのデジタル
信号から被測定物１の振動量，偏心量を算出する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の渦電流式変位計
測装置は以上のように構成されているので、渦電流式変
位センサ２の設置位置により、図５の曲線に示すような
擬似線形に補正された特性の影響を受け、測定誤差をひ
き起こす。特に、破線（理想線形）から離れた矢印の範
囲７内に渦電流式変位センサ２を設置し、微小な振動
量，偏心量を計測する時は誤差は大きくなり、測定値の
信頼性および再現性が失なわれるなどの問題点があっ
た。
測装置は以上のように構成されているので、渦電流式変
位センサ２の設置位置により、図５の曲線に示すような
擬似線形に補正された特性の影響を受け、測定誤差をひ
き起こす。特に、破線（理想線形）から離れた矢印の範
囲７内に渦電流式変位センサ２を設置し、微小な振動
量，偏心量を計測する時は誤差は大きくなり、測定値の
信頼性および再現性が失なわれるなどの問題点があっ
た。
【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、変位センサを誤差が小さくなる
位置に設置することにより、変位測定に再現性および信
頼性のある変位計測装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、変位センサを誤差が小さくなる
位置に設置することにより、変位測定に再現性および信
頼性のある変位計測装置を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係る変位計測
装置は、擬似線形に応じた出力信号とこの擬似線形に対
応する理想線形との近似点を検出すると共に、変位セン
サをその近似点に対応した被測定物との距離に調整する
ようにセンサ移動手段に駆動信号を送出する演算制御手
段を備えるものである。
装置は、擬似線形に応じた出力信号とこの擬似線形に対
応する理想線形との近似点を検出すると共に、変位セン
サをその近似点に対応した被測定物との距離に調整する
ようにセンサ移動手段に駆動信号を送出する演算制御手
段を備えるものである。
【０００９】
【作用】この発明における変位計測装置は、変位センサ
の位置を擬似線形と理想線形との近似点に対応した被測
定物との距離に調整することにより、理想線形に近似す
る計測値を得る。
の位置を擬似線形と理想線形との近似点に対応した被測
定物との距離に調整することにより、理想線形に近似す
る計測値を得る。
【００１０】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１において、１は被切削物等の被測定物、２は
被測定物１の振動量または偏心量を計測する渦電流式変
位センサ（変位センサ）、３は渦電流式変位センサ２を
移動させ、被測定物１と渦電流式変位センサ２との距離
を調整するアクチュエータ（センサ移動手段）である。
する。図１において、１は被切削物等の被測定物、２は
被測定物１の振動量または偏心量を計測する渦電流式変
位センサ（変位センサ）、３は渦電流式変位センサ２を
移動させ、被測定物１と渦電流式変位センサ２との距離
を調整するアクチュエータ（センサ移動手段）である。
【００１１】４は渦電流式変位センサ２の出力信号を０
〜５Ｖに変換する変換器、５は変換器４の０〜５Ｖのア
ナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバー
タ、６はＡ／Ｄコンバータ５からのデジタル出力から被
測定物１の振動量または偏心量を算出する、マイコン等
を有したデジタル演算制御回路（演算制御手段）であ
る。また、このデジタル演算制御回路６は渦電流式変位
センサ２を移動させるアクチュエータ３へ駆動信号を送
出する。
〜５Ｖに変換する変換器、５は変換器４の０〜５Ｖのア
ナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバー
タ、６はＡ／Ｄコンバータ５からのデジタル出力から被
測定物１の振動量または偏心量を算出する、マイコン等
を有したデジタル演算制御回路（演算制御手段）であ
る。また、このデジタル演算制御回路６は渦電流式変位
センサ２を移動させるアクチュエータ３へ駆動信号を送
出する。
【００１２】次に動作について説明する。図２はこの渦
電流式変位計測装置の動作を説明するフローチャートで
あり、この図２に基づいて動作説明をする。渦電流式変
位センサ２を任意の位置に設定し、デジタル演算制御回
路６からの駆動信号により微小量単位（例えば１０μ
ｍ）で渦電流式変位センサ２を移動させる。この時、変
換器４のアナログ出力は図３に示す曲線（擬似線形）上
の値となるが、この値をデジタル値としてデジタル演算
制御回路６に記録する（ステップＳＴ１）。
電流式変位計測装置の動作を説明するフローチャートで
あり、この図２に基づいて動作説明をする。渦電流式変
位センサ２を任意の位置に設定し、デジタル演算制御回
路６からの駆動信号により微小量単位（例えば１０μ
ｍ）で渦電流式変位センサ２を移動させる。この時、変
換器４のアナログ出力は図３に示す曲線（擬似線形）上
の値となるが、この値をデジタル値としてデジタル演算
制御回路６に記録する（ステップＳＴ１）。
【００１３】渦電流式変位センサ２の測定レンジが例え
ば０〜１ｍｍで、これに対して変換器４のアナログ出力
が０〜５Ｖならば、変換器４の理想的な特性は図３の直
線（理想線形）で示すようなＶ＝５ｘ（但し、ｘは距離
ｍｍ：ｙは電圧Ｖ）であり、この直線とステップＳＴ１
で記録された曲線との交点をデジタル演算制御回路６で
求められる（ステップＳＴ２）。
ば０〜１ｍｍで、これに対して変換器４のアナログ出力
が０〜５Ｖならば、変換器４の理想的な特性は図３の直
線（理想線形）で示すようなＶ＝５ｘ（但し、ｘは距離
ｍｍ：ｙは電圧Ｖ）であり、この直線とステップＳＴ１
で記録された曲線との交点をデジタル演算制御回路６で
求められる（ステップＳＴ２）。
【００１４】ステップＳＴ２で求めた交点から距離ｘS
を求め（ステップＳＴ３）、デジタル演算制御回路６よ
り距離ｘS に応じた駆動信号をアクチュエータ３に送出
し、被測定物１と渦電流式変位センサ２の距離がｘS と
なるように設置する（ステップＳＴ４）。続いて、測定
を開始する（ステップＳＴ５）。
を求め（ステップＳＴ３）、デジタル演算制御回路６よ
り距離ｘS に応じた駆動信号をアクチュエータ３に送出
し、被測定物１と渦電流式変位センサ２の距離がｘS と
なるように設置する（ステップＳＴ４）。続いて、測定
を開始する（ステップＳＴ５）。
【００１５】このように、渦電流式変位センサ２を距離
ｘS となる位置に設置すれば、ｘSの位置は理想線形上
にあるので、特に矢印の範囲９に示すような微小な範囲
内では誤差を小さくすることができる。
ｘS となる位置に設置すれば、ｘSの位置は理想線形上
にあるので、特に矢印の範囲９に示すような微小な範囲
内では誤差を小さくすることができる。
【００１６】なお、直線と曲線の交点のうち、曲線が上
がり勾配時の交点のみを交点ｘS として採用すれば更に
誤差を小さくすることができる。
がり勾配時の交点のみを交点ｘS として採用すれば更に
誤差を小さくすることができる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば擬似線
形に応じた出力信号とこの擬似線形に対応する理想線形
との近似点を検出すると共に、変位センサをその近似点
に対応した被測定物との距離に調整するようセンサ移動
手段に駆動信号を送出する演算制御手段を備えた構成と
したので、計測値は理想線形に近似した値となり、誤差
が少なく、再現性および信頼性のあるものが得られる効
果がある。
形に応じた出力信号とこの擬似線形に対応する理想線形
との近似点を検出すると共に、変位センサをその近似点
に対応した被測定物との距離に調整するようセンサ移動
手段に駆動信号を送出する演算制御手段を備えた構成と
したので、計測値は理想線形に近似した値となり、誤差
が少なく、再現性および信頼性のあるものが得られる効
果がある。
【図１】この発明の一実施例による渦電流式変位計測装
置を示す構成図である。
置を示す構成図である。
【図２】図１の渦電流式変位計測装置の動作を説明する
フローチャートである。
フローチャートである。
【図３】図１で示された変換器の距離−電圧特性を示す
説明図である。
説明図である。
【図４】従来の渦電流式変位計測装置を示す構成図であ
る。
る。
【図５】図４で示された変換器の距離−電圧特性を示す
説明図である。
説明図である。
１ 被測定物 ２ 渦電流式変位センサ（変位センサ） ３ アクチュエータ（センサ移動手段） ４ 変換器 ５ Ａ／Ｄコンバータ ６ デジタル演算制御回路（演算制御手段）
フロントページの続き (72)発明者 中村 信博 長崎市旭町８番23号 三菱電機エンジニア リング株式会社長崎事業所内
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物の変位を計測し、非線形な距離
−電位特性に応じた出力信号を送出する変位センサと、
その変位センサを移動させ上記被測定物との距離を調整
するセンサ移動手段と、上記変位センサからの非線形な
特性に応じた出力信号を擬似線形に補正する変換器と、
その変換器からの擬似線形に応じた出力信号とこの擬似
線形に対応する理想線形との近似点を検出すると共に、
上記変位センサをその近似点に対応した被測定物との距
離に調整するよう上記センサ移動手段に駆動信号を送出
する演算制御手段とを備えた変位計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9494192A JPH05264204A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 変位計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9494192A JPH05264204A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 変位計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05264204A true JPH05264204A (ja) | 1993-10-12 |
Family
ID=14123979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9494192A Pending JPH05264204A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 変位計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05264204A (ja) |
-
1992
- 1992-03-23 JP JP9494192A patent/JPH05264204A/ja active Pending
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