JPH05261909A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

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JPH05261909A
JPH05261909A JP6205992A JP6205992A JPH05261909A JP H05261909 A JPH05261909 A JP H05261909A JP 6205992 A JP6205992 A JP 6205992A JP 6205992 A JP6205992 A JP 6205992A JP H05261909 A JPH05261909 A JP H05261909A
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JP
Japan
Prior art keywords
ink
substrate
ink jet
jet head
base
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP6205992A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
昇 ▲高▼田
Noboru Takada
Osamu Taniguchi
修 谷口
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide an ink jet head constituted in a manner of discharging foams securely out of an ink passage. CONSTITUTION:An ink jet head is provided with a first base 10 with ink jetting nozzles 10a and 10b, at least one of them, and a second base 12 fixed to said first base, and ink pressure chambers 12a1 and 12b1 and ink passages 12a2 and 12b2 linked with said chambers are formed between the first base and the second base. Ink jetting nozzles are disposed in a manner of opening in an ink passage, and ink jetting nozzles 10a and 10b are positioned at the sites approximately 0.8mm or less from the ends of the ink passages 12a2 and 12b2 in the ink jet head provided with an electrical/mechanical conversion means 14 installed correspondingly to the zones of the ink pressure chambers of the second base for the purpose of generating pressure wave to the ink in the ink pressure chambers.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はインクジェットプリンタ
に用いられるインクジェットヘッドに関し、一層詳しく
は、少なくとも1つのインク噴射ノズルを持つ第1の基
板と、この第1の基板に対して固着された第2の基板と
を具備し、該第1の基板と該第2の基板との間にインク
圧力室とそれに連通したインク流路とを形成し、該イン
ク噴射ノズルを該インク流路に開口させるように構成さ
れるタイプのインクジェットヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head used in an ink jet printer, and more particularly, to a first substrate having at least one ink jet nozzle and a second substrate fixed to the first substrate. An ink pressure chamber and an ink passage communicating with the ink pressure chamber are formed between the first substrate and the second substrate, and the ink ejection nozzle is opened to the ink passage. And an inkjet head of the type configured as follows.

【0002】[0002]

【従来の技術】ドロップオンデマンド(drop-on-demand)
型マルチノズルインクジェットヘッドの一タイプとし
て、第1の基板に多数のインク噴射ノズルを所定のピッ
チで配列し、第1の基板に第2の基板を固着させて、そ
の間に該インクジェットヘッドの数に対応する複数のイ
ンク圧力室と、これらインク圧力室のそれぞれに連通し
たインク流路とを形成し、各インク噴射ノズルをインク
流路のそれぞれに開口させるような構成を持つインクジ
ェットヘッドが知られている。この種のインクジェット
ヘッドにおいては、第2の基板には各インク圧力室の領
域に対応して電気機械変換手段例えば圧電素子が設けら
れ、この圧電素子の動作により各インク圧力室内のイン
クに圧力波が発生させられ、これにより該当インク噴射
ノズルからインク小滴が噴射させられる。したがって、
圧電素子を印字データに基づいて選択的に動作させるこ
とにより、文字、記号等が記録用紙等の記録媒体上にイ
ンクドットにより記録されることになる。所定の印字品
質を得るためには、多数のインク噴射ノズルを数ミクロ
ンのオーダーの配列ピッチでかつ高精度で配列されなけ
ればならならず、これに伴いインク圧力室およびインク
流路も高精度で加工することが要求されるが、上述した
ようなタイプのインクジェットヘッドにあっては、イン
ク圧力室およびインク流路を第1の基板および第2の基
板のいずれかにエッチング加工により比較的容易にかつ
高精度で加工し得るという利点がある。なお、第1およ
び第2の基板はエッチング加工に適したステンレス、ガ
ラス等の材料から形成される。
2. Description of the Related Art Drop-on-demand
As one type of multi-nozzle inkjet head, a large number of ink jet nozzles are arranged on a first substrate at a predetermined pitch, and a second substrate is fixed to the first substrate. There is known an inkjet head having a configuration in which a plurality of corresponding ink pressure chambers and an ink flow path communicating with each of these ink pressure chambers are formed and each ink ejection nozzle is opened in each of the ink flow paths. There is. In this type of ink jet head, the second substrate is provided with electromechanical conversion means, such as piezoelectric elements, corresponding to the regions of the ink pressure chambers, and the operation of the piezoelectric elements causes pressure waves to be generated in the ink in each ink pressure chamber. Is generated, and as a result, an ink droplet is ejected from the corresponding ink ejection nozzle. Therefore,
By selectively operating the piezoelectric element based on the print data, characters, symbols and the like are recorded by ink dots on a recording medium such as recording paper. In order to obtain a predetermined print quality, a large number of ink ejection nozzles must be arranged with an arrangement pitch of the order of a few microns and with high precision, and along with this, the ink pressure chambers and ink flow paths with high precision. Although it is required to process, in the ink jet head of the type described above, the ink pressure chamber and the ink flow path are relatively easily etched on either the first substrate or the second substrate. And there is an advantage that it can be processed with high accuracy. The first and second substrates are made of a material suitable for etching such as stainless steel and glass.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする問題点】ところで、かかるタ
イプのインクジェットヘッドの問題点として、インク流
路内に気泡が残留しがちである点が指摘されている。言
うまでもなく、インク流路内に気泡が存在した場合に
は、インク圧力室で発生させられた圧力波は該気泡によ
り緩衝させられ、かくしてインク噴射ノズルからのイン
ク小滴の噴射が阻害されることになる。したがって、本
発明の目的は、上述したようなタイプのインクジェット
ヘッドであって、インク流路から気泡を確実に排除し得
るように構成されたインクジェットヘッドを提供するこ
とである。
By the way, it has been pointed out that a problem with such an ink jet head is that bubbles tend to remain in the ink flow path. Needless to say, when bubbles are present in the ink flow path, the pressure wave generated in the ink pressure chamber is buffered by the bubbles, thus hindering the ejection of ink droplets from the ink ejection nozzles. become. Therefore, it is an object of the present invention to provide an inkjet head of the type described above, which is configured to reliably eliminate bubbles from the ink flow path.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも1つのインク噴射ノズルを持つ第1の基板と、この
第1の基板に対して固着された第2の基板とを具備し、
第1の基板と第2の基板との間にはインク圧力室と、こ
のインク圧力室と連通したインク流路とが形成され、イ
ンク噴射ノズルがインク流路に開口させられるように配
置され、更に、インク圧力室内のインクに圧力波を発生
させるべく第2の基板に該インク圧力室の領域に対応し
て設けられた電気機械変換手段を具備して成るインクジ
ェットヘッドにおいて、インク噴射ノズルをインク流路
の先端から約0.8mm 以下の箇所に位置決めすることが特
徴とされる。
According to the present invention, there is provided a first substrate having at least one ink jet nozzle, and a second substrate fixed to the first substrate,
An ink pressure chamber and an ink channel communicating with the ink pressure chamber are formed between the first substrate and the second substrate, and the ink ejection nozzle is arranged so as to be opened in the ink channel. Further, in an ink jet head comprising electromechanical conversion means provided on the second substrate so as to correspond to the region of the ink pressure chamber so as to generate a pressure wave in the ink in the ink pressure chamber, the ink jet nozzle is provided with an ink jet nozzle. It is characterized in that it is positioned within about 0.8 mm from the tip of the channel.

【0005】[0005]

【作用】以上の構成から明らかなように、本発明によれ
ば、インク噴射ノズルがインク流路の先端から約0.8mm
以下の箇所に位置決めされるので、インク流路からは気
泡が確実に排除され得る。
As apparent from the above construction, according to the present invention, the ink ejecting nozzle is about 0.8 mm from the tip of the ink flow path.
Bubbles can be reliably removed from the ink flow path because they are positioned at the following locations.

【0006】[0006]

【実施例】次に、添付図面を参照して、本発明によるイ
ンクジェットヘッドの一実施例について説明する。図1
を参照すると、本発明によるインクジェットヘッドの一
構成要素となる第1の基板10が示され、この第1の基
板10は例えばステンレス、ガラスあるいはセラミック
等から形成される。図示するように、本実施例では、第
1の基板10には二列のインク噴射ノズル10aおよび
10bが形成され、各列には5つのインク噴射ノズルが
含まれる。各列のインク噴射ノズル10a、10bの配
列ピッチは同じであるが、しかし双方の列のインク噴射
ノズル10aおよび10bは互いに半ピッチずらされて
配置される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the ink jet head according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. Figure 1
Referring to FIG. 1, there is shown a first substrate 10 which is one component of the inkjet head according to the present invention, and the first substrate 10 is made of, for example, stainless steel, glass, ceramic or the like. As shown, in the present embodiment, two rows of ink ejection nozzles 10a and 10b are formed on the first substrate 10, and each row includes five ink ejection nozzles. The arrangement pitch of the ink jet nozzles 10a and 10b in each row is the same, but the ink jet nozzles 10a and 10b in both rows are arranged so as to be offset by a half pitch.

【0007】図2を参照すると、第2の基板12が示さ
れ、これも本発明によるインクジェットヘッドの一構成
要素となる。第2の基板12はステンレスあるいはガラ
ス等から形成され、その一方の側面にはエッチング加工
等により二列の凹部12aおよび12bが形成され、各
列には5つの凹部が含まれ、その配列ピッチはインク噴
射ノズル10aおよび10bのそれぞれの配列ピッチと
同じである。したがって、図1の第1の基板10が第2
の基板12上に重ね合わされた場合、二列のインク噴射
ノズル10aおよび10bはそれぞれ二列の凹部12a
および12bに対応関係で位置して、各インク噴射ノズ
ル10a、10bはその該当凹部12a、12bに対し
て開口させられる。各凹部12a、12bは中央領域1
2a1 、12b1 と、そこから次第に狭窄して延在する
先端領域12a2 、12b2 とを含み、第1の基板10
および第2の基板12が互いに重ね合わされて固着させ
られたとき、中央領域12a1 、12b1 はインク圧力
室を形成し、また先端領域12a2 、12b2 はインク
流路を形成する。第1の基板10および第2の基板12
との固着は熱融着であってもよいし、あるいは双方の基
板を接着剤によって接着することも可能である。各凹部
12a、12bはリストリクタ部12cを介して共通の
インク供給路12dに連通させられ、インク供給路12
dは貫通孔12eを介してインク供給源すなわちインク
供給タンク(図示されない)に接続される。なお、凹部
12aおよび12bと同様に、リストリクタ部12cお
よびインク供給路12dもエッチング加工等により形成
される。
Referring to FIG. 2, a second substrate 12 is shown, which is also a component of the inkjet head of the present invention. The second substrate 12 is made of stainless steel, glass, or the like, and has two rows of recesses 12a and 12b formed on one side surface thereof by etching or the like. Each row includes five recesses, and the array pitch is It is the same as the arrangement pitch of the ink ejection nozzles 10a and 10b. Therefore, the first substrate 10 of FIG.
When the ink jet nozzles 10a and 10b of the two rows are superposed on the substrate 12 of the above, the two rows of the concave portions 12a are formed.
And 12b, the ink ejection nozzles 10a and 10b are opened to the corresponding recesses 12a and 12b. Each recess 12a, 12b has a central region 1
2a 1 and 12b 1 and tip regions 12a 2 and 12b 2 that gradually narrow and extend from the first substrate 10
When the second substrate 12 and the second substrate 12 are stacked and fixed to each other, the central regions 12a 1 and 12b 1 form ink pressure chambers, and the tip regions 12a 2 and 12b 2 form ink flow paths. First substrate 10 and second substrate 12
The adhesion between the two substrates may be heat fusion, or both substrates may be bonded by an adhesive. The recesses 12a and 12b are communicated with the common ink supply path 12d through the restrictor portion 12c, and the ink supply path 12 is provided.
d is connected to an ink supply source, that is, an ink supply tank (not shown) through the through hole 12e. Note that, like the recesses 12a and 12b, the restrictor portion 12c and the ink supply path 12d are also formed by etching or the like.

【0008】図3は第1の基板10および第2の基板1
2を互いに重ね合わされて固着させた際に図2のIII-II
I 線に沿って切断した断面図を示し、同図から明らかな
ように、第2の基板12には各凹部12a、12bの中
央領域すなわちインク圧力室12a1 、12b1 の領域
に対応して電気機械変換手段例えば圧電素子14が固着
され、この圧電素子14には電極板16が適用される。
第2の基板12がステンレスのような導電性材料から形
成される場合には、第2の基板12自体が電極板16の
対向電極として例えば接地させられ、また第2の基板1
2がガラスのような絶縁材料から形成される場合には、
第2の基板12と圧電素子14との間に例えば導電ペー
ストからなる導電性層が介在させられ、この導電性層が
電極板16の対向電極とされる。電極板16に所定の駆
動電圧が印加されると、圧電素子14が瞬時に歪み、こ
れにより第2の基板12が局部的に振動させられる。こ
のときインク圧力室12a1 、12b1 内のインクに圧
力波が生じて、インク小滴がインク噴射ノズル10aか
ら噴射させられる。したがって、圧電素子14を印字デ
ータに基づいて選択的に動作させることにより、文字、
記号等が記録用紙等の記録媒体上にインクドットにより
記録されることになる。なお、上述したように、二列の
インク噴射ノズル10aおよび10bは互いに半ピッチ
ずらされて配置され、一方インクジェットヘッドが記録
媒体に対して移動させられる際にはその移動方向に垂直
な同一直線上で各列のインク噴射ノズル10a、10b
からインク小滴が噴射させられるので、インクドットに
よる記録のドットピッチはインク噴射ノズル10a、1
0bのそれぞれの配列ピッチの半分となる。
FIG. 3 shows a first substrate 10 and a second substrate 1.
Fig. 2 III-II when the two are stacked and fixed to each other
A cross-sectional view taken along the line I is shown, and as is apparent from the same drawing, the second substrate 12 corresponds to the central regions of the recesses 12a and 12b, that is, the regions of the ink pressure chambers 12a 1 and 12b 1. An electromechanical conversion means, for example, a piezoelectric element 14 is fixed, and an electrode plate 16 is applied to this piezoelectric element 14.
When the second substrate 12 is formed of a conductive material such as stainless steel, the second substrate 12 itself is grounded as a counter electrode of the electrode plate 16, and the second substrate 1 is also used.
When 2 is formed from an insulating material such as glass,
A conductive layer made of, for example, a conductive paste is interposed between the second substrate 12 and the piezoelectric element 14, and this conductive layer serves as a counter electrode of the electrode plate 16. When a predetermined drive voltage is applied to the electrode plate 16, the piezoelectric element 14 is instantly distorted, which locally vibrates the second substrate 12. At this time, a pressure wave is generated in the ink in the ink pressure chambers 12a 1 and 12b 1 , and the ink droplets are ejected from the ink ejection nozzle 10a. Therefore, by selectively operating the piezoelectric element 14 based on the print data, characters,
Symbols and the like are recorded by ink dots on a recording medium such as recording paper. As described above, the two rows of ink ejection nozzles 10a and 10b are arranged so as to be offset from each other by a half pitch, and when the inkjet head is moved with respect to the recording medium, on the same straight line perpendicular to the movement direction. Ink ejection nozzles 10a, 10b in each row
Since the ink droplets are ejected from the ink ejection nozzles, the dot pitch for recording with ink dots is set to the ink ejection nozzles 10a, 1
It is half of the arrangement pitch of 0b.

【0009】印字作動を行うときには、すべてのインク
圧力室12a1 および12b1 ならびにインク流路12
2 および12b2 内にはインクでもって充満させるこ
とが必要であり、このためインクジェットヘッドがイン
クジェットプリンタに搭載された際には、インク供給タ
ンク側を加圧するか、あるいはインク噴射ノズルを吸引
機構(図示されない)に接続させて、インクをインク流
路12a2 および12b2 まで引き込まなければならな
い。しかしながら、かかるインクの引込みが終了した際
にインク流路12a2 および12b2 内に気泡がしばし
ば残留することが認められた。先に述べたように、イン
ク流路12a2 および12b2 内に気泡が残留した場合
には、インク圧力室12a1 および12b1 で発生させ
られた圧力波は該気泡により緩衝させられ、かくしてイ
ンク噴射ノズル10a、10bからのインク小滴の噴射
が阻害される。本発明者等の研究によれば、かかる気泡
の残留問題はインク噴射ノズル10a、10bとインク
流路12a2 および12b 2 との相対位置関係が深く関
与していることが判明した。すなわち、図4に示すよう
に、インク噴射ノズル10a、10bの中心位置とイン
ク流路12a2 、12b2 の先端との距離を種々の値に
設定し、それぞれの設定値に対してインクの引込みを10
0 回ずつ繰り返したところ、下記の表1に示す結果が得
られた。
When performing printing operation, all ink
Pressure chamber 12a1And 12b1And the ink flow path 12
a2And 12b2Fill the inside with ink.
And the inkjet head is
When installed in a jet printer, the ink supply
The ink side or press the ink jet nozzle
Connect to a mechanism (not shown) to force the ink to flow
Road 12a2And 12b2I have to pull in
Yes. However, when the ink drawing is completed,
Ink channel 12a2And 12b2There are often air bubbles inside
It was confirmed that the residue would remain. As mentioned earlier,
Channel 12a2And 12b2When air bubbles remain inside
The ink pressure chamber 12a1And 12b1Generated by
The generated pressure wave is buffered by the bubbles and thus
Of small ink droplets from the ink jet nozzles 10a and 10b
Is hindered. According to the study by the present inventors, such bubbles
The remaining problem is that the ink ejection nozzles 10a, 10b and the ink
Channel 12a2And 12b 2Is closely related to
It turned out to be giving. That is, as shown in FIG.
To the center position of the ink ejection nozzles 10a and 10b.
Channel 12a2, 12b2Various distances to the tip of
Set and pull in the ink 10 for each set value.
After repeating 0 times, the results shown in Table 1 below were obtained.
Was given.

【0010】[0010]

【表1】 [Table 1]

【0011】この表1から明らかなように、インク噴射
ノズル10a、10bがインク流路12a2 、12b2
の先端から0.8mm 以下の箇所に位置決めされていれば、
100回のインク引込み中に一度も気泡がインク流路12
2 、12b2 内に残留することはなかった。また、イ
ンク噴射ノズル10a、10bをインク流路12a2
12b2 の先端から0.85mmの箇所に位置決めした際に
は、100 回のインク引込み中、30回だけインク流路12
2 、12b2 内での気泡の残留が認められなかった
が、しかし後の70回では気泡残留が認められた。更に、
インク噴射ノズル10a、10bをインク流路12
2 、12b2 の先端から0.90mm以上離れた箇所に位置
決めした際、100 回のインク引込み中、常にインク流路
12a2 、12b 2 内での気泡の残留が認められた。な
お、かかる実験については、インク圧力室12a1 、1
2b1 の幅w(図4)の値を0.5 ないし1.5mm の範囲
で、またインク流路の深さ(厚さ)を0.05ないし0.1mm
の範囲内で変動させて行われたが、その結果も上記表1
と同様であった。要するに、インク流路12a2 、12
2 内に気泡が残留するか否かはその先端とインク噴射
ノズル10a、10bとの間の距離だけに依存すること
が判明した訳である。したがって、インク噴射ノズルを
インク流路の先端から約0.8mm 以下の箇所に位置決めす
ることにより、インク流路から気泡が確実に排除され、
かくして安定した印字が維持され得ることになる。
As is clear from Table 1, ink ejection
The nozzles 10a and 10b are the ink flow paths 12a.2, 12b2
If it is positioned within 0.8mm from the tip of the
Bubbles in the ink flow path 12 even once during 100 times of ink drawing
a2, 12b2It did not remain inside. Also,
The ink jet nozzles 10a and 10b to the ink flow path 12a.2,
12b2When positioned at 0.85 mm from the tip of
Is the ink flow path 12 only 30 times during 100 times of ink drawing.
a2, 12b2No air bubbles remained inside
However, after 70 times, air bubbles remained. Furthermore,
The ink jet nozzles 10a and 10b are connected to the ink flow path 12
a2, 12b2Positioned 0.90 mm or more from the tip of
When deciding, the ink flow path is always maintained during 100 ink draws.
12a2, 12b 2Remaining air bubbles were observed inside. Na
For such an experiment, the ink pressure chamber 12a11
2b1The width w (Fig. 4) of the range of 0.5 to 1.5 mm
In addition, the depth (thickness) of the ink channel is 0.05 to 0.1 mm.
The results were shown in Table 1 above.
Was similar to. In short, the ink flow path 12a2, 12
b2Whether or not air bubbles remain inside the tip and the ink jet
To depend only on the distance between the nozzles 10a and 10b
Was found. Therefore, the ink jet nozzle
Position it within about 0.8 mm from the tip of the ink flow path.
This ensures that air bubbles are removed from the ink flow path,
Thus, stable printing can be maintained.

【0012】図5を参照すると、上述の実施例の変形例
が図示され、この変形例は第2の基板12が2つの個別
の部材すなわち流路板12fおよび振動板12gから形
成される点を除けば上述の実施例と同様である。図5の
変形実施例によれば、第2の基板を異種の材料から形成
することが可能である。例えば、流路板12fをステン
レスから形成し、振動板12gをガラスあるいはセラミ
ック等から形成することが可能であり、この場合流路板
12fには放電加工等でインク圧力室、インク流路等を
形成することができる。
Referring to FIG. 5, a variation of the above-described embodiment is illustrated, in which the second substrate 12 is formed from two separate members, a flow plate 12f and a diaphragm 12g. Except for this, it is similar to the above-described embodiment. According to the variant embodiment of FIG. 5, it is possible to form the second substrate from different materials. For example, the flow channel plate 12f can be formed of stainless steel, and the vibrating plate 12g can be formed of glass, ceramic, or the like. In this case, the flow channel plate 12f is provided with an ink pressure chamber, an ink flow channel, or the like by electric discharge machining or the like. Can be formed.

【0013】図6を参照すると、上述の実施例の別の変
形例が図示され、この変形例では、インク圧力室、イン
ク流路等が第1の基板10にエッチング等で形成され、
この場合第2の基板12は振動板として機能することに
なる。
Referring to FIG. 6, there is shown another modified example of the above-described embodiment, in which an ink pressure chamber, an ink flow path, etc. are formed in the first substrate 10 by etching or the like.
In this case, the second substrate 12 will function as a diaphragm.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によるインクジェットヘッドによれば、インクの引込み
時にインク流路から気泡が確実に排除されるので、安定
した印字作動が保証され、かくして高品位の印字記録が
得られることになる。
As is apparent from the above description, according to the ink jet head of the present invention, the bubbles are surely removed from the ink flow path when the ink is drawn in, so that the stable printing operation is guaranteed and thus the high printing performance is ensured. It is possible to obtain a quality print record.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるインクジェットヘッドの一構成要
素である第1の基板を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a first substrate which is a component of an inkjet head according to the present invention.

【図2】本発明によるインクジェットヘッドの一構成要
素である第2の基板を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing a second substrate which is one component of the inkjet head according to the present invention.

【図3】図1の第1の基板および図2の第2の基板を互
いに重ね合わされて固着させた際に図2のIII-III 線に
沿って切断した断面図である。
3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2 when the first substrate of FIG. 1 and the second substrate of FIG. 2 are stacked and fixed to each other.

【図4】インク噴射ノズルとインク流路との相対位置関
係を示す図式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a relative positional relationship between an ink ejection nozzle and an ink flow path.

【図5】図3の断面図と同様な断面図であって、本発明
の実施例の変形例を示す図である。
5 is a sectional view similar to the sectional view of FIG. 3, showing a modification of the embodiment of the present invention.

【図6】図3の断面図と同様な断面図であって、本発明
の実施例の別の変形例を示す図である。
6 is a sectional view similar to the sectional view of FIG. 3, showing another modification of the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…第1の基板 10a…インク噴射ノズル 10b…インク噴射ノズル 12…第2の基板 12a…凹部 12a1 …インク圧力室 12a2 …インク流路 12b…凹部 12b1 …インク圧力室 12b2 …インク流路 12c…リストリクタ部 12d…インク供給路 12e…貫通孔 12f…流路板 12g…振動板 14…圧電素子 16…電極板10 ... first substrate 10a ... ink ejection nozzles 10b ... ink ejection nozzles 12 ... second substrate 12a ... concave portion 12a 1 ... ink pressure chambers 12a 2 ... ink channel 12b ... recess 12b 1 ... ink pressure chamber 12b 2 ... Ink Flow path 12c ... Restrictor part 12d ... Ink supply path 12e ... Through hole 12f ... Flow path plate 12g ... Vibration plate 14 ... Piezoelectric element 16 ... Electrode plate

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも1つのインク噴射ノズル(1
0a、10b)を持つ第1の基板(10)と、この第1
の基板に対して固着された第2の基板(12)とを具備
し、前記第1の基板と前記第2の基板との間にはインク
圧力室(12a1 、12b1 )と、このインク圧力室と
連通したインク流路(12a2 、12b2 )とが形成さ
れ、前記インク噴射ノズルが前記インク流路に開口させ
られるように配置され、更に前記インク圧力室内のイン
クに圧力波を発生させるべく前記第2の基板に該インク
圧力室の領域に対応して設けられた電気機械変換手段
(14)を具備して成るインクジェットヘッドにおい
て、 前記インク噴射ノズル(10a、10b)が前記インク
流路(12a2 、12b2 )の先端から約0.8mm 以下の
箇所に位置決めされることを特徴とするインクジェット
ヘッド。
1. At least one ink jet nozzle (1)
0a, 10b) and a first substrate (10)
Second substrate (12) fixed to the substrate, and ink pressure chambers (12a 1 , 12b 1 ) between the first substrate and the second substrate, and the ink An ink flow path (12a 2 , 12b 2 ) communicating with the pressure chamber is formed, the ink ejecting nozzle is arranged so as to be opened to the ink flow path, and a pressure wave is generated in the ink in the ink pressure chamber. In the ink jet head including the electromechanical conversion means (14) provided on the second substrate corresponding to the area of the ink pressure chamber so that the ink jet nozzles (10a, 10b) can flow the ink. An inkjet head characterized in that it is positioned at a position of about 0.8 mm or less from the tip of the passages (12a 2 , 12b 2 ).
【請求項2】 請求項1に記載のインクジェットヘッド
において、前記インク圧力室(12a1 、12b1 )と
前記インク流路(12a2 、12b2 )とが前記第2の
基板(12)にエッチング加工により形成されることを
特徴とするインクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the ink pressure chambers (12a 1 , 12b 1 ) and the ink flow paths (12a 2 , 12b 2 ) are etched in the second substrate (12). An ink jet head formed by processing.
【請求項3】 請求項1に記載のインクジェットヘッド
において、前記インク圧力室(12a1 、12b1 )と
前記インク流路(12a2 、12b2 )とが前記第1の
基板(10)にエッチング加工により形成されることを
特徴とするインクジェットヘッド。
3. The ink jet head according to claim 1, wherein the ink pressure chambers (12a 1 , 12b 1 ) and the ink flow paths (12a 2 , 12b 2 ) are etched in the first substrate (10). An ink jet head formed by processing.
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