JPH05253775A - 精密スライド機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、スライダの支持剛性を高め、往復
運動時に発生する振動の減衰性を向上させた精密スライ
ド機構を提供する。 【構成】 固定側軌道台３のＶ形溝３１と浮動側軌道台
４のＶ形溝４１の間に、ローラを有する軸受５を介して
スライダ２を摺動自在に支持し、スライダ２の軌道面が
必要直進精度方向に対して所定の角度だけ傾斜するよう
に構成したので、取付け誤差を吸収し、高い走行精度が
得られる。軌道面の加工精度の直進精度に対する影響が
小さくなる。しかも、予圧機構１０によってスライダ２
の支持力を調節可能にしたので、スライダ２の支持機構
としての剛性と減衰性が向上すると共に、軸受５の保持
器の位置ずれの修正が容易である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、リード加工用刃物台
装置等におけるスライダを高速で往復運動させる精密ス
ライド機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、リード加工用刃物台装置のスライ
ド機構としては、例えば、特開平２−１８０５０３号公
報に開示されたものがある。該リード加工用刃物台装置
のスライド機構を図８及び図９を参照して概説する。図
８はリード加工用刃物台装置を示す断面図、及び図９は
図８のリード加工用刃物台装置の側面図である。

【０００３】図８及び図９に示すように、リード加工刃
物台装置８０は、刃物８１即ちバイトを取り付けた刃物
取付用スライダ８２に往復運動を与える機能を有するも
のであり、テーブル８３に固定されたサーボモータ８
４、サーボモータ８４の駆動軸と一体構造の回転軸８６
に形成した雄ねじ８６１、その雄ねじ８６１に螺合し且
つ回転軸８６の回転運動に応じて往復運動可能なナット
部材８６２、そのナット部材８６２に固定され且つ一端
に刃物８１を取り付けたスライダ８２、そのスライダ８
２を往復運動可能に支持する軌道台としてのスライドベ
ース８５から構成されている。

【０００４】スライダ８２はスライドベース８５との間
にエア軸受９０を構成して支持されている。スライダ８
２は、図９に示すように断面形状が四角形に形成されて
いる。また、スライドベース８５の支持面８５０がスラ
イダ８２の外周面８２０に対応するようにスライドベー
ス８５も断面四角形状に形成されている。スライドベー
ス８５は、４つのプレート、即ち、底面を形成するスラ
イドベース部材８５１、上面を形成するスライドベース
８５２、両側面を形成するスライドベース部材８５３、
８５４から構成されている。これらのスライドベース部
材８５１、８５２、８５３、８５４には、スライドベー
ス８５とスライダ８２との間にエア軸受９０を構成する
ため、エア供給手段（図示せず）から圧縮エアが供給さ
れるエア導入通路９１がそれぞれ形成されている。スラ
イドベース８５の内周面、即ち、スライドベース部材８
５１、８５２、８５３、８５４の内面には、エア導入通
路９１に連通するエア溝が中央部に形成されると共に、
両側部にはスライド方向（図８に示すＺ方向）に延びる
エア逃げ溝９２、９３が形成されている。そして、リー
ド加工用刃物台装置のスライド機構として、上記のよう
なエア軸受９０を採用した場合、スライダ８２とスライ
ドベース８５とのギャップは５〜８μｍ程度に保持され
るので、摩擦がなく、摩耗が発生することがなく、サー
ボモータ８４の回転角度に対応して応答性が良く、高速
往復運動が可能になる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記リード
加工用刃物台装置のスライド機構において、図８に示す
ように、スライダ８２に取り付けたバイトホルダ８７に
バイト８１を固定して、このバイト８１によって工作物
をリード加工する場合に、両側面に配置されたスライド
ベース部材８５３、８５４は加工精度に影響する方向の
面となる。即ち、加工精度に影響する方向とは、工作物
の回転中心とバイト８１の刃先とを結ぶ半径方向〔図９
に示す水平方向（Ｘ軸）または上下方向（Ｙ軸）〕であ
り、加工精度を上げるにはこれらの方向のバイト８１の
支持状態を堅固なものにしなければならない。ここで、
直進精度の必要な面の方向、即ち、上下方向及び水平方
向を必要直進精度方向と称することにする。

【０００６】しかしながら、スライドベース部材８５
１、８５２、８５３、８５４の内面即ち軌道面の方向は
必要直進精度方向と同一方向であるため、軌道面の加工
精度がスライダ８２の直進精度に直接影響する。即ち、
スライドベース８５及びスライダ８２の加工精度や摩耗
がスライダ８２の直進精度に直接影響する。また、従来
のリード加工用刃物台装置のように、スライド機構とし
てエア軸受９０を採用した場合、スライダ８２は軌道台
上を非接触で往復運動することになるので、スライダの
支持機構の剛性や往復運動時に発生する振動の減衰性が
不足するという問題点がある。また、滑り軸受を採用し
た場合には高速運動に対応できないし、ボールを介在さ
せた軸受を採用した場合にはやはり剛性、減衰性が不足
する。また、エア軸受９０を用いた場合、エア圧の低下
などの原因でスライダ８２とスライドベース８５との摺
動面が摩耗した場合には、予圧抜けの問題が生じる。そ
の場合には、軌道台としてのスライドベース８５が非可
動に構成されているので、この問題に対処することがで
きなくなる。

【０００７】そこで、この発明の目的は、上記の課題を
解決することであり、リード加工用刃物台装置等のスラ
イド機構において、スライダの直進精度に対する軌道台
の加工精度の影響を少なくすることができ且つ高速運転
時において高い剛性及び減衰性を得ることができる精密
スライド機構を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するために、次のように構成されている。即ち、
この発明は、一定の角度で傾斜する２つの平面から成る
Ｖ形の固定側軌道台、該固定側軌道台の上方に対向位置
し且つ一定の角度で傾斜する２つの平面から成る逆Ｖ形
の上下方向に浮動の浮動側軌道台、前記固定側軌道台と
前記浮動側軌道台との間に配置され且つ前記各平面に対
向する各平面を有する往復移動可能なスライダ、前記固
定側軌道台と前記スライダとの間及び前記浮動側軌道台
と前記スライダとの間に介在させた転動体を有する軸
受、及び前記浮動側軌道台を押圧して前記スライダを前
記固定側軌道台側へ押圧する押圧力調節可能な予圧機構
を有する精密スライド機構に関する。

【０００９】また、この精密スライド機構において、前
記予圧機構は導入したエア圧を油圧に変換して押圧力を
調節する液圧式予圧機構で構成されているものである。

【００１０】また、この精密スライド機構において、前
記軸受は転動体循環形リニア軸受又は転動体非循環形リ
ニア軸受で構成されているものである。

【００１１】

【作用】この発明による精密スライド機構は、上記のよ
うに構成されているので、次のように作用する。即ち、
この精密スライド機構において、スライダは固定側軌道
台のＶ形の２つの平面と浮動側軌道台のＶ形の２つの平
面との間に転動体を介在させて構成した軸受によって摺
動可能に支持しているので、軌道面は必要直進精度方向
に対して所定の角度だけ傾斜している。このため、スラ
イダの直進精度に対する軌道面の加工精度の影響は、図
８に示す従来のものに比べて、単位面積当たり小さくす
ることができる。例えば、スライダの断面形状を正方形
にした場合、即ち、４５°傾斜させた９０°をなす２平
面のＶ形溝の場合、軌道面はスライド時の必要直進精度
方向に対して４５°傾斜させたことになるので、２列の
軌道面で下向き荷重を受けることになり、静負荷容量は
約１．４１４（ルート２）倍になる。従って、外力によ
る軌道面即ちスライダ単位の撓みも小さくなり、高い走
行精度が得られる。

【００１２】また、許容荷重の大きな軸受を介してスラ
イダを支持している上に、浮動側軌道台を固定側軌道台
の方へ押圧する時の押圧力を調節する予圧機構を設けて
いるので、浮動側軌道台と固定側軌道台との取付誤差を
吸収し、スライダの支持機構としての剛性を十分に高め
ることができ、且つスライダが往復運動する時に発生す
る振動の減衰性を向上することができる。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照して、この発明による精密
スライド機構の一実施例を説明する。図１はこの発明に
よる精密スライド機構の一実施例を示す断面図、及び図
２は図１におけるＡーＡ断面図である。

【００１４】図１において、この精密スライド機構をリ
ード加工用刃物台装置に適用した一実施例が示されてお
り、図１にはリード加工用刃物台装置において使用され
る精密スライド機構１の側方断面図が示されている。こ
の精密スライド機構１は、スライダ２、スライダ２を往
復運動可能に支持する固定側軌道台３、浮動側軌道台
４、スライダ２と固定側軌道台３及び浮動側軌道台４と
の間にそれぞれ転動体であるローラ５２（図３参照）を
介在させて構成した軸受５、及び予圧機構１０を有して
いる。この精密スライド機構１は、図２に示すように、
スライダ２が挿通される貫通孔７１を有する刃物台ハウ
ジング７、刃物台ハウジング７の下端に固着されたスラ
イドベースである固定側軌道台３、刃物台ハウジング７
の上端に固着され且つ中央部に貫通孔７２を有する蓋部
材７３、及び蓋部材７３の上部に取付けられた増圧シリ
ンダ９とを有している。そして、スライダ２は、刃物台
ハウジング７、固定側軌道台３、蓋部材７３、増圧シリ
ンダ９及び浮動側軌道台４によって囲まれる空間内に貫
通収容されている。

【００１５】図示していないが、図８又は図９に示すも
のと同様に、スライダ２の一方の端面には刃物即ちバイ
トを取り付けられるようになっていて、ＶＴＲシリンダ
のリード加工を行う。スライダ２の反対の端面には、図
示していないが、例えば、スライダ２を往復運動させる
送り機構としてのサーボモータが配置され、スライダ２
を高速で往復運動させる。

【００１６】スライダ２は、各平面は正方形の面を構成
しており、図１では断面形状が正方形に構成されてい
る。スライダ２を直線運動案内支持する各軌道台は、ス
ライドベースである固定側軌道台３とスライドブロック
である浮動側軌道台４とから構成されている。固定側軌
道台３は、一定の角度で傾斜し且つＶ形に開拡した２つ
の平面即ち軌道面、図１では上面が角度９０°に開いた
Ｖ形溝３１が形成されている。このＶ形溝３１には、Ｖ
形溝に多数の転動体であるローラ５２を配置した軸受５
である転動体非循環形リニア軸受５０（図３参照。具体
的構成については後述）が載置され、その上にスライダ
２が摺動可能に載置されている。また、浮動側軌道台４
は、固定側軌道台３の上方に対向位置し且つ一定の角度
で傾斜する逆Ｖ形の２つの平面、図１では下面に９０度
に開いたＶ形溝４１が形成され、上下方向に浮動の状態
で刃物台ハウジング７に支持され、浮動側軌道台４は固
定側軌道台３と協働してスライダ２を上から挟むように
配置されている。浮動側軌道台４とスライダ２との間に
も、Ｖ形溝４１に上記と同様の軸受５である転動体非循
環形リニア軸受５０が介在されている。

【００１７】スライダ２の中心を通る上下方向及び横方
向の軸をそれぞれＸ軸、Ｙ軸とすると、このＸ軸及びＹ
軸の方向が必要直進精度方向に当たる。両軌道台には、
図１に示すように、９０°開いたＶ形溝３１，４１が形
成されているので、軌道面は必要直進精度方向に対して
４５度傾斜した面となる。このため、スライダの直進精
度に対する軌道面の加工精度の影響は、図８に示す従来
のものに比べて、単位面積当たり小さくすることができ
る。例えば、スライダの断面形状をほぼ正方形にした場
合、即ち、４５°傾斜させた９０°に開拡する２平面か
らなるＶ形溝の場合、軌道面はスライド時の必要直進精
度方向に対して４５°傾斜させたことになるので、２列
の軌道面で下向き荷重を受けることになり、静負荷容量
は約１．４１４（ルート２）倍になる。従って、外力に
よる軌道面即ちスライダ単位の撓みも小さくなり、高い
走行精度が得られる。

【００１８】浮動側軌道台即ちスライドブロック４は、
予圧機構１０によってスライダ２側へ押し付けられる。
この予圧機構１０は、圧縮エアを導入する加圧ポート１
１、加圧ポート１１から導入された圧縮エアが供給され
るシリンダ９、シリンダ９内に摺動自在に嵌合されてい
て供給された圧縮エアによって作動するピストン１２、
ピストン１２と一体構造のピストンロッド１３、ピスト
ンロッド１３が嵌合された予圧ピストン１４、及び予圧
ピストン１４に摺動自在に嵌合し且つスライドブロック
４に当接する予圧シリンダ１５から構成されている。こ
の予圧機構１０は、導入したエア圧を液圧に変換してス
ライドブロック４をスライドベース３側へ押圧する押圧
力を調節する液圧式予圧機構であって、刃物台ハウジン
グ７内に収容され、コンパクトな構造に構成されてい
る。

【００１９】更に、予圧機構１０には、ピストン１２の
作動限界を検出するため、ストロークエンドキャッチ用
センサー１２１が設けられている。また、予圧機構１０
は、上記のような液圧式予圧機構１０に換えて、例え
ば、予圧シリンダ１５をスライドブロック４の方向にス
プリングで付勢すると共に、そのスプリングのばね力を
調節可能にした機械式予圧機構に構成してもよく、或い
は予圧シリンダ１５を油圧源に直結するように構成する
こともできる。

【００２０】図２に示すように、予圧機構１０におい
て、予圧ピストン１４は、小径部１４１と大径部１４２
からなる。小径部１４１の外径は蓋部材７３に形成され
た貫通孔７２に挿入できるように貫通孔７２の内径にほ
ぼ等しくしてある。予圧ピストン１４は小径部１４１を
貫通孔７２に挿入し、小径部１４１の突出した先端部を
締付ナット１６で締め付けることにより蓋部材７３に固
着されている。予圧ピストン１４の中心には、ピストン
ロッド１３を嵌合するための貫通孔１４３が形成されて
おり、その貫通孔１４３内が予圧室１４４としての機能
を果たす。即ち、ピストンロッド１３が下方に移動して
きた時に、予圧室１４４が圧縮され、その結果として予
圧シリンダ１５が下方へ押し下げられる。予圧室１４４
へ供給される予圧液体は、外部に設置した予圧液タンク
２０に蓄えられていて、刃物台ハウジング７に形成した
供給口７４から導入され、蓋部材７３に形成された液体
通路７５を通って予圧室１４４へ供給される。予圧液タ
ンク２０には油量の減少を検出するためのセンサ２１が
設けられている。蓋部材７３に形成された貫通孔７２の
内周面にはＯリング７６、７７が設けられていて、予圧
ピストン１４と蓋部材７３との境界面から予圧液体がも
れるのを防止している。また、予圧ピストン１４の貫通
孔１４３は、図２に二点鎖線１４５で示すように、下方
に向かって内径が大きくなるように形成する方がよい。
その理由は予圧液体内に発生した気泡を逃がし易くする
ためである。気泡は予圧液タンク２０から逃げていく。
予圧ピストン１４の貫通孔１４３の内周面にはＯリング
１４６及びリップシール１４７が設けられていて、ピス
トンロッド１３と予圧ピストン１４との境界面から予圧
液体が漏れるのを防止している。

【００２１】浮動側軌道台４は浮動状態に設けられてい
て、予圧シリンダ１５によってスライダ２側へ押し付け
られる。スライダ２の直進精度は、固定側軌道台３、転
動体非循環形軸受５０、及びスライダ２の接触面の加工
精度で決定される。浮動側軌道台４は、スライダ２の軌
道面に追従して、加工誤差分だけ傾く。浮動側軌道台４
が傾く余裕は予圧シリンダ１５にＯリング１５１が設け
られていることによって生まれる。

【００２２】図３は、精密スライド機構に組み込んだ軸
受５として、転動体が軌道部を循環しない転動体非循環
形リニア軸受５０の構造を示す斜視図である。この転動
体非循環形リニア軸受５０は、耐摩耗性処理を施した軽
量で剛性のあるローラケージである保持器５１、及び平
面的な負荷軌道部、該負荷軌道部でエンドレスに循環せ
ずに保持器５１内で転動する転動体である多数の精密ロ
ーラ５２から構成されている。ローラ５２は保持器５１
のポケットに保持されて脱落しないような構造に構成さ
れている。ローラ５２同士の相互摩擦がなく、スキュー
（ローラ５２の倒れ）が抑えられる構造になっているた
め、摩擦係数はμ＝０．００１〜０．００３と小さく、
滑り面で問題となるスティックスリップは全く生じな
い。多数のローラ５２が小さなピッチで保持器５１に組
み込まれているので許容荷重が大きく、軌道面の硬さが
低い場合でも、軌道面に傷をつけることなく円滑な運動
が得られる。保持器５１は２つのローラ条列を９０度に
曲げて形成されていて、図１の軌道台３，４のＶ形溝３
１、４１の面に組み込めるようになっている。

【００２３】次に、この発明による精密スライド機構１
の作動を説明する。図２において、シリンダ９の上方に
設けられた加圧ポート１１から圧縮エアをシリンダ９に
導入すると、ピストン１２が下降を始める。増圧ピスト
ン１２が下降すると、このピストン１２に連結されてい
るピストンロッド１３も下降する。このピストンロッド
１３の下降に伴って、ピストンロッド１３は予圧ピスト
ン１４の内部に形成された予圧室１４４の空気及び予圧
液体を排出しつつさらに下降する。ピストンロッド１３
の先端が予圧ピストン１４の内部に設けられたリップシ
ール１４７の位置より下位部に達するとピストンロッド
１３の先端、予圧ピストン１４、予圧シリンダ１５の三
者で予圧室１４４を形成する。この予圧室１４４には外
部に設けられた予圧液タンク２０から供給された予圧液
が満たされている。さらに、加圧ポート１１に圧力を供
給すれば、予圧液体には予圧が発生し、予圧シリンダ１
５が下方に押し下げられる。この結果、浮動側軌道台４
としてのスライドブロックと固定側軌道台３としてのス
ライドベースの間に、スライダ２は軸受５を介して保持
される。転動体非循環形リニア軸受５０の許容荷重は大
きいので、スライダ２を保持する力は十分大きなものに
することができる。

【００２４】上記のように、この精密スライド機構１
は、加圧ポート１１に供給された圧力に比例してスライ
ダ２を押圧することができるので、押圧力を任意に調節
することができる。したがって、使用上必要な剛性をス
ライダ２に対して十分に与えることができ、スライダ２
を最適な状態で支持することができる。図１の実施例で
はスライダ２の断面形状を正方形にしているので、左右
方向に働く力と上下方向に働く力は等しくなる。この精
密スライド機構１をリード加工用刃物台に適用すれば、
スライダ２の上下、左右の直進精度が向上し、３０ｍ／
ｍｉｎ以上の高速往復運動時であっても、刃物による加
工精度を安定に且つ向上させることができる。

【００２５】転動体非循環形リニア軸受５０は、スライ
ダ２の移動量の１／２だけ移動する。しかし、スライダ
２が高速往復運動を繰り返しているうちに、転動体非循
環形リニア軸受５０は正規の位置からずれてくることが
ある。保持器ずれが大きくなると、刃物による加工精度
が悪化するため、保持器の位置ずれを修正する必要があ
る。ところで、予圧機構１０を単に皿ばねで構成した場
合、あるいは、ねじで構成した場合、保持器ずれを修正
するために予圧機構を分解調整する必要がある。しか
し、この精密スライド機構１は、浮動側軌道台４を固定
側軌道台３へ押圧する時の押圧力を調節可能とした予圧
機構１０を備えているので、以下のようにしてその修正
が可能である。即ち、予圧シリンダ１５に予圧をかけな
い状態でスライダ２を全ストローク移動させ、転動体非
循環形リニア軸受５０を図示しないエンドカバーに当て
ることにより、転動体非循環形リニア軸受５０をストロ
ーク中心（原点位置）に戻すことができる。勿論、この
修正を機械的に行うようにするために、修正用シリンダ
等を設けてもよい。

【００２６】図４は、この発明による精密スライド機構
の別の実施例を示す側面断面図である。図から明らかな
ように、スライダ２の断面形状は菱形をしている。スラ
イダ２の上下の頂点の角度をα、左右の頂点の角度をβ
とする。図示のように、スライダ２はα＞βの関係があ
る。この場合には、スライダ２の軌道面に垂直方向に働
く力は軌道面方向に働く力より大きく、従って、面に対
して上下方向の負荷を大きくする場合にはこのように構
成することもできる。

【００２７】次に、図５は、この発明による精密スライ
ド機構の更に別の実施例を示す側面断面図である。図か
ら明らかなように、スライダ２の断面形状は菱形をして
いる。図示のように、スライダ２はα＜βの関係があ
る。この場合にはスライダ２の軌道面方向に働く力は軌
道面に垂直方向に働く力より大きく、従って図５の面に
対して水平即ち左右方向の負荷を大きくする場合にはこ
のように構成することもできる。

【００２８】更に、図６及び図７を参照して、この発明
による精密スライド機構の他の実施例を説明する。図６
はこの発明による精密スライド機構の他の実施例を示す
側面断面図、及び図７は図６の線Ｂ−Ｂにおける断面図
である。この実施例は、図１に示す実施例と比較して、
固定側軌道台とスライダとの間及び浮動側軌道台とスラ
イダとの間に介在させた転動体を有する軸受の構成が相
違する以外は、同一の構成であるので、同一の部品には
同一の符号を付して重複する説明は省略する。この実施
例における各軸受は、転動体であるローラ５２がエンド
レスに循環する形式の軸受、言い換えれば、転動体循環
形リニア軸受５８に構成されている。

【００２９】この転動体循環形リニア軸受５８について
は、スライダ２とスライドブロック４との間に配置され
る軸受５は、スライダ２とスライドブロック４との間に
形成された負荷軌道部５６、スライドブロック４に組み
込まれたガイド部材５３で形成された転動体リターン路
５５及びスライドブロック４の両端に取付けたカバー部
材５４で形成された方向変換部材５７によって構成され
るエンドレス軌道部を、ローラ５２がエンドレスに循環
するものであり、また、スライダ２とスライドベース３
との間に配置される軸受５は、スライダ２とスライドベ
ース３との間に形成された負荷軌道部５６、スライドベ
ース３に組み込まれたガイド部材５３で形成された転動
体リターン路５５、及びスライドベース３の両端に取付
けたカバー部材５４で形成された方向変換部材（図示せ
ず）によって構成されるエンドレス軌道部を、ローラ５
２がエンドレスに循環するものである。この精密スライ
ド機構において、ローラ５２がエンドレスに循環する形
式の軸受は、負荷を受けるローラ５２の数及び位置が安
定しており、スライダ２のストロークが大きい場合に用
いることに特に適している。

【００３０】

【発明の効果】この発明による精密スライド機構は、上
記のように構成されているので、次のような効果を有す
る。即ち、この精密スライド機構は、スライダと固定側
軌道台と浮動側軌道台との各軌道面は、Ｖ形溝に形成さ
れて必要直進精度方向に対して所定の角度だけ傾斜して
いるので、直動方向に垂直な面に関して軌道面が上下方
向及び左右即ち横方向に形成した従来のものに比べて、
剛性が大であるため安定した案内精度が得られる。しか
も、エア軸受を介さずに転動体を有する軸受を介してス
ライダを摺動可能に支持しているので、摩耗による予圧
抜けの問題が発生しないというだけでなく、予圧機構を
制御して浮動側軌道台を固定側軌道台の方へ常に一定の
押圧力で押圧することができるので、スライダの支持機
構は剛性に優れたものとなり、且つ、スライダの往復運
動時に発生する振動の減衰性を向上させることができ
る。このため、この精密スライド機構をリード加工用刃
物台に適用すれば、スライダの直進精度が向上し、高速
往復運転時における加工精度を安定且つ向上させること
ができる。

【００３１】また、この精密スライド機構については、
左右即ち横方向と上下方向とのいずれの方向の負荷を大
きくするかによって、スライダの断面形状を適宜選択す
るだけで、簡単に対応することができる。

【００３２】更に、この精密スライド機構については、
スライダが高速往復運動を繰り返しているうちに、前記
軸受が正規の移動位置からずれてくることがあっても、
この精密スライド機構は予圧機構を備えているので、簡
単にそのずれを修正することができる。

【００３３】また、この精密スライド機構において、前
記軸受は転動体循環形リニア軸受又は転動体非循環形リ
ニア軸受のいずれでも使用することができる。特に、前
記軸受として前記転動体循環形リニア軸受を用いた場合
には、負荷を受ける転動体５２の数及び位置が安定して
おり、スライダ２のストロークが大きい場合に適してい
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による精密スライド機構の一実施例を
示す側面断面図である。

【図２】図１におけるＡーＡ断面図である。

【図３】この発明による精密スライド機構に使用される
転動体を有する軸受の構造の一例を示す斜視図である。

【図４】この発明による精密スライド機構の別の実施例
を示す断面図である。

【図５】この発明による精密スライド機構の更に別の実
施例を示す断面図である。

【図６】この発明による精密スライド機構の他の実施例
を示す側面断面図である。

【図７】図６におけるＢ−Ｂ断面図である。

【図８】従来の精密スライド機構を使用したリード加工
用刃物台装置の一例を示す断面図である。

【図９】図６のリード加工用刃物台装置の側面図であ
る。

【符号の説明】

１ 精密スライド機構 ２ スライダ ３ 固定側軌道台（スライドベース） ４ 浮動側軌道台（スライドブロック） ５ 軸受 １０ 予圧機構 ３１ Ｖ形溝 ４１ Ｖ形溝 ５０ 転動体非循環形軸受 ５２ ローラ（転動体） ５８ 転動体循環形軸受

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一定の角度で傾斜する２つの平面から成
   るＶ形の固定側軌道台、該固定側軌道台の上方に対向位
   置し且つ一定の角度で傾斜する２つの平面から成る逆Ｖ
   形の上下方向に浮動の浮動側軌道台、前記固定側軌道台
   と前記浮動側軌道台との間に配置され且つ前記各平面に
   対向する各平面を有する往復移動可能なスライダ、前記
   固定側軌道台と前記スライダとの間及び前記浮動側軌道
   台と前記スライダとの間に介在させた転動体を有する軸
   受、及び前記浮動側軌道台を押圧して前記スライダを前
   記固定側軌道台側へ押圧する押圧力調節可能な予圧機構
   を有する精密スライド機構。
2. 【請求項２】 前記予圧機構は導入したエア圧を油圧に
   変換して押圧力を調節する液圧式予圧機構である請求項
   １に記載の精密スライド機構。
3. 【請求項３】 前記軸受は、転動体循環形リニア軸受又
   は転動体非循環形リニア軸受である請求項１に記載の精
   密スライド機構。