JPH05242856A - 誘導プラズマ質量分析装置 - Google Patents
誘導プラズマ質量分析装置Info
- Publication number
- JPH05242856A JPH05242856A JP4039750A JP3975092A JPH05242856A JP H05242856 A JPH05242856 A JP H05242856A JP 4039750 A JP4039750 A JP 4039750A JP 3975092 A JP3975092 A JP 3975092A JP H05242856 A JPH05242856 A JP H05242856A
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- JP
- Japan
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- ions
- mass filter
- detector
- mass
- electrode
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- Pending
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 誘導プラズマ質量分析装置において、マスフ
ィルター１０を通過したバックグランドノイズとなるイ
オンを除去して、検出すべきイオンのみを検出器１３に
導くことにより、極微量不純物の分析を可能にする。 【構成】 マスフィルター１０出口と検出器１３の間
に、特定のエネルギーのイオンのみを通過させる補助電
極１８を装着したことを特徴とする誘導プラズマ質量分
析装置。この補助電極１８がマスフィルター１０の軸と
検出器１３の間に、マスフィルター１０を通過した試料
のイオンを検出器１３に導くための穴の開いた補助電極
１８を設置した構造であり、この補助電極にバイアスを
印加したことを特徴とする誘導プラズマ質量分析装置。 【効果】 バックグランドノイズが低くなり、従来技術
ではできなかった極微量の不純物分析が可能になる。
ィルター１０を通過したバックグランドノイズとなるイ
オンを除去して、検出すべきイオンのみを検出器１３に
導くことにより、極微量不純物の分析を可能にする。 【構成】 マスフィルター１０出口と検出器１３の間
に、特定のエネルギーのイオンのみを通過させる補助電
極１８を装着したことを特徴とする誘導プラズマ質量分
析装置。この補助電極１８がマスフィルター１０の軸と
検出器１３の間に、マスフィルター１０を通過した試料
のイオンを検出器１３に導くための穴の開いた補助電極
１８を設置した構造であり、この補助電極にバイアスを
印加したことを特徴とする誘導プラズマ質量分析装置。 【効果】 バックグランドノイズが低くなり、従来技術
ではできなかった極微量の不純物分析が可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、試料中の微量不純物
の同定・定量をする目的で、試料を誘導プラズマでイオ
ン化し、生じたイオンをマスフィルターで質量分離して
検出する誘導プラズマ質量分析装置に関する。
の同定・定量をする目的で、試料を誘導プラズマでイオ
ン化し、生じたイオンをマスフィルターで質量分離して
検出する誘導プラズマ質量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】まず装置の構成を図２に示す。図２にお
いて、１はプラズマトーチ、２は誘導コイル、３は誘導
プラズマである。プラズマ発生部は、プラズマトーチ
１、誘導コイル２およびプラズマトーチ１に流されるガ
ス（例えばＡｒ）で構成される。液体試料は、通常ネブ
ライザー（図示せず）で噴霧され、キャリアガスととも
にプラズマトーチ１に輸送される。プラズマトーチ１の
先端には誘導コイル２が巻かれてあり２７．１２あるい
は４０ＭＨｚの高周波電力が印加される。誘導プラズマ
３は、この高周波電力と誘導結合して維持される。以上
のプラズマ発生部は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰと呼ば
れる）に関するものであるが、プラズマ発生部として特
開平３−９５８９９号公報に開示されているようなマイ
クロ波誘導プラズマ（ＭＩＰと呼ばれる）が使用された
ものもある。
いて、１はプラズマトーチ、２は誘導コイル、３は誘導
プラズマである。プラズマ発生部は、プラズマトーチ
１、誘導コイル２およびプラズマトーチ１に流されるガ
ス（例えばＡｒ）で構成される。液体試料は、通常ネブ
ライザー（図示せず）で噴霧され、キャリアガスととも
にプラズマトーチ１に輸送される。プラズマトーチ１の
先端には誘導コイル２が巻かれてあり２７．１２あるい
は４０ＭＨｚの高周波電力が印加される。誘導プラズマ
３は、この高周波電力と誘導結合して維持される。以上
のプラズマ発生部は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰと呼ば
れる）に関するものであるが、プラズマ発生部として特
開平３−９５８９９号公報に開示されているようなマイ
クロ波誘導プラズマ（ＭＩＰと呼ばれる）が使用された
ものもある。
【０００３】４はサンプリングコーン、５はスキマーコ
ーン、６は真空容器、７，８，９は各々ポンプａ，ｂ，
ｃである。サンプリングコーン４およびスキマーコーン
５は円錐状で先端に各々０．９〜１．２ｍｍ，０．３〜
０．６ｍｍ程度の孔が開いており、誘導プラズマ３中で
イオン化した試料は、サンプリングコーン４およびスキ
マーコーン５の孔を通して真空容器６内に導入される。
真空容器６の内部は、７のポンプａ，８のポンプｂ，９
のポンプｃで差動排気されて真空状態に保たれる。ポン
プ種としては、７のポンプａがロータリーポンプ、８，
９のポンプｂ，ｃがターボ分子ポンプ或は油拡散ポンプ
が通常使用される。またポンプｂ，ｃには補助ポンプが
通常使用される。空排気装置は、このポンプａ，ｂ，ｃ
および補助ポンプで構成される。
ーン、６は真空容器、７，８，９は各々ポンプａ，ｂ，
ｃである。サンプリングコーン４およびスキマーコーン
５は円錐状で先端に各々０．９〜１．２ｍｍ，０．３〜
０．６ｍｍ程度の孔が開いており、誘導プラズマ３中で
イオン化した試料は、サンプリングコーン４およびスキ
マーコーン５の孔を通して真空容器６内に導入される。
真空容器６の内部は、７のポンプａ，８のポンプｂ，９
のポンプｃで差動排気されて真空状態に保たれる。ポン
プ種としては、７のポンプａがロータリーポンプ、８，
９のポンプｂ，ｃがターボ分子ポンプ或は油拡散ポンプ
が通常使用される。またポンプｂ，ｃには補助ポンプが
通常使用される。空排気装置は、このポンプａ，ｂ，ｃ
および補助ポンプで構成される。
【０００４】１０はマスフィルター、１１はイオンレン
ズ、１２はリペラー電極、１３は検出器である。マスフ
ィルター１０は入射したイオンのうち設定した電圧に対
応した質量のイオンのみを通す働きをするもので、四重
極質量分析計が通常使われる。イオンレンズ１１は、ス
キマーコーン５を通過したイオンを効率良くマスフィル
ター１０に入射させると共に、プラズマ３からの光を遮
蔽する働きをしている。マスフィルター１０を通過した
イオンは、検出器１３で検出される。検出器１３には、
例えばガリレオ社のチャンネルトロンが使用される。リ
ペラー電極１２は、マスフィルター１０を通過したイオ
ンを検出器１３に導く働きをしており、＋の電圧が印加
されている。試料中の不純物は、検出器１３で検出され
た時のマスフィルター１０に印加された電圧から質量数
が求められ、すなわち同定ができる。また検出器１３で
検出されたイオン量から不純物濃度を求めることができ
る。
ズ、１２はリペラー電極、１３は検出器である。マスフ
ィルター１０は入射したイオンのうち設定した電圧に対
応した質量のイオンのみを通す働きをするもので、四重
極質量分析計が通常使われる。イオンレンズ１１は、ス
キマーコーン５を通過したイオンを効率良くマスフィル
ター１０に入射させると共に、プラズマ３からの光を遮
蔽する働きをしている。マスフィルター１０を通過した
イオンは、検出器１３で検出される。検出器１３には、
例えばガリレオ社のチャンネルトロンが使用される。リ
ペラー電極１２は、マスフィルター１０を通過したイオ
ンを検出器１３に導く働きをしており、＋の電圧が印加
されている。試料中の不純物は、検出器１３で検出され
た時のマスフィルター１０に印加された電圧から質量数
が求められ、すなわち同定ができる。また検出器１３で
検出されたイオン量から不純物濃度を求めることができ
る。
【０００５】次に図３を用いてマスフィルター１０の出
口から検出器１３までの構成について詳述する。図３に
おいて、１０はマスフィルター、１２はリペラー電極、
１３は検出器、１４は引出し電極、１５は光、１６はイ
オンである。マスフィルター１０の出口に達したイオン
は、引出し電極１４によりマスフィルター１０の外に引
き出され、加速される。リペラー電極１２と検出器１３
は、マスフィルター１０の軸に対して各々反対側に配置
されている。これは、マスフィルター１０を通過したイ
オンのみを検出器１３に到達させる働きをしている。
口から検出器１３までの構成について詳述する。図３に
おいて、１０はマスフィルター、１２はリペラー電極、
１３は検出器、１４は引出し電極、１５は光、１６はイ
オンである。マスフィルター１０の出口に達したイオン
は、引出し電極１４によりマスフィルター１０の外に引
き出され、加速される。リペラー電極１２と検出器１３
は、マスフィルター１０の軸に対して各々反対側に配置
されている。これは、マスフィルター１０を通過したイ
オンのみを検出器１３に到達させる働きをしている。
【０００６】すなわち、リペラー電極１２に印加された
電位および検出器１３に印加された電位によって作りだ
される電界により、イオン１６を検出器１３に導き、バ
ックグランドノイズとなる光１５（イオンレンズ１１で
遮蔽しきれなかったもの）は直進させて検出器１３には
到達させない働きをしている。
電位および検出器１３に印加された電位によって作りだ
される電界により、イオン１６を検出器１３に導き、バ
ックグランドノイズとなる光１５（イオンレンズ１１で
遮蔽しきれなかったもの）は直進させて検出器１３には
到達させない働きをしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来技術では、
マスフィルター１０を通過した光子は除去できても、マ
スフィルター１０を通過したほとんど全ての正イオンが
検出器に到達していた。特定質量のみイオンがマスフィ
ルター１０を通過するのであるが、マスフィルター１０
にて除去されるべきイオン種もマスフィルター内でのイ
オンどうしの衝突等により、マスフィルター１０を通過
する異なった質量のイオン種が生ずる。また、リペラー
電極１２に印加する電圧が＋数１０から＋１００Ｖ程度
なのに対して、検出器１３に印加する電圧が−２から−
２．５ｋＶであり、検出器１３のつくる電界が非常に強
いため検出器にて検出される。このため従来技術では、
バックグランドノイズとなるイオンが数ｃｐｓ〜１０ｃ
ｐｓ程度あり、極微量不純物の分析には支障をきたして
いた。
マスフィルター１０を通過した光子は除去できても、マ
スフィルター１０を通過したほとんど全ての正イオンが
検出器に到達していた。特定質量のみイオンがマスフィ
ルター１０を通過するのであるが、マスフィルター１０
にて除去されるべきイオン種もマスフィルター内でのイ
オンどうしの衝突等により、マスフィルター１０を通過
する異なった質量のイオン種が生ずる。また、リペラー
電極１２に印加する電圧が＋数１０から＋１００Ｖ程度
なのに対して、検出器１３に印加する電圧が−２から−
２．５ｋＶであり、検出器１３のつくる電界が非常に強
いため検出器にて検出される。このため従来技術では、
バックグランドノイズとなるイオンが数ｃｐｓ〜１０ｃ
ｐｓ程度あり、極微量不純物の分析には支障をきたして
いた。
【０００８】本発明の目的は、従来のこのような課題を
解決するため、マスフィルター１０を通過したバックグ
ランドノイズとなるイオンを除去して、検出すべき質量
のイオンのみを検出器に導くことにより、極微量不純物
の分析を可能にすることである。
解決するため、マスフィルター１０を通過したバックグ
ランドノイズとなるイオンを除去して、検出すべき質量
のイオンのみを検出器に導くことにより、極微量不純物
の分析を可能にすることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、試料を誘導プラズマ化するプラズマ発生
部と、前記プラズマ発生部でイオン化した前記試料を真
空容器中に導入する先端に小孔の開いたサンプリングコ
ーンおよびスキマーコーンと、前記試料のイオンのうち
指定した質量のイオンを通過させるマスフィルターと、
前記スキマーコーンを通過した前記試料のイオンを前記
マスフィルターに導くイオンレンズと、前記マスフィル
ターを通過したイオンを検出する検出器と、前記マスフ
ィルターの出口でその軸に対して前記検出器の反対側に
配置されたリペラー電極と、前記真空容器内で前記マス
フィルターと前記イオンレンズと前記検出器と前記リペ
ラー電極を真空状態にする真空排気装置からなる誘導プ
ラズマ質量分析装置において、前記マスフィルターと前
記検出器の間に、特定のエネルギーのイオンのみを通過
させる補助電極を装着したことを特徴とする誘導プラズ
マ質量分析装置である。
にこの発明は、試料を誘導プラズマ化するプラズマ発生
部と、前記プラズマ発生部でイオン化した前記試料を真
空容器中に導入する先端に小孔の開いたサンプリングコ
ーンおよびスキマーコーンと、前記試料のイオンのうち
指定した質量のイオンを通過させるマスフィルターと、
前記スキマーコーンを通過した前記試料のイオンを前記
マスフィルターに導くイオンレンズと、前記マスフィル
ターを通過したイオンを検出する検出器と、前記マスフ
ィルターの出口でその軸に対して前記検出器の反対側に
配置されたリペラー電極と、前記真空容器内で前記マス
フィルターと前記イオンレンズと前記検出器と前記リペ
ラー電極を真空状態にする真空排気装置からなる誘導プ
ラズマ質量分析装置において、前記マスフィルターと前
記検出器の間に、特定のエネルギーのイオンのみを通過
させる補助電極を装着したことを特徴とする誘導プラズ
マ質量分析装置である。
【００１０】そして前記補助電極が前記マスフィルター
の軸と前記検出器の間に前記マスフィルターを通過した
前記試料のイオンを前記検出器に導く穴の開いた電極の
構造であり、前記補助電極にバイアスを印加したことを
特徴とした誘導プラズマ質量分析装置である。
の軸と前記検出器の間に前記マスフィルターを通過した
前記試料のイオンを前記検出器に導く穴の開いた電極の
構造であり、前記補助電極にバイアスを印加したことを
特徴とした誘導プラズマ質量分析装置である。
【００１１】
【作用】上記のように構成された誘導プラズマ質量分析
装置においては、検出すべきイオンのみを検出器に到達
させ、バックグランドノイズとなるイオンは検出器には
到達させない作用がある。これは、検出すべきイオンと
バックグランドノイズとなるイオンはそのエネルギーが
異なることを利用している。すなわち、補助電極により
検出器のつくる電界は抑えられ、マスフィルターを通過
したイオンは補助電極とリペラー電極のつくる電界によ
ってその軌道が制御できるようになる。
装置においては、検出すべきイオンのみを検出器に到達
させ、バックグランドノイズとなるイオンは検出器には
到達させない作用がある。これは、検出すべきイオンと
バックグランドノイズとなるイオンはそのエネルギーが
異なることを利用している。すなわち、補助電極により
検出器のつくる電界は抑えられ、マスフィルターを通過
したイオンは補助電極とリペラー電極のつくる電界によ
ってその軌道が制御できるようになる。
【００１２】そして補助電極とリペラー電極に適当な電
圧を印加すると、検出すべきイオンは補助電極に開けら
れた穴を通過して検出器に到達するが、バックグランド
ノイズとなるイオンは検出すべきイオンとは異なった軌
道をとるため補助電極にさえぎられて検出器には到達で
きない。これは、バックグランドノイズとなるイオン
が、マスフィルター内でイオン衝突等しているため、非
常にエネルギーが低くなっているためである。このよう
にして本発明による誘導プラズマ質量分析装置において
は、バックグランドノイズが低くて従来技術ではできな
かった極微量の不純物分析ができるようになる。
圧を印加すると、検出すべきイオンは補助電極に開けら
れた穴を通過して検出器に到達するが、バックグランド
ノイズとなるイオンは検出すべきイオンとは異なった軌
道をとるため補助電極にさえぎられて検出器には到達で
きない。これは、バックグランドノイズとなるイオン
が、マスフィルター内でイオン衝突等しているため、非
常にエネルギーが低くなっているためである。このよう
にして本発明による誘導プラズマ質量分析装置において
は、バックグランドノイズが低くて従来技術ではできな
かった極微量の不純物分析ができるようになる。
【００１３】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図に基づいて説明
する。図１は本発明の主要部分を示す図で、図１に示さ
れていないプラズマ発生部、真空容器、サンプリングコ
ーン、スキマーコーンおよび真空排気装置は、図２に示
した従来技術と同等である。
する。図１は本発明の主要部分を示す図で、図１に示さ
れていないプラズマ発生部、真空容器、サンプリングコ
ーン、スキマーコーンおよび真空排気装置は、図２に示
した従来技術と同等である。
【００１４】図２において、１０はマスフィルター、１
２はリペラー電極、１３は検出器、１４は引出し電極で
ある。マスフィルター１０の出口に達したイオンは、引
出し電極１４によりマスフィルター１０の外に引き出さ
れ、加速される。１７はマスフィルター軸で、マスフィ
ルター１０の中心軸を示している。リペラー電極１２と
検出器１３は、マスフィルター軸１７に対して各々反対
側に配置されている。これは、マスフィルター１０を通
過したイオンのみを検出器１３に到達させてバックグラ
ンドノイズになる光１５は検出器１３に到達させない働
きをしている。
２はリペラー電極、１３は検出器、１４は引出し電極で
ある。マスフィルター１０の出口に達したイオンは、引
出し電極１４によりマスフィルター１０の外に引き出さ
れ、加速される。１７はマスフィルター軸で、マスフィ
ルター１０の中心軸を示している。リペラー電極１２と
検出器１３は、マスフィルター軸１７に対して各々反対
側に配置されている。これは、マスフィルター１０を通
過したイオンのみを検出器１３に到達させてバックグラ
ンドノイズになる光１５は検出器１３に到達させない働
きをしている。
【００１５】１８は補助電極、１９は信号イオン、２０
はバックグランドイオンである。補助電極１８は、マス
フィルター軸１７と検出器１３の間に配置された電極
で、マスフィルター１０から出てきた信号イオン１９が
通過して検出器１３に到達させるための穴が開いた構造
をしている。補助電極１８の穴の大きさは、検出器１３
のイオンを検知する開口部と同程度が適当である。すな
わち直径８〜２０ｍｍ程度である。補助電極１８には電
源（図示せず）により電圧が印加されている。補助電極
１８に印加される電圧は、リペラー電極１２や検出器１
３，引出し電極１４の配置や電位によって異なるが、０
〜−１００Ｖ程度が適当である。補助電極１８により、
検出器１３のつくる電界は抑えられ、マスフィルター１
０を通過したイオンはリペラー電極１２及び補助電極１
８のつくる電界によってその軌道が定まる。
はバックグランドイオンである。補助電極１８は、マス
フィルター軸１７と検出器１３の間に配置された電極
で、マスフィルター１０から出てきた信号イオン１９が
通過して検出器１３に到達させるための穴が開いた構造
をしている。補助電極１８の穴の大きさは、検出器１３
のイオンを検知する開口部と同程度が適当である。すな
わち直径８〜２０ｍｍ程度である。補助電極１８には電
源（図示せず）により電圧が印加されている。補助電極
１８に印加される電圧は、リペラー電極１２や検出器１
３，引出し電極１４の配置や電位によって異なるが、０
〜−１００Ｖ程度が適当である。補助電極１８により、
検出器１３のつくる電界は抑えられ、マスフィルター１
０を通過したイオンはリペラー電極１２及び補助電極１
８のつくる電界によってその軌道が定まる。
【００１６】すなわち、リペラー電極１２及び補助電極
１８に適当な電圧を印加すると、マスフィルター１０か
ら出てきたイオンのうち目的のエネルギーのものは補助
電極１８の穴を通過して検出器１３に到達するが、エネ
ルギーの異なるイオンは補助電極１８に遮られて検出器
１３には到達できない。ところで、検出すべき目的元素
の信号イオン１９と排除すべきバックグランイオン２０
のエネルギーについて考察する。信号イオン１９は誘導
プラズマ３で生成するため、誘導プラズマ３のプラズマ
電位に対応したエネルギー分布をしている。対してバッ
クグランドイオン２０は、スキマーコーン５からマスフ
ィルター１０の内部でイオンと残留ガスあるいは構造材
とが衝突して生成するものと推定され、エネルギーは０
ｅＶ程度である。従ってマスフィルター１０と検出器１
３の間に本発明によるイオンエネルギー分離機能を持た
せることにより、バックグランドノイズのない分析を行
えるようになる。つまり、低エネルギーであるバックグ
ランドイオン２０は補助電極に捕捉されてしまう。
１８に適当な電圧を印加すると、マスフィルター１０か
ら出てきたイオンのうち目的のエネルギーのものは補助
電極１８の穴を通過して検出器１３に到達するが、エネ
ルギーの異なるイオンは補助電極１８に遮られて検出器
１３には到達できない。ところで、検出すべき目的元素
の信号イオン１９と排除すべきバックグランイオン２０
のエネルギーについて考察する。信号イオン１９は誘導
プラズマ３で生成するため、誘導プラズマ３のプラズマ
電位に対応したエネルギー分布をしている。対してバッ
クグランドイオン２０は、スキマーコーン５からマスフ
ィルター１０の内部でイオンと残留ガスあるいは構造材
とが衝突して生成するものと推定され、エネルギーは０
ｅＶ程度である。従ってマスフィルター１０と検出器１
３の間に本発明によるイオンエネルギー分離機能を持た
せることにより、バックグランドノイズのない分析を行
えるようになる。つまり、低エネルギーであるバックグ
ランドイオン２０は補助電極に捕捉されてしまう。
【００１７】
【発明の効果】この発明は、以上説明したようにマスフ
ィルターと検出器の間にイオンエネルギー分離機能を持
つ補助電極を装着したので、バックグランドノイズが低
くて従来技術ではできなかった極微量の不純物分析がで
きるようになる効果がある。
ィルターと検出器の間にイオンエネルギー分離機能を持
つ補助電極を装着したので、バックグランドノイズが低
くて従来技術ではできなかった極微量の不純物分析がで
きるようになる効果がある。
【図１】本発明の主要部分を示した断面図である。
【図２】従来技術を説明する断面図である。
【図３】従来技術の装置の断面図である。
１ プラズマトーチ ２ 誘導コイル ３ 誘導プラズマ ４ サンプリングコーン ５ スキマーコーン ６ 真空容器 ７ ポンプａ ８ ポンプｂ ９ ポンプｃ １０ マスフィルター １１ イオンレンズ １２ リペラー電極 １３ 検出器 １４ 引出し電極 １５ 光 １６ イオン １７ マスフィルター軸 １８ 補助電極 １９ 信号イオン ２０ バックグランドイオン
Claims (2)
- 【請求項１】 試料を誘導プラズマ化するプラズマ発生
部と、前記プラズマ発生部でイオン化した前記試料を真
空容器中に導入する先端に小孔の開いたサンプリングコ
ーンおよびスキマーコーンと、前記試料のイオンのうち
指定した質量のイオンを通過させるマスフィルターと、
前記スキマーコーンを通過した前記試料のイオンを前記
マスフィルターに導くイオンレンズと、前記マスフィル
ターを通過したイオンを検出する検出器と、前記マスフ
ィルターの出口でその軸に対して前記検出器の反対側に
配置されたリペラー電極と、前記真空容器内で前記マス
フィルターと前記イオンレンズと前記検出器と前記リペ
ラー電極を真空状態にする真空排気装置からなる誘導プ
ラズマ質量分析装置において、前記マスフィルターと前
記検出器の間に、特定のエネルギーのイオンのみを通過
させる補助電極を装着したことを特徴とする誘導プラズ
マ質量分析装置。 - 【請求項２】 前記補助電極が前記マスフィルターの軸
と前記検出器の間に前記マスフィルターを通過した前記
試料のイオンを前記検出器に導く穴の開いた電極の構造
であり、前記補助電極にバイアスを印加したことを特徴
とする請求項１記載の誘導プラズマ質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4039750A JPH05242856A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 誘導プラズマ質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4039750A JPH05242856A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 誘導プラズマ質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05242856A true JPH05242856A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=12561640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4039750A Pending JPH05242856A (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 誘導プラズマ質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05242856A (ja) |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP4039750A patent/JPH05242856A/ja active Pending
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